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1、第4章 半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計(jì)分布在一定溫度下,并且沒有其它外界作用時(shí),半導(dǎo)體的自由電子和自由空穴是依靠電子的熱激發(fā)作用而產(chǎn)生的。一方面對(duì)于理想半導(dǎo)體材料,電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶。對(duì)于摻雜半導(dǎo)體,從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶外,還有電子從施主能級(jí)躍遷到導(dǎo)帶,電子從價(jià)帶躍遷到受主能級(jí)。電離能。同時(shí),電子從高的能量狀態(tài)躍遷到低的能量狀態(tài),并向晶格放出一定的能量,使導(dǎo)帶中的電子和價(jià)帶中的空穴不斷減少。成為載流子的復(fù)合。在一定溫度下,這兩個(gè)相反的過程達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡,成為熱平衡狀態(tài)。半導(dǎo)體中的自由電子和空穴的濃度保持一個(gè)穩(wěn)定值。實(shí)際上半導(dǎo)體的導(dǎo)電狀態(tài)強(qiáng)烈的依賴于溫度的變化。要深入了解半導(dǎo)體的導(dǎo)電性及其它許多性能,必須知道
2、半導(dǎo)體中載流子濃度分布以及隨溫度的變化規(guī)律。第一:允許的量子態(tài)按能量如何分布;第二:電子在允許的量子態(tài)中的分布幾率。1、 k空間中量子態(tài)的分布: z和e的關(guān)系 g(e)=dz/de;g(e):狀態(tài)密度,在能帶中能量為e附近每單位能量間隔內(nèi)的量子態(tài)數(shù)。 k空間中,波矢k不能取任意值,k的允許值為: kx = nx/l (nx=0,1,2,)ky= ny/l ;kz= nz/l l3 = v: 晶體體積; 任一個(gè)代表點(diǎn),沿三條坐標(biāo)方向均為1/l的整數(shù)倍, 所以代表點(diǎn)在k空間是均勻分布的,每個(gè)代表點(diǎn)均和體積為1/v的立方體相連系, 也就是,在k空間中,體積為1/v的立方體中有一個(gè)代表點(diǎn), k空間中代
3、表點(diǎn)的密度為v, 也就是說,在k空間中,電子允許能量狀態(tài)密度是v, 計(jì)入電子自旋, k空間允許的量子態(tài)密度是2v. 2n, n:單位體積的物理學(xué)原胞數(shù)目.2. 狀態(tài)密度dz=2v4k2dk k空間中電子允許的能量狀態(tài)密度。導(dǎo)帶底附近:e(k)=ec+h2k2/2mn* h:普朗克常數(shù) 6.626x10-34j/sk=(2 mn*)1/2(e- ec)1/2/h kdk= mn* de/ h2 將上兩式代入dz得p52 gc(e)= dz/ de=4v(2 mn*)3/2/ h3(e- ec)1/2 (3-5)gv(e)= dz/ de=4v(2 mp*)3/2/ h3(ev- e)1/2 (3
4、-5) 導(dǎo)帶底附近單位能量間隔內(nèi)的量子態(tài)數(shù)目,隨著電子的能量增加按拋物線關(guān)系增大。電子能量越高,狀態(tài)密度越大。2、 費(fèi)米能級(jí)和載流子的統(tǒng)計(jì)分布(1) 半導(dǎo)體中電子的數(shù)目是非常多的,si :51022個(gè)/cm3; 電子數(shù)目451022個(gè)/cm3費(fèi)米分布函數(shù):量子統(tǒng)計(jì)理論:對(duì)于能量為e的一個(gè)量子態(tài)被電子占據(jù)的幾率 (e)=1/(1+e(e-ef/k0t)ef:費(fèi)米能級(jí),系統(tǒng)的化學(xué)勢(shì),與溫度,半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型、雜質(zhì)的含量有關(guān)。絕對(duì)零度:eef,(e)=1 eef,(e)=0t0k時(shí), eef,(e)1/2; e=ef,(e)=1/2; eef,(e)1/2t常溫時(shí):e- ef5k0t時(shí), (e)0.
