真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備設(shè)計(jì)安裝及操作維護(hù)實(shí)用手冊

1、真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備設(shè)計(jì)安裝及操作維護(hù)實(shí)用手冊作  者：李云奇 出版社：化學(xué)工業(yè)出版開  本：16開精裝 冊  數(shù)：全三冊 +1張光盤 定  價(jià)：798 元優(yōu)惠價(jià)：360 元真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備設(shè)計(jì)安裝及操作維護(hù)實(shí)用手冊 真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備設(shè)計(jì)安裝及操作維護(hù)實(shí)用手冊  目錄第一篇真空鍍膜技術(shù)概論 第一章真空鍍膜技術(shù)及其應(yīng)用 第二章真空鍍膜基礎(chǔ)知識(shí) 第三章真空鍍膜常用塑料 第四章真空鍍膜常用涂料 第二篇真空技術(shù) 第一章真空基本知識(shí) 第二章真空泵 第三章真空系統(tǒng) 第四章真空測量 第五章真空檢漏 第三篇真空鍍膜材料

2、 第一章薄膜材料的基本理論和特性 第二章金屬薄膜材料 第三章介質(zhì)和半導(dǎo)體薄膜材料 第四章光學(xué)性能可變換的薄膜材料 第四篇真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù) 第一章真空蒸發(fā)鍍膜原理 第二章蒸發(fā)源 第三章蒸發(fā)源的蒸發(fā)特性及其膜厚分布 第四章某些特定材料的蒸發(fā)技術(shù) 第五章間歇式真空蒸發(fā)鍍膜機(jī) 第六章半連續(xù)式真空蒸發(fā)鍍膜機(jī) 第五篇真空濺射鍍膜技術(shù) 第一章濺射技術(shù) 第二章直流濺射鍍膜 第三章磁控濺射鍍膜 第四章射頻濺射鍍膜 第五章反應(yīng)濺射鍍膜 第六章磁場計(jì)算 第七章水冷系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與計(jì)算 第八章膜厚均勻度 第六篇真空離子鍍膜和束流沉積技術(shù) 第一章真空離子鍍膜 第二章離子束沉積技術(shù) 第三章分子束外延技術(shù) 第七篇化學(xué)氣相沉積技

3、術(shù) 第一章化學(xué)氣相沉積技術(shù)概論 第二章化學(xué)氣相沉積方法 第三章低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù) 第四章等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù) 第五章其它化學(xué)氣相沉積法 第八篇真空離子注入技術(shù) 第一章真空離子注入技術(shù)概論 第二章幾種離子注入的新方法 第三章離子注入裝置 第四章離子注入及離子束混合的應(yīng)用 第九篇薄膜微細(xì)加工技術(shù) 第一章薄膜微細(xì)加工技術(shù)概論 第二章離子束刻蝕 第三章t糠酸濺射刻蝕 第四章等離子體反應(yīng)刻蝕 第五章反應(yīng)離子刻蝕 第十篇薄膜厚度的測量與監(jiān)控 第一章電學(xué)測量法 第二章光學(xué)測量法 第三章機(jī)械測量法 第十一篇真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)安裝與操作維護(hù) 第一章真空鍍膜設(shè)備構(gòu)件設(shè)計(jì) 第二章卷繞式真空鍍膜機(jī) 第三章間歇式真空鍍膜機(jī) 第四章真空鍍膜設(shè)備安裝調(diào)試與操作維修 第十二篇真空鍍膜技術(shù)在塑