最新鑄錠車間SOP培訓(xùn)教材

1、a worlds leading vertically-integrated pv manufacturer 2多晶鑄錠多晶鑄錠鑄錠車間sop培訓(xùn)教材部門流程介紹部門流程介紹坩堝噴涂坩堝噴涂坩堝裝料坩堝裝料鑄錠投料鑄錠投料鑄錠出錠鑄錠出錠鑄錠拆錠鑄錠拆錠dss系統(tǒng)系統(tǒng)坩堝作業(yè)流程坩堝作業(yè)流程1、坩堝噴涂1.1 磨料1） 用電子秤準確稱取hge噴涂氮化硅配比250g (a)+200g(b)=450g,氮化硅（450g)+純水（1600ml1800ml）+硅溶膠（100-160g)單一氮化硅粉配比： 450g+1700ml（純水）+硅溶膠(100-160g) 備注：氮化硅粉用量，隨著工藝時期及季節(jié)

2、時期，會有20-30g波動。氮化硅放于容器中。2）用尼龍網(wǎng)紗布網(wǎng)住小木桶的口。3）把氮化硅輕輕倒入尼龍網(wǎng)紗上，用塑料勺子慢慢研磨使氮化硅能通過砂網(wǎng)砂眼，達到工藝要求的顆粒大小而落入小桶中，直至磨完為止。1.2 取出已檢查過未噴坩堝，視覺檢查坩堝表面有無裂紋，無缺角，記下坩堝序列號，將坩堝放置在坩堝噴涂站中，用90psi的壓縮空氣吹掃坩堝表面，用百潔布沾純水來檫試坩堝表面，然后打開加熱裝置。1.3 當坩堝溫度達到70（用測溫槍測量溫度）時，用量筒取1升純水,加入研磨好的氮化硅，攪拌均勻，備用。稱氮化硅粉磨粉坩堝作業(yè)流程坩堝作業(yè)流程1.2開始噴涂2.1當坩堝底部、測面溫度達到65-75（用測溫槍測

3、量溫度）時，才可開始噴涂， 將開始時間記錄在坩堝噴涂記錄單中。2.2 定位噴槍上的螺旋及噴嘴1） 順時針方向擰緊上螺旋，之后重新倒回螺旋1/4圈。2） 順時針方向擰緊下螺旋，之后重新倒回螺旋3/2圈。3） 將噴嘴設(shè)為水平橫方向。4） 噴射壓力為2035psi。壓力計坩堝作業(yè)流程坩堝作業(yè)流程2.3 開始噴涂時，先試噴在一張紙板上，以保證噴出的液體在紙板上均勻分布。2.4 噴槍離所需噴涂表面垂直距離30-40cm，先噴底部，噴槍不間斷的來回噴涂710次，其它表面來回噴涂35次，直至噴完所有氮化硅混合液，手拿噴槍噴射速度勻速，時間平均分配，每點停留時間不超過一秒，否則混合液會凝聚在一起，影響噴涂質(zhì)量

4、。2.5 每一次噴涂前，須用測溫槍測量坩堝底部、測面溫度，所有溫度必須控制在70-75內(nèi)，溫度可以通過開關(guān)加熱器開關(guān)予以調(diào)節(jié)。 操作員須記錄每次正式噴涂前的最高溫度和最低溫度，全部噴完后，再將整個噴涂過程中的最高溫度、最低溫度及噴涂結(jié)束時間記錄在坩堝噴涂記錄單中。攪拌噴涂兩人協(xié)作坩堝作業(yè)流程坩堝作業(yè)流程2.6 用手電筒照射檢查，看噴涂質(zhì)量，有無裂紋、凸起、脫落，如果有用純水洗掉，重新噴涂。2.7 每次完成噴涂，噴涂器具清洗干凈，至少清洗二次以上。對這些水管重點清洗檢查噴涂是否完好坩堝作業(yè)流程坩堝作業(yè)流程 4、坩堝裝料4.1 操作員戴好手套，在推車上放一石墨板，擺放整齊（石墨平面與車板平行）。4

5、.2 將坩堝輕放在干凈的石墨板正中（即坩堝四個外表面到石墨板邊垂直距離為4.50.2cm），校正好石墨板與小車各面位置（即推車兩側(cè)邊到石墨板距離為1417cm，正對推車扶手一面的邊緣距石墨板為6.57cm）。4.3 擺放好用吸塵器吸去石墨板上、推車上的灰塵。4.4 把坩堝推入裝料室中。4.5 操作員在裝料前須確保帶好口罩、帽子、一次性膠皮手套。4.5cm2標準著裝坩堝作業(yè)流程坩堝作業(yè)流程4.6開始裝料：4.6.1 先把粒子狀、粉末狀的硅料輕輕鋪好底部，不要扔、投，避免刮破噴涂層；再放入較大塊和較小塊(如有可能)的混合料以清除空氣和氣泡。4.6.2大塊料擺放在底層，不要平鋪疊在一起，避免橫向膨脹

