內(nèi)光成像開路案例分析教材

1、目錄目錄一、分析背景一、分析背景二、缺陷分析二、缺陷分析三、原因分析三、原因分析四、分析結(jié)果四、分析結(jié)果五、改善措施五、改善措施一、分析背景一、分析背景1.1光成像：光成像是對貼在印制板上的光致抗蝕劑進(jìn)行曝光，將菲林/文件上的圖形轉(zhuǎn)移到貼了感光膜的板面上，然后經(jīng)過顯影形成圖像的一種方法。而開路是其最為常見的一種缺陷。前處理前處理顯影顯影曝光曝光貼膜貼膜退膜退膜蝕刻蝕刻正片正片負(fù)片負(fù)片1.2光成像9月缺陷柏拉圖1.36-9月光成像分月缺陷情況二、缺陷分析二、缺陷分析2.1案例選擇2.2 缺陷展示2.3 缺陷比對選板缺陷 該型號共有4塊報廢板，開路類型各異，所選板為非圓滑開口。同型號對比同型號對比

2、不同型號對比不同型號對比2.4 對比結(jié)果 開路缺陷大致可分為兩種類型：開路邊緣圓滑型和棱角鮮明型；而圓滑型主要是由于膜下雜質(zhì)導(dǎo)致側(cè)蝕過度形成的，棱角鮮明型主要是由于膜上雜質(zhì)導(dǎo)致曝光不良形成的。 從同型號的對比可看出開路形狀各異，有圓滑型也有棱角鮮明型，缺陷位置也各不相同，說明該型號的開路報廢是偶然因素造成的；而我們所選板開路缺陷為棱角鮮明型，開路邊緣呈凹狀，大小尺寸為100um級，這說明極有可能是由于膜上雜質(zhì)引起的。 從不同型號的比對可看出，開路原因更加多樣化，有劃傷、掉膜、過蝕等多種因素引起，說明在生產(chǎn)該報廢板時產(chǎn)生問題較多。三、原因分析三、原因分析3.1 魚骨圖機(jī)人法環(huán)局部曝光能量不足局部

3、曝光能量不足前處理不良前處理不良壓轆凹坑壓轆凹坑DESDES藥水異常藥水異常貼膜壓力過低貼膜壓力過低貼膜溫度過低貼膜溫度過低潔凈度不夠潔凈度不夠膜下雜物膜下雜物貼膜后干膜擦花貼膜后干膜擦花轉(zhuǎn)序劃傷轉(zhuǎn)序劃傷菲林上雜物菲林上雜物水洗壓力過大水洗壓力過大蝕刻溫度過高蝕刻溫度過高 內(nèi)層開路內(nèi)層開路物貼膜速度過快貼膜速度過快3.2 原因排除物的因素： 藥水異常會導(dǎo)致過度顯影或過度蝕刻，均有可能形成開路。經(jīng)過我們查詢藥水濃度并與標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對，發(fā)現(xiàn)各顯影、蝕刻線藥水均正常，故可排除該因素。機(jī)的因素： 壓轆凹坑也會在后續(xù)過程中由于貼膜不緊，干膜脫落從而銅被蝕刻成開路，但經(jīng)過查看該型號所有缺陷板的開路形狀，發(fā)現(xiàn)

4、都不相同，故也可排除該因素。 前處理不良會導(dǎo)致干膜貼附不緊，在后續(xù)過程中也有可能發(fā)生干膜脫落導(dǎo)致銅被蝕刻形成開路，但我們查看前處理各工藝控制項發(fā)現(xiàn)均正常，故可排除該因素。生產(chǎn)當(dāng)天記錄：正常環(huán)的因素： 潔凈度不夠可能會有雜質(zhì)附于膜下或膜上（貼膜或曝光時等），形成針孔等缺陷。經(jīng)過查詢最近兩周的潔凈度報告，發(fā)現(xiàn)均有多項不合格，其中14號的自動貼膜機(jī)處和干膜顯影機(jī)放板口都嚴(yán)重超標(biāo)，但所測雜質(zhì)顆粒最大尺寸僅為5um，與缺陷處尺寸（100um左右）相差較大，故該因素也可排除。環(huán)的因素： 膜下雜質(zhì)會在蝕刻時脫落形成空洞，導(dǎo)致側(cè)蝕過度造成開路缺陷。 膜上雜質(zhì)（菲林上雜質(zhì)）會使線路上干膜沒被曝光而在顯影時顯影掉

