《靜電防護培訓》

1、（靜電泄放）2.靜電產生：摩擦靜電產生：摩擦 碰撞碰撞 剝離剝離 破裂破裂 感應感應 極化極化 吸附吸附 噴射噴射 逸出功逸出功 接觸電位差接觸電位差 偶電層偶電層1.靜電：本來不帶電的中性狀態(tài)靜電：本來不帶電的中性狀態(tài) 的物體，由于外來原因，如與帶的物體，由于外來原因，如與帶電體接觸并將其分離，導致了正負電荷的平衡破壊并産生過剩電電體接觸并將其分離，導致了正負電荷的平衡破壊并産生過剩電荷荷3.一般電気和靜電的不同一般電気和靜電的不同一般的電気一般的電気 電荷是運動的電荷是運動的(低電圧低電圧 / 大電流大電流)靜電気靜電気 電荷不運動電荷不運動(高電圧高電圧 / 小電流小電流) 4靜電現象靜

2、電現象 力學的影響力學的影響吸引力吸引力, 排斥力等排斥力等. 放電的影響放電的影響電擊、熱、光、聲等電擊、熱、光、聲等(比如比如:打雷，膠片感光，打雷，膠片感光， 半導體半導體(IC) 破壊破壊) 靜靜 電電 場場帶電物體帶電物體5靜電特性靜電特性 導體導體 即使帯電也容易泄放即使帯電也容易泄放 (不容易帯大電量不容易帯大電量) 絶縁物絶縁物 帯電後不容易泄放帯電後不容易泄放 (容易帯大電量容易帯大電量)6. 靜電感應靜電感應 接觸接觸, ,剝離、摩剝離、摩 擦、碰撞、破壊、擦、碰撞、破壊、 変形変形, ,変換、離変換、離 子吸著等子吸著等消除這 些原因，靜電就不発生接觸面積、材質、接觸面積

3、、材質、圧力、摩擦頻度、圧力、摩擦頻度、速度、溫度差、速度、溫度差、濕度等濕度等 減少這 些 現象的発 生、能降低靜電的発生決定帯電大小的要因決定帯電大小的要因帯電的原因帯電的原因破壊原理破壊原理帯電原因帯電原因 器件帯電原因器件帯電原因 ）摩擦帯電 包裝摩擦帯電取出、 從編 帶 盒中取出, 操作）帯電物體接近（靜電誘導） 接近帯電物 (靜電感應)IC IC 破壊的原理破壊的原理設備帯電 model人體接地 電 場 感應 model人體帯電 model金屬筐體 鑷 子 鉗.IC（）帯電帯電物當帯電物為人體的話. 人體模型人體 電気力線帯電物當金屬筐體是帯物. 機械模型破壊原理破壊原理破壊破壊

4、IC IC 破壊模型破壊模型酸化皮膜破壊酸化皮膜破壊配線破壊配線破壊非常薄酸化皮膜、低電圧絶縁破壊起酸化膜穴開特靜電気破壊時多非常薄的硅酮 氧 化膜、在低電圧時引起絶縁破壊造成化氧化膜孔裂，特別靜電破壊時比較多 電圧破壊 電圧破壊過度電流流込、熱的破壊起特配線抵抗、電極配線焼損特過電流破壊時多過度電流的流入、引起熱破壊，特別是配線電阻、電極配線焼損。特別浪涌電壓和短路等原因引起過電流破壊的比較多 電流破壊 電流破壊IC IC 破壊的原理破壊的原理氧化膜破壊配線破壊靜電放電的破壞靜電放電的破壞ESD半導體破壞率的分配半導體破壞率的分配：資料由資料由Semiconductor Reliabilit

5、y提供提供(March,1993)59%都是由靜電引致的都是由靜電引致的靜電放電的破壞靜電放電的破壞(續(xù)續(xù))靜電放電的破壞靜電放電的破壞(續(xù)續(xù))表1-1靜電放電敏感器件分級表1級：敏感電壓范圍01999V元 器 件 類 型微波器件(肖特基勢壘二極管、點接觸二極管和其他工作頻率大于1GHZ的檢測二極管離散型MOS場效應晶體管聲表面波(SAW)器件結型場效應晶體管(JEETs)電荷耦合器件(CCDs)精密穩(wěn)壓二極管(線或加載電壓穩(wěn)定(0.5%)運算放大器(OP AMPs)薄膜電阻器集成電路使用1級元器件的混合電路超高速集成電路(VHSIC)環(huán)境溫度100時，IO0.175A的晶體閘流管(SCRs)

