第3章 電容式傳感器

1、第第3章章 電容式傳感器電容式傳感器 電容式傳感器電容式傳感器由一個(gè)恒定的激勵(lì)源在兩金屬由一個(gè)恒定的激勵(lì)源在兩金屬導(dǎo)體導(dǎo)體之間之間建立一電場，被測對象通過某種方式改變或建立一電場，被測對象通過某種方式改變或調(diào)制調(diào)制電場電場的某一參數(shù)，使電場能量發(fā)生變化，測出能量的某一參數(shù)，使電場能量發(fā)生變化，測出能量的的變化變化就可獲得所需的信號(hào)就可獲得所需的信號(hào)。 電容式傳感器由于電容式傳感器由于測量范圍測量范圍大、靈敏度高、大、靈敏度高、動(dòng)態(tài)動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間響應(yīng)時(shí)間短、機(jī)械損失小、結(jié)構(gòu)短、機(jī)械損失小、結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點(diǎn)得到了廣簡單等優(yōu)點(diǎn)得到了廣泛應(yīng)用。但其寄生電容泛應(yīng)用。但其寄生電容影響較大、線性度較差影響較大、

2、線性度較差、易受、易受大氣溫大氣溫度和濕度度和濕度影響。影響。 電容式傳感器主要用于檢測位移、振動(dòng)、角度、電容式傳感器主要用于檢測位移、振動(dòng)、角度、加速度等，還可擴(kuò)大應(yīng)用于壓力、差壓、液位、成加速度等，還可擴(kuò)大應(yīng)用于壓力、差壓、液位、成分含量等方面的測量。分含量等方面的測量。 電容式傳感器根據(jù)其工作原理可分為變面積電容式傳感器根據(jù)其工作原理可分為變面積（A）型，變介質(zhì)介電常數(shù)（型，變介質(zhì)介電常數(shù)（ ） ，變極板間距，變極板間距（ d ）型三類。型三類。2.1 電容式傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)電容式傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)一、電容傳感器的工作原理一、電容傳感器的工作原理 平行板平行板電容器的電容量，在

3、忽略邊緣效應(yīng)時(shí)，有電容器的電容量，在忽略邊緣效應(yīng)時(shí)，有: 式式中中: A為兩極板間的有效覆蓋面積；為兩極板間的有效覆蓋面積； d 為兩極板間的距離；為兩極板間的距離； 為兩極板間介質(zhì)的為兩極板間介質(zhì)的介電常數(shù)；介電常數(shù)； 平行板電容器 r為介質(zhì)的相對介電常數(shù)；為介質(zhì)的相對介電常數(shù)； 0為真空的介電常數(shù)為真空的介電常數(shù) 從電容量表達(dá)式可看出：電容量與覆蓋面積從電容量表達(dá)式可看出：電容量與覆蓋面積成成正比正比，與相對介電常數(shù)成正比，與兩極板間距成，與相對介電常數(shù)成正比，與兩極板間距成反反比比。因此，通過改變復(fù)蓋面積或相對介電常數(shù)或。因此，通過改變復(fù)蓋面積或相對介電常數(shù)或極極板板間距，都可以引起電容

4、量的相對變化，這是間距，都可以引起電容量的相對變化，這是電容電容傳感器傳感器的基本工作原理。的基本工作原理。 1、變極板間距（、變極板間距（d）型型 二、典型的電容傳感器二、典型的電容傳感器 電容量與極板距離的關(guān)系變極距型電容器)/1()/1(202000dddddAr時(shí)，當(dāng)0dd 000000/)/1 (ddCCdddACr)/1 (000000dddAddACCCrr極板上移：極板上移：)/1 (000000dddAddACCCrr10001ddddCC時(shí)，當(dāng)1/0dd.13020000ddddddddCC略去高次項(xiàng)，00ddCC20200001ddAdCdCKr靈敏度考慮二次項(xiàng)考慮二次項(xiàng)

5、%100%100)(0020ddddddr22110ddAC112210ddAC1d122d0001ddddCC放置云母片的電容器非線性誤差非線性誤差 云母片的相對介電常數(shù)是空氣的云母片的相對介電常數(shù)是空氣的7倍倍, 其擊穿電壓不其擊穿電壓不小于小于1000 kV/mm, 而空氣的僅為而空氣的僅為3kV/mm。 因此有了云因此有了云母片母片, 極板間起始距離可大大減小。同時(shí)極板間起始距離可大大減小。同時(shí), 上式中的上式中的(dg/0g)項(xiàng)是恒定值項(xiàng)是恒定值, 它能使傳感器的輸出特性的線性度它能使傳感器的輸出特性的線性度得到改善。得到改善。 一般變極板間距離電容式傳感器的起始電容在一般變極板間距

