晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝流程圖

1、.晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝流程圖電池片工藝流程說明：(1) 清洗、制絨：首先用化學(xué)堿（或酸）腐蝕硅片，以去除硅片表面機(jī)械損傷層， 并進(jìn)行硅片表面織構(gòu)化， 形成金字塔結(jié)構(gòu)的絨面從而減少光反射。現(xiàn)在常用的硅片的厚度在 180m 左右。去除硅片表面損傷層是太陽(yáng)能電池制造的第一道常規(guī)工序。(2) 甩干：清洗后的硅片使用離心甩干機(jī)進(jìn)行甩干。(3) 擴(kuò)散、刻蝕：多數(shù)廠家都選用 P型硅片來制作太陽(yáng)能電池，一般用 POCl3液態(tài)源作為擴(kuò)散源。擴(kuò)散設(shè)備可用橫向石英管或鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐, 進(jìn)行磷擴(kuò)散形成 P-N結(jié)。擴(kuò)散的最高溫度可達(dá)到 850- 900。這種方法制出的 PN結(jié)均勻性好，方塊電阻的不均勻性小于 10，少子

2、壽命大于 10 微秒。擴(kuò)散過程遵從如下反應(yīng)式：4POCl33O2（過量） 2P2O52Cl 2（氣） 2P2O55Si 5SiO2 + 4P腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路，用化學(xué)方法除去擴(kuò)散生成的副產(chǎn)物。 SiO2 與HF生成可溶于水的 SiF 62- ，從而使硅表面的磷硅玻璃（摻 P2O5的SiO2） 溶解，化學(xué)反應(yīng)為：SiO2 6HF H2 （SiF 6） 2HO(4) 減反射膜沉積：采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)技術(shù)在電池表面沉.積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且由于在制

3、備SiNx 減反射膜過程中有大量的氫原子進(jìn)入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果。 這是因?yàn)閷?duì)于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的懸掛鍵被飽和，降低了復(fù)合中心的原因。由于表面鈍化和體鈍化作用明顯， 就可以降低對(duì)制作太陽(yáng)能電池材料的要求。由于增強(qiáng)了對(duì)光的吸收，氫原子對(duì)太陽(yáng)能電池起到很好的表面和體內(nèi)鈍化作用，從而提高了電池的短路電流和開路電壓。(5) 印刷、燒結(jié)：為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個(gè)盡可能低的接觸電阻。 背面做成BSF結(jié)構(gòu)，以減小表面電子復(fù)合，印刷后要進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)。(6) 檢測(cè)分

4、選：為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，通常要對(duì)每個(gè)電池片測(cè)試，并按電流和功率大小進(jìn)行分類，也可根據(jù)電池效率進(jìn)行分級(jí)。(7) 包裝入庫(kù)：將分選好的電池片一部分可以進(jìn)行包裝，入庫(kù)，準(zhǔn)備外賣；其他的準(zhǔn)備進(jìn)入電池組件生產(chǎn)工序待用。.晶體硅太陽(yáng)能電池組件流程圖電池分選電池片焊接電池串焊接玻璃清洗TPT 、 EVA 裁切電池板鋪設(shè)待壓組件初測(cè)層壓裁邊逆電流測(cè)試封裝固化清洗測(cè)試、貼標(biāo)包裝入庫(kù)電池組件工藝流程說明：(1) 電池分選：由于采用自產(chǎn)電池片，電性能測(cè)試在電池片工藝流程中已經(jīng)完成，該步驟主要對(duì)電池片的色差、崩邊、陷裂、缺角等外觀不良進(jìn)行篩選。(2) 正面焊接：是將匯流帶焊接到電池正面（負(fù)極）的主柵線上，匯流帶

5、為鍍錫的銅帶，我們使用的焊接機(jī)可以將焊帶以多點(diǎn)的形式點(diǎn)焊在主柵線上。焊接采用熱風(fēng)或紅外焊接方式。焊帶的長(zhǎng)度約為電池邊長(zhǎng)的 2 倍。多出的焊帶在背面焊接時(shí)與后面的電池片的背面電極相連。(3) 背面串接：背面焊接是將多片電池串接在一起形成一個(gè)組件串。(4) 層壓敷設(shè)：背面串接完成且經(jīng)過檢驗(yàn)合格后，將組件串、玻璃和切割好的 EVA、背板按照一定的層次敷設(shè)好，準(zhǔn)備層壓。敷設(shè)時(shí)保證各層之間的相對(duì)位置，調(diào)整好電池串間的距離，為層.壓打好基礎(chǔ)。（敷設(shè)層次：由下向上：玻璃、EVA、電池、 EVA、背板）。(5) 組件層壓：將敷設(shè)好的電池放入層壓機(jī)內(nèi)，通過抽真空將組件內(nèi)的空氣抽出， 然后加熱使 EVA熔化 ,

6、將電池、玻璃和背板粘接在一起 , 最后取出組件。 層壓工藝是組件生產(chǎn)的關(guān)鍵一步， 層壓溫度、層壓時(shí)間根據(jù) EVA的性質(zhì)決定。(6) 修邊：層壓時(shí) EVA熔化后由于壓力而向外延伸固化形成毛邊，所以層壓完畢后應(yīng)將其切除。(7) 逆電流測(cè)試：利用穩(wěn)壓電源在太陽(yáng)能電池上外加正偏壓或負(fù)偏壓，然后觀測(cè)紅外熱像圖，判定電池片有無隱裂、虛焊等缺陷。(8) 裝框：類似于給玻璃裝一個(gè)鏡框。給玻璃組件裝鋁框，增加組件的強(qiáng)度，進(jìn)一步密封電池組件，以延長(zhǎng)電池的使用壽命。邊框和玻璃組件的縫隙用硅酮樹脂填充，各邊框間用角鍵連接。(9) 焊接接線盒：在組件背面引線處焊接一個(gè)盒子，以利于電池與其他設(shè)備或電池間的連接。(10) 高壓測(cè)試： 高壓測(cè)試是指在組件邊框和電極引線間施加一定的電壓，測(cè)試組件的耐壓性和絕緣強(qiáng)度