真空泵維護(hù)保養(yǎng)規(guī)程

1、真空泵維護(hù)保養(yǎng)規(guī)程1總則通過對真空泵正確地日常維護(hù)，周期保養(yǎng)和維修，確保設(shè)備正常、安全、可靠、經(jīng)濟(jì) 運(yùn)行，保證工藝要求、生產(chǎn)出合格產(chǎn)品。2各類泵的技術(shù)性能2.1 機(jī)械增壓泵羅茨泵2.2 滑閥泵2.3 復(fù)合分子泵3結(jié)構(gòu)簡述3.1 ZJP型羅茨泵該型泵是一種容積式真空泵，帶溢流閥，它是利用一對8子形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的，且進(jìn)排氣口連通，在通道上垂直地裝置著 一個自重閥，其作用是當(dāng)排氣口和進(jìn)氣口的壓力差和閥的有效作用面積的乘積超過閥頭的 自重時，閥頭就會自動頂開閥座，使排氣口和進(jìn)氣口的壓力差始終保持在一個可控制的數(shù) 值內(nèi)。兩個轉(zhuǎn)子被支承在泵殼側(cè)面端蓋的滾動軸

2、承中，依靠一對可調(diào)的同步齒輪使二個轉(zhuǎn)子在高 速旋轉(zhuǎn)時始終保持著一定的相互位置，而轉(zhuǎn)子與端蓋之間的端面間隙是靠固定端軸承座下 面的可調(diào)金屬墊片來保證，使泵在工作時因受熱而轉(zhuǎn)子只能向一面膨脹。端蓋內(nèi)的四組內(nèi)軸封是為了防止兩側(cè)潤滑油進(jìn)入泵殼，出軸處油封是為了防止氣體漏入泵 體內(nèi)。該型泵采用臥式結(jié)構(gòu)，采用聯(lián)軸器與電機(jī)直聯(lián)，動力由聯(lián)軸器傳給主動軸，再通過同步齒輪傳動從動軸。3.2 滑閥泵該型泵主要由泵體、滑閥、滑閥導(dǎo)軌、偏心輪、帶輪等零件組成。上部設(shè)有六組圓盤形排 氣閥。排氣閥主要由彈簧和被彈簧壓緊的閥片等零件組成。當(dāng)泵內(nèi)氣體和油，從排氣閥排出時， 經(jīng)過化霧器，然后由方油箱內(nèi)的油氣分離器進(jìn)行油氣分離，氣

3、體排至大氣，油經(jīng)過濾油口 過濾，然后通過壓差由固定隔板、滑閥隔板的油孔輸送至偏心輪，滑閥、泵腔等活動部分， 隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，被壓縮的氣體和油又由排氣閥排出，因此本型泵的潤滑均是自動進(jìn)行。泵 的轉(zhuǎn)動部分及進(jìn)氣的結(jié)合面采用橡膠密封，泵體與泵蓋紙墊用描圖紙或青殼紙。3.3 復(fù)合分子泵復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵4運(yùn)行中的注意事項4.1 運(yùn)行中必須嚴(yán)格按照各類泵的技術(shù)規(guī)格使用，泵不允許長時間超過允許最高入口壓力 情況下工作。4.2 注意電動機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升情況。在正常情況下，泵的最高溫升不得超過40C,最Wj溫度不得超過 80 C o4.3 運(yùn)轉(zhuǎn)中不

4、應(yīng)有不規(guī)則的異常振動。4.4 如發(fā)現(xiàn)在運(yùn)轉(zhuǎn)中有電機(jī)過載，溫升過高，聲音異常，振動大等情況應(yīng)立即停機(jī)檢查原 因，排除故障。5維護(hù)保養(yǎng)5.1 定期檢查5.1.1 每日檢查a油位檢查：機(jī)械泵油位由運(yùn)行工每班巡檢，維修工每日巡視一次，復(fù)合分子泵油位由維 修工每日巡視一次。b溫度檢查：運(yùn)行工每班手感檢查。c電動機(jī)負(fù)荷檢查：運(yùn)行工每班檢查。d保持泵房及泵的清潔、干燥。5.1.2 每月檢查a聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動，皮帶的松緊地腳螺絲是否松動。b復(fù)合分子泵法蘭連接口螺絲是否松動，水冷卻流量是否正常。5.1.3 每三個月檢查a潤滑油是否變質(zhì)或結(jié)碳，放清泵內(nèi)原油，清洗泵體、清除污垢更換新油。b清洗滑閥泵濾油器

