特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)規(guī)范

1、特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)規(guī)范特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范2011-04-0708:31:54|分類：默認(rèn)分類|標(biāo)簽：氣體特種管道氣瓶閥門|字號(hào)訂閱1總貝I1.0.1為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國(guó)家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護(hù)環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)和施工。1.0.3本規(guī)范不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。1.0.4特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。2術(shù)語(yǔ)2.0.1特種氣體sp

2、ecialilygas用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。2.0.2特種氣體系統(tǒng)specialitygassystem特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場(chǎng)的特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配全過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱。2.0.3特種氣體間specialitygasroom是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過(guò)管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。2.0.4硅烷站silanestation是指放置硅烷儲(chǔ)存設(shè)備（氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長(zhǎng)管拖

3、車或ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐）、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過(guò)管道向用氣生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建構(gòu)筑物或區(qū)域。2.0.5明火地點(diǎn)openflamesite室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點(diǎn)。2.0.6散發(fā)火花地點(diǎn)sparkingsite散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點(diǎn)。2.0.7空瓶emptycylinder留有殘余壓力的氣體鋼瓶。2.0.8實(shí)瓶fullcylinder存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為40L、47、48L等各種容積。2.0.9氣瓶集裝格thebundleofgascylinders用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體

4、鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。氣瓶的個(gè)數(shù)分別為9個(gè)、12個(gè)、16個(gè)不等，單個(gè)氣瓶的水容積通常為4050L。2.0.10氣瓶柜gascabinet(GC)特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、緊急切斷閥、過(guò)流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。2.0.11氣瓶架gasrack(GR)特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過(guò)濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。2.0.12閥門箱valvemanifoldb

5、ox(VMB)特種氣體在輸送過(guò)程中使用的封閉式管道分配部件，VMB在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管可配置手動(dòng)閥、壓力表、過(guò)濾器等組件，除SiH2cl2、WF6等低蒸汽壓力氣體外，VMB各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。VMB需設(shè)置泄漏氣體排氣管接口和風(fēng)壓事故報(bào)二°2.0.13閥門盤valvemanifoldpanel(VMP)特種氣體在輸送過(guò)程中使用的開放式管道分配部件，VMP在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管應(yīng)配置手動(dòng)閥、壓力表、過(guò)濾器等組件，VMP各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。2.0.14低蒸汽壓力氣體lowvaporpressuregas在室溫下的飽和蒸氣壓小于0.2MPa的氣體

6、。2.0.15尾氣處理裝置localscrubber用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置，處理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車間的排氣管道。2.0.16氣體探測(cè)系統(tǒng)gasdetectorsystem(GDS)設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域，通過(guò)檢測(cè)本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的含量來(lái)判斷本質(zhì)氣體的泄漏，從而發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)、提供應(yīng)急處理數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。2.0.17氣體管理系統(tǒng)gasmanagementsystem(GMS)包含特種氣體探測(cè)系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)輸送與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)

7、的統(tǒng)稱。2.0.18最高允許濃度值thresholdlimitvalue(TLV)工作環(huán)境空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。2.0.19爆炸濃度下限值lowexplosionlimit(LEL)可燃?xì)怏w在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。2.0.20臥式氣瓶y-cylinder/t-cylinder用于儲(chǔ)存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為500L,1000L。2.0.21自燃?xì)怏wpyrophoricgas在空氣中會(huì)發(fā)生自動(dòng)燃燒的氣體。2.0.22可燃?xì)怏wflammablegas指與空氣(或氧氣)能夠形成一定濃度的混合氣態(tài)，并遇到火源會(huì)發(fā)生燃燒或爆炸的氣體。2.0.23毒性氣體toxicgas

8、LC50超過(guò)200Ppm但不超過(guò)2000Ppm的氣體。2.0.24腐蝕性氣體corrosivegas是指在一定條件下，對(duì)材料或人體組織接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不可逆反應(yīng)的氣體。2.0.25氧化性氣體oxygenizegas是指在一定條件下，與材料接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的失去電子的化學(xué)反應(yīng)的氣體。2.0.26惰性氣體inertgas在一般情況下與其它物質(zhì)不會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。2.0.27限流孔板restrictfloworifice(RFO)限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。2.0.28過(guò)流開關(guān)excessflowswitch(EFS)流量超出設(shè)定值時(shí)，給出開關(guān)信號(hào)。2.0.29AP管anneal

9、edandpickledpipe經(jīng)過(guò)酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無(wú)縫不銹鋼管。2.0.30BA管brightannealingpipe經(jīng)加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚恚齼?nèi)部應(yīng)力并在管道表面形成一層鈍化膜的光亮無(wú)縫不銹鋼管。2.0.31EP管electro-polishedpipe經(jīng)電化學(xué)拋光，使表層實(shí)際面積得到最大程度的減少表面產(chǎn)生一層較厚的封閉的氧化銘膜的電化學(xué)拋光無(wú)縫不銹鋼管。2.0.32吹掃purge用氮?dú)夂湾瓪鈱?duì)特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的其它氣體進(jìn)行置換的過(guò)程。2.0.33排氣vent特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體。2.0.34數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng)supervisorycontrola

10、nddataacquisition(SCADA)是以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的生產(chǎn)過(guò)程控制與調(diào)度自動(dòng)化系統(tǒng)。它可以對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的運(yùn)行設(shè)備進(jìn)行監(jiān)視和控制，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測(cè)量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號(hào)報(bào)警等各項(xiàng)功能。2.0.35工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)facilitymanagementcontrolsystem(FMCS)用于管理工廠動(dòng)力設(shè)備的管理控制系統(tǒng)，一般只具有監(jiān)視功能，不具有控制功能。2.0.36大宗硅烷系統(tǒng)bulksilanesystem是指容器水容積超過(guò)250L的硅烷系統(tǒng)，包括鋼瓶集裝格、Y鋼瓶、長(zhǎng)管拖車（T/T）、ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐，以及數(shù)量超過(guò)7個(gè)的獨(dú)立小鋼瓶系統(tǒng)。2.0.37氣體面板gaspan

