微機(jī)電系統(tǒng)及納米技術(shù)大作業(yè)--微壓力傳感器

1、微機(jī)電系統(tǒng)及納米技術(shù)大作業(yè)題目：微型壓力傳感器 微型壓力傳感器摘要：MEMS壓力傳感器是微系統(tǒng)世界里第一個出現(xiàn)的MEMS器件，該項技術(shù)已相當(dāng)成熟 ，在當(dāng)今的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)中，壓力傳感器扮演了很重要的角色。由于MEMS壓力傳感器具有高性能、低成本和小尺寸等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛地應(yīng)用于汽車電子、工業(yè)控制、消費(fèi)電子、航天航空和醫(yī)療領(lǐng)域等。MEMS壓力傳感器在每個領(lǐng)域中都在尋找新應(yīng)用，例如：汽車領(lǐng)域的汽缸壓力感測、醫(yī)療領(lǐng)域的循環(huán)正氣壓儀（CPAPM）、消費(fèi)電子領(lǐng)域的智能手機(jī)（三星Galaxy S3的室內(nèi)導(dǎo)航）和平板電腦。雖然所有這些新興應(yīng)用處于起步階段，但是前途不可限量。關(guān)鍵字：MEMS，壓力傳感器1. 發(fā)展歷程

2、1824年，正是由于瑞典化學(xué)家發(fā)現(xiàn)了硅，才為今天的電子工業(yè)革命奠定了材料基礎(chǔ)。在1947年，Bell實(shí)驗室利用半導(dǎo)體禇研制的第一個晶體管又為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)奠定了基石?，F(xiàn)如今，短短60年時間，微電子技術(shù)已成為了我們生活中不可或缺一部分。這其中，MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，MEMS技術(shù)也正在不動聲色地改變著我們生活方式。噴墨打印機(jī)的噴墨頭，智能手機(jī)的旋轉(zhuǎn)感應(yīng)，數(shù)碼相機(jī)的防抖系統(tǒng)等等全部引入了MEMS技術(shù)?，F(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志， 而半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個階段： （

3、1）發(fā)明階段（1945 - 1960年）：這個階段主要是以 1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后，半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。史密斯（C.S. Smith）于1945年發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng)，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時，其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上， 即將力信號轉(zhuǎn)化為電信號進(jìn)行測量。此階段最小尺寸大約為 1cm。 （2）技術(shù)發(fā)展階段（1960 - 1970年）：隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展，技術(shù)人員在硅的晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片，稱為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕

4、、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了金屬- 硅共晶體，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。 （3）商業(yè)化集成加工階段（1970 - 1980年）：在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主，發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)，主要有V形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機(jī)控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進(jìn)行腐蝕，數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式，成本進(jìn)一步降低。 （4）微機(jī)械加工階段（1980年-現(xiàn)在）：上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù)，使得微機(jī)械加工工藝成為可能。通過微機(jī)械加工工藝可以

5、由計算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器，其線度可以控制在微米級范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜，使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段。2. 壓力傳感器類型與原理壓力傳感器已經(jīng)普遍使用在汽車、壓力容器、氣體輸送管道和真空設(shè)備中。以汽車為例，汽車中進(jìn)氣歧管絕對壓力傳感器能夠根據(jù)發(fā)動機(jī)的負(fù)荷狀態(tài)測出進(jìn)氣歧管內(nèi)絕對壓力（真空度）的變化，并轉(zhuǎn)換成電壓信號，與轉(zhuǎn)速信號一起輸送到電控單位，作為確定噴油器基本噴油量的依據(jù)。測量壓力的方法有很多種，基本原理就是把壓力轉(zhuǎn)化為敏感材料的長度和厚度等尺寸變化來測量。敏感元件可以是壓阻計、諧振應(yīng)變片或一個變化的電容。壓力傳感器中的彈性元件通常都采用金屬或者半導(dǎo)

