增材制造與激光制造重點(diǎn)專項(xiàng)

1、附件9增材制造與激光制造”重點(diǎn)專項(xiàng)2017年度項(xiàng)目申報(bào)指南建議為落實(shí)國家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020年）»和中國制造2025等提由的任務(wù)，國家重點(diǎn)研 發(fā)計(jì)劃啟動(dòng)實(shí)施“增材制造與激光制造”重點(diǎn)專項(xiàng)。根據(jù)本專項(xiàng)實(shí)施方案的部署，現(xiàn)提由2017年度項(xiàng)目申報(bào)指南建議。本重點(diǎn)專項(xiàng)總體目標(biāo)是：突破增材制造與激光制造的基礎(chǔ)理論，取得原創(chuàng)性技術(shù)成果，超前部署研發(fā)下一代技術(shù)； 攻克增材制造的核心元器件和關(guān)鍵工藝技術(shù)，研制相關(guān)重點(diǎn) 工藝裝備；突破激光制造中的關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)高可靠長(zhǎng)壽命 激光器核心功能部件、國產(chǎn)先進(jìn)激光器，研制高端激光制造 工藝裝備；到 2020年，基本形成我國增材制造與

2、激光制造 的技術(shù)創(chuàng)新體系與產(chǎn)業(yè)體系互動(dòng)發(fā)展的良好局面，促進(jìn)傳統(tǒng) 制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)，支撐我國高端制造業(yè)發(fā)展。本重點(diǎn)專項(xiàng)按照“圍繞產(chǎn)業(yè)鏈，部署創(chuàng)新鏈”的要求， 圍繞增材制造與激光制造的基礎(chǔ)理論與前沿技術(shù)、關(guān)鍵工藝 與裝備、創(chuàng)新應(yīng)用與示范部署任務(wù)。專項(xiàng)實(shí)施周期為5年（2016 2020）。1 .增材制造1.1 面向增材制造的產(chǎn)品創(chuàng)新設(shè)計(jì)技術(shù)（基礎(chǔ)前沿類）研究?jī)?nèi)容：研究面向金屬增材制造的工藝約束建模方 法，結(jié)合結(jié)構(gòu)功能與承載性能約束，發(fā)展復(fù)雜整體結(jié)構(gòu)的高 性能輕量化拓?fù)鋬?yōu)化方法，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)構(gòu)型、功能組件布局、 多材料梯度布局的整體匹配優(yōu)化設(shè)計(jì)；制定面向增材制造的 整體結(jié)構(gòu)、多材料梯度結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

3、、軟件，形 成可供工程化應(yīng)用的增材制造結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)體系?？己酥笜?biāo)：建立增材制造工藝約束模型和實(shí)現(xiàn)方法、典 型零部件結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)方法及其性能評(píng)估模型，可處理100萬以上變量及2種以上不同類型設(shè)計(jì)變量的混合優(yōu)化；整體 結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)件數(shù)量減少50%以上、功能和效能提升15%以上；形成相關(guān)設(shè)計(jì)軟件平臺(tái)、設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范；實(shí) 現(xiàn)在航空、航天、能源、動(dòng)力等領(lǐng)域的應(yīng)用驗(yàn)證。1.2 高效寬幅微滴噴射陣列打印頭的研發(fā)（重大共性關(guān) 鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：微滴噴射陣列打印頭的流體輸送特性、微小 液滴形成與噴射過程、打印頭壽命影響因素，液滴噴射品質(zhì) 的評(píng)價(jià)方法；微滴噴射陣列打印頭流道結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、芯片封裝 過濾系