6、，也不要直接貼在坩堝邊部，與坩堝內(nèi)壁之間空出5cm2空隙。4.6.3當裝料裝至整個坩堝高度1/2時，加入摻雜物質(zhì)，均勻擺放在硅料表面。4.6.4 繼續(xù)裝料直到距坩堝頂部1-2英寸處將硅料擺在中間位置以防掉落，直至裝完，應(yīng)特別注意上部避免裝粉料或細小塊料，盡量放塊狀料。坩堝作業(yè)流程坩堝作業(yè)流程4.6.5用吸塵器吸去推車上、石墨板上的殘留物質(zhì)在坩堝四邊固定好石墨檔板四邊石墨檔緊板的邊必須與石墨底板邊相吻合，且石墨檔板與底板平面相互垂直，對邊兩檔板與坩堝距離保持一致，用手旋上螺絲，不要太緊，蓋上薄膜，填寫并附上裝料坩堝追蹤號單。4.6.6 送往dss鑄錠區(qū)。注意：裝料過程注意防塵，不接觸金屬，輕拿輕

7、放，不要碰壞噴涂層，非工作人員勿進入裝料室 吸塵已裝好料 裝護板裝護板 三人協(xié)作裝上石墨板和螺栓。 將石墨支撐板放在坩堝周圍，將螺栓對準安裝孔螺入且固定。螺栓不能擰得太緊，只能用手指擰緊。繼續(xù)固定支撐直到完全圍住坩堝。三人協(xié)作 進爐裝料進爐裝料先把裝有硅料的小車推入“u”形叉車大約中間位置，再提升“u”叉至石墨底板45cm處，提升速度小于5mm/s，再調(diào)整小車的位置，使硅料處于“u”叉的正中央，左右偏差不超過5mm,提升“u”叉，使叉車支承起硅料至叉車的上限位置。送入爐體把載有硅料的叉車開至dss 爐正前面，使叉車底部兩叉腳與dss爐底部支架導(dǎo)向定位夾保持基本對正。 把硅料送入爐體內(nèi)（叉車速度

8、不超過2cm/s），當叉車底部限位凸面抵觸至dss爐下部導(dǎo)向定位的限位平面，卸下硅料至dss-block上，叉車卸料速度不超過5mm/s。鑄錠裝料鑄錠裝料 進爐裝料進爐裝料定位前準備兩把刻度為毫米、量程大于30mm鋼尺，以及三名操作人員，一人操作叉車，另兩人用刻度尺在下爐體左右測試定位。通過連續(xù)重復(fù)地調(diào)整叉車橫向縱向位置，間接地調(diào)整了硅料的橫向縱向位置。連續(xù)測量四周石墨支承板相對dss-block邊緣的凸邊距離，當四周凸邊距離都控制在10.11mm時，硅料定位完畢，拖出叉車。鑄錠裝料鑄錠裝料尺寸10.1mm尺寸10.1mm 擦拭酒精和真空油擦拭酒精和真空油 先用一塊干凈的工業(yè)棉紙吸入些酒精或異

9、兩醇，在上下爐體接觸面擦洗，擦洗過程中一次抹過去，無需反復(fù)來回地在表面上擦。擦洗后，在下爐體“o”形圈上稀薄地抹上一層真空油脂，在抹的過程中間隔地涂上米粒大小的油脂在“o”形圈上，間距為1015cm，再用干凈手指頭輕輕滑抹涂勻。鑄錠裝料鑄錠裝料擦拭酒精鑄錠出爐鑄錠出爐 打開腔室打開腔室1按下手動按鈕，打開手動操作屏幕，如果爐腔壓力沒有超過980mbar,按一次backfill（重新壓入氣體）按鈕使壓力上升到980mba以上（當壓力上980mba以上時，自動停止加壓動作）。按下腔室提升按鈕（壓力達到950mba以上時才能看見這個按鈕）后出現(xiàn)一個警告屏幕。如下： 松開4個將上面的腔室和下面的腔室連

10、成一個的夾子后點擊警告屏幕上的yes。2提升下面腔室的控制屏幕下面腔室的方向控制箭頭必須向下，否則單擊此箭頭使箭頭向上。檢查下面腔室的最大提升速度是否小于或等于35，遞減速度是否為5，啟動速度是否為0，遞增速度是否為3。 警告警告 面腔室的夾子了嗎？面腔室的夾子了嗎？ 是是 沒有沒有警告鑄錠出爐鑄錠出爐出錠出錠打開下爐體前應(yīng)該戴上高溫手套，然后操動叉車至dss爐正前方，提升“u”形支架，使其高出已打開的下爐體的表面58cm,緩慢地把叉車開進爐體內(nèi)，當叉車“u”形支架處于下爐體之上，調(diào)節(jié) “u”形支架的支承面至石墨板底面以下12cm處，再次開入叉車，至爐體內(nèi)部極限位置，操作人員應(yīng)檢查“u”形支架