6、體膜。硅材料由于其蠕變小、耐疲勞、回滯小、小尺寸、高彈性模量和低密度的特點(diǎn)使壓力傳感器取得突破進(jìn)展。按照讀出原理不同，微壓力傳感器可以分為壓電式、壓阻式、電容式、諧振式和光纖式等不同形式。（1）.壓阻式壓力傳感器作為應(yīng)用最廣的一類微型壓力傳感器，硅壓阻式壓力傳感器出現(xiàn)于20世紀(jì)60年代，它也是第一類能進(jìn)行批量生產(chǎn)的MEMS傳感器。目前，硅壓阻式壓力傳感器在全世界的年產(chǎn)量已上億，應(yīng)用于汽車進(jìn)汽油管的壓力測量，以控制注油量并淘汰了傳統(tǒng)的汽化器。用作一次性的生理壓力傳感器，以避免交叉感染，還可用于汽車輪胎氣壓測量、水深測量等。   壓阻式壓力傳感器的工作原理是基于壓阻效應(yīng)。用擴(kuò)散

7、法將壓敏電阻制作到彈性膜片里，也可以沉積在膜片表面上。這些電阻通常接成電橋電路以便獲得最大輸出信號及進(jìn)行溫度補(bǔ)償?shù)?。此類壓力傳感器的?yōu)點(diǎn)是制造工藝簡單、線性度高、可直接輸出電壓信號。存在的主要問題是對溫度敏感，靈敏度較低，不適合超低壓差的精確測量。圖1所示為體加工得到的壓阻式微型壓力傳感器的主體結(jié)構(gòu)。壓敏電阻沉積在彈性膜片表面上，一般位于膜片的固定邊緣附近。電阻與膜片之間有一層SiO2作為隔離層。彈性膜片的典型厚度為數(shù)十微米，是從硅片背面刻蝕出來的。在線性工作范圍內(nèi)，壓敏電阻感受膜片邊緣的應(yīng)變，輸出一個與被測壓力成正比的電信號。彈性膜片的厚度會嚴(yán)重影響受壓變形后的撓度，因此當(dāng)?shù)竭_(dá)適當(dāng)厚(深)度

8、時的刻蝕停止技術(shù)尤為關(guān)鍵。由于是從硅片背面進(jìn)行硅膜刻蝕的，所以有可能與標(biāo)準(zhǔn)IC工藝相結(jié)合，將傳感部分和處理電路做成一體。1983年豐田公司率先開發(fā)出帶有片上電路的微型壓力傳感器。  壓阻式傳感器的工作原理可總結(jié)如下：壓敏電阻與壓力敏感膜片集成為一體；壓力作用下，敏感膜片發(fā)生變形；壓敏電阻值的變化對應(yīng)膜片變形，從而間接反映出被測壓力值；通過電橋電路對壓敏電阻的變化值進(jìn)行測量。圖1  壓阻式微型壓力傳感器的主體結(jié)構(gòu) （2）.諧振式壓力傳感器諧振式微型壓力傳感器分兩種類型。第一種直接利用振動膜結(jié)構(gòu)，諧振頻率依賴于膜片的上下面壓差。另一種是在膜片上制作振動結(jié)構(gòu)，上下表面的

9、壓差導(dǎo)致膜片翹曲，振動結(jié)構(gòu)的諧振頻率隨膜片的應(yīng)力而變化。  諧振式壓力傳感器可以獲得很高精度，輸出頻率直接是數(shù)字信號，具有強(qiáng)的抗干擾能力。諧振式壓力傳感器的缺點(diǎn)是制造工藝相對復(fù)雜，振動元件若集成在壓力敏感膜上，二者的機(jī)械耦合會引起一些問題。  圖2所示為一種商業(yè)化的諧振式壓力傳感器。由兩平行梁構(gòu)成的H形諧振器集成在壓力敏感膜片上，其中一根梁通激勵電流，在磁場中受洛倫茲力影響而發(fā)生振動。另一根梁也處于磁場中，可以利用感應(yīng)電壓對振動進(jìn)行檢測，從而確定膜片的應(yīng)力狀態(tài)，進(jìn)一步得到被測壓力值。該諧振器工作在局部真空狀態(tài)，減少了空氣阻尼影響，獲得高的Q值。  圖2 采用諧振梁