4、統(tǒng)設(shè)計(jì)、 MEMS制造工藝和 CMOS工藝設(shè)計(jì)優(yōu)化及 集成方法；智能芯片設(shè)計(jì)及開發(fā)，芯片模塊集成方法和校準(zhǔn) 方式；打印頭微滴噴射控制技術(shù)?？己酥笜?biāo)：模塊化設(shè)計(jì)，微滴噴射陣列打印頭噴嘴密度 大于1200個(gè)/英寸；單位打印頭模塊A 100mm ,集成打印寬 幅A 900mm,打印頭最高工作頻率n 20 kHz,打印噴嘴壽命 大于2.5億次；可噴液體粘度范圍 1-100 CP。1.3 智能化增材制造系統(tǒng)平臺(tái)（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：增材制造元器件、材料工藝數(shù)據(jù)庫、在線檢 測(cè)反饋系統(tǒng)、系統(tǒng)決策控制融合，構(gòu)建增材制造智能化平臺(tái) 技術(shù)。建立工藝參數(shù)庫和知識(shí)庫，開發(fā)支持高精度成形的數(shù) 據(jù)處理算法和工藝

5、數(shù)據(jù)庫；建立在線檢測(cè)系統(tǒng)與信息反饋系 統(tǒng)，形成保證成形精度和制件質(zhì)量的智能化工藝參數(shù)系統(tǒng)； 研究裝備系統(tǒng)的自診斷和自檢測(cè)系統(tǒng)，形成智能在線預(yù)警和 設(shè)備自保護(hù)系統(tǒng)；建立增材制造過程的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)體系，實(shí)現(xiàn) 制造精度和質(zhì)量的在線智能化控制?？己酥笜?biāo)：工藝數(shù)據(jù)庫和工藝參數(shù)系統(tǒng)匹配不少于10種金屬、高分子（含覆膜砂）和陶瓷材料，以及5種以上的增材制造工藝或裝備；在線檢測(cè)和反饋系統(tǒng)實(shí)施后，增材制 造制件的變形、孔隙和裂紋等缺陷工藝可控，制件質(zhì)量穩(wěn)定 性提高1倍；在工程中得到實(shí)際應(yīng)用，實(shí)施不少于100個(gè)案例。1.4 高性能大型金屬構(gòu)件電弧/電子束熔絲增材制造裝備 與工藝（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：針對(duì)電弧

6、/電子束熔絲增材制造的三維數(shù)模分 析、成型策略優(yōu)化、數(shù)模分層及路徑規(guī)劃軟件；大跨度機(jī)器 手或6軸CNC運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與裝備；高性能大型金屬構(gòu)件 電弧/電子束熔絲成形構(gòu)件質(zhì)量控制及性能預(yù)測(cè)評(píng)估方法；成 形過程實(shí)時(shí)監(jiān)控技術(shù)；工藝和裝備的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范?？己酥笜?biāo)：裝備最大成形尺寸A3500mm,成形效率A500cm3/h,變形控制在 0.4mm/100mm 以內(nèi)，構(gòu)件主要力學(xué) 性能指標(biāo)不低于同成分鑄件或者鍛件，裝備連續(xù)工作時(shí)間不 低于240小時(shí)；實(shí)現(xiàn)應(yīng)用驗(yàn)證。1.5 復(fù)雜精密金屬構(gòu)件電子束粉末床增材制造裝備與工 藝（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：高精度電子束掃描系統(tǒng)設(shè)計(jì)原理與實(shí)現(xiàn)方 法；粉床電子束增材制

7、造裝備系統(tǒng)集成與效能提升技術(shù)，包 括定量送鋪粉技術(shù)、輻射防護(hù)技術(shù)、快速冷卻與氣氛控制系 統(tǒng)集成技術(shù)，成形過程實(shí)時(shí)可視監(jiān)控與在線質(zhì)量診斷技術(shù) 等；復(fù)雜精密構(gòu)件粉床電子束成形工藝與軟件；復(fù)雜精密金 屬構(gòu)件電子束粉末床增材制造裝備?？己酥笜?biāo)：增材制造裝備支持鈦合金、難熔金屬和金屬 間化合物等多種金屬材料的精確成形；成形區(qū)域尺寸A 350mm x 380mm,幾何精度± 0.2mm,成形效率A 80cm3/h （以成形標(biāo)準(zhǔn)鈦合金試樣塊為參考）；裝備與工藝實(shí)現(xiàn)應(yīng)用驗(yàn)證。1.6 高性能非金屬材料增材制造工藝與裝備（重大共性 關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：高性能陶瓷及其復(fù)合材料增材制造技術(shù)；連 續(xù)纖維增強(qiáng)