5、，在后續(xù)蝕刻時露出線路銅被蝕刻形成開路。 求證：經(jīng)過我們幾天的跟班觀察，在貼膜機(jī)處沒有發(fā)現(xiàn)明顯的雜質(zhì)，在曝光過程中也沒有發(fā)現(xiàn)明顯的雜質(zhì)，在干膜顯影機(jī)放板口也沒有發(fā)現(xiàn)雜質(zhì)，但雜質(zhì)引起的缺陷具有極大的偶然性，以上這些均不能說明生產(chǎn)當(dāng)天沒有大尺寸雜質(zhì)，故無法排除雜質(zhì)影響。 間接驗證：根據(jù)前面的缺陷分析可知，該板的開路形狀極為像顆粒狀，大小為100um左右，且開路線路邊緣處為棱角鮮明型，這些特征和膜上雜質(zhì)所引起的開路特征極為吻合；干膜顯影機(jī)放板口與傳遞窗距離較近，而傳遞窗外門又已損壞，這在開啟傳遞窗時雜質(zhì)有可能飄到板上；雜質(zhì)導(dǎo)致開路是光成像工序的較為常見的現(xiàn)象。 綜上可得出無法排除膜上雜質(zhì)的影響因素，

6、可能為原因之一。法的因素：貼膜：貼膜壓力過小、溫度過高或過低、速度過快等均有可能導(dǎo)致貼膜不牢，在后續(xù)過程中掉膜形成開路缺陷；但查詢貼膜機(jī)的參數(shù)設(shè)定均符合標(biāo)準(zhǔn)，故可排除該因素。曝光：局部曝光能量過低可能導(dǎo)致曝光不良最終形成開路；但查詢當(dāng)天的曝光能量均勻性發(fā)現(xiàn)均在正常誤差范圍內(nèi)，故可排除該因素。DES線：水洗壓力過大、蝕刻溫度過高等因素均可能導(dǎo)致開路缺陷；但查詢當(dāng)天的工藝控制記錄發(fā)現(xiàn)均無異常，故可排除該因素。人的因素：轉(zhuǎn)序劃傷：轉(zhuǎn)序過程中可能會劃傷線路上的干膜形成開路缺陷，不過通常劃傷處兩邊是平行的直線型，而該開路缺陷處是凹坑狀，故可排除該因素。貼膜后擦花也可能導(dǎo)致開路缺陷，但擦花通常長度都較長且擦花邊緣也是直線型，而該開路缺陷附近線路正常且開路兩邊也不為直線型，故可排除該因素。所選缺陷典型劃傷四、 分析結(jié)論經(jīng)過前面的分析可得出以下結(jié)論： 導(dǎo)致所選板開路缺陷的原因為膜上雜質(zhì)，具體的產(chǎn)生過程可能是曝光時菲林上有雜質(zhì)和顯影前撕膜時混入雜質(zhì)。五、改善措施針對缺陷原因，我們提出了一下改善措施：1、應(yīng)及時修好傳遞窗的門；2、可在干膜顯影機(jī)放板口兩側(cè)安裝檔塵玻璃，防止雜質(zhì)混入；3、曝光時增加轆塵次數(shù)至3次。說明：關(guān)于傳遞窗的門已壞問題，大家都沒有怎么重視（認(rèn)為影響不大），但我們組認(rèn)為公司作為制作樣板的生產(chǎn)商，任何一個細(xì)微的環(huán)節(jié)都應(yīng)該一絲不茍；關(guān)于安裝檔塵玻璃的成本問題，我們組認(rèn)