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文檔簡介

1、光學(xué)薄膜的真空鍍膜設(shè)備型號(hào)：BMC1100DS，帶Windows軟件自動(dòng)控制系統(tǒng)（SDC）/日本制造時(shí)間：2003年?duì)顟B(tài)：運(yùn)行極好生產(chǎn)廠家：Shincron （）技術(shù)規(guī)格：真空腔體尺寸：1100mmH 1600mm襯底圓頂尺寸：950（330rpm）耐加熱系統(tǒng)：20mm4kw蒸發(fā)源： EB Guns (JEOL)JEBG-102UHO（35ccx20）JST-16F (16kw)IAD 系統(tǒng)：無光學(xué)厚度監(jiān)控器：OPM-V1 (monitor glass 30x30)石英晶體微天平監(jiān)控器：無真空泵單元：MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polyc

2、old (PFC-670HLL)加熱系統(tǒng)：最大350±10（36kw）價(jià)格：JPY 36,000,000.00 (FOB TOKYO)型號(hào)：RMC1100，帶Windows軟件自動(dòng)控制系統(tǒng)/日本制造時(shí)間：2003年8月狀態(tài)：運(yùn)行極好生產(chǎn)廠家：技術(shù)規(guī)格：真空腔體尺寸：1150mmH 1500mm襯底圓頂尺寸：950（330rpm）耐加熱系統(tǒng)：20mm4kw蒸發(fā)源：EB Guns (Plasma System)G-12100（35ccx20）D-10001 (10kw)IAD 系統(tǒng)：無光學(xué)厚度監(jiān)控器：3801500nm（波長） (monitor glass 10x60pcs)石英晶體微天平監(jiān)控器：XTC-2(Inficon)真空泵單元：MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL)加熱系統(tǒng)：300±10（21kw

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