8、復(fù)合材料增材制造技術(shù)；研制相應(yīng)的工藝裝備，建立相應(yīng)工藝裝備的適應(yīng)材料、設(shè)備可靠性、環(huán)保安全等標(biāo) 準(zhǔn)規(guī)范；針對(duì)國家重大工程需求的應(yīng)用研究?？己酥笜?biāo)：（1）高性能陶瓷及其復(fù)合材料增材制造裝備的成形尺寸大于 200mm x 200mm x 200mm,成形相對(duì)精度高 于± 2%,對(duì)于高致密度陶瓷，后處理后成形件致密度高于99%,對(duì)于陶瓷基復(fù)合材料構(gòu)件，具室溫?cái)嗔秧g性n8MPax m1/2 ； （ 2）連續(xù)纖維增強(qiáng)復(fù)合材料增材制造裝備尺寸不大 于400mmM 400mmM 600mm,可以通過行走方式實(shí)現(xiàn)尺寸A 2m的復(fù)雜結(jié)構(gòu)件增材制造；（3）在國家重大工程中得到應(yīng) 用。1.7 用于缺損組織

9、修復(fù)的可降解仿生多孔支架的增材制 造制備技術(shù)（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：針對(duì)可降解生物材料的仿生微結(jié)構(gòu)及骨、軟 骨、血管、眼角膜等缺損組織修復(fù)支架的制備，研發(fā)相應(yīng)的 可降解生物材料增材制造裝備與工藝；開展可降解仿生支架 的再生修復(fù)性能及其調(diào)控技術(shù)研究，研究增材制造制備可降 解支架的醫(yī)療安全性和有效性的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)與方法，研究制定 相關(guān)準(zhǔn)入與監(jiān)管標(biāo)準(zhǔn)。考核指標(biāo)：工藝裝備可以制備小于 500以m的仿生微結(jié) 構(gòu)，支架孔隙率達(dá)到 60%以上；制備的2-3種仿生多孔支架 達(dá)到進(jìn)入臨床試驗(yàn)的要求。1.8 增材制造修復(fù)與再制造技術(shù)與裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：不同工業(yè)領(lǐng)域失效零件增材修復(fù)工藝與裝備

10、設(shè)計(jì)原則；零件可修復(fù)性評(píng)價(jià)與修復(fù)判據(jù)；損傷部位前處理 及在線3D測(cè)量方法、待修復(fù)部位幾何模型快速重建、分層 切片及掃描路徑規(guī)劃；面向工程化應(yīng)用的增材修復(fù)與再制造 專用合金材料設(shè)計(jì)和制備技術(shù)；增材修復(fù)與再制造的控形控 性技術(shù)；后處理與無損檢測(cè)、性能表征及性能考核?？己酥笜?biāo)：增材制造修復(fù)裝備可修復(fù)零件尺寸3.5m,變形量w 0.1mm/100mm；缺陷部位幾何重建時(shí)間小于0.5h,可實(shí)現(xiàn)修復(fù)層厚和掃描路徑調(diào)節(jié)；修復(fù)和再制造后綜合力學(xué) 性能不低于原件性能的 90%;建立增材修復(fù)與再制造標(biāo)準(zhǔn)及 規(guī)范；在國家重大工程中得到應(yīng)用。1.9 復(fù)合增材制造技術(shù)及裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：增材/鍛造復(fù)合

