潔凈工程質量控制方案

1、專業(yè)資料參考( 一 )潔凈工程質量控制本工程為微電子工業(yè)廠房，有非常高的潔凈要求，廠房中潔凈房間施工質量控制將成為本項目控制的重中之重。為此，在項目建設實施中，本公司在工程施工前期的計劃工作和設計工作以及施工過程中分項工程控制及成品保護制度等方面采取應對性措施如下：1. 編制潔凈房間施工質量計劃編制由業(yè)主、本項目部、監(jiān)理單位、施工總包及施工各專業(yè)分包共同方參加的潔凈房間施工質量計劃 ，按照“過程精品，動態(tài)管理，節(jié)點考核，嚴格獎懲”的原則，確保每個分項工程達到合格。2. 組織潔凈廠房設計專家，進行圖紙會審潔凈建筑設計所依據(jù)的潔凈技術是一門多學科的綜合性很強的技術領域， 著重解決為實現(xiàn)電子產品生產

2、所要求的潔凈環(huán)境， 統(tǒng)籌安排好各專業(yè)技術在平面和空間布局上的協(xié)調性，特別要處理好潔凈建筑設計與產品生產工藝設計、空氣凈化設計之間互相協(xié)調問題，順應工藝生產流程、滿足產品生產對潔凈建筑的要求、安排好人流和物流、適應潔凈室的氣流組織、做到建筑構件的氣密性和建筑裝飾負荷潔凈生產環(huán)境要求等。利用院、公司強大的技術支持，組織各專業(yè)總師對圖紙進行會審，提出優(yōu)化方案，避免施工中出現(xiàn)大的設計變更。3. 強化質量節(jié)點預控和過程控制、消除質量通病針對潔凈廠房施工中易出現(xiàn)的質量問題，設立若干質量控制點，編制好詳細的施工方案，開展過程質量管理，防止質量通病的出現(xiàn)，一旦發(fā)現(xiàn)質量問題，及時組織分析，檢查整改情況，對重大質

3、量問題通報相關單位的上級領導。 裝飾工程質量控制點地面工程是該工程土建施工的關鍵部位。應滿足具體電子產品生產工藝要求，地面應平整、耐磨、易清洗、不易積聚靜電，避免眩光不開裂等。嚴格按設計要求。地面工程施工驗收規(guī)范、潔凈廠房施工及驗收規(guī)范規(guī)定施工和驗收。潔凈區(qū)圍護結構彩鋼墻體和頂板施工潔凈室的建筑裝飾施工，應在屋面防水工程和外圍結構完成外門、外窗安裝完畢和主體結構工程驗收后才能進行。word 格式整理專業(yè)資料參考墻板、頂棚的裝飾表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵、并應減少凹凸面；踢腳不應突出墻面；位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。潔凈室圍護結構要采用不起塵和不開裂的材料，在

4、施工中特別要注意各種接縫處的處理措施，防止開裂和起塵，并在接縫處采用密封膠填塞，接縫處的縫隙不應大于0.5mm，建筑裝飾及門窗的縫隙，應在潔凈室的正面密封。金屬壁板安裝應在技術夾層內的各種主干管道安裝完，然后對室內地面、柱、墻和空間進行徹底清掃，達到清潔無塵方可進行施工。施工前應嚴格檢查土建地面是否超差，安裝時墻面不平整度不應大0.1%。墻角應垂直交接，防止累計誤差造成壁板傾斜和扭曲，壁板的垂直度偏差不應大于0.2%。頂板應按房間寬度方向起拱，使頂棚在受荷載后的使用過程中保持平整頂棚四周應與墻體交接嚴密，安裝過程中不得撕下板材表面保護膜，施工中嚴禁撞擊和踩踏面板。需要粘貼面層的材料，嵌填密封膠

5、的表面和溝槽應防止脫落和積塵，粘貼前必須仔細清掃，除去雜質和油污，確保粘貼密實牢固。圍護結構的所有安裝縫隙，必須用硅膠密封，嵌填的密封膠應平整T 和光滑，不得有外露、間斷和毛邊等現(xiàn)象，打膠的環(huán)境應在0C以進行。平開門的縫隙密封在經(jīng)常啟閉門扇通行的情況下，除某些外門為避開重設備運輸可能對門樘的碰撞，而把密閉條全部設置在門扇上外，一般情況下，為使密閉條避免手摸 . 腳踩或擊碰以及人行與運輸?shù)挠绊懀瑧獙⑿嗝娉尚蛷椥悦荛]條，敷設在門樘的隱蔽凹槽部位，再借門扇的關閉壓緊；密閉條應沿活動縫隙的周邊敷設，以便在門關閉后形成一圈封閉齒型的密封線， 若密閉條被分別設置在門樘和門扇兩處時就必須注意兩者有很好的銜