11、el集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過(guò)濾器、壓力計(jì)等零部件并安裝在氣瓶柜內(nèi)的專用設(shè)施。2.0.38開敞式建筑openarea立柱和墻面遮擋部分小于周長(zhǎng)的25%的建筑。2.0.39內(nèi)向檢漏inboardheleaktest又稱噴氨法測(cè)試.采用內(nèi)部抽真空，外部噴氨氣的方法，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。2.0.40閥座檢漏crossseatheleaktest采用閥門上游充氮?dú)?，下游抽真空，檢測(cè)泄漏率的方法。2.0.41外向檢漏outboardheleaktest又稱吸槍法測(cè)試，采用管路內(nèi)部充氮?dú)饣虬钡旌蠚?，外部用吸槍檢查漏點(diǎn)泄漏率的方法。2.0.42不相容性incompatible不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，

12、釋放出能量并對(duì)環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。2.0.43ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐ISOmodule按國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織（ISO）要求，允許安裝在架子上的多個(gè)水容積不超過(guò)1218L的儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管氣瓶的總稱。2.0.44大宗特氣輸送系統(tǒng)應(yīng)用：1）集束鋼瓶（容積小于50L鋼瓶數(shù)量超過(guò)12個(gè)以上）；2）Y型鋼瓶；3）T型鋼瓶；4）長(zhǎng)管拖車；5）ISO槽罐等進(jìn)行特種氣體儲(chǔ)存和送氣作業(yè)的系統(tǒng)。3特種氣體站房3.1 一般規(guī)定3.1.1 特種氣體站房包括布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站和布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間。3.1.2 布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。3.1

13、.3 在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間內(nèi)的最大允許儲(chǔ)存量見表3.1.5,當(dāng)生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的氣體儲(chǔ)量超過(guò)規(guī)定數(shù)量時(shí)，應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立的特種氣體站。表3.1.3生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)最大允許儲(chǔ)存量序號(hào)氣體種類氣體總量1立方為1可燃?xì)怏w562毒性氣體923劇毒性氣體1.14自燃?xì)怏w2.85氧化性氣體1706腐蝕性氣體92說(shuō)明：1標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積量.3.1.4 集合工藝設(shè)備的布置情況，生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓靠外墻的區(qū)域。3.1.5 低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。3.1.6 布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車、長(zhǎng)管拖車向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。3.2 氣

14、體站房分類3.2.1 特種氣體依其物性及安全特性，將其分為可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性氣體。3.2.2 布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間。3.2.3 獨(dú)立布置的特種氣體站有硅烷站、氨氣站等。3.3 特種氣體設(shè)備的布置3.3.1 不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里，如果布置在同一房間，氣瓶柜架之間的距離應(yīng)大3.3.2 同時(shí)具有可燃性和毒性氣體應(yīng)放在可燃性氣體間3.3.3 特種氣體房間內(nèi)的氣瓶柜、氣瓶架、就地尾氣處理裝置、氣瓶集裝格宜靠墻布置，具有相同或相近氣體性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)布置在一起。3.3.4 特種氣體間的中間通道寬度

15、不得小于2米，特氣柜與墻體之間的距離宜大于0.1m,特氣柜之間的距離宜大于0.1m,氣瓶集裝格宜靠墻布置。布置應(yīng)考慮維修與運(yùn)轉(zhuǎn)空間。3.4.5 硅烷站內(nèi)長(zhǎng)鋼瓶拖車宜放置在硅烷站的室外空曠地坪。3.4.6 特種氣體系統(tǒng)的電氣控制盤、儀表控制盤的布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)布置在與特種氣體供應(yīng)設(shè)備室相鄰的控制室內(nèi)，隔墻上可以設(shè)置防爆密閉觀查窗。2控制室應(yīng)以耐火極限不小于2h的隔墻和不低于3.4.7 樓板與特種設(shè)備間隔開，穿越隔墻的管道應(yīng)以防火材料填堵。4特種氣體工藝系統(tǒng)4.1般規(guī)定4.1.1電子工廠的特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置.1 .儲(chǔ)存與送氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；2 .氣體輸送與分配用閥門

16、箱或閥門盤；3 .輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)；4 .尾氣排放處置系統(tǒng)。1.1.2 特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特種氣體使用的安全操作、工藝參數(shù)、污染控制的要求。1.1.3 不相容的特種氣體的排氣管道不應(yīng)接入同一排氣系統(tǒng)。1.1.4 不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應(yīng)接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。4.2 特種氣體輸送系統(tǒng)4.2.1 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜與氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的氣瓶柜用氣瓶容積不得大于50L;2氧化性和惰性氣體的氣瓶架用氣瓶容積不得大于50L;3氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚▎纹渴剑㈦p工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚p瓶式）、雙工藝

17、氣瓶?jī)?nèi)置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚ㄈ渴剑┑榷喾N結(jié)構(gòu)配置；4不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；5氣瓶柜與氣瓶架應(yīng)設(shè)有分配、作業(yè)用氣體面板，氣體面板的要求詳見4.2.2條；6系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過(guò)相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；7氣瓶柜閉門時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，其排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/小時(shí)；8自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測(cè)器；9氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm,并有防腐蝕涂層。10氣瓶柜門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗；11氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)示牌；12氣瓶柜地腳螺栓的設(shè)計(jì)要滿足當(dāng)?shù)氐卣鹆叶鹊囊蟆?3當(dāng)氣瓶柜放置在

18、有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范GB50058的規(guī)定。4.2.2 特種氣體氣瓶柜與氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門，并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門，位置盡量靠近氣瓶端；2氣瓶壓力大于0.1MPa的自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過(guò)流開關(guān)；3自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃系統(tǒng)；4自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有輔助抽真空裝置，該管路必須設(shè)置止回閥；5各種特種氣體面板均應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口；4.2.3 可燃特種氣體氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)符合下列要求4.2.4 瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得

19、低于1200次/小時(shí)。氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)持續(xù)監(jiān)控；4.2.5 氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外紅外火焰探測(cè)器；4.2.6 自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)，但是C1F3氣瓶柜不應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；4.2.7 氣體氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。4.2.8 大宗特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置1獨(dú)立設(shè)置的氣（液）瓶、儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管拖車及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜?大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的其它功能配備應(yīng)符合第4.2.9 條的規(guī)定；3大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過(guò)相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；4大宗特種氣體輸送系統(tǒng)宜單獨(dú)建站，或置于單獨(dú)的氣體房，并考慮消防間距和物流