5、007 130mev e- ef-5k0t時(shí),(e)0.993k:波爾茲曼常數(shù) 8.6210-5ev/度。300k=0.026ev(2)玻耳茲曼分布函數(shù)當(dāng)e-ef k0t時(shí),e(e-ef/k0t)遠(yuǎn)大于1; 1+e(e-ef/k0t)e(e-ef/k0t)費(fèi)米分布函數(shù):b(e)= e-(e-ef/k0t)= e ef/ k0te -e /k0t =a e -e /k0t ,a= e ef/ k0t電子的玻耳茲曼分布函數(shù)電子占據(jù)能量為e的量子態(tài)的幾率由指數(shù)因子e -e /k0t 決定。導(dǎo)帶底被電子占據(jù)的幾率:(ec)= e-(ec-ef/k0t)量子態(tài)被空穴占據(jù)的幾率為1- (e)=1/(1+e
6、(ef - e /k0t)=b e e /k0t,b= e -ef/ k0t價(jià)帶頂被空穴占據(jù)的幾率:(ev)= e(ev-ef/k0t)導(dǎo)帶中絕大部分電子分布在導(dǎo)帶底附近; 價(jià)帶中絕大部分空穴分布在價(jià)帶頂附近.(3)導(dǎo)帶中電子濃度和價(jià)帶中的空穴濃度。p56 dn= b(e)gc(e)de =4v(2 mn*)3/2/ h3e(-e-ef/k0t)(e- ec)1/2de ()dn=dn/vp57 n0=2(2mn* k0t)3/2/ h3e(- ec-ef/k0t) (3-17)令nc=2(2mn* k0t)3/2/ h3, 導(dǎo)帶有效狀態(tài)密度n0=nce(- ec-ef/k0t)p54 (ec
7、)= e(- ec-ef/k0t),電子占據(jù)能量為ec的量子態(tài)的幾率。 知道ef,t、 半導(dǎo)體的自由電子濃度就可計(jì)算出來。p57 p0= nve(ev-ef/k0t) nv=2(2mp* k0t)3/2/ h3 價(jià)帶有效狀態(tài)密度, (ev)= e(ev-ef/k0t),電子占據(jù)能量為ec的量子態(tài)的幾率。n0 ,p0:t,ef。(4)載流子濃度的乘積:p 58 n0p0= ncnv e(-ec-ev/ k0t)n0p0=4(2k0/h2)3(mn*mp*)3/2t3e(-eg/ k0t)=2.331031(mn*mp*/m02)3/2 t3e(-eg/ k0t)溫度和禁帶寬度 半導(dǎo)體中電子和空穴
8、的乘積和費(fèi)米能級(jí)無關(guān)。對(duì)一定的半導(dǎo)體材料,乘積n0p0只決定于溫度t,與所含的雜質(zhì)無關(guān)。在一定溫度下,不同半導(dǎo)體材料的禁帶寬度不同,乘積n0p0也不同。適用于本征半導(dǎo)體和摻雜半導(dǎo)體。在一定溫度下乘積n0p0一定,電子濃度增大,空穴濃度減少。k:波爾茲曼常數(shù):8.6210-5電子伏特/度,300k:26mev費(fèi)米能級(jí):(e)=1/(1+e(e-ef/k0t)溫度,雜質(zhì)濃度。 e-ef5k0t,0.007; e-ef-5k0t; 0.993導(dǎo)帶電子占據(jù)的幾率:fb(e)= e-e-ef/ k0t 價(jià)帶空穴占據(jù)的紀(jì)律:1-f(e)= e e- ef / k0t n0=nce- (ec-ef/k0t)
9、; p0= nve(ev-ef/k0t)nc=2(2mn* k0t)3/2/ h3; nv=2(2mp* k0t)3/2/ h3畫能帶圖:3、 本征半導(dǎo)體的載流子濃度首先計(jì)算出費(fèi)米能級(jí),然后根據(jù)本征半導(dǎo)體:沒有摻雜和缺陷的半導(dǎo)體。在絕對(duì)0度時(shí),價(jià)帶中的全部填滿電子,導(dǎo)帶中量子態(tài)全空。沒有自由電子和空穴。本征激發(fā):電子從價(jià)帶激發(fā)到導(dǎo)帶。電子和空穴成對(duì)產(chǎn)生。n0= p0p59 nce(- ec-ef/k0t)= nve(ev-ef/k0t) ef = (ec+ ev)/2+3 k0t/4ln mp*/ mn* si, mp*/ mn* = 0.55, ln mp*/ mn* = -0.6, ge:
10、 mp*/ mn* = 0.66, ln mp*/ mn* = -0.4gaas: mp*/ mn* = 7.0, ln mp*/ mn* = 1.9 。 ef約在禁帶中心1.5 k0t范圍內(nèi)。k0t=26mev。eg:ev量級(jí) 也有例外,如銻化銦 eg=0.17ev將ef的表達(dá)式代入n0,p0的表達(dá)式。ni= n0= p0=(ncnv)1/2 e(-eg/2k0t) =4.821015(mn* mp*/m02)3/4t3/2e(-eg/2k0t)= c t3/2e(-eg/2k0t)溫度和禁帶寬度:一定的半導(dǎo)體材料,其本征載流子濃度ni隨溫度升高迅速增加;不同的半導(dǎo)體材料在同一溫度下,禁帶寬
11、度越大,本征載流子濃度越小。ln ni=cln t3/2(-eg/2k0t)= c-eg/2k0 ln t3/21/t30:3.4, 100: 4.6, 300:5.7 根據(jù)本征載流子與溫度的變化關(guān)系,可求出半導(dǎo)體的禁帶寬度。 ni t-3/2=ce(-eg/2k0t)= -eg/2k01/t表3-2半導(dǎo)體禁帶寬度越大,本征激發(fā)要求的雜質(zhì)濃度越小。ge:2.41013cm-3, 原子密度:4.51022cm-3, 雜質(zhì)含量低于10-9,濃度低于1013cm-3gaas:2.3107cm-3, 原子密度1022cm-3, 雜質(zhì)含量低于10-15,濃度低于107cm-3半導(dǎo)體器件的極限工作溫度與禁
12、帶寬度有關(guān),禁帶寬度越小,極限工作溫度越低。 本征載流子濃度比雜質(zhì)載流子濃度低一個(gè)數(shù)量級(jí)。 ge:370k si:526k nd; p0 nd n0= p0,費(fèi)米能級(jí)接近禁帶中央,載流子濃度隨溫度升高迅速增加。雜質(zhì)濃度越高,本征激發(fā)起作用的溫度也越高。(6)p型半導(dǎo)體的載流子濃度:低溫弱電離區(qū),強(qiáng)電離區(qū)(飽和區(qū)),過度區(qū), 高溫本征激發(fā)區(qū)。d+=(2na/nv)exp(ea/k0t)根據(jù)未電離的雜質(zhì)百分比,可計(jì)算出在一定溫度下,雜質(zhì)全部電離時(shí)的最大濃度,或在一定雜質(zhì)濃度時(shí),雜質(zhì)全部電離所需溫度。半導(dǎo)體中的費(fèi)米能級(jí):反映了半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型,摻雜濃度和自由電子、空穴濃度。 某種意義下可認(rèn)為費(fèi)米能級(jí)反映了電子的填充水平。費(fèi)米能級(jí)越低,導(dǎo)帶電子越少,價(jià)帶電子越少;費(fèi)米能級(jí)能級(jí)越高,導(dǎo)帶的電子越多,價(jià)帶的電子也多。(7)少數(shù)載流子濃度:n型半導(dǎo)體中的電子,p型半導(dǎo)體中的空穴,多子。 n型半導(dǎo)體中的空穴,p型半導(dǎo)體中的電子,少子。ni2 = n0p0= ncnv e(-eg/ k0t)強(qiáng)電離時(shí):n型半導(dǎo)體:pn0 = ni2/nd p型半導(dǎo)體:np0 = ni2/na5、 簡(jiǎn)并半導(dǎo)體半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)位于導(dǎo)帶之中或與導(dǎo)帶重合;費(fèi)米能級(jí)位于價(jià)帶之中或與價(jià)帶重合ndnc;nanv; 選取ef = ec為簡(jiǎn)并化條件,得到簡(jiǎn)并時(shí)最小雜質(zhì)濃度
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