11、提升時是否有可能使臺階面與石墨底板發(fā)生撞擊，如果有可能發(fā)生碰撞應(yīng)重新調(diào)整叉車，直到檢查發(fā)現(xiàn)石墨底部全部在“u”形支架支承面范圍以內(nèi)，提升“u”形支架托起硅錠，駛出叉車，將準備好的小車放入“u”形支架大約正中下方位置?？刂葡陆邓俣炔淮笥?cm/s，緩慢卸下硅錠，開離叉車。兩人協(xié)作帶好高溫手套石墨條放置于dds塊下鑄錠拆錠鑄錠拆錠 從爐體取出的硅錠由于溫度過高，必須在空氣中等待2個小時以上散熱后，戴上絕熱手套，依次把螺帽和石墨板拆開，但不需要拆螺栓，當還剩相鄰兩塊石墨板時需兩面名操作人員相互配合拆出石墨板，然后再把硅錠四周坩堝碎塊清除。鑄錠出爐鑄錠出爐吊錠吊錠應(yīng)三人協(xié)作吊錠。一人負責按吊錠開關(guān)，一

12、人負責復(fù)稱，另一人拉錠。注意：吊錠時，應(yīng)輕拿輕放，安全第一.硅錠吊好之后，擺放整齊，并把復(fù)稱重量統(tǒng)計好。鑄錠裝料鑄錠裝料 檢查檢查 把四根依次放好，檢查溢流棉和溢流線是否有硅料和雜物，檢查螺母，往回擰松半圈。 關(guān)閉下爐體。相應(yīng)在“chamber lift”界面窗口更換下爐體運動方向的箭頭使其向上，其它。當下爐體到達上限位置，扣上四個還將夾子，使下爐體鎖扣在上爐體上面而后抽真空。檢查螺母打開爐子chamber lift檢查夾子裝好石墨條安全篇安全篇1. 對坩堝操作時必需時時配帶橡膠手套，以降低操作過程中對坩堝的造成的污染；2.噴涂過程中必需開啟抽風風機排風，必需配帶專用高級防塵口罩。氮化硅超細粉

13、對人體危害很大。3：灼傷危險，某些表面溫度很高。在高溫狀態(tài)時，請不要觸摸加熱器背部或周圍表面。4.噴涂時，必需確保排風罩暢通。5.在噴涂操作中必需始終配帶合適的防護裝置6.操作坩堝時需配帶橡膠手套，以降低操作過程中對坩堝造成污染。7.當心夾手！當機器在運轉(zhuǎn)中時請保持手遠離機器運動部件。噴涂裝料安全注意事項噴涂裝料安全注意事項風機一定要打開！噴涂前風機要開，噴涂前風機要開， 以及時吸收以及時吸收sinsin粉塵，粉塵，噴涂時，必需確保排風罩暢通。噴涂時，必需確保排風罩暢通。噴涂完噴涂完后及時清理風口出灰塵。后及時清理風口出灰塵。戴防塵面具、一次性手套、無塵服加熱板，高溫！噴涂時千萬不能接觸到！抬

14、堝時，兩人協(xié)作抬起，如一人未用到力，易把堝打碎或扭傷鑄錠車間安全注意事項鑄錠車間安全注意事項1.操作硅料的手套必需是潔凈無污的新手套。千萬不能用手直接拿硅料，但也不能用觸摸過它物的手套來搬拿硅料，否則觸及過它物的手套會二次污染硅料，引入新的雜質(zhì)。2.裝料人員必需套鞋套、穿無塵服、配帶高級防塵專用口罩、戴無塵手套。3.不能在硅料中轉(zhuǎn)箱內(nèi)把大料砸成小料，因為中轉(zhuǎn)箱會嚴重污染硅料。4.裝完料后要及時清理裝料車間，保持車間的無塵化。緊急停爐開關(guān)，禁止觸摸剛出爐，注意高溫戴好高溫手套戴好高溫手套dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 操作及制程原理操作及制程原理 經(jīng)過si3n4涂層處理的坩堝里裝滿多晶硅，并放