20、通道等；5液化氣體瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)合適的鋼瓶加熱與保溫裝置。6大宗特種氣體應(yīng)考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。4.2.5液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)1液態(tài)特種氣體系統(tǒng)包括獨(dú)立放置的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、推動(dòng)氣體單元、載氣單元、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜與溫度控制裝置。2液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)利用推動(dòng)氣體的靜壓力或者采用泵，將液體化學(xué)品從大包裝槽罐里輸送至液體輸送柜里的小包裝液罐，或者將小包裝液罐里的液體直接推動(dòng)輸送至用液點(diǎn)。用液點(diǎn)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液體化學(xué)品鼓泡或直接蒸發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備。3液態(tài)特種氣體輸送柜必需的其他功能配備應(yīng)符合第4.2.1條的規(guī)定。4.2.10 種氣

21、體系統(tǒng)的閥門箱和閥門盤的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定1自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體系統(tǒng)的閥門箱應(yīng)設(shè)有：1）進(jìn)氣管路隔離閥門及壓力指示單元；2）各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)、過(guò)濾器、過(guò)流開關(guān)單元；3）各分支路獨(dú)立的進(jìn)出口隔離閥門；4）各分支路獨(dú)立的吹掃氮?dú)饣蚨栊詺怏w單元；5）各分支路獨(dú)立的輔助抽真空單元等2惰性及氧化性氣體系統(tǒng)的閥門盤應(yīng)設(shè)有：1）進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示單元；2）各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器；3）各分支路獨(dú)立進(jìn)出口隔離閥門。4.3 吹掃和排氣系統(tǒng)4.3.1 特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，不得與公用氮?dú)?/p>

22、或工藝氮?dú)庀到y(tǒng)相連；2不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?吹掃氮?dú)夤芫€必須設(shè)置止回閥。4.3.2 吹掃氮?dú)獾臍怏w面板設(shè)置包括下列部件：1）壓力調(diào)節(jié)閥；2）排氣管；3）高低壓截止閥；4）高低壓壓力指示；5）安全閥4.3.3 特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1真空發(fā)生器宜采用氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)抽真空功能；2抽真空用氮?dú)饪捎晒闷胀ǖ獨(dú)馓峁?.3.4 工藝排氣與廢氣處理1特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃，防止空氣倒流造成污染和腐蝕。2不相容性氣體的排氣不得連接進(jìn)入同一排氣主管。3自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的排氣濃度超過(guò)燃燒下限20%或最大允許濃度10%時(shí)，必須經(jīng)過(guò)尾

23、氣處理裝置處理后排入廠房排氣系統(tǒng)。4合適的廢氣處理裝置包括但不限于：1）干式處理；2）水洗式處理；3）加熱分解處理；4）燃燒處理；5）等離子分解處理；6）稀釋處理；以及以上幾種處理方式的結(jié)合。5硅烷站5.1 硅烷工藝系統(tǒng)5.1.1 硅烷站工藝系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)下列因素確定1硅烷的危險(xiǎn)性質(zhì)2硅烷站的規(guī)模3用戶對(duì)硅烷純度及壓力要求4用戶對(duì)硅烷負(fù)荷變化情況的要求5.1.2 硅烷站應(yīng)根據(jù)工藝要求、當(dāng)?shù)貧夂驙顩r、硅烷設(shè)備狀況選擇采用封閉式、開敞式或露天形式進(jìn)行布曾目O5.1.3 硅烷輸送工藝系統(tǒng)應(yīng)包括硅烷容器、氣體面板、閥門箱以及相應(yīng)的連接管道。5.1.4 典型的硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過(guò)濾、吹掃/排氣、安全控制

24、等功能。5.1.5 硅烷應(yīng)采用獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶進(jìn)行吹掃，不得采用公用管道氮?dú)獯祾摺?.1.6 閥門箱應(yīng)配置惰性氣體吹掃系統(tǒng)、泄漏偵測(cè)和火焰?zhèn)蓽y(cè)。5.1.7 硅烷的放空不得排入局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)直接排到大氣，或燃燒式尾氣處理器。放空管道應(yīng)使用氮?dú)膺B續(xù)吹掃。放空管道吹掃氮?dú)饬魉俨粦?yīng)低于0.3m/s。5.1.8 鋼瓶出口應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥。硅烷站的各安全出口應(yīng)設(shè)置手動(dòng)緊急切斷按鈕，至少有一個(gè)手動(dòng)緊急切斷按鈕與輸送系統(tǒng)的距離應(yīng)大于4.6米。5.1.9 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬膜片的波紋管閥、隔膜閥、調(diào)壓閥。氣源應(yīng)配置直徑小于3.175mm的限流孔板。輸送系統(tǒng)應(yīng)配置過(guò)流開關(guān)。5.2 硅烷站的布置5.2

25、.1 硅烷站的布置，應(yīng)按下列要求綜合比較確定：1應(yīng)布置在工廠常年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)遠(yuǎn)離有明火或散發(fā)火花的地點(diǎn);2不應(yīng)布置在人員密集地段和主要交通要道鄰近處;3硅烷站應(yīng)采用單層鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)。鋼框架、排架結(jié)構(gòu)應(yīng)采用防火保護(hù)措施。4硅烷站應(yīng)設(shè)置不燃燒體的圍墻，其高度不應(yīng)小于2.5m;5大宗硅烷站必須布置為獨(dú)立的開敞式建筑物或空曠區(qū)域，不得有地下室。當(dāng)采用開敞式建筑結(jié)構(gòu)形式時(shí)，硅烷站墻面遮擋部分面積不大于建筑外圍面積的25%。如果有障礙物，距離應(yīng)保證大于障礙物高度的2倍。6硅烷站的選址應(yīng)方便運(yùn)輸和消防車輛的進(jìn)出。5.2.2 硅烷站與工廠建筑物、構(gòu)筑物的防火間距，不應(yīng)小于表5.2

26、.2的規(guī)定。表5.2.2硅烷站與其他建筑物、構(gòu)筑物、道路的防火間距（m）名稱硅烷站儲(chǔ)量（t）<5>5重要公共建筑50甲類倉(cāng)庫(kù)20民用建筑、明火或散發(fā)火花地占八、3040其他建筑、一級(jí)耐火建筑1520三級(jí)耐火建筑2025四級(jí)耐火建筑2530電力系統(tǒng)電壓為35500kV且每臺(tái)變壓器容量在10MV-A以上的室外變、配電站工業(yè)企業(yè)的變壓器總油量大于5t的室外降壓變電站3040廠外鐵路線中心線40廠內(nèi)鐵路線中心線30廠外道路路邊20廠內(nèi)道路路邊主要10次要5注：1防火間距應(yīng)按相鄰建筑物、構(gòu)筑物的外墻、凸出部分外緣、氣瓶集裝格外緣的最近距離計(jì)算。2固定容積的硅烷氣罐，總?cè)莘e按其水容量（m3）和

