鍍膜問題總匯

1、真空鍍膜工藝問題匯總1 .A12O3打底已增加粘貼性，怎樣鍍A12O3濺射鍍怎么鍍？請問旋轉(zhuǎn)靶磁場 加在哪里？2 .一 .多弧離子鍍做TiAIN膜1.靶材，材質(zhì)？尺寸？ 2.偏壓，一脈沖，直流對 膜有無影響？二.高建鋼材質(zhì)刀具，1.立銃刀的鋒利與鍍膜前的酸洗工藝存在矛 盾。三.多弧爐中結(jié)合了磁控柱靶在 TiAIN膜制作過程中，可采用或利用其磁控 靶的優(yōu)點進(jìn)行，四.用高偏壓加氫氣的輝光放電，是否用對硬膜的形成不利，會 影響其硬度嗎？是否用離子轟由（加熱）來取代此工藝嗎？五.靶材中Ti的純度, 對膜質(zhì)（硬度，外觀，粗糙毒等）有無關(guān)系？ Ti是否對工具鍍膜來說是否足夠？ 六.真空雜志中有文章介紹，多

2、弧離子鍍中用部分銘靶使TiN膜層中含有銘成分，有助于提高膜的硬度和外觀的光亮度等那么能否采用鈦銘合金靶，達(dá)到其效果？七.TiAl拔能否使其合金化，是否合金化后，在蒸發(fā)靶材時，清除或減少 熔滴的產(chǎn)生？使其多弧離子鍍，并產(chǎn)出的 TiAIN膜質(zhì)光亮，致密。3 .相對來說磁控濺射技術(shù)比較深奧些，聽的不是太懂之前中設(shè)接觸過磁控技 術(shù)書面知識比較理論看不透徹，因為專業(yè)知識有限喜歡聽籠統(tǒng)一點通俗易懂的。4.1.如何防止靶的電弧放電問題2.Si靶Ti靶的氧氣是否一定要用壓電閥來控制嗎？ 3.做高反射鉗時Si靶Ti 靶的氮氣，氧氣的比例是多少？ 4.靶的電弧放電與亮孔是否有聯(lián)系？ 5.在同樣的 工藝條件下，為什

3、么有些會出現(xiàn)膜脫落，有時會出現(xiàn) SiTi膜脫落。5.鍍鋁制鏡，基片兩頭打弧，為什么？怎么解決？鍍過鋁后如何保護(hù)？6.1.由于重復(fù)使用的玻璃進(jìn)行了多次鍍膜以后在玻璃表面殘存物沉積且由于 多次清洗造成玻璃表面劃痕增加，最終造成散射光增加反射率降低，如何在不拋 光的情況下，改善（提高）反射率？在鍍膜工藝上有何可行性的解決方案等！為 了增加鉛膜和玻璃的粘合度，一般采用什么方法？如果鍍一層介質(zhì)膜， 可采用什 么材料，不影響反射率？7 .目前國內(nèi)的膜厚控制技術(shù)均多采用國外進(jìn)口請問國內(nèi)外的差距在什么地方，如何攻克？TiO2在40WA時的反射鋁會下降如果我們鍍 Al需要照顧到紅外 和紫外線有什么方法使得反射率

4、增高，S2O2好象只能作為保護(hù)膜用本身并不能 提高反射率。8 .汽車的熱弓鋼化Low-E怎樣解決膜裂的問題?9 .TiO2的沉積溫度？ 350c或可在更低溫度下執(zhí)行，最低溫度多少？達(dá)到高 反射率.TiO2的膜層厚度要多少？10 .請介紹一下應(yīng)用于手機外殼（塑料基材）上的不導(dǎo)電真空鍍的成膜原理。 如何控制生產(chǎn)過程中同一種產(chǎn)品之間的色差和不導(dǎo)電性差異。請介紹一下金屬膜層與塑膠基材之間提高結(jié)合力的介質(zhì)及附差原理。11為什么控制氧氣流量可以防止靶中毒大面積膜設(shè)備中靶樣間距，靶的設(shè)置密度如何確定？學(xué)生靶斜放更穩(wěn)定，其放置方向角度如何？孚生靶設(shè)計兩靶間距如何確定？ITO膜中靶材利用，提高靶材利用率移動靶面