6、離電容式傳感器的起始電容在 20100pF之間之間, 極板間距離在極板間距離在25200m的范圍內(nèi)的范圍內(nèi), 最大位最大位移應(yīng)小于間距的移應(yīng)小于間距的1/10, 故在微位移測量中應(yīng)用最廣。故在微位移測量中應(yīng)用最廣。 常見電容材料：云母電容：云母電容：用金屬箔或者在云母片上噴涂銀層做電極板，極用金屬箔或者在云母片上噴涂銀層做電極板，極 板和云母一層一層疊合后，再壓鑄在膠木粉或封板和云母一層一層疊合后，再壓鑄在膠木粉或封 固在環(huán)氧樹脂中制成。它的特點(diǎn)是介質(zhì)損耗小，固在環(huán)氧樹脂中制成。它的特點(diǎn)是介質(zhì)損耗小， 絕緣電阻大、溫度系數(shù)小，適宜用于高頻電路。絕緣電阻大、溫度系數(shù)小，適宜用于高頻電路。陶瓷電容

7、：陶瓷電容：用陶瓷做介質(zhì)，在陶瓷基體兩面噴涂銀層，然后用陶瓷做介質(zhì)，在陶瓷基體兩面噴涂銀層，然后 燒成銀質(zhì)薄膜做極板制成。它的特點(diǎn)是體積小，燒成銀質(zhì)薄膜做極板制成。它的特點(diǎn)是體積小， 耐熱性好、損耗小、絕緣電阻高，但容量小，適耐熱性好、損耗小、絕緣電阻高，但容量小，適 宜用于高頻電路。宜用于高頻電路。鐵電陶瓷電容：鐵電陶瓷電容：容量較大，但是溫度系數(shù)較大，適宜用于低容量較大，但是溫度系數(shù)較大，適宜用于低 頻電路。頻電路。薄膜電容：薄膜電容：結(jié)構(gòu)和介電常數(shù)較高，體積小，容量大，穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)和介電常數(shù)較高，體積小，容量大，穩(wěn)定性 較好，適宜做旁路電容。聚苯乙烯薄膜電容，介較好，適宜做旁路電容。聚苯乙

8、烯薄膜電容，介 質(zhì)損耗小，絕緣電阻高，但是溫度系數(shù)大，可用質(zhì)損耗小，絕緣電阻高，但是溫度系數(shù)大，可用 于高頻電路。于高頻電路。1000011ddCddACCC1000021ddCddACCC1d2dd1d2dddddddd0201,021ddd00dAC差動(dòng)電容式傳感器時(shí)，當(dāng)1/0dd .13020001ddddddCC .13020002ddddddCC.22300021ddddCCCC%100)(%100)(2)(220030ddddddr提高一倍提高一倍減小減小002ddCC略去高次項(xiàng)：002dCdCS2、變極板面積、變極板面積（A）型型 改變改變兩極板間的有效覆蓋面積來獲得電容量的兩極

9、板間的有效覆蓋面積來獲得電容量的變化變化。 變面積型電容器00000)(dllbCCCr00000dlbCr00000dblClCSrl0b0d0l電容量的變化與極板位移變化呈電容量的變化與極板位移變化呈線性線性關(guān)系。關(guān)系。dACr00，0)1 ()1 (000CdACCCr0CC線性線性，0)(2000rRlnlCr)()(2000rRlnllCCCr)1 (00llC00llCC（3）筒狀線位移變面積型）筒狀線位移變面積型Rr0ll 若忽略邊緣效應(yīng)，圓筒式液位傳感器如下圖，傳感器的電若忽略邊緣效應(yīng)，圓筒式液位傳感器如下圖，傳感器的電容量與被液位的關(guān)系為容量與被液位的關(guān)系為 液位傳感器液位傳