11、制造技術(shù)；增材 /減材復(fù)合制 造技術(shù)（可任選材料同步送進(jìn)增材制造技術(shù)或粉末床增材制 造技術(shù)）；研制相應(yīng)的工藝裝備；建立工藝數(shù)據(jù)庫以及工藝、 裝備、制件的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范；針對(duì)國家重大工程需求的應(yīng)用 研究。考核指標(biāo)：（1）增材/鍛造復(fù)合制造裝備支持多種金屬材 料增材成形，實(shí)現(xiàn)成形組織等軸細(xì)晶化，晶粒度及其均勻性 超過鍛件水平；成形效率n 3kg/h （以Ti-6Al-4V合金沉積為 參考），最大成形尺寸n 3500mm；變形控制在 0.3mm/100mm以內(nèi)；（2）增材/減材復(fù)合制造技術(shù)方向，對(duì)于材料同步送進(jìn) 增材/減材復(fù)合制造技術(shù)，裝備具有成形復(fù)雜曲面以及帶有內(nèi) 腔、內(nèi)孔、內(nèi)流道零部件的能力，成形

12、零件精度不低于 0.5%。, 表面粗糙度不大于 2以m,最大成形尺寸 1000mm,成形效 率A 200cm3/h,連續(xù)工作時(shí)間n 240h;對(duì)于粉末床增材/減材 復(fù)合制造技術(shù)，裝備最大成形尺寸n300mm,成形效率A15cm3/h,無故障工作時(shí)間n 2000h; （3）建立相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)、 規(guī)范；（4）在國家重大工程中得到應(yīng)用。1.10 金屬增材制造缺陷和變形的射線檢測(cè)技術(shù)與裝備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：增材制造過程冶金缺陷與應(yīng)力應(yīng)變的在線射 線（包括X射線、紅外和自然光等）無損檢測(cè)方法；元素含 量的高精度在線檢測(cè)；增材制造特殊冶金缺陷的形成機(jī)理、 缺陷特征和無損檢驗(yàn)特性；檢測(cè)信息與材料、

13、結(jié)構(gòu)性能之間 的關(guān)聯(lián)?？己酥笜?biāo)：研制由金屬增材制造在線射線檢測(cè)裝備，實(shí) 現(xiàn)鈦合金、合金鋼、鋁合金、高溫合金等4類金屬結(jié)構(gòu)件增材制造過程的在線檢測(cè)；主要成分探測(cè)值誤差優(yōu)于±3at.%,缺陷的檢測(cè)識(shí)別精度w 0.05mm （以25mm厚的鈦合金為參 考），變形的檢測(cè)精度w 0.1mm/100mm;形成相關(guān)射線的檢 測(cè)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。1.11 增材制造技術(shù)在航空航天制造領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用示范（應(yīng)用示范類）研究?jī)?nèi)容：針對(duì)飛機(jī)和航天器的國家重點(diǎn)工程任務(wù)，提 由基于增材制造的系統(tǒng)級(jí)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新思路，梳理由適合于增 材制造的結(jié)構(gòu)件的類型，進(jìn)行基于增材制造工藝的結(jié)構(gòu)與材 料優(yōu)化設(shè)計(jì)，采用適當(dāng)?shù)脑霾闹圃旒夹g(shù)完

14、成相關(guān)零部件的制 造和后處理，形成成套的增材制造過程與制件性能的分析檢 測(cè)技術(shù)，進(jìn)行增材制造結(jié)構(gòu)件以及采用增材制造件后系統(tǒng)的 功能、性能、制造效率與成本的綜合評(píng)價(jià)?？己酥笜?biāo)：結(jié)構(gòu)件減重 30%,功能提升15%,制造 全周期縮短20%,成本降低20%;可覆蓋的零件應(yīng)用比 例不低于鋁合金和鈦合金結(jié)構(gòu)總重量的3%;建立整套設(shè)計(jì)方法、制造工藝及評(píng)價(jià)體系；實(shí)現(xiàn)增材制造結(jié)構(gòu)件的批量生 產(chǎn)并裝機(jī)應(yīng)用；優(yōu)先采用科技計(jì)劃（專項(xiàng)、基金等）支持的 技術(shù)成果。1.12 個(gè)性化定制醫(yī)療器械增材制造技術(shù)與應(yīng)用示范（應(yīng) 用示范類）研究?jī)?nèi)容：開展金屬與非金屬醫(yī)療器械（含醫(yī)用非醫(yī)療 器械）的個(gè)性化建模、設(shè)計(jì)與定制增材制造技術(shù)研

