激光測(cè)試原理

1、武漢光電國(guó)家實(shí)驗(yàn)室（籌）激光測(cè)試原理與技術(shù)課程報(bào)告太赫茲相干層析技術(shù)學(xué) 號(hào)： M201272511 姓 名： 黃亞雄 專 業(yè)： 光學(xué)工程 指導(dǎo)教師： 齊麗君 2013年 6月 8日太赫茲相干層析技術(shù)摘要太赫茲成像技術(shù)的研究是目前太赫茲研究領(lǐng)域的熱門課題，本論文主要針對(duì)太赫茲成像技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)的介紹與分析。與光學(xué)相干層析成像技術(shù)相結(jié)合，我們提出了一種太赫茲相干層析技術(shù)。該技術(shù)的縱向分辨率可達(dá)100m以下，這一實(shí)驗(yàn)結(jié)果高于太赫茲飛行時(shí)間成像技術(shù)和合成孔徑成像技術(shù)。此外，該技術(shù)具有系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊等特點(diǎn)，在高精度的材料無(wú)損探傷領(lǐng)域具有及其巨大的應(yīng)用前景。關(guān)鍵詞：太赫茲成像技術(shù) 相干層析成像 材料無(wú)

2、損探傷 分辨率引言由于太赫茲對(duì)大部分非金屬材料和非極性物質(zhì)具有極強(qiáng)的穿透能力，并且對(duì)單光子能量低，不會(huì)對(duì)生物組織產(chǎn)生有害的電離作用，因此太赫茲技術(shù)被廣泛的應(yīng)用于材料無(wú)損探測(cè)、安檢機(jī)生物組織病變檢測(cè)等成像領(lǐng)域。1995年，Hu等人首次在太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng)中加入一二維掃描的載物臺(tái)，待測(cè)樣品被放置在太赫茲聚焦點(diǎn)上，并在與太赫茲垂直方向進(jìn)行二維掃描，通過(guò)記錄下每個(gè)掃描點(diǎn)透過(guò)的太赫茲時(shí)域波形，形成樣品的太赫茲圖像。他們使用這種方法完成了對(duì)微電子芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)的成像。此后，太赫茲成像引起了研究人員的極大關(guān)注，并逐漸發(fā)展起來(lái)了一些新的太赫茲成像技術(shù)，主要包括以下幾種：(1) 連續(xù)太赫茲波二維成像技術(shù)(2) 合

3、成孔徑成像技術(shù)(3) 太赫茲近場(chǎng)成像技術(shù)(4) 脈沖太赫茲波飛行時(shí)間成像技術(shù)(5) 太赫茲波計(jì)算機(jī)輔助層析成像技術(shù)研究一種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及掃描方式簡(jiǎn)單、成像精度高的太赫茲三維層析成像技術(shù)在材料高精度無(wú)損探測(cè)領(lǐng)域具有及其重要的意義。學(xué)相干層析成像技術(shù)是基于寬帶光源的弱相干特性對(duì)待測(cè)物體內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行高分辨率層析成像的技術(shù)，它依靠光源的時(shí)間相干性，對(duì)物體進(jìn)行三維結(jié)構(gòu)重構(gòu)。太赫茲對(duì)非金屬材料很強(qiáng)的穿透能力，其穿透深度很高，將太赫茲技術(shù)與光學(xué)相干層析技術(shù)結(jié)合起來(lái)，我們提出了太赫茲相干層析技術(shù)。一 太赫茲相干層析技術(shù)相對(duì)紅外和微波，由于太赫茲波較低的單光子能量和對(duì)大部分非金屬材料具有較高的穿透性能等特點(diǎn)，近幾十

4、年來(lái)逐漸引起了人們的研究熱潮。自1995年Hu等人10首次利用太赫茲輻射進(jìn)行二維成像實(shí)驗(yàn)以來(lái)，太赫茲成像技術(shù)受到世界許多研究人員的關(guān)注。2002年，B. Ferguson等人將X射線波段的層析成像技術(shù)移植到太赫茲波段，提出太赫茲三維層析成像的概念47。該技術(shù)原理是一束太赫茲波穿透被成像物體后，然后通過(guò)平移和轉(zhuǎn)動(dòng)，使太赫茲以不同位置和不同角度穿透被成像物體，通過(guò)Radon變換計(jì)算物體吸收率的空間分布，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體三維重構(gòu)。但是，在某些場(chǎng)合，待成像物體無(wú)法繞軸旋轉(zhuǎn)，應(yīng)用受到極大的限制。2009年，德國(guó)Synview公司報(bào)道了一種基于連續(xù)太赫茲波的三維成像技術(shù)。該技術(shù)使用一個(gè)中心頻率為300GHz的返

