認(rèn)識晶體硅太陽能電池制造的設(shè)備ppt

1、2.2認(rèn)識晶體硅太陽能電池制造的設(shè)備2 一、認(rèn)識濕法刻蝕設(shè)備n 1、實物及結(jié)構(gòu) a、實物 濕法刻蝕設(shè)備一般采用的是德國RENA Inoxside 后清洗設(shè)備。 一、認(rèn)識濕法刻蝕設(shè)備n 1、實物及結(jié)構(gòu) b、結(jié)構(gòu) RENA Inoxside 后清洗設(shè)備主體分為7個槽體， 槽體根據(jù)功能不同分為入料段、濕法刻蝕段、水洗段、堿洗段、水洗段、酸洗段、溢流水洗段、吹干槽。所有槽體的功能控制在操作電腦中完成。其他還有滾輪、排風(fēng)系統(tǒng)、自動給水補液系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)。 一、認(rèn)識濕法刻蝕設(shè)備1、實物及結(jié)構(gòu) c、產(chǎn)品特點n 有效減少化學(xué)藥品使用量 n 高擴展性模塊化制程線 n 擁有完善的過程監(jiān)控系統(tǒng)和可視化

2、操作界面 n 優(yōu)化流程，降低人員勞動強度 n 通過高可靠進程降低碎片率 n 自動補充耗料實現(xiàn)穩(wěn)定過程控制 一、認(rèn)識濕法刻蝕設(shè)備n 2、設(shè)備維護及保養(yǎng) 主要為各槽體及滾輪碎片的清理和屏幕清潔。二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備n 1、實物及結(jié)構(gòu) 管式PECVD鍍減反膜設(shè)備主要由工藝管及電阻加熱爐、推舟凈化系統(tǒng)、氣爐系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)6大部分組成。二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備機械手機械手槳槳小小推推車車操作平臺操作平臺指示燈爐爐門門8槳LIFT傳送機構(gòu)二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備 石墨舟：石墨舟：用于管式PECVD，主要由石墨片及陶瓷棒構(gòu)成，陶瓷棒起到絕緣

3、作用，石墨片用于導(dǎo)電形成相應(yīng)的反應(yīng)磁場；舟內(nèi)有卡點，每片為三個點，用于固定硅片。二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備101CMS模塊 2溫差電耦 3電源連接板 4溫度測量模組加熱裝置二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備11Stack 4Stack 4Stack 3Stack 3Stack 2Stack 2Stack 1Stack 1N2 MFCNH3 MFCSiH4 MFCN2 閥NH3 閥SiH4 閥特氣柜特氣柜二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備12真空泵真空管路purge控制面板真空泵二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備二、認(rèn)識管式PECVD鍍減反膜設(shè)備n 2、設(shè)備維護及保養(yǎng) a、保持工藝管內(nèi)真空狀態(tài)、不能殘留工藝氣體、定期進行清洗 b、經(jīng)常更換機械泵油 c、定期全面檢查 d、環(huán)境溫度保持20度一下 e、保持排風(fēng)管道暢通謝謝觀賞WPS Offi