27、工作壓力（絕對(duì)壓力）的乘積計(jì)算。3與高層廠房的防火間距，應(yīng)按本表相應(yīng)增加3m。5.2.3 硅烷站的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范GB50016的規(guī)定。5.2.4 硅烷站可采用有坡度的屋頂，屋頂最低點(diǎn)宜大于4.5米。硅烷站的面積大于19m2時(shí)，必須有兩個(gè)安全出口。5.2.5 站內(nèi)任何地點(diǎn)到最近安全出口的距離不得大于23m。5.2.6 硅烷站應(yīng)采用快開式推桿鎖，不得采用其它形式的鎖具，疏散門應(yīng)采用平開門，朝向?yàn)槭枭⒎较颉?.2.7 露天布置的硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝面板之間應(yīng)距離9米，當(dāng)距離不到9米時(shí)，應(yīng)采用2小時(shí)防火隔斷。防火隔斷的設(shè)置不應(yīng)影響自然通風(fēng)。5.3 安全技術(shù)措施

28、5.3.1 硅烷站的電氣控制室應(yīng)設(shè)置在單獨(dú)的房間內(nèi)，并用無(wú)門窗洞口的防爆墻與硅烷氣瓶庫(kù)隔開。供硅烷站專用的10kV及以下變配電所，不應(yīng)設(shè)置在硅烷站廠房?jī)?nèi)或貼鄰建造。5.3.2 硅烷大宗鋼瓶應(yīng)進(jìn)行防靜電接地。5.3.3 對(duì)于抽風(fēng)管道的泄漏探測(cè)器，設(shè)定值不應(yīng)小于0.34%(V/V)(25%LEL),報(bào)警并自動(dòng)關(guān)閉輸送系統(tǒng)。環(huán)境監(jiān)測(cè)點(diǎn)設(shè)定值不應(yīng)小于5Ppm,報(bào)警但不需要切斷輸送系統(tǒng)。5.3.4 開放式輸送系統(tǒng)大宗鋼瓶區(qū)域必須設(shè)置紫外/紅外火焰探測(cè)器。封閉式輸送系統(tǒng)應(yīng)采用高溫探測(cè)器?；鹧婊蚋袦靥綔y(cè)器應(yīng)與報(bào)警系統(tǒng)和緊急切斷系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。5.4 采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)5.4.1 采用開放式布置的硅烷站，應(yīng)采取有效

29、的措施，保證自然通風(fēng)，防止硅烷氣體積聚。若不能滿足開放式的條件時(shí)，應(yīng)設(shè)置強(qiáng)制通風(fēng)系統(tǒng)。5.4.2 封閉式硅烷站嚴(yán)禁采用循環(huán)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。5.4.3 封閉式的硅烷站室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計(jì)參數(shù)應(yīng)滿足氣柜的要求。當(dāng)氣柜無(wú)具體要求時(shí)，室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)宜滿足25±3Co5.4.4 封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的連續(xù)排風(fēng)系統(tǒng)。5.4.5 氣柜排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下限流孔板（RFO）的硅烷連續(xù)流量計(jì)算氣柜內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%,并保證流經(jīng)氣瓶頸部和管道機(jī)械連接處的氣流速度不小于1m/s來(lái)確定。5.4.6 氣瓶組直接安裝在封閉的硅烷站內(nèi)，房間排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下

30、限流孔板（RFO）的硅烷連續(xù)流量計(jì)算房間內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%來(lái)確定。5.4.7 硅烷閥門箱的排風(fēng)量應(yīng)按照硅烷的最大儲(chǔ)存壓力下限流孔板（RFO）的硅烷連續(xù)流量計(jì)算氣柜內(nèi)的硅烷濃度，應(yīng)保證氣柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%來(lái)確定。5.4.8 封閉的硅烷站應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量根據(jù)事故泄漏量計(jì)算確定，但換氣次數(shù)不應(yīng)小于每小時(shí)12次。硅烷站外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。5.4.9 硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機(jī)組。5.4.10 硅烷站空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采用適當(dāng)措施保證在空調(diào)機(jī)組維護(hù)或故障時(shí)，硅烷站能取得足夠的補(bǔ)風(fēng)。5.4.11 硅烷站排風(fēng)系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。5.4.12 空調(diào)系

31、統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作。排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用剛性風(fēng)管，不得使用柔性風(fēng)管?？照{(diào)系統(tǒng)風(fēng)管保溫應(yīng)采用不燃或難燃保溫材料。5.4.13 排風(fēng)管路嚴(yán)禁穿越防火分區(qū)防火墻。排風(fēng)管路上不應(yīng)設(shè)置溶片式防火閥。5.4.14 排風(fēng)系統(tǒng)不應(yīng)與火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)連動(dòng)控制，嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。5.5 消防系統(tǒng)5.5.1 硅烷站的消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 .在發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，在沒有關(guān)閉泄漏鋼瓶之前，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰。2 .在發(fā)生火災(zāi)時(shí)，硅烷鋼瓶和使用到硅烷的相關(guān)的設(shè)備，應(yīng)有冷卻措施。3 .硅烷站嚴(yán)禁使用哈龍”滅火器。4 .硅烷站的消火栓系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范GB50016-2006中的有關(guān)規(guī)定。5 .5.2室外硅烷站的