6、2級：敏感電壓范圍20003999V元 器 件 類 型離散型MOS場效應晶體管結型場效應晶體管(JEETs)運算放大器(OP AMPs)集成電路(ICs)超高速集成電路(VHSIC)精密電阻網絡(R2)使用2級元器件的混合電路低功率雙級型晶體管，Ptot100mW，Ic100mA3級：敏感電壓范圍400015999V元 器 件 類 型離散型MOS場效應晶體管運算放大器(OP AMPS)集成電路(ICS)超高速集成電路(VHSIC)所有不包括在1級或2級中的其他微電路Ptot1W或IO1A的小信號二極管普通要求的硅整流器IO0.175A的晶體閘流管(SCRs)350mWPtot100mW且400

7、mAIO100mA的低功率雙極型晶體管光電器件(發(fā)光二極管、光敏器件、光耦合器)片狀電阻器使用3級元器件的混合電路壓電晶體破壊原理破壊原理類型電圧（）Voltage junction FET Shotkey diode Bipolar transister ( 基板 ) （印刷基板水準)耐圧靜電気対策目標耐圧靜電気対策目標 IC 的耐圧和靜電対策的目標靜電気弱代表的素子耐圧靜電気弱代表的素子耐圧対靜電較弱的代表的器件的耐圧IC IC 破壊的原理破壊的原理 靜電気対策目標値靜電気対策目標値靜電対策的目標値以下以下 (DVD)(DVD)以下以下 但出來限近 盡可能接近.100V or less破壊

8、原理破壊原理 pick upPick-up 1）工作頻率越高，基區(qū)越薄，耐壓越低2）輸入阻抗越高，靜電積累越高人走路時的等效電路材料(用品)或活動封蠟、涂漆或浸漆表面 工作臺普通樹脂或塑料面 工作椅塑料地板打臘拋光木板普通乙烯樹脂瓦或板普通清浩室工作服普通合成面料服裝、手套非導電的鞋純棉普通塑料：袋、罩、封皮普通泡沫容器、泡沫材料普通塑料托盤、塑料運輸斗、瓶、零件盒水霧清除器普通塑料焊料吸管帶有不接地焊嘴的烙鐵通過流體或蒸發(fā)或吹干溫箱低溫噴射器熱噴射和壓縮機噴砂靜電復印機芯片板托架、盤工具類運轉車存放柜產生靜電感應電壓并放電:物體或工藝加工工作表面地板服裝軟包裝及操作周轉容器裝配、清洗、試驗修

9、理芯片載體物流器具(用品)高電壓設備塑料袋種類靜電電壓(KV)試驗條件PP1.53PS24PE13PVC13.5PUR1.53.5RH=50%、T=20、f=25N、S=20mm摩擦片為不銹鋼、儀器為TI3000靜電產生方法人在地毯上行走人在乙 烯樹脂地板 上行走人在工作臺上操作乙烯樹 脂說明書封 面摩擦聚氨脂泡沫墊子移動靜電電壓(V)相對濕度：1020相對濕度：65901600012000600070001800015002501006001400人體帯電要因人體帯電要因容易靜電多発生的動作1） 在絶縁性好的地板上行走時.）脫上衣時.）従座位和椅子上站起來時.）使用帯電板和塑料成型品時） 站

10、在靠近帶絨毛的布材的邊上.人體水分人體的 80% 是水.皮膚電気抵抗皮膚的電気阻抗 數數百數數百 靜電導體地板材質 床材 床地板 接觸過程剝離過程 帯電電苛 帯電電荷床面上歩行帯電床面上歩行帯電地板上行走的帯電人體靜電気対策人體靜電気対策冬季乾燥狀態(tài)時有10,000以上的帯電.靜電儲存人體靜電容量人體靜電容量人體的靜電対策100200PFabcdef0.135135535103535353500.2(350.2)351352357.53575357500.3350.863533530353000.53513510351003510003510000351000005.0357357035700