15、置在一個大的導(dǎo)熱石墨塊 (定向凝固塊或ds-block)上。 密閉長晶爐且抽成真空，然后加熱數(shù)小時以完全熔解多晶硅。石墨加熱器包圍在坩堝的四個垂直面上，一隔熱籠包圍住加熱器、ds-block及坩堝。此隔熱籠的垂直邊可以上下移動，暴露出ds-block，允許熱能以輻射方式散發(fā)至通冷卻水的下部爐壁。ds-block的溫度下降會傳至坩堝底部，使坩堝內(nèi)的硅溶液有垂直的溫度梯度，此溫度梯度會使硅在坩堝的底部凝固，然后硅晶從底部向頂部生長。當所有的硅液都固化之后，鑄錠需經(jīng)過退火并按設(shè)計好的冷卻方式進行冷卻，以避免裂縫及消除應(yīng)力。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 系統(tǒng)硬件系統(tǒng)硬件 系統(tǒng)是由雙層且有冷卻水通過

16、的不銹鋼爐體、電源供應(yīng)系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)、控制柜及操作面板所組成。爐體內(nèi)包含石墨熱場及隔熱元件，一個梯子的平臺包圍在爐體的周圍，供操作者及維修人員進入。此平臺亦可放置變壓器及將電纜設(shè)施等水管、線整齊地布置于平臺的夾板下。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 爐體爐體 上爐體是一個倒鐘狀的形狀，由三個支柱固定。下爐體則是通過三個重型絲桿螺母副（jackscrews）安裝于上爐體。jackscrews之間是由可彎曲的驅(qū)動纜線同時驅(qū)動，一個大功率直流馬達控制這三個jackscrews的上下移動以上升或下降下爐體。使得坩堝/硅料裝填能裝入熱場及取出長成的硅錠。六個絕緣的銅電極從爐體上方穿入爐體，并提供大電流

17、的交流電至加熱器。三個可移動的部件在上爐體頂部，同樣是由可彎曲的驅(qū)動纜線連接至伺服馬達以控制隔熱籠的上下移動，從而控制硅錠的生長。三個隔熱籠支撐桿用焊接式不銹鋼的軟密封套密封，防止可能的漏氣。兩個壓力指示器讀取從大氣壓力至1x10-3mbar的壓力，一個質(zhì)流控制器（mfc）及相關(guān)的閥門控制在成長的過程中控制適當?shù)臍鍤饧昂獾妮斎搿筛鋮s水總管安裝在后支腳上，冷卻水歧管分配水流至爐體、電極和真空泵，下爐體會通過大量的水以吸收在成長過程中散發(fā)出的強烈的輻射熱。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 熱場熱場 熱場是由四組彎曲的石墨平板組成一個四方型的加熱器，每一片角落下部亦有連接板作連接，圍繞在坩堝的

18、四周，籍此可用平板式隔熱元件包覆在它周圍。隔離層是在兩層的不銹鋼籠內(nèi)，由三個支撐桿控制。隔離籠的石墨板使用平板狀，降低部件花費且容易更換。這些隔熱板互相交疊避免流失熱輻射。在下爐區(qū)有一塊大的用三支石墨桿支撐的石墨ds-block，可提供能調(diào)整的控制和散熱的平面，使晶成長過程為可控制的。另有兩片的平板式隔熱層置于ds-block之下，在長晶過程中隔熱籠通過三根提升棒上下移動，露出ds-block的邊緣和底部讓熱散出至水冷的下爐區(qū)壁，在熱場內(nèi)形成一個垂直的溫度梯度，強迫使熔液從底部開始凝固至上方。 dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 真空泵系統(tǒng)真空泵系統(tǒng) 真空泵系統(tǒng)由root blower及mech

19、anical backing pump組成，讓爐內(nèi)的壓力可以迅速降至0.05mbar。當制程壓力需維持在400600mbar時，由mechanical pump作用。ar氣是制程中壓力的一部分，進入的量由質(zhì)流控制器(mfc)控制，抽氣是由連接真空泵的比例調(diào)節(jié)閥（v3）調(diào)整?？諝鈮毫刂崎y（v1）用在關(guān)閉ar氣進氣系統(tǒng)及使爐體與真空系統(tǒng)分開。另設(shè)一個獨立的閥（v7）控制he氣在冷卻過程中可以通入。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 電源供應(yīng)系統(tǒng)電源供應(yīng)系統(tǒng) 165kva 的電源經(jīng)由水冷的纜線提供加熱組件功率，電源供應(yīng)分成兩個部份，第一個是位于夾層上靠近水冷的feedthroughs的降壓變壓器，變

20、壓器提供一個每相為最大壓力25vac、3800amps的輸出。另一個電源供應(yīng)柜位于夾層后方，內(nèi)含有控制提供電源至主變壓器初級線圈的scr控制器，此柜還含有控制電源的降壓變壓器、加熱器接觸器、真空泵接觸器、下爐體驅(qū)動馬達、各種電路斷路器和保險絲。scr控制器照著power set point的設(shè)定打開及關(guān)閉一定的時間(cycle time為4秒)，例如設(shè)定為30，scr控制器完全打開30的時間(1.2杪)及關(guān)閉70的時間(2.8杪)。scr控制器的循環(huán)時間為4秒，所以上例中scr的工打開時間為1.2秒，關(guān)閉時間為2.8秒，然后重復(fù)循環(huán)。這種類型的控制將大幅度提高整個系統(tǒng)的電源使用的功率因素和效率