5、波管作為太赫茲源，利用電學(xué)調(diào)制的方法測(cè)量不同反射波到達(dá)探測(cè)器所需的時(shí)間，計(jì)算待測(cè)物體離探測(cè)器的相對(duì)距離，實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物體的三維重構(gòu)。由于所使用的是單頻長(zhǎng)波長(zhǎng)的太赫茲源，考慮到衍射極限的限制，該技術(shù)的最佳縱向分辨率為0.5mm，對(duì)于某些需要高精度測(cè)量的應(yīng)用領(lǐng)域是不夠的。光學(xué)相干層析成像技術(shù)（Optical Coherent Tomography, OCT）是一種高分辨率光學(xué)無(wú)損成像技術(shù)，可以無(wú)損傷地探測(cè)樣品結(jié)構(gòu)及成分，可以實(shí)現(xiàn)二維或三維成像，在基礎(chǔ)與臨床醫(yī)學(xué)研究和應(yīng)用領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力。從探測(cè)深度、分辨率、簡(jiǎn)單實(shí)用等角度綜合考慮，光學(xué)相干層析術(shù)被認(rèn)為是很有發(fā)展前途的一種新型光學(xué)成像技術(shù)。D.

6、Huang等人在1991年首次提出OCT的概念，并成功對(duì)人類視網(wǎng)膜和冠狀動(dòng)脈壁進(jìn)行了活體成像。這一研究使用波長(zhǎng)為830nm的SLD光源的光纖邁克爾遜干涉儀，達(dá)到精度為10微米的縱向分辨率。此后，OCT技術(shù)得到了快速發(fā)展，其分辨率和性能有了很大的提高，并同時(shí)開發(fā)出多種成像模式，如多普勒OCT、光譜OCT、差分吸收型OCT和偏振敏感OCT等。由于具有極高的縱向分辨率，OCT技術(shù)逐漸引起人們極大的研究興趣。但光學(xué)相干層析技術(shù)一般采用工作在近紅外區(qū)波段的發(fā)光二極管(SLD)或超快激光作為光源，該波段穿透能力不強(qiáng)，探測(cè)深度只有23毫米，很大程度上限制了光學(xué)相干層析技術(shù)的應(yīng)用。本章基于OCT技術(shù)，利用太赫

7、茲輻射具有良好穿透能力的特點(diǎn)，提出一種全新的太赫茲相干層析技術(shù)(Terahertz Coherent Tomography, TCT)方案。該方案使用中壓汞燈作為輻射源，成像系統(tǒng)的縱向分辨率由輻射源的相干長(zhǎng)度決定，最小可以達(dá)到100m以下。該技術(shù)具有縱向分辨率高、探測(cè)深度深等特點(diǎn)，在高精度的材料三維無(wú)損探測(cè)和生物組織層析成像等領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。二 相干層析原理 相干層析系統(tǒng)由低相干寬頻輻射源，邁克爾遜干涉儀以及數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)構(gòu)成。寬頻光源輻射出的低相干光經(jīng)過(guò)光分束器（50:50）被分為強(qiáng)度相同的兩束，稱為參考光和樣品光。參考光束經(jīng)過(guò)參考臂，被參考臂上的反射鏡反射回分束鏡，參考臂是一