11、00.1m1級0.1m5級0.1m10級1級(0.1m35級)10級100級1000級10000級100000級級別檢測的粒徑 m 注：表示必須配置項目注：表示必須配置項目 表示需要時配置項目或局部區(qū)域配置項目。表示需要時配置項目或局部區(qū)域配置項目。配置部位 配置項目 器材名稱 元器件待驗元器件檢驗 及老化篩選元器件庫房元器件預處理設計工藝實驗室裝 配調 試機 房維 修外場維修運 輸防靜電元件存放架靜電識別標簽防靜電元件盒(袋)防靜電桌墊防靜電地墊防靜電周轉箱防靜電運輸車防靜電工作服防靜電腕帶腕帶監(jiān)視器導電鞋束防靜電工作鞋防靜電工作手套防靜電烙鐵防靜電吸錫器防靜電印刷板架靜電電壓表離子風靜電消

12、除器防靜電維修箱(包)防靜電海棉泡沫防靜電接地線(帶)防靜電工作區(qū)標志牌防靜電文件袋抗靜電劑(溶液)靜電監(jiān)測設備1.保護接地保護接地CBACKI電源電源CBCKIIIRddRrrII2.工作接地工作接地3.重復接地重復接地CBA高壓 低壓工作接地重復接地保護接地cbaononxdrrrUU4.中性點、零點和中性線、零線中性點、零點和中性線、零線5.防雷接地防雷接地6.靜電接地靜電接地主變電箱防靜電崗位(接地線)1MR(4)相相相零地1.接地裝置的裝設地點接地裝置的裝設地點2.接地裝置的埋設接地裝置的埋設3.人工接地網的布置人工接地網的布置4.敷設地線的人工安裝敷設地線的人工安裝 名 稱 圓鋼直

13、徑(mm)扁鋼截面(mm) 厚(mm)角鋼厚度(mm)鋼管壁厚(mm) 2建筑物內624221 屋 外109032.52.5 地 下16120443.55.地線埋設舉例地線埋設舉例一般的埋設方法一般的埋設方法14扁鋼接地線100mm管夾焊縫2.53m50鋼管接地體90mm扁鋼焊縫鋼管管夾接地線(扁鋼)接地體(鋼管)地面1m310m2.53m(a)單根(b)多根條形地線的埋設條形地線的埋設管長(m)直徑 (mm)土壤 性質泥沼黑土粘土砂質粘土22.532511.52528383011.322.52736351121.826354010.821.325.5344510.520.82533.5501

14、0.320.324.532.5259.6192331309.218.822.529.535918.321.829408.817.82128.5458.617.520.828508.41720.527.525816.519.826.5307.61619.325.5357.415.518.825407.31518.524.5457.214.8182450714.517.523.5nRR1泥 沼黑 土粘 土沙質粘土沙 土濕 沙中等濕度的沙石 砂23.947.857.576.528738347895614.52934.846.317423229058010.921.826.234.9131174.52

15、184366.412.815.320.476.81021282564.69.21116.255.373.5921843.67.28.614.743.257.672144條長(m)土質1236912條數條長(mm)369122111130.750.770.780.8040.620.650.680.70埋設地線的注意事項埋設地線的注意事項地面地線引線埋深鐵條接地體EBP1.固定崗位的范疇固定崗位的范疇2.區(qū)域內要裝統(tǒng)一的接地母線區(qū)域內要裝統(tǒng)一的接地母線接地帶腕帶維修包破壊原理破壊原理破壊起條件破壊起條件 予防破壊的條件予防破壊的條件自體帯電防止包裝帯電防止和消除本身體的電荷 本身不帯電本身不帯電.

16、 . (導電托盤.和除電風扇)帯電物近周囲環(huán)境的改善. 帯電物不接近帯電物不接近(區(qū)域內不放置帯電物品.) 取扱人帯電人體的接地. (接地環(huán), 靜電鞋等.) 手接觸人員的不帯電手接觸人員的不帯電. . 金屬抵抗小、直接接觸 金屬等阻抗小的物品金屬等阻抗小的物品, ,不要直接與腳接觸不要直接與腳接觸. 慢步除電. (安裝導電橡皮)IC 破壊的原理1）IC各各PIN保持等電位；保持等電位；2）最好是另電位；）最好是另電位；3）高電位向低電位過渡，）高電位向低電位過渡，不能快速泄放。不能快速泄放。靜電気靜電気生産上半導體破壊危険度生産上半導體破壊危険度生産中半導體破壊的危険度単品狀態(tài)基板実裝狀態(tài)半導體破壊危険度半導體破壊危険度半導體破壊