激光干涉儀檢定內(nèi)徑千分尺講解

1、.激光干涉儀概述SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率 高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性 分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機(jī) 床誤差修正提供依據(jù)。.激光干涉儀原理激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光 束射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束則通過分光鏡射入第二個(gè) 反射鏡，這兩道光束再反射回到

2、分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè) 器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖。若光程差沒有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長性和相消 性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩 極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量兩個(gè)光程之間的差異變化。輸入光束測(cè)凰光東鑫考光束裁加吒束三.激光干涉儀測(cè)量內(nèi)徑千分尺示值誤差說明示值誤差采用測(cè)長機(jī)配激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量時(shí)先在測(cè)長機(jī)頭座和尾座的 測(cè)桿上安裝不小于8 mm的平面測(cè)帽,并將其兩測(cè)帽的工作面調(diào)整平行。被檢內(nèi)徑 千分尺直接或借助支撐架安置在儀器工作臺(tái)上，根據(jù)儀器的示值調(diào)整測(cè)微頭的測(cè)量 下限至正確位置。每次測(cè)量均需調(diào)整工作臺(tái)或支撐架至轉(zhuǎn)折點(diǎn)讀數(shù)。四激光干涉儀測(cè)量內(nèi)徑千分尺示值 誤差方法GI安裝方法儀安裝于測(cè)KVI的熔P?外.十片安厲于W!恢機(jī)體上于側(cè) 曜冷上覺食示童見圖:】員空就光東使耳于測(cè)長機(jī)的;線篁合.將就光十榜儀 的材RfflltHitS均勺貼附m輸蟲植T分尺h(yuǎn)機(jī)體之t并盡最找遼澈尢光Rh安豪時(shí)應(yīng)保Q代忡"2UI光東附班兀卿!*書代盧倉件檢富不尺寸內(nèi)軽r介尺時(shí)也町以通過&用円淀檢將滋比丁涉儀安轂存“K機(jī)機(jī)體 上，見lfiC.2a*1：尤一注僅安*布賀長縄r體上C. 1安裝方法激光十涉儀密裝于測(cè)氏機(jī)的尾座外，十涉僦安裝