8、個(gè)精密電控平移臺(tái)以及固定在上面的反射鏡組成的，平移臺(tái)可以沿光束傳播方向一維移動(dòng)來(lái)改變參考臂的長(zhǎng)度。樣品光經(jīng)過(guò)透鏡聚集后入射到待測(cè)樣品上，散射回來(lái)的光再經(jīng)過(guò)透鏡收集后入射到分束鏡。參考臂反射回來(lái)的光從分束鏡透射，樣品光經(jīng)過(guò)分束鏡被反射，這兩束光就耦合在一條直線上傳播，然后經(jīng)過(guò)拋物面鏡聚焦，最后被探測(cè)器接收。當(dāng)參考臂長(zhǎng)度與樣品臂長(zhǎng)度相當(dāng)時(shí)，反射回來(lái)的參考光和樣品光的光程差相匹配（在干涉系統(tǒng)的相干長(zhǎng)度之內(nèi)）時(shí)就會(huì)產(chǎn)生干涉。樣品光經(jīng)過(guò)樣品反射其信號(hào)相位與強(qiáng)度被樣品調(diào)制，包含了樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息，反射信號(hào)的強(qiáng)度直接反應(yīng)了樣品的內(nèi)部不同層的反射率的大小。改變參考臂的長(zhǎng)度即調(diào)節(jié)參考臂反射鏡的位置，就可以獲得

9、樣品不同深度的信息；控制載物臺(tái)使樣品移動(dòng)，這樣光就可以對(duì)樣品進(jìn)行橫向掃描，獲得的一系列干涉信號(hào)被探測(cè)器接收，經(jīng)過(guò)光電轉(zhuǎn)換，被數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)采集。采集的數(shù)據(jù)經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行相關(guān)處理并分析，形成不同深度的二維橫截面圖像，根據(jù)信號(hào)的強(qiáng)弱可以獲得樣品的三維灰度圖。由于輻射光源是寬頻光，其相干長(zhǎng)度很短，根據(jù)干涉理論只有當(dāng)樣品光與參考光的光程差小于相干長(zhǎng)度時(shí)，兩束光才能發(fā)生干涉，因此只有垂直反射的散射光能參與干涉，而其他方向的雜散光以及經(jīng)過(guò)待測(cè)樣品多次散射回來(lái)的光程較長(zhǎng)的光被極大的抑制。圖1.1脈沖太赫茲三維成像技術(shù)原理示意圖。PCA表示光電導(dǎo)天線；OAP1和OAP2表示鍍金離軸拋物面鏡；M1-M4表示鍍金高

10、反鏡；HRS表示高阻硅；TA是一個(gè)太赫茲吸收器；L表示高密度聚乙烯透鏡；載物臺(tái)由一個(gè)鍍保護(hù)鋁的太赫茲反射鏡固定在可二維掃描的步進(jìn)電機(jī)上組成；ITO玻璃起到使泵浦激光與太赫茲共線傳播的作用；BD表示平衡探測(cè)器 假設(shè)光源線型為高斯型，則其光強(qiáng)頻譜分布為： （1.1）其中，為光場(chǎng)中心頻率的振幅，光頻率，為中心頻率，為光場(chǎng)振幅頻分布的均方差。相干部分的光強(qiáng)可以表示為： （1.2）式中，和分別為參考光和樣品光的強(qiáng)度，為頻譜的半高寬度，和分別為參考光和樣品光的光程，為光速。由式(3.3)可見，干涉信號(hào)是頻率為的交流信號(hào)，強(qiáng)度包絡(luò)曲線是光程差的高斯函數(shù)。當(dāng)，即參考臂與樣品臂等光程時(shí)，干涉信號(hào)強(qiáng)度極強(qiáng)；當(dāng)二者

11、不等時(shí)，干涉信號(hào)強(qiáng)度迅速減小。光譜的半高寬度可以表示為 (1.3)定義半高寬為光源的相干長(zhǎng)度，由于光信號(hào)是往返的，所以將相干長(zhǎng)度除以2，得到相干層析成像技術(shù)的縱向分辨率為 (1.4)式中，和分別為光源的中心波長(zhǎng)和頻譜寬度。相干層析成像技術(shù)的縱向分辨率受限于光源的相干長(zhǎng)度，只有當(dāng)參考光與樣品光的光程差小于相干長(zhǎng)度，才有足夠強(qiáng)的干涉信號(hào)。因此，在相干層析成像技術(shù)中，輻射源的選擇直接決定了系統(tǒng)的縱向分辨率。系統(tǒng)的橫向分辨率由瑞麗判據(jù)決定，即艾里斑半徑，則橫向分辨率為： （1.5）三 太赫茲相干層析實(shí)驗(yàn)光路圖1-2 太赫茲相干層析成像技術(shù)方案光路圖。OAP1至OAP5為鍍金的離軸拋物面鏡；分束器為在M

