潔凈室等級FS-209E和ISO14644-1的對比

1、潔凈室等級FS-209E和ISO14644-1的對比1、 等級依據(jù)公式不同而引起結(jié)果差異ISO14644-1的潔凈的度等級依據(jù)公式與FS209E的不同，主要是將參照粒徑由0.5um改成0.1um；累計(jì)分布系數(shù)n，由2.2改為2.08。其結(jié)果的差異是：1） ISO 1級比FS209E的M1級達(dá)更嚴(yán)的要求。ISO1級對被考慮粒徑為0.1um時(shí)，其0.1um粒徑最大濃度限值，即被考慮粒徑下粒子累計(jì)分布最大濃度值，為10pcs/m3,而M1級則為350pc/m3，其對照可見表2。ISO的等級就更適應(yīng)對潔凈度控制要求更嚴(yán)密的發(fā)展需要。2） 由于FS209的英制潔凈度等級已為大家所熟悉，改用其他標(biāo)準(zhǔn)的等級

2、必然需要有個(gè)方便的對應(yīng)關(guān)系。ISO3、4、5、6、7、8級各與英制的1、10、100、1000、10000、100000級相當(dāng)，即在被考慮粒徑D=0.5um時(shí)，其0.5um粒子的最大濃度限值是相同的；ISO的相關(guān)等級序數(shù)都是整數(shù)，若n仍采用FS209EDE2.2,則與英制等級對應(yīng)的ISO等級序數(shù)就不是整數(shù)了，因此問題不在于2.08還是2.2更符合實(shí)際，而在于放方便合適，因?yàn)榇髿庵袘腋×Ｗ永塾?jì)分布指數(shù)n，其經(jīng)驗(yàn)值一般在22.3間。表1 ISO 14644-1 與 FS209E 標(biāo)準(zhǔn)的差異點(diǎn)項(xiàng)目FS-209EISO14644-11.劃分等級強(qiáng)調(diào)按其潔凈度等級表中所列的標(biāo)準(zhǔn)等級，亦列出等級公式強(qiáng)調(diào)按

3、等級公式2.等級依據(jù)公式Cm=(0.5/D)2.2×10M粒子數(shù)/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制)Cm某等級下，D的懸浮粒子最大濃度限值Pc/m3D被考慮粒徑umM潔凈度等級序數(shù)Nc英制單位的潔凈度等級Cm=(0.1/D)2.08×10NCn同左CmD同左N同左M3.等級數(shù)M1M7ISO1ISO9級4.測試時(shí)潔凈室狀態(tài)未作規(guī)定1種或更多狀態(tài)5.測試的粒徑范圍要求1個(gè)或更多1個(gè)或更多，其粒徑至少應(yīng)為下一個(gè)較小粒徑的1.5倍6.最小取樣體積2.83L2L7.取樣點(diǎn)數(shù)非單向流：A×64/(10M)0.5單向流：A/2.32,A×64/(10M)0.5

4、中取較小者A8.取樣次數(shù)1次或更多1次，若僅為一點(diǎn)時(shí)則取樣3次9.超微粒子0.02um<0.1um10.大粒子未作規(guī)定>5um11.等動(dòng)力取樣包括未包括由于兩標(biāo)準(zhǔn)的 n 值取得不一，ISO有關(guān)與FS209英制等級相對應(yīng)的等級，除被考慮粒徑D為0.5um外，其它各被考慮粒徑下的累積分布最大濃度限值便不同，如在D<0.5um時(shí)，其累積分布最大濃度限值，ISO有關(guān)等級比相當(dāng)?shù)腇S209英制等級為小，而在D>0.5um時(shí)，則為大，因?yàn)榇髿庵?，懸浮粒子累積分布濃度（N）與各被考慮粒徑(D)的關(guān)系是 ，其差別可從表2對照看出，如ISO4級與相當(dāng)(FS209E 英制等級)1

5、0級，被考慮粒徑D為0.5um，其0.5um的最大濃度限值是相同的，但當(dāng)D為0.1um時(shí)，其0.1um粒子的最大濃度限值便各為10000Pc/m3(ISO4級)及12400Pc/m3(1000級)；又如ISO6級相當(dāng)1000級，當(dāng)D為5um時(shí)，5um的最大濃度限值各為293P c/m3(ISO6級)及247Pc/m3(1000級)。2、 非表列的等級ISO14644-1對ISO1ISO9級范圍內(nèi)的各等級間允許按0.1遞增進(jìn)行再細(xì)分，為ISO1.1、ISO1.2ISO8.8、ISO8.9，并強(qiáng)調(diào)按其依據(jù)公式進(jìn)行計(jì)算各被考慮粒徑D下的D粒徑最大濃度限值。而FS209E則強(qiáng)調(diào)按其表列的標(biāo)準(zhǔn)等級，只在

6、特殊需要情況下才允許再細(xì)分級，并按其公式近似計(jì)算其D 的最大濃度限值。3、 替代粒徑ISO 14644-1對列于其表中的主要被考慮粒徑外的粒徑，都允許作為被考慮粒徑，按其公式計(jì)算有關(guān)最大濃度限值，只要求在測量二個(gè)或更多個(gè)粒徑時(shí)，各粒徑間應(yīng)滿足大的比小的其直徑至少為1.5倍。而FS209E則對其表列被考慮粒徑（見表2）以外的粒徑稱為替代粒徑，當(dāng)采用替代粒徑作為控制粒徑時(shí)，在某等級下，其該替代粒徑的最大允許濃度限值不是按其等級依據(jù)公式計(jì)算得出，而規(guī)定仍按其表列的被考慮粒徑中，相鄰替代粒徑且大于它的一個(gè)被考慮粒徑的作為依據(jù)。這就于理不通，實(shí)屬多此一舉。4、 潔凈度等級及超微粒子等的表達(dá)格式1) 對潔

7、凈度等級的表達(dá)格式潔凈度等級表述格式都是指粒徑0.1um5um范圍內(nèi)的，不適用于<0.1um及>5um的粒徑。ISO14644-1對潔凈度等級的表達(dá)格式為：等級級別；等級的占用狀態(tài)；被考慮粒徑。如：ISO4級；動(dòng)態(tài)；被考慮粒徑0.2um(2370Pc/m3),1um(83Pc/m3)。而FS209E則無明確規(guī)定，只明確為M3.5(0.3um)或100（0.3um），這個(gè)英制表達(dá)式往往被誤解，有的常把100（0.3um）理解為0.3um粒子，最大允許濃度為100pc/ft3，實(shí)際上應(yīng)理解為100級（即0.5um的粒子為100 pc/ft33） 對<0.1um及>0.5um粒子的表達(dá)格式。ISO14644-1定義<0.1um粒徑的粒子為超微粒子，其表達(dá)格式為：“U(x;y) ”，x超微粒子濃度pc/ft3，y超微粒子粒徑。對>5um的粒子定義為大粒子，其表達(dá)格式為“M(a;b);c”，a,b各為濃度及粒徑， c為測量方法，這就把小于0.1um及大于5un范圍的粒徑以描述符來規(guī)定其要求。而FS