32、消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 .設(shè)置在室外的硅烷站，應(yīng)設(shè)置雨淋系統(tǒng)來(lái)冷卻硅烷的輸送系統(tǒng)。保護(hù)部位包括硅烷鋼瓶、大宗硅烷儲(chǔ)罐及相關(guān)的工藝氣柜。2 .雨淋系統(tǒng)的設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不小于12L/min.m2,火災(zāi)持續(xù)時(shí)間不小于2小時(shí)。3 .消防系統(tǒng)的管道應(yīng)采用金屬管材，接口采用絲扣、焊接管件。在站內(nèi)15m范圍內(nèi)的管道不應(yīng)采用以橡膠為密封材料的溝槽式連接方式。4雨淋系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，應(yīng)同時(shí)切斷硅烷的供應(yīng)。5當(dāng)室外硅烷站設(shè)有屋頂?shù)确烙甏胧r(shí)，在此處可以設(shè)置濕式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度按照嚴(yán)重危險(xiǎn)系II級(jí)考慮。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度16L/min.m2，保護(hù)面積260m2。6室外硅烷站的附近應(yīng)設(shè)置室外消火栓，室外消火栓應(yīng)設(shè)置在距

33、大宗鋼瓶30m之外且46m之內(nèi)。4 .5.3室內(nèi)硅烷房間的消防應(yīng)符合下列規(guī)定1 .存儲(chǔ)和使用硅烷的房間應(yīng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不低于嚴(yán)重危險(xiǎn)級(jí)I級(jí)，設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度12L/min.m2,保護(hù)面積260m2。2 .硅烷氣柜應(yīng)自帶冷卻用的自動(dòng)噴水滅火噴頭，該噴頭為快速反應(yīng)噴頭。6特種氣體管道輸送系統(tǒng)6.1 一般規(guī)定6.1.1 特種氣體輸送系統(tǒng)包括特氣管道系統(tǒng)、閥門分配系統(tǒng)、工藝設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)的管道、管件、閥門、過(guò)濾器、減壓裝置、卸壓裝置、壓力表（傳感器）等所有部件。6.1.2 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)特種氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，當(dāng)與水電管線共架時(shí)，當(dāng)相對(duì)密度小于或等于0.75的

34、氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部；相對(duì)密度大于0.75的特氣管道宜設(shè)在水、電管線上部。6.1.3 生產(chǎn)車間內(nèi)的可燃和有毒特氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施。可燃、毒性、腐蝕性氣體管道的機(jī)械連接處，應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。6.1.4 可燃特氣體與毒性特氣體管道不得穿過(guò)不使用此類氣體的房間，當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。特氣管道嚴(yán)禁穿過(guò)生活間、辦公室。6.1.5 特氣管道不得出現(xiàn)不易吹除的盲管等死區(qū)，避免U型彎。6.1.6 易燃性特氣體與氧化性特氣管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的接地設(shè)施。6.1.7 室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。6.2 材

35、料選型6.2.1 工藝和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體不銹鋼無(wú)縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。6.2.2 腐蝕性氣體管道，宜采用二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或銀基合金材料的無(wú)縫鋼管。內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。6.2.3 用于接觸工藝氣體的閥門的密封座，應(yīng)盡量減少塑料材質(zhì)的使用量和表面接觸面積，且材質(zhì)應(yīng)與氣體性質(zhì)匹配。6.2.4 雙層管的外層管道宜選擇經(jīng)過(guò)退火處理和酸洗處理的不銹鋼管道。6.2.5 排氣和尾氣真空管道宜采用不銹鋼管道，并經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的脫脂處理。6.2.6 氧化性氣體應(yīng)采用專用禁油閥門、附件和管材,所有管件按規(guī)定進(jìn)行脫脂處理。6.3 管道設(shè)計(jì)6.3.1 管道的壓力等級(jí)應(yīng)根據(jù)工

36、藝氣體的輸送壓力確定。管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范GB50316的要求。6.3.2 管道設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮用氣設(shè)備對(duì)流量和壓力的要求。應(yīng)參照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)工藝系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)定HG/T20570.7進(jìn)行計(jì)算。6.3.3 管材的壁厚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)流體輸送用不銹鋼無(wú)縫鋼管GB/T14976的規(guī)定，小尺寸管道管壁厚度應(yīng)滿足下述要求：表6.3.3小尺寸軌道壁厚要求壁厚要求0.89mm(0.035")1.24mm (0.049")管道外徑6mm(1/4")-10mm(3/8")15mm(1/2”)20mm(3/4")25mm(1 ”)1

37、.65mm (0.065")6.3.4 液態(tài)特氣水平管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度，坡向供液設(shè)備或收集器。6.3.5 對(duì)于強(qiáng)腐蝕性、自燃性和劇毒性危險(xiǎn)性氣體，宜采用雙套管設(shè)計(jì)，內(nèi)管走工藝氣體。套管間可采用封閉或開放形式。6.3.6 對(duì)于輸送低蒸汽壓氣體，需要對(duì)管道設(shè)置伴熱和保溫措施。加熱溫度不宜超過(guò)50Co6.3.7 特氣管道應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊接。閥件或管件處應(yīng)采用面密封連接，不應(yīng)采用螺紋或法蘭連接。6.3.8 特氣閥門應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥，不應(yīng)采用球閥、旋塞閥等閥門。6.3.9 特氣管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼墊片，墊片與特氣的性質(zhì)必須相容。6.3.10 產(chǎn)生顆粒的閥件下游宜安裝

38、過(guò)濾器。6.3.11 特氣管道系統(tǒng)安裝完成后，應(yīng)根據(jù)工藝的要求進(jìn)行壓力測(cè)試、密封性測(cè)試和不純物測(cè)試。詳見特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收章節(jié)。6.4 管道標(biāo)簽6.4.1 特種氣體管道必須進(jìn)行管道標(biāo)示，標(biāo)示方法應(yīng)按本節(jié)規(guī)定或企業(yè)內(nèi)部管道標(biāo)示執(zhí)行。6.4.2 特種氣體管路標(biāo)識(shí)應(yīng)包括氣體名稱、主要危險(xiǎn)特性和流向箭頭，并通過(guò)各種顏色來(lái)表示管道內(nèi)介質(zhì)的危險(xiǎn)特性。表6.4.1特種氣體管路標(biāo)示顏色底色意義物質(zhì)特性物質(zhì)種類舉例字體顏色箭頭顏色紅色危險(xiǎn)極易燃易爆、強(qiáng)毒性氣、液體等AsH3,SiH4,CH2F2PH3WF6ClF3,CQCC14等白色白色黃色壑生W口腐蝕性氣、液HBr,HCl,HF1黑色毒性。2黃色一警告色，表示