21、。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 控制柜控制柜 控制柜內(nèi)有input/output模塊(i/o)、opto process controller(lcm4)、 power supplies、insulation motor drive及ups。還有必需的回路斷路器及保險絲以避免過載。來自此控制柜的電纜連接到電源控制柜和機器上的儀器及傳感器。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 操作控制臺操作控制臺 控制面板位于主腳架上并包含觸碰屏幕及計算機，三個警示燈及蜂鳴器 安裝于夾層下方，提醒操作者存在潛在的問題。緊急停止鈕位于面板右上方，讓操作者緊急關(guān)閉所有通至機臺輸出儀器的電源，這會讓機臺處于安全的狀況

22、。(關(guān)閉所有的氣閥、泵及電源供應(yīng))dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 注意緊急停止按鈕并不會移去所有的電源，在控制柜及電源供應(yīng)器內(nèi)還是含有危險的電壓在。 操作窗口操作窗口 接下來的部分會介紹操作者在控制dss時最常用到的窗口及功能。 alarms、overview、modes、recipe、manual (or real values)還有plot data 鍵都會顯示在屏幕的下方。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 alarms button alarms screen 當有聲音的警告出現(xiàn)而需要操作者注意時，會彈出這個當有聲音的警告出現(xiàn)而需要操作者注意時，會彈出這個警告窗口。有問題的項目會呈現(xiàn)紅

23、色，若是正常狀況下會呈警告窗口。有問題的項目會呈現(xiàn)紅色，若是正常狀況下會呈現(xiàn)綠色。在任何時間若想進入此窗口亦可壓下現(xiàn)綠色。在任何時間若想進入此窗口亦可壓下alarms screen鍵。按下鍵。按下silence alarm鍵以消除警告聲音，此鍵同鍵以消除警告聲音，此鍵同時也可以清除時也可以清除alarm狀況。當按下狀況。當按下silence alarm鍵時，若鍵時，若是是alarm持續(xù)存在則狀況仍為紅色；否則會變成綠色。所有持續(xù)存在則狀況仍為紅色；否則會變成綠色。所有的的alarms都是延遲的，即是紅色的狀況不會消失直到操作都是延遲的，即是紅色的狀況不會消失直到操作者按下者按下silence

24、alarm鍵，即使此鍵，即使此alarm已經(jīng)解除。已經(jīng)解除。 如果偵測到如果偵測到critical alarm（危急警告），電源關(guān)閉的（危急警告），電源關(guān)閉的倒數(shù)計時會激活，秒數(shù)歸零后倒數(shù)計時會激活，秒數(shù)歸零后power supply contactor會會關(guān)閉。所謂的關(guān)閉。所謂的critical alarms是指是指critical water flows、max temp及及max pressure。 有些報警會在當前屏幕的上方跳出一個新的窗口，這些有些報警會在當前屏幕的上方跳出一個新的窗口，這些跳出的窗口告訴操作者警告的一些額外的信息或要求操作者跳出的窗口告訴操作者警告的一些額外的信息或

25、要求操作者協(xié)助。另外，協(xié)助。另外，detail按鈕會出現(xiàn)在警告按鈕的左邊，能夠在按鈕會出現(xiàn)在警告按鈕的左邊，能夠在當細節(jié)窗口被關(guān)閉或隱藏時重新該窗口。例如：當細節(jié)窗口被關(guān)閉或隱藏時重新該窗口。例如：control tc1警告出現(xiàn)紅色，因此，警告出現(xiàn)紅色，因此，tc1細節(jié)按鈕被激活。除了壓力細節(jié)按鈕被激活。除了壓力警告、氬氣流量警告、泄漏檢查、警告、氬氣流量警告、泄漏檢查、plc電池不足、電池不足、cda供應(yīng)供應(yīng)以外，其它所有的警告都伴隨有細節(jié)按鈕的出現(xiàn)。以外，其它所有的警告都伴隨有細節(jié)按鈕的出現(xiàn)。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 power /phase loss screen 主電源丟失及相

26、的損失其回復(fù)是自動執(zhí)行的，會自動地將功率增加到損失時功率值之上一點點，如果損失時是溫度控制模式，會自動地轉(zhuǎn)換成溫度控制模式。當損失的情況已經(jīng)回復(fù)之后會要求操作者確認程序回到正常狀況下。電源丟失后若tc1溫度下降超出設(shè)定范圍外，而電力還未回復(fù)時，依照電力丟失時程序在哪個模式而決定程序會跳至冷卻程序或緊急冷卻步驟。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 另外還有兩個警告窗口：當隔熱籠的移動有問題時，會出現(xiàn)open manual insulation鈕；如果按下melt or growth end disable鈕則會出現(xiàn)end trigger disable鈕，指示操作者必須決定何時這些“end” 程序