10、的微型壓力傳感器（3）.電容式壓力傳感器電容式微型壓力傳感器通常是將活動電極固連在膜片表面上，膜片受壓變形導(dǎo)致極板間距變化，形成電容變化值。這類傳感器曾被用于緊急輸血時的血壓計，或用作眼內(nèi)壓力監(jiān)測器，以檢測青光眼等眼球內(nèi)壓反常升高的疾病等。  圖3所示為通過體加工工藝得到的電容式微型壓力傳感器。由各向異性刻蝕單晶硅制作出敏感膜片，通過膜片周圍的固定部分與兩玻璃片鍵合在一起。為減小應(yīng)力，硅材料與鍵合玻璃片的熱膨脹系數(shù)要近似匹配。彈性膜片固連的活動電極和玻璃片上的固定極板構(gòu)成電容器，同時膜片周圍的固定部分與玻璃片之間還形成不受壓力變形影響的參考電容。測量電路制作在同一硅片上，從而形成機(jī)電

11、單片集成的微型傳感器。該傳感器芯片的平面尺寸約為8mm×6mm。圖3  電容式微壓力傳感器一般電容式壓力微型傳感器受溫度影響很小，能耗低，相對靈敏度高于壓阻式傳感器，通常能獲得30%50%的電容變化，而壓阻器件的電阻變化最多只有2%5%。通過電容極板的靜電力可以對外壓力進(jìn)行平衡，所以電容式結(jié)構(gòu)還能實(shí)現(xiàn)力平衡式的反饋測量。  因為電容變化與極板間距成正比，因此非線形是變間距電容式傳感器的固有特征之一。另外，輸出電容變化信號往往很小，需要相對復(fù)雜的專門接口電路。接口電路要和傳感器集成在同一芯片上，或盡量安裝靠近傳感器芯片的位置，以避免雜散電容的影響。（4）.壓電式壓力

12、傳感器壓電式壓力傳感器是基于壓電效應(yīng)的壓力傳感器。它的種類和型號繁多，按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成（見圖4）。壓電元件支撐于本體上，由膜片將被測壓力傳遞給壓電元件，再由壓電元件輸出與被測壓力成一定關(guān)系的電信號。這種傳感器的特點(diǎn)是體積小、動態(tài)特性好、耐高溫等。現(xiàn)代測量技術(shù)對傳感器的性能出越來越高的要求。例如用壓力傳感器測量繪制內(nèi)燃機(jī)示功圖，在測量中不允許用水冷卻，并要求傳感器能耐高溫和體積小。壓電材料最適合于研制這種壓力傳感器。目前比較有效的辦法是選擇適合高溫條件的石英晶體切割方法,例如XY（+20°+30°）割

13、型的石英晶體可耐350的高溫。而LiNbO3單晶的居里點(diǎn)高達(dá)1210，是制造高溫傳感器的理想壓電材料。 圖4 壓電式壓力傳感器（5）.光纖式壓力傳感器光纖壓力傳感器作為一種新型的傳感器，與傳統(tǒng)的壓力傳感器相比體積小、重量輕，具有電絕緣性、不受電磁干擾、可用于易燃易爆的環(huán)境中等優(yōu)點(diǎn)，另外還可以構(gòu)成光纖分布式壓力傳感器，對橋梁、大壩等進(jìn)行健康狀況的實(shí)時監(jiān)測。光纖壓力傳感器分為功能型光纖壓力傳感器和非功能型光纖壓力傳感器。功能型光纖壓力傳感器：在外界的壓力作用下對光纖自身的某些光學(xué)特性（強(qiáng)度，相位等）進(jìn)行調(diào)制，調(diào)制區(qū)在光纖之內(nèi)，光纖同時具有“感知”和“傳輸”兩種功能，因此又稱為內(nèi)調(diào)制光纖壓力傳感器或