39、內(nèi)容物有腐蝕性、毒性，或?qū)θ梭w有危害性。3藍(lán)色/綠色一安全色，表示內(nèi)容物危險(xiǎn)性很小，或根本沒有危險(xiǎn)。6.4.3 標(biāo)示應(yīng)有該物質(zhì)名稱描述，順序可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整。文字描述不僅包括管內(nèi)物質(zhì)名稱（化學(xué)物質(zhì)包含分子式），還應(yīng)包括特性（判定順序：易燃性、腐蝕性、毒性等其他性質(zhì)，其中特性的描述以最主要的性質(zhì)為依據(jù)）。中、英文及數(shù)字式樣如下所示：中文（黑體粗體字形）英文分子式和數(shù)字（Arial粗體字形）圖6.4.2管道標(biāo)示SiH4硅烷-易燃易爆氣體箭頭記號(hào)表示管內(nèi)物質(zhì)的流動(dòng)方向，顏色和字體顏色相同，尺寸與標(biāo)示大小相匹配。6.4.4 標(biāo)示的尺寸依管徑內(nèi)徑變化。如管路名稱比較長(zhǎng)，可根據(jù)實(shí)際情況增加標(biāo)簽的長(zhǎng)度

40、。表6.6.3標(biāo)示參數(shù)與管徑的對(duì)照管徑標(biāo)示長(zhǎng)標(biāo)示高箭頭長(zhǎng)字體高度度 度 度6mm(1/4)150mm 15mm(6")(1/2”)30mm 8mm(1.2" ) (1/4”)10mm(3/8”)15mm(1/2”)150mm(6”)150mm(6”)15mm(1/2”)15mm(1/2”)20mm(3/4")200mm 20mm(8”)(3/4”)25mm(1")-50mm(2”)50mm(2”)以上200mm 25mm(8”)(1”)300mm 40mm(12”)(1.5”)30mm (1.2”)30mm(1.2”)40mm(1.6”)40mm(1.6

41、”)60mm(2.4”)8mm(1/4”)8mm(1/4”)15mm(1/2”)20mm(3/4”)30mm(1.25” )6.4.5 管路上粘貼標(biāo)簽應(yīng)符合下列規(guī)定：1水平直管部分：管路直徑100mm(4”)(含)以下,每隔3m粘貼一張，其中以主要走道上方為基準(zhǔn)方位；管路直徑100mm（4"）（不含）以上，每隔6m粘貼一張，其中以主要走道上方為基準(zhǔn)方位。2垂直直管部分：管路內(nèi)徑100mm（4"）（含）以下，每隔2m粘貼一張，并以地面向上150cm處為基準(zhǔn)位置粘貼一張；管路內(nèi)徑100mm（4"）（不含）以上，每隔4m粘貼一張，并以地面向上150cm處為基準(zhǔn)位置粘貼一

42、張。3管路的連接處（如閥件、彎頭），機(jī)臺(tái)與管路的接管處，和穿墻兩側(cè)部分都必須粘貼一張。標(biāo)示的粘貼要遵循整齊的原則垂直管路上的標(biāo)示上邊緣對(duì)齊。標(biāo)示粘貼的角度要易于識(shí)別，使操作人員在操作或緊急突發(fā)情況下能迅速辨識(shí)。-箭頭標(biāo)示如下：圖6.6.4粘貼標(biāo)示2/15L箭頭長(zhǎng)度1/5L標(biāo)簽長(zhǎng)度L1/3H1/6H7建筑結(jié)構(gòu)7.0.1布置于生產(chǎn)廠房的特種氣體間的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。其結(jié)構(gòu)構(gòu)件的耐火極限應(yīng)該符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范GB50016的規(guī)定。7.0.2有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的承重結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)，房間應(yīng)沿建筑外墻布髻目O7.0.3有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑

43、設(shè)計(jì)防火規(guī)范GB50016的規(guī)定設(shè)置泄壓設(shè)施。7.0.4有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的安全出口不應(yīng)少于2個(gè)，且宜分散布置，相鄰2個(gè)安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m,其中1個(gè)應(yīng)直通室外，通向疏散走道的門需要滿足防火及防爆要求。當(dāng)爆炸危險(xiǎn)房間的面積小于等于100m2,且同一時(shí)間的生產(chǎn)人數(shù)不超過(guò)5人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口。7.0.5惰性氣體間的安全出口不應(yīng)少于2個(gè)，且宜分散布置，相鄰2個(gè)安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m,其中1個(gè)應(yīng)直通室外，通向疏散走道的門應(yīng)為乙級(jí)防火門。當(dāng)惰性氣體房間的面積小于等于150m2,且同一時(shí)間的生產(chǎn)人數(shù)不超過(guò)5人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口。7

44、.0.6有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間與無(wú)爆炸危險(xiǎn)房間之間，應(yīng)采用耐火極限不低于4h的不燃燒體防爆墻隔開，防爆墻上不應(yīng)開設(shè)門窗洞口，當(dāng)設(shè)置雙門斗相通時(shí)，門應(yīng)錯(cuò)位布置，門的耐火極限不應(yīng)低于1.2ho7.0.7有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間的控制室應(yīng)與該氣體房間及相鄰其他房間應(yīng)采用耐火極限不低于3.00h的不燃燒體墻體分隔開。7.0.8特種氣體房間的門應(yīng)向疏散方向開啟，有爆炸危險(xiǎn)房間的門窗應(yīng)采用撞擊時(shí)不產(chǎn)生火花的材料制作。7.0.9當(dāng)相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，散發(fā)較空氣輕的可燃性特種氣體間，頂棚應(yīng)平整、避免死角，特種氣體間上部應(yīng)通風(fēng)良好。7.0.10當(dāng)相對(duì)密度大于0.75時(shí)，散發(fā)較空氣重的可燃特種氣體間，應(yīng)采

45、用不發(fā)火花的地面，并應(yīng)平整、耐磨、防滑。采用絕緣材料作整體面層時(shí)，應(yīng)采取防靜電措施。頂棚表面應(yīng)平整，避免死角，特種氣體房間不應(yīng)設(shè)計(jì)地溝，必須設(shè)置時(shí)，其蓋板應(yīng)嚴(yán)密，防止特種氣體的積聚。7.0.11特氣間的高度應(yīng)滿足工藝設(shè)備與管道布置的要求，并結(jié)合生產(chǎn)廠房的高度統(tǒng)一考慮，不宜低于4.5米。7.0.12特種氣體房間內(nèi)的裝修材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范GB50222的規(guī)定。8電氣與防雷8.1 配電與照明8.1.1 特種氣體站和特種氣體間的電力負(fù)荷分級(jí)不宜低于二級(jí)負(fù)荷；可燃、自燃、毒性與腐蝕性氣體設(shè)備應(yīng)為一級(jí)負(fù)荷；氣體管理與氣體泄漏探測(cè)系統(tǒng)為一級(jí)負(fù)荷中特別重要的負(fù)荷，必須配置不間斷電源