6、接，應減少密閉條在門縫內的中斷間隙。室內裝飾所用材料，零部件應符合設計要求。自購件應達到優(yōu)質及部頒標準，金屬壁板應符合標準規(guī)范的要求，用于電子產品要有防靜電措施，要有質量合格證和性能檢測報告，包括消防控制報告。金屬壁板和配件應存放在清潔的環(huán)境中，平整地放在防潮膜上，防止變形，壁板和配件應在清潔環(huán)境中開箱啟封，不合格或已損壞的產品不得安裝。金屬壁板頂棚的固定和吊掛件只能與主體結構相連，嚴禁與設備和管線支架交叉混用，墻板和頂棚表面應光潔平整不起塵、不落塵、耐腐蝕和耐沖擊，且宜清洗。word 格式整理專業(yè)資料參考潔凈室內地面與墻面，墻面與墻面與頂棚均應采用硅膠密封，所有潔凈室窗、門及隔斷縫隙均需用密

7、封膠封閉。吊頂表面的平整度，高低差小于 2mm，接縫的平直度必須小 1.5mm，接縫的高低必須小于 1mm，接縫的縫隙不得大于 0.5mm，墻板的重直度誤差小于 1 度。施工中嚴格執(zhí)行國家頒布的潔凈裝修工程施工驗收規(guī)范和質量評定標準，做好各項隱蔽工程記錄。凈化壁板安裝工程結束后要對成品進行保護，建立出入管理制度，嚴格控制人流與物流，以防止劃傷或污染已完工程，其它專業(yè)必須在圍護結構上開孔時，須經(jīng)監(jiān)理和有關人員許可后方可進行。管道穿過圍護結構時，要有良好的固定構造，在使用時不能晃動和移位，確保密封有效，要將安裝定位與密封處理兩者有機的結合起來，金屬壁板上所開的每個孔洞周邊均應附加定位骨架，大尺寸風

8、管加固要防止前后左右竄動，在管壁與金屬壁板縫隙內墊膠或膠海綿，再用密封膠處理。 凈化空調系統(tǒng)質量控制點材料的選擇：必須采用符合空氣凈化標準的原材料和設備，不得使用易腐蝕、易老化和容易產生塵埃的材料。通風管道及管件的制作要平整、光滑無劃痕，無鋅皮脫落，加工前應進行脫脂、脫塵、徹底清除板材上的油污。檢查時要做到一摸、二擦、三查。風管清洗合格后的管件兩側必須用塑料薄膜封堵嚴密。安裝前對風管進行二次清洗，安裝時不允許邊安裝邊敲打，避免灰塵進入風管內。潔凈管開封過程中嚴禁與其它專業(yè)交叉作業(yè)。開封時必須是在土建的門窗安裝完成、孔洞堵完、封閉嚴密后進行。避免外界污物侵入。廠房內隔斷必須待潔凈風管安裝完畢端口

9、封好后才能施工， 防止積塵飛入管內，施工完畢應將墻壁進行全面清掃，并用吸塵器清除浮塵地面用清水沖洗干凈。風管的法蘭墊料應采用 5 海綿膠墊，墊料接口宜采用梯形接口，安裝時兩面涂膠，風口連接處應采用高強度光面合成革軟接頭，光面朝里各接縫處應嚴密不漏風。風管安裝后保溫前，應先做漏光檢測，檢測宜在夜間進行。主要檢查接口、孔洞、接縫、密封膠未壓實現(xiàn)象（目測觀察） 。word 格式整理專業(yè)資料參考風管與潔凈室吊頂，隔墻與維護結構的穿越處應用密封填料或密封膠密封，不得漏風或有滲漏現(xiàn)象發(fā)生。風管系統(tǒng)中在適當?shù)奈恢迷O清掃孔和風量、風壓測試孔，孔口安裝時應清除油污、塵土，安裝后必須經(jīng)孔口封閉。風閥、消聲器的安裝

10、前必須清除內外表面的油污和塵埃。風閥的軸體與閥體的連接處應有密封措施，安裝要牢固、位置、標高走向正確開啟靈活。 凈化空調設備安裝質量控制點空調機組的減震器應嚴格按設計要求的型號、數(shù)量、位置進行安裝、找平、找正?？照{箱安裝時應對內部進行嚴格清洗、擦拭，做到無浮塵、無油污方可安裝。空氣過濾器的安裝應平整、牢固，過濾器與框架間縫隙要嚴并便于拆卸。過濾器前后應安裝壓差計，其測定管應暢通、嚴密、無裂紋。設備檢查門的門框應平整，密封墊符合要求，表冷器的冷凝水排出管上應設水封裝置，確?？照{機組的密閉不漏風。現(xiàn)場組裝的空調機組，應做漏風檢測，其漏風量必須符合現(xiàn)行國家標準組合式空調機組GBT14924的規(guī)定，對