10、感器hC1CC2xxKhArrhrrhC)/ln()(2)/ln(2120120可見，傳感器電容量可見，傳感器電容量C與被測液位高度與被測液位高度hx成線性關(guān)系。成線性關(guān)系。 2r1hx)/ln(2120rrhA)/ln()(2120rrK2r2（4）差動(dòng)結(jié)構(gòu)變面積型）差動(dòng)結(jié)構(gòu)變面積型022000)(drRCCrBCAC0220)(2drRCCCrBCACrRlrCCrBCAC000rRlrCCCrBCAC02ABCROrrACBORl3、變介質(zhì)型電容傳感器變介質(zhì)型電容傳感器BACCC1211022111)(ddllbddbl21010ddblC21212101001ddllCCCACBC1d

11、2d121l0l例例:drddAC)(0改變介質(zhì)的電容器2.2 電容式傳感器的等效電路及特性電容式傳感器的等效電路及特性PRSRLC電容式傳感器的等效電路電容式傳感器的等效電路RP 并聯(lián)損耗電阻并聯(lián)損耗電阻( (板極間的漏電及介質(zhì)損耗板極間的漏電及介質(zhì)損耗) )RS 串聯(lián)損耗電阻串聯(lián)損耗電阻( (引線電阻及高頻驅(qū)膚效應(yīng)引線電阻及高頻驅(qū)膚效應(yīng)) )L 分布電感分布電感C 傳感器電容傳感器電容在在RP、 RS忽略時(shí)，傳感器的等效電容忽略時(shí)，傳感器的等效電容Ce由下式求得由下式求得:eCCjLjCje 11 。時(shí)時(shí)在在，得得CCCLCLCCee 01122 容抗容抗感抗感抗，eeCCCLCCC)(1

12、2 CCCLCCCCLCCCCLCCCCLCCLCLCCCLCLCCCCCLCCCCCeee11)(1 )()(1 ()(11)(11)(1)(1 222222222有有關(guān)關(guān)。、與與還還有有關(guān)關(guān)不不僅僅與與 LCCCCee, CLCCCCCCee2111 時(shí)時(shí)： 1.高阻抗高阻抗 直流電阻趨于無窮大，交流阻抗直流電阻趨于無窮大，交流阻抗1/( jC)由于由于C一般較小，一般較小， 當(dāng)頻率當(dāng)頻率不太高時(shí)交流阻抗也很大。不太高時(shí)交流阻抗也很大。 2.小功率小功率 視在功率視在功率PC=UI=U 2C，由于由于C很小，則在頻率很小，則在頻率不太高不太高 時(shí)時(shí)PC也很小。也很小。 3.存在靜電吸引力存

13、在靜電吸引力 由于板極間距很小，所以靜電力就比較明顯，特別是小板由于板極間距很小，所以靜電力就比較明顯，特別是小板 極間距測量時(shí)可能會(huì)引入附加誤差。極間距測量時(shí)可能會(huì)引入附加誤差。 4.測量回路通常要用交流回路。測量回路通常要用交流回路。 電容式電容式傳感器的幾個(gè)典型特點(diǎn)傳感器的幾個(gè)典型特點(diǎn)2.2 電容式電容式傳感器的測量電路傳感器的測量電路 電容式電容式傳感器作為振蕩器諧振回路的傳感器作為振蕩器諧振回路的一部分一部分，當(dāng)，當(dāng)輸輸入入量使電容量發(fā)生變化后，就使振蕩器量使電容量發(fā)生變化后，就使振蕩器的振蕩的振蕩頻率頻率發(fā)生發(fā)生變化變化，頻率的變化在鑒頻器中變換，頻率的變化在鑒頻器中變換為振幅為振

14、幅的變化，的變化，經(jīng)過經(jīng)過放大放大后就可以用儀表指示或用后就可以用儀表指示或用記錄記錄儀器記錄下來。儀器記錄下來。 調(diào)頻調(diào)頻接收系統(tǒng)可以分為直放式調(diào)頻和外差式接收系統(tǒng)可以分為直放式調(diào)頻和外差式調(diào)頻兩調(diào)頻兩種種類型。外差式調(diào)頻線路比較復(fù)雜，但類型。外差式調(diào)頻線路比較復(fù)雜，但選擇性高選擇性高，特性特性穩(wěn)定穩(wěn)定，抗干擾性能優(yōu)于直放式調(diào)頻。，抗干擾性能優(yōu)于直放式調(diào)頻。 一、調(diào)頻電路一、調(diào)頻電路LCCCfx)(21210LCCCCfx)(2121LCf21xCCCC21振蕩回路固有電容振蕩回路固有電容引線分布電容引線分布電容傳感器電容傳感器電容0C0, 0 fC 二、諧振電路二、諧振電路 下下圖為圖為諧