5、磁場，如何移動？12 .中頻學(xué)生靶對靶間距有沒有要求， 最佳距離是多少？如何確定？中頻學(xué)生 靶之間有角度放置，放置的角度是否無限加大對靶放置？ITO透明電玻璃鍍刷時對溫度要求大于350c溫度高低對膜的均勻性影響有多大， 基本的受熱均勻性是 否也對膜質(zhì)有影響，該如何解決？鍍大型基片時出現(xiàn)結(jié)射現(xiàn)象在不浪費材料時該 如何解決為好？所說的陽極消失是否是指基片被不導(dǎo)電膜附著而消失？13 .在鍍汽車風(fēng)擋玻璃及LOW-E膜時并沒有講到鍍膜的抗拉伸效果在彎曲的 過程中，膜層不會產(chǎn)生變化么？有什么方式來檢測？我從老沒接觸過ITO的行業(yè)，很想知道ITO靶材的具體成分的構(gòu)成，以及他的合格指標(biāo)。14 .真空不導(dǎo)電的檢

6、測，真空不導(dǎo)電鍍膜最好的方法，不導(dǎo)電鍍膜帶用哪些金 屬？哪種最穩(wěn)定最好？磁控濺射顏色不穩(wěn)定如何解決？鍍膜層發(fā)黃的原因有哪 些？真空度對鍍膜品質(zhì)有哪些影響？到何種程度為最低？鍍膜層厚度如何控制， 測量厚度與外觀物性有何關(guān)系？能否邀請高工教授來廠家徹底培訓(xùn)？需多少費 用？15 .氫質(zhì)譜檢漏儀在真空鍍膜中有哪些是何應(yīng)用？如：什么地方需要檢漏？大概漏率是多少？16 .我司在用電頻交流電源后生產(chǎn) TiO2時發(fā)現(xiàn)其濺射率僅于DC反應(yīng)濺射相 當(dāng)，其原因是什么？有沒有可鋼代雙銀 LW后在市場上出現(xiàn)？有沒有實現(xiàn)可能？17 .如何消除或減少有磁控濺射方法獲得的鋁合金膜層的脆性？在磁控濺射 過程中伴隨開一定的基片負(fù)

7、偏壓與所謂的磁控濺射離子鍍有何區(qū)別？因為有此 專箸上將前者視為偏壓濺射而大連理工大學(xué)的一篇專利的名稱為后者。18 .學(xué)生靶中兩個靶距離對鍍膜影響？學(xué)生靶的靶基距？汽車玻璃中PVB是熱壓上作粘合用？.19 .LOW-E玻功的典型膜系。玻功 SnO2(ZnO)-Ag-NiCrOx-SnO2鍍銀后在 鍍保護(hù)層NiCrOx時是否用氧氣參與生成反應(yīng)膜層？如有是怎樣避免銀的不膜層 15氧仕，真空鍍膜車間環(huán)境對鍍膜質(zhì)量的影響？如濕度，溫度潔凈度等一般控 制多少合適于鍍膜純金屬膜產(chǎn)生的儲存？20.多弧離子鍍與磁控濺射幾蒸發(fā)鍍之間的區(qū)別?21 .我公司生產(chǎn)高反射鏡，膜系為 Al-SiTiO2目前使用脈沖濺射做S

8、iO2 和TiO2電源使用AE電源，但脈沖濺射率最大為20KHz,請問這個頻率是否太 小了？我們在鍍AL過程中，為改善膜層粘貼性，對AL靶充入少量O2請問這樣是否 會引起電弧放電。注：O2和A2流量比約為2%22 .靶材的用率？引進(jìn)方法措施？圓柱靶伏缺點?23 .在反應(yīng)濺射過程中濺射速率與氧氣流量之間的遲回線關(guān)系，對于每一種具體的工藝（靶材與反映氣體種類）是否相對固是不變的？如果是則可否編制數(shù)據(jù) 庫，合理控制反應(yīng)氣體流量底上限，以人采證盡量大的流量而又不至于“靶中毒” -建立“靶中毒”的預(yù)防系統(tǒng)。24 .塑膠產(chǎn)品CPC或ABS材料表面裝飾性鍍膜采用蒸發(fā)鍍還是磁控濺射更 好？25.1000A的電