46、。8.1.2 有爆炸危險(xiǎn)特種氣體站和特種氣體間的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)的電力裝置應(yīng)為1區(qū)設(shè)防，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范GB50058的規(guī)定。8.1.3 特種氣體站房的照明燈具宜安裝在操作與維修通道處，不宜安裝在設(shè)備正上方，并應(yīng)設(shè)置備用照明。8.2 防雷與接地8.2.1 特種氣體間與硅烷站的防雷分類應(yīng)劃分為第二類防雷建筑，應(yīng)采取防直擊雷、防雷電感應(yīng)和防雷電波侵入的措施。8.2.2 突出屋面的放散管、風(fēng)管等物體，應(yīng)按下列方式保護(hù)：1排放爆炸危險(xiǎn)氣體的放散管、排風(fēng)管的管口外空間應(yīng)處于接閃器的保護(hù)范圍內(nèi)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范GB50057中第一類防雷建筑物對(duì)管口保

47、護(hù)范圍的規(guī)定。2排放物達(dá)不到爆炸濃度或一排放就點(diǎn)火燃燒的排放爆炸危險(xiǎn)氣體放散管、排風(fēng)管；發(fā)生事故時(shí)排放物才達(dá)到爆炸濃度的通風(fēng)管；排放無(wú)爆炸危險(xiǎn)氣體的放散管；1區(qū)和2區(qū)爆炸危險(xiǎn)環(huán)境的自然通風(fēng)管；裝有阻火器的排放爆炸危險(xiǎn)氣體的放散管、排風(fēng)管，其防雷保護(hù)應(yīng)符合下列要求：1）金屬物體可不裝接閃器，但應(yīng)和屋面防雷裝置相連；2）在屋面接閃器保護(hù)范圍之外的非金屬物體應(yīng)裝接閃器，并和屋面防雷裝置相連。8.2.3 架空敷設(shè)的可燃特種氣體管道，在進(jìn)出建筑物處應(yīng)與防雷電感應(yīng)的接地裝置相連。距建筑100米內(nèi)的硅烷氣管道，宜每隔25米左右接地一次，其沖擊接地電阻不應(yīng)大于20Q。8.2.4 自燃、可燃、氧化性特種氣體設(shè)備

48、與管道應(yīng)采取防靜電接地措施。8.2.5 自燃、可燃、氧化性氣體的金屬管道在進(jìn)出建筑物處、不同分區(qū)的環(huán)境邊界、管道分岔處及直管段應(yīng)每隔5080米處應(yīng)設(shè)防靜電接地。8.2.6 要求接地的設(shè)備與管道應(yīng)設(shè)接地端子。接地端子與接地線之間，可采用螺栓緊固連接；對(duì)有震動(dòng)、位移的設(shè)備和管道，其連接處應(yīng)加撓性連接線過(guò)渡。8.2.7 特種氣體系統(tǒng)的電氣設(shè)備工作（系統(tǒng)）接地、保護(hù)接地、雷電保護(hù)接地以及防靜電接地等不同用途接地采用聯(lián)合接地方式時(shí)，接地裝置的接地電阻值應(yīng)按其中的最小值確定。8.2.8 防靜電接地為單獨(dú)接地時(shí)每組接地電阻宜小于100Q。9生命安全系統(tǒng)9.1 特種氣體管理系統(tǒng)9.1.1 使用特種氣體的生產(chǎn)廠

49、房宜設(shè)特種氣體管理系統(tǒng)。特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)配置特種氣體的連續(xù)檢測(cè)、指示、報(bào)警、分析的功能、并且對(duì)報(bào)警進(jìn)行記錄、存儲(chǔ)和打??；特種氣體管理系統(tǒng)宜為獨(dú)立的系統(tǒng)，并宜與工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)和消防報(bào)警控制系統(tǒng)通過(guò)數(shù)據(jù)總線相連。9.1.2 特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)在全廠動(dòng)力控制中心，在消防控制室和應(yīng)急處理中心宜設(shè)報(bào)警顯示單元和集中應(yīng)急閥門切斷控制盤。9.2 特種氣體泄漏探測(cè)系統(tǒng)9.2.1 儲(chǔ)存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置特種氣體泄漏探測(cè)裝置。1自燃、可燃、毒性氣體的使用場(chǎng)所、技術(shù)夾層等可能發(fā)生氣體泄漏處；2自燃、可燃、毒性氣體間；3自燃、可燃、毒性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風(fēng)管口處；4生產(chǎn)工藝設(shè)備的

50、可燃、自燃、毒性氣體接入閥門箱及排風(fēng)管內(nèi)；5生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理設(shè)備排風(fēng)口處；6惰性氣體房間（氧氣探測(cè)器）。9.2.2 配有PLC的氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤宜通過(guò)通訊接口與氣體管理控制系統(tǒng)通信。9.2.3 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)可燃、自燃?xì)怏w、有毒氣體檢測(cè)裝置應(yīng)設(shè)置一級(jí)報(bào)警或二級(jí)報(bào)警，其中常規(guī)的檢測(cè)報(bào)警僅需一級(jí)報(bào)警，當(dāng)需要聯(lián)動(dòng)控制時(shí)，檢測(cè)裝置應(yīng)具有一級(jí)報(bào)警和二級(jí)報(bào)警。在二級(jí)報(bào)警的同時(shí)，輸出接點(diǎn)信號(hào)至一級(jí)報(bào)警聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)。9.2.4 自燃、可燃、毒性氣體檢測(cè)裝置報(bào)警設(shè)定值應(yīng)按以下要求確定：1自燃、可燃?xì)怏w的一級(jí)報(bào)警設(shè)定值小于或等于25%可燃?xì)怏w爆炸下限濃度值，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值小于或等于