14、者傳感型光纖壓力傳感器。非功能型光纖壓力傳感器:借助其他光學(xué)敏感元件來完成傳感功能，調(diào)制區(qū)在光纖之外，光纖在系統(tǒng)中只起傳輸作用，因此稱為調(diào)制光纖壓力傳感器，或者傳光型光纖壓力傳感器。 圖5 光纖式壓力傳感器光纖壓力傳感器特點(diǎn)：1. 尺寸?。?. 封裝堅固;3. 精度高;4. 熱轉(zhuǎn)換低;5. 電磁/射頻免疫，本質(zhì)安全。光纖壓力傳感器應(yīng)用于：1. 高溫環(huán)境；2. 高電壓環(huán)境；3. 危險環(huán)境；4. 航空與防衛(wèi)；5. 工業(yè)工程控制和監(jiān)控；6. 在有限空間，危險和強(qiáng)電磁/射頻/核磁共振環(huán)境下的靜態(tài)或動態(tài)壓力測量。3. 壓力傳感器制造工藝一般MEMS器件的工藝流程如下：每種傳感器又因設(shè)計等原等不同選擇不同

15、的制造的工藝?，F(xiàn)在以一種高溫電容式壓力傳感器威力介紹其MEMS工藝。如圖6，高溫壓力傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構(gòu)成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術(shù)，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術(shù)鍵合在一起，形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。 圖6 高溫壓力傳感器制造工藝4. 微壓力傳感器接口電路放大電路壓力傳感器壓力信號應(yīng)用微壓力傳感器對壓力的感應(yīng)特性，將壓力轉(zhuǎn)換為模擬的電壓輸出，此輸出信號不能直接由單片機(jī)處理。因此，需要經(jīng)A/D 轉(zhuǎn)換為數(shù)字量。單片機(jī)通過對此數(shù)字量的處理，獲得實(shí)

16、際的壓力值，并通過液晶屏顯示。整個電路的設(shè)計分4 大部分：電橋電路、放大電路、A/D 轉(zhuǎn)換電路、LCD 顯示電路。 微處理器壓力信號A/D轉(zhuǎn)換圖7 微壓力傳感器接口電路框圖5.壓力傳感器的應(yīng)用MEMS 壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子：如 TPMS、發(fā)動機(jī)機(jī)油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動機(jī)進(jìn)氣歧管壓力傳感器（TMAP）、柴油機(jī)共軌壓力傳感器。消費(fèi)電子：如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤，洗衣機(jī)、洗碗機(jī)、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器，空調(diào)壓力傳感器，洗衣機(jī)、飲水機(jī)、洗碗機(jī)、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器。工業(yè)電子：如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表、工業(yè)配料稱重等。航空航天領(lǐng)域

17、等。6. 壓力傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢在這里我們援引Yole Développement在2013年度對MEMS壓力傳感器的市場調(diào)查和預(yù)測報告說明一下MEMS壓力傳感器的發(fā)展?fàn)顩r。經(jīng)過多年的沉寂， MEMS壓力傳感器市場將煥發(fā)新春，其原因是消費(fèi)電子應(yīng)用強(qiáng)力的推動（尤其是智能手機(jī)和平板電腦），預(yù)計該領(lǐng)域的復(fù)合年增長率將達(dá)到22%。預(yù)計全球市場規(guī)模將從2012年的19億美金增長到2018年的30億美金，2018年出貨量可達(dá)28億個。新興的消費(fèi)電子應(yīng)用正推動MEMS壓力傳感器市場增長和競爭者洗牌當(dāng)今的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)中，壓力傳感器扮演了很重要的角色。由于MEMS壓力傳感器具有高性能、低成本和小尺寸