15、振式電路的原理諧振式電路的原理方框圖。方框圖。 電容電容傳感器的電容傳感器的電容Cx作為諧振作為諧振回路（回路（L2，C2，Cx）調(diào)諧調(diào)諧電容的一部分。諧振回路通過電感電容的一部分。諧振回路通過電感耦合耦合，從穩(wěn)定的，從穩(wěn)定的高高頻頻振蕩器取得振蕩電壓。振蕩器取得振蕩電壓。 電容傳感器的諧振電路工作原理工作原理: 當(dāng)當(dāng)電容傳感器的電容電容傳感器的電容Cx發(fā)生變化時(shí)，諧振回路發(fā)生變化時(shí)，諧振回路的諧振的諧振頻率頻率發(fā)生發(fā)生變化變化，相對于高頻振蕩器的頻率來說是，相對于高頻振蕩器的頻率來說是失諧的，失諧的，這樣這樣使得諧振回路兩端使得諧振回路兩端的電壓的電壓振幅也就發(fā)生了變化，也振幅也就發(fā)生了變化

16、，也就就是是說，該電路具有將電容說，該電路具有將電容Cx的變化的變化轉(zhuǎn)換為轉(zhuǎn)換為諧振回路兩端諧振回路兩端電電壓壓振幅變化的作用，即諧振回路兩端將獲得一個(gè)受振幅變化的作用，即諧振回路兩端將獲得一個(gè)受電容電容Cx變化量調(diào)制的調(diào)幅波。該調(diào)幅波經(jīng)檢波器檢波后，再經(jīng)變化量調(diào)制的調(diào)幅波。該調(diào)幅波經(jīng)檢波器檢波后，再經(jīng)過放大器放大過放大器放大即可指示出輸入量的大小。即可指示出輸入量的大小。 為了獲得較好的線性關(guān)系，一般諧振電路的工作點(diǎn)為了獲得較好的線性關(guān)系，一般諧振電路的工作點(diǎn)選選在諧振在諧振曲線的一邊，即最大振幅曲線的一邊，即最大振幅Um 的的70%附近地方附近地方，且且工作范圍盡量選在接近線性的工作范圍盡

17、量選在接近線性的BC段內(nèi)段內(nèi)。 這種電路的特點(diǎn)是比較靈敏，但缺點(diǎn)是：這種電路的特點(diǎn)是比較靈敏，但缺點(diǎn)是： （1）工作點(diǎn)不容易選好，變化范圍也較窄；）工作點(diǎn)不容易選好，變化范圍也較窄； （2）傳感器與諧振回路要離得比較近，否則電纜的）傳感器與諧振回路要離得比較近，否則電纜的雜散電容對電路的影響較大；雜散電容對電路的影響較大； （3）為了提高測量精度，振蕩器的頻率要求具有很）為了提高測量精度，振蕩器的頻率要求具有很高的穩(wěn)定性。高的穩(wěn)定性。三、運(yùn)算放大器式電路三、運(yùn)算放大器式電路0IIxIiUscUKxC0Ca001ICjUixII0 xxSCICjU1運(yùn)算放大器測量電路ixSCUCCU0dACrx

18、00, 0IUaiZK,ddUACUiSCr00四、雙四、雙T二極管交流電橋二極管交流電橋SCUiU1D2D1R2R1C2CLR12aiUtTUU01t2t3t)()()2()(21221CCTURRRRRRIIRRRRUELLLCCLLSC二極管T型網(wǎng)絡(luò)電源波形五、脈沖寬度調(diào)制五、脈沖寬度調(diào)制電路電路脈沖寬度調(diào)制電路脈沖寬度調(diào)制電路電壓波形工作原理： 如圖所示，設(shè)傳感器差動(dòng)電容為C1和C2，當(dāng)雙穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器的輸出A點(diǎn)為高電位，則通過R1對C1充電，直到C點(diǎn)電位高于參考電位Uf時(shí)，比較器A1將產(chǎn)生脈沖觸發(fā)雙穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器翻轉(zhuǎn)。在翻轉(zhuǎn)前，B點(diǎn)為低電位，電容C2通過二極管VD2迅速放電。一旦雙穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器