51、50%可燃?xì)怏w爆炸下限濃度值。2毒性氣體的一級(jí)報(bào)警設(shè)定值小于或等于50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值小于或等于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。9.2.5 自燃、可燃、毒性氣體檢測(cè)裝置的檢測(cè)報(bào)警響應(yīng)時(shí)間應(yīng)符合下列規(guī)定：1自燃、可燃?xì)怏w檢測(cè)報(bào)警：擴(kuò)散式小于20秒，吸入式小于15秒。2毒性氣體檢測(cè)報(bào)警：擴(kuò)散式小于40秒，吸入式小于20秒。9.2.6 當(dāng)相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，特氣探測(cè)器應(yīng)同時(shí)設(shè)置在釋放源上方和廠房最高點(diǎn)易積氣處。當(dāng)相對(duì)密度大于0.75時(shí)，特氣探測(cè)器應(yīng)設(shè)置在釋放源下方離地面0.5米處。9.3 安全設(shè)施9.3.1 自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配及使用場(chǎng)所

52、應(yīng)設(shè)置閉路電視監(jiān)控?cái)z象機(jī)、門禁。9.3.2 自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配及使用場(chǎng)所入口宜設(shè)置發(fā)光二級(jí)管顯示屏（LED）。9.3.3 自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配、使用場(chǎng)所內(nèi)及相關(guān)建筑主入口、內(nèi)通道等處應(yīng)設(shè)置燈光閃爍報(bào)警裝置，燈光顏色應(yīng)與其它燈光報(bào)警裝置相區(qū)別。9.3.4 在自燃、可燃、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配、使用場(chǎng)所入口處應(yīng)設(shè)緊急手動(dòng)按鈕，主要緊急手動(dòng)按鈕設(shè)在應(yīng)急處理中心室。9.3.5 在地震多發(fā)地區(qū)，使用特種氣體的主要生產(chǎn)車間宜設(shè)置地震探測(cè)裝置，信號(hào)接入氣體探測(cè)系統(tǒng)。9.3.6 防地震系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：1氣體站房地震儀應(yīng)在氣瓶柜的基座上設(shè)置一臺(tái)，以氣體室為基準(zhǔn)點(diǎn)，等距離三角形延伸

53、廠區(qū)內(nèi)另兩點(diǎn)。地震儀不得設(shè)置于人員進(jìn)出頻繁的地點(diǎn)，且應(yīng)避免受外力干擾而造成誤動(dòng)作；9.3.7 封閉的可燃、自燃?xì)怏w的特種氣體間宜采用防爆紅外/紫外火焰探測(cè)器。9.3.8 氣體站房應(yīng)配置防毒面具、自吸式防毒面具等安全防護(hù)設(shè)施9.4 氣體報(bào)警的聯(lián)動(dòng)控制9.4.1 氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，自動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置，并接受反饋信號(hào)。9.4.2 氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并接受反饋信號(hào)。9.4.3 氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置，該聲光報(bào)警應(yīng)有別于火災(zāi)報(bào)警裝置,自動(dòng)啟動(dòng)應(yīng)急廣播系統(tǒng)。9.4.4 氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏后，應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)

54、防火門、防火卷簾門，自動(dòng)釋放門禁門，可聯(lián)動(dòng)CCTV系統(tǒng)，啟動(dòng)相應(yīng)區(qū)域的攝像機(jī)，并自動(dòng)錄9.4.5 氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，信號(hào)傳至發(fā)光二級(jí)管顯示屏（LED）,并告知現(xiàn)場(chǎng)人員。9.4.6 地震探測(cè)裝置探測(cè)到里氏5級(jí)以上地震，且兩臺(tái)地震探測(cè)裝置同時(shí)報(bào)警時(shí)，特種氣體管理控制系統(tǒng)確認(rèn)收到的信號(hào)后，啟動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置。同時(shí)，應(yīng)關(guān)閉氣瓶的切斷閥，且氣瓶柜、氣瓶架及閥門箱的閥門必須動(dòng)作；10給水排水及消防10.1 給水排水10.1.1 管道外表可能結(jié)露時(shí)，應(yīng)采取防護(hù)措施。10.1.2 特種氣站內(nèi)的用水，除中斷供水將造成較大損失外，可以采用單路供水。10.1.3 特種氣體站排出的廢水，應(yīng)排入廢水處理站

55、處理合格后排放。10.1.4 毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間應(yīng)設(shè)置緊急洗眼器。10.2 消防10.2.1 特種氣體間室內(nèi)外消火栓的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范GB50016的規(guī)定。10.2.2 特種氣體間中應(yīng)配置手提滅火器，其設(shè)計(jì)應(yīng)滿足現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)建筑滅火器配置規(guī)范GB50140的規(guī)定10.2.3 特種氣體間內(nèi)存儲(chǔ)的特種氣體與水不發(fā)生反應(yīng)時(shí)，該特種氣體間應(yīng)設(shè)置濕式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。1噴水強(qiáng)度8L/min.m2，保護(hù)面積160m2。2當(dāng)特氣柜中自帶水噴淋系統(tǒng)時(shí)，在廠房?jī)?nèi)設(shè)置的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)應(yīng)為該系統(tǒng)預(yù)留管道和信號(hào)閥。10.2.4 特種氣體間內(nèi)存儲(chǔ)的特種氣體如與水可發(fā)生劇烈反應(yīng)，該特種氣體間嚴(yán)禁采用水消防系統(tǒng)。11采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)11.1 通風(fēng)11.1.1 特種氣體間應(yīng)設(shè)置連續(xù)的機(jī)械通風(fēng)系統(tǒng)，通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)滿足氣柜的排風(fēng)要求，并應(yīng)滿足房間最小通風(fēng)換氣次數(shù)每小時(shí)6次。11.1.2 特種氣體氣瓶柜和閥門箱應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)裝髻目O11.1.3 凡屬下列情況之一時(shí)，應(yīng)分別設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)：1兩種或兩種以上的氣體有害物混合后能引起燃燒或爆炸時(shí)；2混合后發(fā)生反應(yīng)，形成危害性更大或腐蝕性的混合物、化合物時(shí)；3混合后形成粉塵。11.1.4 特種氣體站房應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量宜根據(jù)事故泄漏量計(jì)算確定，但換氣次數(shù)不應(yīng)小于每小時(shí)12次。特種氣體房間外應(yīng)設(shè)置緊急按鈕。11.1.5 特種氣體排風(fēng)