12、ylar薄膜上制作的金屬光柵的偏振分光片；Ge片起到濾波作用。 本技術(shù)的實(shí)驗(yàn)光路如圖2所示。75W的汞燈作為輻射源輻射發(fā)散的太赫茲波，太赫茲波被兩個(gè)拋物面鏡0AP1及OAP2準(zhǔn)直之后成為平行光，經(jīng)過(guò)孔徑光闌約束光源尺寸，然后經(jīng)過(guò)斬波器進(jìn)行周期調(diào)制以方便探測(cè)器探測(cè)。干涉儀的分光片是一個(gè)在Mylar薄膜上制作的金屬光柵，它的投射反射比例接近4:1。參考臂由一個(gè)一維電控平移臺(tái)精確控制，進(jìn)行一維掃描；樣品臂光束經(jīng)過(guò)拋物面鏡聚焦后入射到載物臺(tái)上。載物臺(tái)為一片鍍鋁的高反射鏡，放置在二維電控平移臺(tái)上，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的二維掃描。參考光和樣品光經(jīng)過(guò)分光片后，被一個(gè)拋物面鏡收集，入射到探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)。需要注意的是，為

13、了便于探測(cè)干涉信號(hào)，實(shí)驗(yàn)中在探測(cè)器前放置一Ge片，作用是濾除一部分頻率，減小光譜寬度，以增加相干長(zhǎng)度。實(shí)驗(yàn)中所使用的探測(cè)器是由俄羅斯tydex公司生產(chǎn)的Golay cell。探測(cè)器探測(cè)到的信號(hào)輸入到鎖相放大器，經(jīng)鎖相放大處理后被計(jì)算機(jī)所記錄。通過(guò)對(duì)樣品XY平面的二維掃描和Z軸方向的相干層析掃描，經(jīng)過(guò)一定的數(shù)據(jù)處理后即可對(duì)樣品的三維圖像進(jìn)行重構(gòu)。三 系統(tǒng)控制及數(shù)據(jù)采集分析的軟件編譯相干層析成像系統(tǒng)的控制及數(shù)據(jù)采集與分析軟件主要起到對(duì)三軸電機(jī)運(yùn)動(dòng)方式的控制，對(duì)鎖相放大器的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集以及后期數(shù)據(jù)的處理、分析及顯示等作用。本節(jié)基于Labview系統(tǒng)編譯軟件，針對(duì)北光世紀(jì)生產(chǎn)的SC103步進(jìn)電機(jī)控制器

14、和美國(guó)斯坦福公司生產(chǎn)的SR810鎖相放大器，編譯完成了相干層析系統(tǒng)的控制及數(shù)據(jù)采集與分析處理軟件。圖1.3為軟件編譯的流程圖。圖1-3 相干層析系統(tǒng)控制及數(shù)據(jù)采集于分析處理軟件編譯流程圖Labview程序通過(guò)visa端口對(duì)步進(jìn)電機(jī)控制器和鎖相放大器進(jìn)行命令的發(fā)送和數(shù)據(jù)的讀出等操作。在確定控制程序與步進(jìn)電機(jī)控制器及鎖相放大器通信成功后，完成對(duì)硬件的初始化工作，為接收運(yùn)動(dòng)指令及數(shù)據(jù)采集指令做好準(zhǔn)備。接下來(lái)，對(duì)參考臂Z軸進(jìn)行連續(xù)掃描，同時(shí)記錄鎖相放大器輸出的太赫茲功率值，記錄并顯示出此處的時(shí)域干涉信號(hào)。將記錄的干涉信號(hào)保存在一個(gè)二維數(shù)組中后，以初始設(shè)置的像素分辨率移動(dòng)X軸至樣品的下一個(gè)像素點(diǎn)，再次執(zhí)