15、究，并在 臨床需求量較大、個(gè)性化特征需求較高的方向開展臨床應(yīng)用 研究，主要包括增材制造個(gè)性化人工關(guān)節(jié)，個(gè)性化人工脊柱 植入物，個(gè)性化義齒及種植體，個(gè)性化顱頜面缺損修復(fù)體， 增材制造人體疾病精準(zhǔn)治療等；建立增材制造生物醫(yī)療臨床應(yīng)用的服務(wù)、設(shè)計(jì)、定制生產(chǎn)和綜合評(píng)價(jià)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范及質(zhì)量 監(jiān)控體系。考核指標(biāo)：產(chǎn)品打印精度和性能滿足臨床使用要求（一 般精度優(yōu)于0.1mm）;對(duì)于增材制造I類、II類和III類醫(yī)療 器械（含醫(yī)用非醫(yī)療器械）的臨床試用或應(yīng)用病例達(dá)到200例以上；相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)入 CFDA評(píng)價(jià)；優(yōu)先采用科技計(jì)劃（專 項(xiàng)、基金等）支持的技術(shù)成果。1.13 面向創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的3D打印技術(shù)平臺(tái)及應(yīng)用（應(yīng)用示 范

16、類）研究?jī)?nèi)容：針對(duì)不同層次人群創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的需求，開發(fā)3D打印創(chuàng)意設(shè)計(jì)和建模軟件，研發(fā)一體化創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)平臺(tái)，匯聚 3D打印創(chuàng)新設(shè)計(jì)、打印設(shè)備等資源，面向教育、培訓(xùn)、創(chuàng) 新設(shè)計(jì)、文化創(chuàng)意等開展應(yīng)用示范?？己酥笜?biāo)：在線3D設(shè)計(jì)軟件支持1000人并發(fā)；平臺(tái)活 躍用戶10萬人以上；優(yōu)先采用科技計(jì)劃（專項(xiàng)、基金等） 支持的技術(shù)成果。2 .激光制造2.1 超快激光微納制造機(jī)理及新方法（基礎(chǔ)前沿類）研究?jī)?nèi)容：面向新能源、國防、航空航天等領(lǐng)域國家重 大需求和新型功能器件制造，建立超快激光與材料相互作用 多尺度理論與觀測(cè)體系，從電子層面理解光場(chǎng)調(diào)控下微納加 工的新現(xiàn)象和新效應(yīng)；研究超快激光時(shí)域/空域分布對(duì)電子動(dòng)態(tài)和材

17、料性質(zhì)調(diào)控的加工新原理、新方法及其前沿應(yīng)用，設(shè) 計(jì)和加工若干具有重大應(yīng)用前景的新型微納功能器件。考核指標(biāo)：建立超快激光與材料相互作用的多尺度模型；實(shí)現(xiàn)加工過程的多尺度觀測(cè)，跨越 10個(gè)以上時(shí)間數(shù)量 級(jí)；加工面積達(dá)到平方厘米量級(jí)、含超過 10萬個(gè)微納結(jié)構(gòu)； 解決新能源、國防、航空航天等領(lǐng)域 1-3個(gè)國家重大需求中 核心構(gòu)件的制造難題，發(fā)展 1-3個(gè)有重大應(yīng)用前景的新型功 能器件。2.2 制造用大功率光纖激光器（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：針對(duì)激光制造/增材制造裝備需求，開發(fā)傳輸 組件、功率合束器等大功率光纖激光關(guān)鍵器件；開展光束質(zhì) 量控制、非線性抑制、光譜控制、多路光纖激光功率合成等 關(guān)鍵技術(shù)