19、翻轉(zhuǎn)后，A點(diǎn)成為低電位，B點(diǎn)為高電位。這時(shí)，在反方向上又重復(fù)上述過程，即C2充電，C1放電。當(dāng)C1=C2時(shí)，電路中各點(diǎn)電壓波形如圖（a）所示。 由圖可見A，B兩點(diǎn)平均電壓值UAB為零。但是，差動(dòng)電容C1和C2值不相等時(shí)，如C1C2，則C1和C2充放電時(shí)間常數(shù)就發(fā)生改變，這時(shí)電路中各點(diǎn)的電壓波形如圖（b）所示，由圖可見，A，B兩點(diǎn)平均電壓值不再為零。 當(dāng)矩形電壓波通過低通濾波器后，可得出直流分量:12121ABoUTTTTUUT1 C1的充電時(shí)間；T2 C2的充電時(shí)間；U1 觸發(fā)器輸出的高電位 由于U1的值是已知的，因此，輸出直流電壓UAB隨T1和T2而變，亦即隨UA和UB的脈沖寬度而變，從而實(shí)

20、現(xiàn)了輸出脈沖電壓的調(diào)寬。當(dāng)然，必須使參考電位Uf小于U1。 由電路可得出，電容C1和C2的充電時(shí)間為:f11111lnUUUCRTf11222lnUUUCRT 電阻R1=R2=R， 綜合以上三式:12121ABoUCCCCUU 上式說明，直流輸出電壓正比于電容C1與C2的差值，其極性可正可負(fù)。說明說明:(1)把平行板電容公式代入把平行板電容公式代入式中式中，在變間隙的情況下可得，在變間隙的情況下可得:11212ABoUddddUU式中d1，d2 分別為C1，C2電極極板間的距離。當(dāng)差動(dòng)電容C1=C2=C0時(shí)，即d1=d2=d0時(shí)，Uo=0。若C1C2，設(shè)C1C2，即d1= d0d，d2= d0

21、d，則式為:10oUddU(2)在變面積的情況下有在變面積的情況下有 式中S1，S2分別為C1，C2電極極板面積。 若C1C2， 由此可見，對于差動(dòng)脈沖調(diào)寬電路，不論是改變由此可見，對于差動(dòng)脈沖調(diào)寬電路，不論是改變平平板電容器板電容器的極板面積或是極板距離，其變化量與的極板面積或是極板距離，其變化量與輸出輸出量量都成都成線性關(guān)系線性關(guān)系。 12121ABoUAAAAUU1oUSSU(3)調(diào)寬電路還具有如下一些特點(diǎn)：調(diào)寬電路還具有如下一些特點(diǎn)： 對元件無線性要求；對元件無線性要求； 效率高，信號(hào)只要經(jīng)過低通濾波器就有較大的直流效率高，信號(hào)只要經(jīng)過低通濾波器就有較大的直流輸輸 出出； 調(diào)寬頻率的變

22、化對輸出無影響；調(diào)寬頻率的變化對輸出無影響； 由于低通濾波器作用，對輸出矩形波純度要求不高。由于低通濾波器作用，對輸出矩形波純度要求不高。六、電橋六、電橋電路電路 圖所圖所示為交流電橋測量電路示為交流電橋測量電路。（。（a）為單臂接法）為單臂接法的交的交流電橋測量電路流電橋測量電路，其中電容，其中電容C1，C2，C3，Cx構(gòu)成電容構(gòu)成電容橋橋的的四臂，四臂，Cx為電容傳感器為電容傳感器。高頻。高頻電源電源 經(jīng)變壓器接到經(jīng)變壓器接到電電容容橋的一個(gè)對角線上，從橋路的另一個(gè)橋的一個(gè)對角線上，從橋路的另一個(gè)對角線對角線取輸出取輸出電電壓壓 。 sUoU 當(dāng)當(dāng)電容式傳感器輸入的被測量電容式傳感器輸入的