27、結(jié)束。接觸器失效窗口接觸器失效窗口 當發(fā)生一個critical alarm且時間超過設(shè)定值，加熱器電源連接器會關(guān)閉，右方的窗口會彈出。此窗口可以關(guān)閉且contactor failure鈕會出現(xiàn)在模式窗口。關(guān)閉contactor failure窗口，允許操作者去檢查跳閘的原因。按下contactor failure細節(jié)按鈕contactor failure窗口又會出現(xiàn)。 dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 連接器失效按鈕連接器失效按鈕 操作者關(guān)閉連接器失效窗口并查明連接器關(guān)閉原因。連接器失效窗口可按 failure detail鈕打開。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)

28、概貌 模式窗口模式窗口 這可使連接器重新激活并回復(fù)功率至連接器關(guān)閉時之數(shù)值。當造成錯誤的問題排解后，打開加熱器電源連接器并在功率欄輸入連接器關(guān)閉時的數(shù)值或是高于5，用來補償溫度損失。接下來進入real values窗口去監(jiān)看程序以回復(fù)到正常狀況。如果連接器關(guān)閉時處于溫度控制模式，則當溫度爬升至之前的值后必須回到溫度控制模式。注意，機器仍處于暫停模式除非按下回復(fù)鈕。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 overview button 總窗口的中央顯示現(xiàn)在的模式、步驟及剩多少時間至下個步驟。ggti方框顯示機器的id號和當前的日期及時間，按id可改變名稱或爐子的標識這一特性只有在非自動運行模式時有用，

29、用windows control panel feature可改變pc的日期及時間，然后按change/sync time/ date鈕可使時間及日期與pc同步。overview screen 總窗口也顯示實時的功率設(shè)定值、溫度、壓力、氣體流量及水流量。電源供應(yīng)的電流及電壓也會顯示出來，但是這些值因為電源是持續(xù)的開關(guān)供應(yīng)而出現(xiàn)不穩(wěn)定的值。測量出最高功率的值會顯示在peak kva欄。 氣閥在開啟狀態(tài)是顯示綠色，關(guān)閉狀態(tài)則是紅色。質(zhì)流控制、壓力控制、隔熱區(qū)位置及pid控制都有detail screen可顯示詳細的測量值及趨勢圖，按下detail鈕可進入此窗口。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 d

30、ssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 這些窗口顯示實時測量的過程序變化值、設(shè)定值、輸出值及pid參數(shù)，并附有短時間的趨勢圖。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 mode button mode screen顯示自動成長的選項。正常時采用默認選項,當按下鈕即開始自動成長。time of day的開始是從auto mode開始算始的,后來的過程自動執(zhí)行。鍵入預(yù)設(shè)的日期和時間，然后按下time of day旁邊的綠色按鈕。機臺會預(yù)先做抽真空步驟，然后等待（自動成長時）開始計時。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 儲存recipe及讀取recipe鈕是讓操作者可以從硬盤選擇(讀

31、取)新的recipe或儲存recipe到硬盤內(nèi)。讀取或儲存recipe操作后，當前的recipe名稱會顯示出來。 當自動成長開始時，數(shù)據(jù)儲存的訊號會在屏幕上方閃爍，當前的模式、步驟及此步驟的殘余時間亦會顯現(xiàn)出來。 如果按下暫停鈕，在左下方會出現(xiàn)一些新的選項。如果需要跳至新的模式或是步驟，輸入新的時間及模式號碼(在屏幕的下方有各模式及其相對應(yīng)的號碼)，步驟號碼欄也會出現(xiàn)。輸入所期望的步驟號碼程序，填入新的數(shù)值，程序會從現(xiàn)在的步驟往前或往后跳至所輸入的步驟，采用新輸入的時間。也可藉此直接按下advance to next step鈕讓程序跳至下個步驟。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 advanc

32、e to next step button (閱讀自動成長章節(jié)以獲得更多有關(guān)跳程序的細節(jié))，當按下resume鈕會回復(fù)到自動成長程序。 當按下pause鈕時，abort auto鈕會出現(xiàn)。如果選擇abort會彈出另一個窗口詢問操作者是否確定要跳至緊急冷卻程序dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 是否真要跳出是否真要跳出 如果操作者選擇ok，程序會進入緊急冷卻，執(zhí)行完recipe中余下的程序；選擇cancel會回到模式窗口。如果錯誤地跳轉(zhuǎn)到緊急冷卻，處理的快的話或是在按下resume鍵前，跳回前面的自動成長步驟是有可能的。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 這個窗口允許操作者去修正這些項目，但是在自動