15、行時(shí)域干涉信號(hào)的測(cè)量操作。當(dāng)X軸運(yùn)動(dòng)像素點(diǎn)個(gè)數(shù)達(dá)到初始設(shè)置值后，以初始設(shè)置的Y軸分辨率移動(dòng)Y軸至下一個(gè)像素點(diǎn)，然后繼續(xù)執(zhí)行Z軸掃描時(shí)域信號(hào)及X軸的步進(jìn)掃描操作，直至X、Y軸掃描完成初始設(shè)置的像素點(diǎn)大小。圖1-4 相干層析成像系統(tǒng)控制及數(shù)據(jù)處理與分析軟件前面板。循環(huán)次數(shù)設(shè)置表示對(duì)樣品某一個(gè)像素點(diǎn)的時(shí)域干涉信號(hào)進(jìn)行指定次數(shù)的測(cè)量，最后對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行求平均值；X/Y軸掃描精度表示對(duì)X/Y軸成像分辨率的設(shè)置；Z軸掃描距離表示時(shí)域掃描范圍；右邊二維強(qiáng)度圖分別表示測(cè)量的樣品在XY界面和XZ界面的顯示結(jié)果最后，對(duì)所得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)的矩陣變換及降噪處理等操作，將結(jié)果顯示出來(lái)，并關(guān)閉串口，程序結(jié)束。程序的前面

16、板如圖1-4所示。該軟件可以設(shè)置X、Y、Z軸的掃描范圍與成像分辨率，同時(shí)還可以設(shè)置單個(gè)像素點(diǎn)的時(shí)域掃描次數(shù)。需要說(shuō)明的是，單個(gè)像素點(diǎn)的時(shí)域波形掃描次數(shù)設(shè)置越大，干涉波形的信噪比會(huì)越高，但是對(duì)應(yīng)的掃描時(shí)間也會(huì)大大延長(zhǎng)。本實(shí)驗(yàn)中默認(rèn)設(shè)置為1次。四 實(shí)驗(yàn)結(jié)果和討論4.1干涉信號(hào)測(cè)量結(jié)果與討論相干層析成像的關(guān)鍵是在樣品的測(cè)量點(diǎn)干涉信號(hào)的測(cè)量。要提高成像質(zhì)量，必須盡可能的提高干涉信號(hào)的信噪比。提高干涉信號(hào)信噪比有兩個(gè)途徑：降低系統(tǒng)測(cè)量噪聲和提高干涉信號(hào)的強(qiáng)度。降低系統(tǒng)信噪比可以通過(guò)提高輻射源功率、使用具有高響應(yīng)率的探測(cè)器和多次測(cè)量取平均值三種方法實(shí)現(xiàn)。實(shí)驗(yàn)中所使用的輻射源功率輸出固定，無(wú)法調(diào)諧；所使用的

17、探測(cè)器為Golay探測(cè)器，在現(xiàn)有的太赫茲探測(cè)器中響應(yīng)率相對(duì)較高。因此實(shí)驗(yàn)中我們采用多次測(cè)量取平均值的方法來(lái)抑制測(cè)量系統(tǒng)的噪聲。圖5所示的是(a)單次測(cè)量和(b)20次測(cè)量取平均值的結(jié)果。圖中可以看出，單次測(cè)量的干涉信號(hào)噪聲較大；由于系統(tǒng)噪聲的無(wú)規(guī)則性，20次測(cè)量取平均值后，干涉信號(hào)的噪聲被極大的抑制。圖5 （a）單次測(cè)量和（b）20次測(cè)量取平均值的時(shí)域干涉圖影響干涉信號(hào)強(qiáng)度的因素主要有光源尺寸及光譜寬度。光源尺寸可以通過(guò)圖3中光闌的大小來(lái)改變，光譜寬度可以通過(guò)在探測(cè)器前放置適當(dāng)?shù)臑V波材料來(lái)實(shí)現(xiàn)。圖6所示的是實(shí)驗(yàn)光路中光闌直徑大小分別為(a)5mm和(b)2mm時(shí)，對(duì)同一點(diǎn)測(cè)量20次干涉信號(hào)后取