5、中的銅絲網(wǎng)，確保油泵供油正常。c復(fù)合分子泵油質(zhì)。5.1.4 每六個月檢查：油封、密封件是否損壞。5.1.5 每一年檢查a羅次泵軸承是否磨損b羅茨泵活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。c羅茨泵齒輪微量程度的磨損對轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。d滑閥泵的閥片。e復(fù)合分子泵濾網(wǎng)清洗，更換新潤滑油；羅茨泵、滑閥泵清洗。f檢查冷卻水路是否暢通。5.1.6 新泵工作150小時后換油一次，以后油一般36個月?lián)Q一次。5.2 拆裝5.2.1 羅次泵進(jìn)行拆卸和重新裝配時，須根據(jù)以下注意事項進(jìn)行：a未拆卸前，先測量并記錄轉(zhuǎn)子各部分間隙。b盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，要妥善保管好。c將需要更換的零部件的

6、更換原因及使用情況詳細(xì)記錄下來。d重新裝配前須把各零部件清潔干凈，毛刺修光。e無密封墊襯或密封圈的靜密封面用漢高樂泰“515” （510）厭氧密封膠涂抹，用于靜密封的橡膠密封件需涂上真空考克脂，溢流閥上的密封圈及平面上不得涂任何油脂。f根據(jù)間隙一覽表調(diào)整轉(zhuǎn)子各部分間隙。位置電機(jī)端轉(zhuǎn)子與端面主動輪與從動輪齒輪端轉(zhuǎn)子與端面轉(zhuǎn)子與腔體間隙(mm)0.150.20.180.250.100.150.180.2g全部裝好后須進(jìn)行檢漏。h重裝后須進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)和必要的性能測試，等正常后才能安裝使用。j泵在重新安裝時須校準(zhǔn)水平。k裝配前必須注意螺旋套方向，主動軸上靠近電機(jī)一側(cè)為左旋，齒輪箱一側(cè)為右旋，從動 軸上則

7、相反。5.2.2 滑閥泵5.2.2.1 拆卸順序（應(yīng)先放水及油）：a防護(hù)罩b泵三角皮帶輪。c軸承蓋及密封裝置。d甲、乙泵蓋（連軸承一并拆卸）。e滑閥及滑閥導(dǎo)軌組件。f偏心輪、平鍵及軸。5.2.2.2 排氣閥拆卸程序a方油箱組件b罩式化霧器c彈簧及主閥體d導(dǎo)管e排氣閥片裝配時則次序相反。5.2.2.3 注意事項a不能直接用榔頭敲打加工面（密封面）。b裝入時要仔細(xì)清洗零件。c注意密封面不能漏氣及漏油。5.2.3 復(fù)合分子泵5.2.3.1 復(fù)合分子泵清潔步驟a關(guān)斷電源并切斷電源插頭。b關(guān)斷水管并卸下冷卻水管。c拆下入口法蘭和前級連結(jié)螺絲。d清理泵口防護(hù)網(wǎng)罩內(nèi)雜物，嚴(yán)禁有異物從泵口掉入。e疏通并清除冷

8、卻水管內(nèi)的水垢，保持冷卻水流量充作。f拆下泵底儲油杯，倒出陳油，清洗油杯更換新油，檢查油杯口密封圈良好后安裝上油杯, 確保密封口不能漏油漏氣。6故障原因及其消除方法6.1羅茨泵故障現(xiàn)象原因分析處理方法油杯油量消耗快聯(lián)軸器軸端油封壞更換骨架密封泉震動大、噪音大軸承壞更換軸承泵抽速卜降漏檢漏，找出漏點后處理溢流閥壞或各間隙增大更換溢流閥或調(diào)整間隙泵體溫度圖前級漏或油位高檢查并處理6.2滑閥泵故障現(xiàn)象原因分析處理方法滑閥咬死泵內(nèi)進(jìn)入異物或積碳檢查并處理泵抽氣能力下降漏檢漏并處理排氣閥壞檢查并更換油質(zhì)差換油泵磨損嚴(yán)重各組件間間隙大換泵油量消耗大油氣分離擋油帽壞更換處理軸端油封損壞漏油更換軸端骨架密封6.3復(fù)合分子泵故障現(xiàn)象原因分析處理方法OC過電流前級真空差，加速時間過快延長加