23、被測量x=0，輸出，輸出Cx=C0時(shí)，時(shí)，交流電橋平衡交流電橋平衡，有，有: Uo=0321CCCCx 而當(dāng)而當(dāng)x0時(shí)，傳感器輸出為時(shí)，傳感器輸出為Cx=C0+C，交流電橋失，交流電橋失去平衡，去平衡，Uo0，則可按電橋輸出電壓的大小來標(biāo)定被測，則可按電橋輸出電壓的大小來標(biāo)定被測量量x。此種電路常用于料位自動(dòng)測量儀中。圖（。此種電路常用于料位自動(dòng)測量儀中。圖（b）為差）為差動(dòng)電橋測量電路，其空載輸出電壓為動(dòng)電橋測量電路，其空載輸出電壓為:s0s0000o)()()()(UCCUCCCCCCCCU 上式表明，差動(dòng)接法的交流電橋電路的輸出電壓Uo與被測電容C之間成線性關(guān)系。此種線路常用于尺寸自動(dòng)檢

24、測系統(tǒng)中。 2.3 電容式電容式傳感器的傳感器的應(yīng)用應(yīng)用一一、電容式測厚儀電容式測厚儀 電容式測厚儀是用來測量金屬帶材在軋制過程中的厚度的電容式測厚儀是用來測量金屬帶材在軋制過程中的厚度的。它的變換器就是電容式厚度傳感器，其工作原理如圖所示。它的變換器就是電容式厚度傳感器，其工作原理如圖所示。 在在被測帶材的上下兩邊各置一塊面積相等，與帶材距離被測帶材的上下兩邊各置一塊面積相等，與帶材距離相相同同的極板，這樣極板帶材就形成兩個(gè)電容器（帶材也作為的極板，這樣極板帶材就形成兩個(gè)電容器（帶材也作為一一個(gè)個(gè)極板）。把兩塊極板用導(dǎo)線連接起來，就成為一個(gè)極板極板）。把兩塊極板用導(dǎo)線連接起來，就成為一個(gè)極板

25、，而而帶材則是電容器的另一個(gè)極板，其總電容帶材則是電容器的另一個(gè)極板，其總電容: C=C1+C2 金屬帶金屬帶材在軋制過程中不斷向前送進(jìn)，如果帶材厚度材在軋制過程中不斷向前送進(jìn)，如果帶材厚度發(fā)生發(fā)生變化變化，將引起它與上下兩個(gè)極板間距變化，即引起電容量，將引起它與上下兩個(gè)極板間距變化，即引起電容量的的變化變化，如果總電容量，如果總電容量C作為交流電橋的一個(gè)臂，電容的作為交流電橋的一個(gè)臂，電容的變化變化C引起電橋不平衡輸出，經(jīng)過放大、檢波、再放大，最后引起電橋不平衡輸出，經(jīng)過放大、檢波、再放大，最后在在儀表儀表上顯示出帶材的厚度。這種厚度儀的優(yōu)點(diǎn)是帶材的上顯示出帶材的厚度。這種厚度儀的優(yōu)點(diǎn)是帶材

26、的振動(dòng)振動(dòng)不不影響測量精度。影響測量精度。二、電容式壓力傳感器二、電容式壓力傳感器.差動(dòng)式電容壓力傳感器 該該傳感器主要由一個(gè)活動(dòng)電極、兩個(gè)固定電極和三傳感器主要由一個(gè)活動(dòng)電極、兩個(gè)固定電極和三個(gè)個(gè)電極電極的引出線組成。動(dòng)電極為圓形薄金屬膜片，它的引出線組成。動(dòng)電極為圓形薄金屬膜片，它既是既是動(dòng)動(dòng)電極，又是壓力的敏感元件；固定電極為兩塊中凹電極，又是壓力的敏感元件；固定電極為兩塊中凹的的玻璃玻璃圓片，在中凹內(nèi)側(cè)，即相對金屬膜片側(cè)鍍上具有圓片，在中凹內(nèi)側(cè)，即相對金屬膜片側(cè)鍍上具有良良好好導(dǎo)電性能的金屬層。導(dǎo)電性能的金屬層。 電容式電容式壓力傳感器的工作原理為：當(dāng)被測壓力（或壓力傳感器的工作原理為：當(dāng)被測壓力（或壓壓差差）作用于測量膜片（電容器的動(dòng)片）而產(chǎn)生位移時(shí)）作用于測量膜片（電容器的動(dòng)片）而產(chǎn)生位移時(shí)，電容器電容器的電容量也隨之發(fā)生變化，經(jīng)過測量電路，的電容量也隨之發(fā)生變化，經(jīng)過測量電路，轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換成成相應(yīng)的電壓或電流的變化。相應(yīng)的電壓或電流的變化