18、等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛地應(yīng)用于汽車電子、工業(yè)控制、消費(fèi)電子、航天航空和醫(yī)療領(lǐng)域等。MEMS壓力傳感器是微系統(tǒng)世界里第一個出現(xiàn)的MEMS器件，該項技術(shù)已相當(dāng)成熟，且市場空間很大。預(yù)計市場規(guī)模將從2012年的19億美金增長到2018年的30億美金。MEMS壓力傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域，尤其是智能手機(jī)和平板電腦，將跟隨加速度計和陀螺儀的步伐，出現(xiàn)一輪新的爆發(fā)增長。Yole Développement相信巨大的市場商機(jī)將使得MEMS壓力傳感器的出貨量再創(chuàng)新高，預(yù)計2018年可達(dá)28億個。其中，消費(fèi)類壓力傳感器的出貨量將高達(dá)17億個，超過一直領(lǐng)先的汽車電子領(lǐng)域。盡管消費(fèi)類壓力傳感器的價格比其它應(yīng)用要低很多

19、，但是這部分市場將給全球MEMS壓力傳感器市場貢獻(xiàn)超過8%的復(fù)合年增長率。該報告數(shù)據(jù)于2012年收集整理，并提供2013-2018年市場預(yù)測。在這份報告中，我們給大家介紹全球MEMS壓力傳感器市場、技術(shù)現(xiàn)狀和競爭格局，覆蓋的行業(yè)范圍包括：* 汽車應(yīng)用* 工業(yè)應(yīng)用* 醫(yī)療應(yīng)用* 消費(fèi)電子應(yīng)用* 高端應(yīng)用（航空、軍事、國防）針對以上每個領(lǐng)域，該報告將提供市場狀況、主要應(yīng)用、當(dāng)前市場數(shù)據(jù)和預(yù)測、主要廠商和產(chǎn)品。汽車應(yīng)用仍然主導(dǎo)MEMS壓力傳感器市場，TPMS、MAP和BAP是該領(lǐng)域的主要應(yīng)用。汽車、醫(yī)療、工業(yè)和高端市場的增長率分布在4%7%，而消費(fèi)電子市場增長率則高達(dá)22%（出貨量增長38%），其原

20、因是智能手機(jī)和平板電腦帶來的新機(jī)遇。MEMS壓力傳感器在每個領(lǐng)域中都在尋找新應(yīng)用，例如：汽車領(lǐng)域的汽缸壓力感測、醫(yī)療領(lǐng)域的循環(huán)正氣壓儀（CPAPM）、消費(fèi)電子領(lǐng)域的智能手機(jī)（三星Galaxy S3的室內(nèi)導(dǎo)航）和平板電腦。雖然所有這些新興應(yīng)用處于起步階段，但是前途不可限量。Yole Développement相信MEMS壓力傳感器將尋找各種新的途徑來滿足每個領(lǐng)域的終端用戶需求。相比其它技術(shù)，MEMS技術(shù)繼續(xù)獲得更多的市場份額相比其它的現(xiàn)有技術(shù)，如陶瓷厚膜、陶瓷電容和薄膜技術(shù)，MEMS壓力傳感器擁有很多優(yōu)勢。如今，基于MEMS技術(shù)的低成本、低功耗和高精度的低壓傳感器正驅(qū)動壓力傳感器發(fā)展。

21、但是有些惡劣的使用環(huán)境，如高溫、腐蝕，仍需要薄膜技術(shù)來制作壓力傳感器。MEMS壓力傳感器制造商也正在研究可以應(yīng)用于惡劣環(huán)境的器件，如碳化硅MEMS壓力傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀會在報告中描述。為了更好地理解MEMS壓力傳感器在全球市場中的定位，Yole Développement對不同技術(shù)制作的壓力傳感器進(jìn)行了分析和對比。超過50多個公司角逐分散的市場由于MEMS壓力傳感器的市場巨大，因此我們對超過50多個公司參與競爭，并不感到驚訝。這是MEMS市場中最分散的之一。排名前五的公司（Bosch、Denso、Sensata, GE Sensing和Freescale）占據(jù)約50%市場份額。汽車、醫(yī)