33、模式下不能修改。這些項目與recipe的值互相搭配以控制在自動過程中的各部份條件。(翻閱advanced functions部分可得到較完全信息)dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 pid values screen 此窗口顯示溫度、氣體流入及氣體流出的此窗口顯示溫度、氣體流入及氣體流出的pidpid控制回路的數(shù)值控制回路的數(shù)值，pid pid 調(diào)節(jié)的數(shù)值可在屏幕上修改。調(diào)節(jié)的數(shù)值可在屏幕上修改。 修改這些參數(shù)可能會擾亂機臺的控制，只有經(jīng)過審核的修改這些參數(shù)可能會擾亂機臺的控制，只有經(jīng)過審核的人員可以修改這些數(shù)值。人員可以修改這些數(shù)值。 manual button 此鈕只有進入自動運行時才會出現(xiàn)

34、，與機器不是在自動程序時屏幕右下方的manual鈕作用一樣。按下此鈕會出現(xiàn)另一個窗口詢問操作是否真的要手動進行，且必須輸入密碼才能打開手動窗口。 dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌manual screen(需要密碼需要密碼 進入進入)打開手動窗口會使自動程序進入暫停狀況，且可對自動成長做重大改變。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 只有經(jīng)過審核的人員可以嘗試更改這些參數(shù)、打開或關(guān)閉閥只有經(jīng)過審核的人員可以嘗試更改這些參數(shù)、打開或關(guān)閉閥門、移動隔熱籠位置或開關(guān)電源供應(yīng)等。在做任何變更以前必須要有門、移動隔熱籠位置或開關(guān)電源供應(yīng)等。在做任何變更以前必須要有清醒的認定，對任何的變動所產(chǎn)生之影響要有全盤

35、的了解。清醒的認定，對任何的變動所產(chǎn)生之影響要有全盤的了解。直到當前直到當前的步驟跑完，機器將不會有自動的行為對人為的變動做補救的步驟跑完，機器將不會有自動的行為對人為的變動做補救。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 pumpdown screen 抽真空的項目檢查窗口與抽真空鈕在自動過程中的抽真空步驟會出現(xiàn)dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 recipe button recipe screen 按下在任何屏幕下方的recipe鈕，可顯示出四頁recipe中的第一頁。在recipe窗口的右上方有按鍵可前后翻頁。recipe能夠在模式窗口中讀取及儲存，但是只可在這窗口中用列表中模式和步驟代碼創(chuàng)建或

36、修改recipe。這些步驟會按照指令執(zhí)行并自動跑完設(shè)定的時間。在advanced functions章節(jié)對于創(chuàng)建及修改recipe部分有詳細的描述。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 manual buttonmanual screen 當機器不是處于自動模式，屏幕下方會顯示手動窗口按鈕。此按鈕會顯示如上方窗口，允許操作者操縱閥門、打開或關(guān)閉電源供應(yīng)連接器、改變功率及溫度設(shè)定值、調(diào)整壓力值及隔熱區(qū)移動的目標位置，在壓力大于950mbar時也可按chamber lift鈕控制下爐體的移動；按manual insulation鈕則可移動隔熱區(qū)上下。按下press once to backfill鈕，

37、可使爐體也可回復(fù)到大氣壓力。如果輸入正確的密碼，按下maint鈕維護窗口會出現(xiàn)見維護手冊。在自動模式下，進入手動窗口時此按鈕不可見。 如果機臺處于自動模式，窗口下方不會出現(xiàn)manual鈕，但是會出現(xiàn)在模式窗口中。在進入手動窗口做任何改變閥、連接器參數(shù)等之前，必須輸入密碼。在自動模式下manual鈕的地方會被窗口下方叫real value鈕取代，此窗口可設(shè)定功率、溫度、壓力等之極限值。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 real values screendssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 manual insulation screen 此窗口可按在手動窗口上方的manual insulation

38、鈕進入，可上下移動隔熱籠以幫助上、下料等。按最上方一欄的提示，可輸入新的移動目標及移動速度再按run即會開始移動。隔熱籠會以新的速度移動到新的位置后再停止。當隔熱籠移動到距離目標0.5cm時，速度會自動降至2cm/min.。 中間欄的信息顯示現(xiàn)在隔熱籠的位置、隔熱籠速度及移動限制開關(guān)的狀態(tài)，紅色是表示隔熱籠位于上或下端；綠色表示隔熱籠在兩端之間的某個位置。position offset是要修正在隔熱籠的motor drive control(mdc)之電源關(guān)閉后儲存在計算機的位置，低點的homing routine會執(zhí)行。position counts是顯示隔熱籠mdc的總計算位置，通常可以忽