18、研究；研究高功率泵浦、散熱、輸由功率穩(wěn)定性及 光致暗化等關(guān)鍵技術(shù)；發(fā)展工業(yè)化大功率光纖激光器系統(tǒng)集 成和模塊化組裝技術(shù)。考核指標(biāo)：開發(fā)由長(zhǎng)壽命3kW單模光纖激光器和高可靠 性20kW30kW 的多模光纖激光器（輸由光纖芯徑w200以m）;實(shí)現(xiàn)2kW單模光纖激光器與20kW多模光纖激光器的 小批量化制造；項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)實(shí)現(xiàn)激光制造用2kW 單模光纖激光器100臺(tái)以上、以及20kW多模光纖激光器10臺(tái)以上 的銷售量；實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目研制大功率光纖激光器在激光制造裝備 上的應(yīng)用示范。2.3 制造用紫外激光器（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：針對(duì)激光制造/增材制造裝備需求，開發(fā)紫外 激光元器件加工工藝，解決抗損傷紫

19、外晶體等光學(xué)元件產(chǎn)品 化難題；研究工業(yè)激光器數(shù)值設(shè)計(jì)與仿真方法，研究高功率 紫外激光器的制造技術(shù)；研究激光器光場(chǎng)分布、偏振 /相位特 性等調(diào)控新方法，構(gòu)建紫外激光器性能驗(yàn)證的加工工藝平臺(tái)， 研究紫外激光器工業(yè)化解決方案?？己酥笜?biāo)：研制由 40W 級(jí)以上100kHz1MHz的355nm 與10W級(jí)50kHz150kHz的266nm納秒脈沖激光器； 建立半 自動(dòng)化紫外激光器批量裝配生產(chǎn)線；項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)國產(chǎn)化工業(yè) 紫外激光器實(shí)現(xiàn) 200臺(tái)以上銷售，其中20W的激光器銷售 不少于20臺(tái)、10W的激光器銷售不少于 30臺(tái)；實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目 研制紫外激光器在激光制造裝備上的應(yīng)用示范。2.4 硬脆材料的激光高效加工裝

20、備（重大共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：研究硬脆材料的微結(jié)構(gòu)成形機(jī)理及工藝方法， 研究硬脆材料激光高效精密制造技術(shù)及表面質(zhì)量控制方法； 攻克激光脈沖調(diào)制、光束穩(wěn)定性控制、多軸運(yùn)動(dòng)協(xié)同等關(guān)鍵 技術(shù)；研制高精度高速掃描振鏡等激光制造用元器件，開發(fā) 成套專用激光制造裝備。考核指標(biāo)：瞄準(zhǔn)航天航空、能源等領(lǐng)域的典型硬脆材料 加工需求，研制動(dòng)態(tài)三維掃描振鏡（最大掃描速度不低于 8m/s、瞬態(tài)特性不大于160以s）;開發(fā)光機(jī)電協(xié)同控制系統(tǒng)；研發(fā)不少于2類激光精密自動(dòng)化制造裝備，表面粗糙度Raw 0.0004mm,尺寸精度誤差優(yōu)于 0.005mm,進(jìn)行典型工程應(yīng) 用。2.5 復(fù)雜微細(xì)結(jié)構(gòu)的激光加工與測(cè)量技術(shù)及裝備（重大 共性關(guān)鍵技術(shù)類）研究?jī)?nèi)容：研究微細(xì)激光光束聚焦機(jī)理及激光掃描方法； 研究突破激光衍射極限的高深寬比納米結(jié)構(gòu)的激光加工技 術(shù)；研究超細(xì)激光制造過程監(jiān)測(cè)和加工質(zhì)量控制方法；開發(fā) 超細(xì)激光聚焦加工樣機(jī)及質(zhì)量檢測(cè)設(shè)備?？己酥笜?biāo)：研制由微細(xì)激光聚焦加工樣機(jī)，實(shí)現(xiàn)深寬 比10:1三維納米結(jié)構(gòu)，以及特征尺度 10nm的二維納米結(jié) 構(gòu)激光制造；開發(fā)由橫向分辨率 200nm，軸向分辨率 20nm 的超分辨三維光學(xué)測(cè)量裝置。實(shí)現(xiàn)1-2件微納器件制造應(yīng)用。2.6 激光高性能連接/超精密焊接裝備（重大共性關(guān)