22、療、工業(yè)和高端市場已經(jīng)有成熟的領(lǐng)導(dǎo)者和一些小公司。消費(fèi)電子市場是新興的，一些傳統(tǒng)的MEMS傳感器公司對此很感興趣。還包括汽車市場的競爭對手情況，許多公司都瞄準(zhǔn)該行業(yè)，但Bosch一直主導(dǎo)汽車領(lǐng)域。汽車行業(yè)的供應(yīng)鏈很復(fù)雜，有不同類型的公司：汽車整車制造商、一級汽車零部件及系統(tǒng)供應(yīng)商、傳感器封裝公司和MEMS芯片生產(chǎn)廠家。隨著新的機(jī)遇的出現(xiàn)在消費(fèi)電子市場中，美國和中國出現(xiàn)了一些初創(chuàng)公司。中國本土的公司正努力滿足國內(nèi)巨大的汽車和消費(fèi)電子市場。7.智能壓力傳感器智能傳感器作為傳感器發(fā)展的方向，現(xiàn)已經(jīng)出現(xiàn)并且投入使用。所謂智能壓力傳感器就是一種帶有微處理器(單片機(jī))的，兼有信息檢測、信號處理、信息記憶、

23、邏輯思維判斷功能的壓力傳感器。顯然，智能壓力傳感器具有較強(qiáng)的信息處理功能的能力，這主要是通過微處理器的程序來完成的，也就是說智能壓力傳感器是硬件電路和軟件程序結(jié)合的產(chǎn)物”。因此，智能壓力傳感器是既有獲得信息的能力又有信息處理功能的傳感器系統(tǒng)。智能壓力傳感器具備學(xué)習(xí)、推理、感知、通訊及管理的功能，其典型結(jié)構(gòu)如圖8所示。 圖8 智能傳感器典型結(jié)構(gòu)框圖智能壓力傳感器特點(diǎn)：(1)精確度高：智能壓力傳感器有多項功能來保證它的高精確度；智能壓力傳感器系統(tǒng)通常都具有自選量程、自校準(zhǔn)、自動修正各類誤差、自動補(bǔ)償?shù)裙δ埽@些功能通過軟件來解決，明顯比硬件解決要好。(2)高可靠性和高穩(wěn)定性：智能壓力傳感器能自動因

24、工作條件和環(huán)境參數(shù)發(fā)生變化后引起系統(tǒng)特性的漂移，具有自動切換量程、自診斷、判斷和決策處理等功能。(3)高信噪比和高分辨率：智能壓力傳感器具有數(shù)掘存儲、記憶與信息處理功能，能夠通過軟件進(jìn)行數(shù)字濾波、相關(guān)分析等處理，它可以去除輸入數(shù)據(jù)中的噪聲，可以通過數(shù)據(jù)，這樣保證了對特定參數(shù)測量的分辨能力。(4)強(qiáng)自適應(yīng)性：智能壓力傳感器具有判斷、分析與處理功能，它根據(jù)系統(tǒng)工作情況決策各部分的供電情況和與上位機(jī)的數(shù)據(jù)傳輸速率，從而使系統(tǒng)在最有低功耗狀態(tài)和優(yōu)化傳送率，而且它具有多種自補(bǔ)償功能。(5)設(shè)計制造容易，使用維修簡單：由于智能壓力傳感器的大部分功能都是通過軟件程序?qū)崿F(xiàn)的，而它的硬件電路相對來講是比較簡單，且制造容易。同樣，若智能壓力傳感器出現(xiàn)故障，除本身具有自尋故障，發(fā)出警報功能外，對它進(jìn)行維修主要就是優(yōu)化軟件程序。(6)集中控制：由于智能壓力傳感器采用微處理器對整個系統(tǒng)進(jìn)行控制，而且微處理器具有強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理能力和控制能