18、平均值的結(jié)果。值得注意的是，減小光源尺寸盡管會(huì)降低探測(cè)器探測(cè)到的光強(qiáng)信號(hào)，增加系統(tǒng)的探測(cè)噪聲，實(shí)驗(yàn)測(cè)得的干涉信號(hào)信噪比依然有所提高，說(shuō)明此時(shí)干涉信號(hào)的強(qiáng)度有了較大的增加。圖6光源光斑直徑為(a) 5mm 和(b) 2mm時(shí)的時(shí)域干涉圖。圖中結(jié)果均為電機(jī)運(yùn)動(dòng)速度為10Hz時(shí)測(cè)量的20次時(shí)域干涉圖的平均結(jié)果。此外，對(duì)于具有極寬光譜的輻射源，相干長(zhǎng)度非常短，測(cè)量干涉信號(hào)時(shí)對(duì)參考臂掃描電機(jī)的精度要求較高。由于實(shí)驗(yàn)中用到的掃描步進(jìn)電機(jī)精度的限制，我們使用一片厚度為1mm的鍺(Ge)片對(duì)中壓汞燈的輸出光譜進(jìn)行濾波。Ge片在1THz-20THz頻率范圍內(nèi)的透過(guò)率譜如圖7所示。圖7 Ge片在1THz-20TH

19、z頻率范圍內(nèi)的透過(guò)率譜。Ge片起到帶阻濾波器的作用在此頻率范圍內(nèi)，Ge片起到帶阻濾波器的作用，減小了探測(cè)器接收到的光譜寬度。圖8現(xiàn)實(shí)的是在探測(cè)器前(a)未放置與(b)放置Ge時(shí)測(cè)量到的時(shí)域干涉信號(hào)。對(duì)比結(jié)果表明，盡管經(jīng)過(guò)Ge片濾波后，探測(cè)器接收的光強(qiáng)減小，測(cè)量到的信號(hào)噪聲相對(duì)無(wú)Ge片濾波時(shí)較大，但是由于相干長(zhǎng)度較長(zhǎng)，對(duì)干涉包絡(luò)的測(cè)量也更加準(zhǔn)確。圖8光源光斑直徑為2mm時(shí)，在探測(cè)器前(a)未放置和(b)放置Ge片時(shí)20測(cè)量的時(shí)域干涉圖取平均值的結(jié)果，其中步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)速度設(shè)為10Hz。綜上所述，通過(guò)多次測(cè)量取平均值、使用光闌控制輻射源的有效尺寸和用鍺片進(jìn)行濾波三種方法可以有效的提高干涉信號(hào)的信噪比

20、。4.2 成像實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析優(yōu)化基于OCT技術(shù)的太赫茲相干層析成像技術(shù)理論上具有高的縱向分辨率，對(duì)已有的太赫茲三維成像技術(shù)是一個(gè)很好的補(bǔ)充。圖9顯示的是利用圖2所示的太赫茲相干層析成像技術(shù)方案測(cè)量相同樣品的相關(guān)成像結(jié)果。參考臂掃描距離設(shè)置為1mm，步進(jìn)電機(jī)掃描速度為10Hz。為了縮短成像時(shí)間，在與光束垂直方向，實(shí)驗(yàn)僅對(duì)樣品進(jìn)行了一維掃描。如圖(a)所示，在Z方向出現(xiàn)三個(gè)干涉信號(hào)，分別位于0.1mm-0.2mm、0.4mm-0.5mm和0.6mm-0.7mm位置。其中0.1mm-0.2mm之間出現(xiàn)的Z (mm)X (mm)Z (mm)X (mm)(b)(a)(c)Z (mm)X (mm)Z (mm)X (mm)(d)圖9太赫茲相干層析技術(shù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖，(a)原始圖像；(b)濾波處理后的圖像；(c)小波降噪處理后的圖像；(d)濾波和小波降噪同時(shí)處理后的圖像。反射信號(hào)為放置樣品的鍍鋁反射鏡反射回的太赫茲信號(hào)與參考信號(hào)相干涉的結(jié)果；0.4mm-0.5mm之間的干涉信號(hào)為低阻硅反射回的信號(hào)與參考信號(hào)相干涉的結(jié)果；0.6mm-0.7mm之間的干涉信號(hào)是鍍金反射鏡樣品反射回的信號(hào)與參考信號(hào)相干涉的結(jié)果。由于環(huán)境噪聲及探測(cè)器噪聲的影響，圖(a)所示的實(shí)驗(yàn)結(jié)果中干涉信號(hào)強(qiáng)度較弱，信噪比較低，需要通過(guò)相關(guān)的程序?qū)Y(jié)果進(jìn)行處理，提高圖像的對(duì)