9、流可使鴇絲產(chǎn)生多少溫度？電阻鴇絲投入多少是否取決于投入的產(chǎn)品多少是怎樣的匹配蒸發(fā)鍍材后鍍材的分布是怎樣的？26 .蒸發(fā)鍍膜時，鍍材的粒子有沒有運行規(guī)則外界溫度對鍍膜前后2件性能或外觀的影響？27 .有沒有一些資料，用什么資料（六素）搭配鍍出一些比較花樣的顏色。有 透明的也有不透明的（我們土話叫礦金，礦銀，礦灰古銅等是不是真空蒸發(fā)鍍也 能鍍得出來（配電子槍）鍍玻璃上。28 .鍍膜材料進(jìn)行去氣如何進(jìn)行？需注意哪些問題？鍍膜過程中產(chǎn)生的X射線如何預(yù)防？29 .用什么樣的方法來清洗真空室內(nèi)壁？30 .磁控濺射和蒸發(fā)鍍，哪一種工藝使玻璃表面針孔更少，針孔的多少和 C2 靶材有什么關(guān)系？還和哪幾種因素有關(guān)

10、？蒸發(fā)鍍膜的玻璃效率還是磁控濺射效率高我們98年用過貴公司鍍膜機（平面磁控濺射臥式 12米長，先發(fā)現(xiàn)效率低已 滿足不了我們需求，請問我們需要在添一臺設(shè)備，需再添一臺什么樣的設(shè)備（我 們主要做汽車反光鏡磁控濺射鍍膜用循環(huán)水電阻率是多少，有什么具體要求？銘和氫化銘在玻璃上面的反射率最高能達(dá)到多少？31 .如何控制加熱器的加熱均溫區(qū)有什么好的方法，移動基片的測溫方法？對卷繞鍍膜中的跑偏和褶皺現(xiàn)象該如何解決？卷繞中的平靶是否是附帶旋轉(zhuǎn) 的？32 .真空不導(dǎo)電膜層電性能的檢測方法，真空不導(dǎo)電常用哪些金屬？哪幾種最穩(wěn)定？產(chǎn)品進(jìn)行鹽霧實驗時（附著力差）為什么會這樣？33 .對于升華的膜材如S2O2 ZnS,

11、在蒸發(fā)前去氣應(yīng)以多長時間為宜，在蒸發(fā) 深度去氣時？如果提高膜材蒸發(fā)溫度，提高蒸發(fā)速度是可以提高生產(chǎn)速度的，但對成膜質(zhì) 量有何影響？34 .真空蒸鍍膜層不太均勻可通過加何種修正裝置改善？原理為何？蒸發(fā)強如何進(jìn)行對膜材的去氣？精確控制蒸發(fā)溫度的方法為何？加熱電阻如螺旋鴇絲上殘留的鍍材如錫，對產(chǎn)品上鍍層的均勻性的影響如何？加離子源的主要作用是什么？原來的設(shè)備上沒有離子源可增加嗎？是否還要 同時配電子槍？請介紹一下組分蒸發(fā)指什么?DC磁控濺射的基35 .DC磁控濺射能否與多弧相結(jié)合，深鍍硬膜？或能否在 礎(chǔ)上改進(jìn)后加以利用？鍍膜前的處理對水質(zhì)有無嚴(yán)格的要求？.酸洗過程是否對所刀具都必要？高壓輝光清洗是否越高越好？36 .膜層的色差問題怎樣解決？玻璃反射率和透過率標(biāo)準(zhǔn)是多少？在生產(chǎn)汽車后視鏡時，充 O2需要中頻電源嗎？腔體內(nèi)針孔問題更樣解決，DC磁控濺射，生產(chǎn)汽車后視鏡.羅茨泵旁邊閥一旦打不開怎么辦，能不能失去作用？在羅茨泵前真空泵是要比羅茨泵高，還是要低，還是平衡，三者之間關(guān)系有影響 嗎？擴散泵與加熱器的關(guān)系？37 .多弧離子鍍的膜層不均勻，有色差，