39、略不理。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 查閱維修手冊。當隔熱籠在關(guān)閉（零位）時，如果查閱維修手冊。當隔熱籠在關(guān)閉（零位）時，如果 counts counts 之值超過之值超過 30,000,000 30,000,000 和和 offset offset 之值超過之值超過 5 cm 5 cm，隔熱籠的，隔熱籠的mdcmdc能夠使能夠使countscounts累計重新置零，迫使隔熱籠的位置偏移接近零累計重新置零，迫使隔熱籠的位置偏移接近零。 下方字段的信息及按鈕通常顯示mdc的狀態(tài)，其它的按鈕及操作只有在drive有問題的時候才會出現(xiàn)。 通常剎車是處于松開狀態(tài)，除非mdc有問題或是電源關(guān)閉才會鎖

40、緊。 如果剎車激活，則隔熱籠不能移動。如果剎車激活，則隔熱籠不能移動。 如果drive有錯誤，motor fault會從綠色變?yōu)榧t色，drive重置按鈕會出現(xiàn)，按下此鈕會嘗試重置此錯誤。如果錯誤沒有清除，找出控制柜中隔熱籠mdc錯誤代碼并與廠商（pacific scientific）聯(lián)絡(luò)以獲得更多信息。通常試著去關(guān)閉再開啟mdc的電源可清除錯誤。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 manual insulation screen with “homing” routinedssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 drive comm fault紀錄從motor drive傳送或接收的速度及位置的通訊錯誤

41、總次數(shù)。出現(xiàn)5-8次錯誤記錄問題不大，但如果錯誤記錄迅速增加，特別連續(xù)錯誤記錄上升超過50時，就存在問題了。如果發(fā)生這種狀況，先按下stop motor鈕，檢查通訊崩潰的原因。當馬達停止時drive comm fault會重置為0。 如果隔熱籠達到低點限制位置，“homing routine”會激活而且run home routine鈕及reset home timer數(shù)值會出現(xiàn)且時間會開始倒數(shù)。這會使隔熱籠以0.5cm/min.的速度向上移動且reset home timer會跑60sec.。當隔熱籠向上跑離限制開關(guān)后馬達會停止。程序會在此位置調(diào)整補償值強制讓位置歸零，即是所有位置移動的參考

42、零點。如果低點限制開關(guān)還是紅色，可以按run home routine鈕執(zhí)行routine程序。 如果有速度偏差或drive comm fault的次數(shù)大于9，隔熱籠移動的警示按鈕會變紅而且馬達會停止。按此insulation lift alarm鈕去重置錯誤。在此窗口下面也會顯示一些錯誤排解信息。繪圖資料（以圖表的形式顯示在屏幕的右下角）。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 plot data button 可按窗口右下方的圖標標志進入此窗口 plot data screen （heat） 這個趨勢窗口顯示5個小時的8條實時曲線，可以觀察功率、3個熱電偶溫度、爐內(nèi)壓力、隔熱區(qū)位置、硅溶化pyr

43、ometer的值及紅色警示燈。每個曲線都可以在某個特別或干擾處放大倍率或出出現(xiàn)異常情況的分析。historical function也可觀察之前5小時所記錄的資料，以分析之前過程。 記得在選擇其它窗口前要執(zhí)行實時的擷取資料。 plot data screen (melt end) 下面的窗口顯示了典型的溶化結(jié)束曲線。下面的窗口顯示了典型的溶化結(jié)束曲線。 melt pyrometermelt pyrometer的位置顯示在窗口中的位置顯示在窗口中綠色表示綠色表示melt melt pyrometerpyrometer正在觀察硅溶化。正在觀察硅溶化。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 dssdss爐

44、系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 melt and growth end trend screen 下面的窗口可得到第二個趨勢圖。下面的窗口可得到第二個趨勢圖。 這里顯示了更多的功率和這里顯示了更多的功率和ds-blockds-block溫度細節(jié)，使確定溶化結(jié)束或角溫度細節(jié)，使確定溶化結(jié)束或角部晶生長結(jié)束更容易，等等。這些曲線的斜率和它們當前的數(shù)值也顯示出部晶生長結(jié)束更容易，等等。這些曲線的斜率和它們當前的數(shù)值也顯示出來，可以和主參數(shù)表的來，可以和主參數(shù)表的triggertrigger值相比較。為了幫助確定結(jié)束點，趨勢圖值相比較。為了幫助確定結(jié)束點，趨勢圖的比例可擴大或縮小。的比例可擴大或縮小。dssdss爐系統(tǒng)概貌爐系統(tǒng)概貌 power profiles screen 通過power profiles鈕出現(xiàn)一窗口。正常運行時，模式號碼、步驟號碼、功率設(shè)定值和絕熱區(qū)的位置每五分鐘在表中存儲一次。當熱電偶失效時，這些表創(chuàng)建的功率設(shè)定的和絕熱區(qū)的位置數(shù)據(jù)文件能夠