11、空氣潔凈度等級1-5 級為全數(shù)檢查，6-9 級為抽查 50%。高效過濾器的安裝必須在內部裝修全部完成并清掃、擦拭干凈?？臻g設備內部清洗、擦拭干凈的前提下，方可安裝過濾器。高效過濾器應在現(xiàn)場開封檢查，主要檢測框架濾材，密封膠有無損傷。各種尺寸應符合要求，框架無毛刺、腐蝕、技術性能是否符合設計要求。對于空氣潔凈度等級等于或高于 5 級（100 級）潔凈室所用高效過濾器應按規(guī)定檢漏，合格后方可安裝。潔凈室和凈化空調達到清潔要求后，凈化空調系統(tǒng)必須進行試運轉（空吹）連續(xù)試運行時間為 1224 小時。空吹后再次清掃、擦凈潔凈室，立即安裝高效空氣過濾器。安裝過程應根據(jù)各臺過濾器的阻力大小進行合理調配。高效

12、過濾器安裝時外框上箭頭和氣流方向應一致。框架應平整，每個高效過濾器的安裝框架平整度允許偏差不大于 1。高效過濾器無論采用何種密封方式都必須將填料表面、過濾器邊框表面、框架表面以及液槽擦凈。采用密封墊時，其墊片厚度不宜超過8 ，其接頭形勢和材質可與word 格式整理專業(yè)資料參考潔凈風管閥蘭密封墊相同。采用液槽密封時，液槽的液面高度要符合設計要求，一般為2/3 槽深，密封液的熔點宜高于50 攝氏度，框架各接縫處不得有滲液現(xiàn)象。 凈化設備的安裝控制根據(jù)潔凈廠房中產品生產的需要和人員凈化、物料凈化要求設置有各種類型的凈化設備。設備與潔凈室的圍護結構相連接時其連接縫必須密封。風機過濾單元空氣凈化設備的安

13、裝應符合下列要求：a 空氣凈化設備應在清潔的現(xiàn)場進行外觀檢查，目測不得有變形， 銹蝕，漆膜脫落，拼接板破損等現(xiàn)象。b 風機過濾單元的高效過濾器安裝前進行檢漏，合格后才能進行安裝。方向安裝必須正確，安裝后的風機過濾單元應便于檢修。c 安裝后的風機過濾單元，應保持整體平整，與吊頂銜接應良好。風機過濾單元與吊頂框架之間均應有可靠的密封措施。d 風機過濾單元在進行系統(tǒng)試運轉時，必須在進風口加裝臨時中效過濾器。f 空氣過濾器的滲漏檢查和堵漏過濾器的滲漏，是由于過濾器本身或過濾器與框架及框架本身與維護結構的滲漏。高效過濾器安裝后的檢漏，管用粒子計數(shù)器或濁設計進行掃描，發(fā)現(xiàn)滲漏時，用過氯乙烯膠或 88 號膠

14、、 703 號、704 硅膠堵漏密封。用粒子計數(shù)器掃描時，上風側濃度要求在3×104 粒/L （ 0.5u ）以上；用濁度計掃描時，上風側濃度要大于儀器最小靈敏度的10倍，達不到時可用普通燃香做煙源放煙。在過濾器下風側距離過濾器表在23cm 處沿過濾器表面，邊框和框架接縫處掃描。當儀器讀數(shù)高于過濾器穿透率104 倍時，即認為有滲漏。 氣體、真空、動力系統(tǒng)工程質量監(jiān)控點氣體進口裝置：高純氣體一般都需要借助管道從氣體站和輸送占輸送至潔凈廠房，為此需在潔凈室內設置氣體進口裝置，氣體進口裝置應盡量靠近凈化生產的用氣區(qū)，以縮短管路，減少輸送中產生的污染，方便維護管理。末端純化和凈化裝置：通常送

15、入潔凈廠房的起義多為高純氣體，但在輸送過程中，由于設備材料附件及其他因素的污染，純度很易降低，所以在末端應加純化和凈化裝置。工業(yè)氣體驗證的有關步驟：word 格式整理專業(yè)資料參考a 一定純度的氣體供應量，氣體要化驗其純度，最大的使用流量必須小于系統(tǒng)能夠生產的量儲存設備的規(guī)模必須合適而且是有合適的材料制成，不與氣體反應。b 管道分配系統(tǒng)的規(guī)格大小必須合適。c 管道的材料必須合適 （特別是無菌過濾器后的材料） ，如果選材合適， 就不會對氣體的質量產生影響，用來運送氣體的系統(tǒng)不許與克能污染的任何系統(tǒng)聯(lián)接。d 使用電的末端無菌級過濾器的驗證。無油空壓機及干燥器的安裝確認內容：按設計要求檢查實際設備的規(guī)

16、格；證明壓縮機內部采用油和其他潤滑劑；證明壓塑膠、干燥器的動力安裝聯(lián)接正確；壓縮機干燥器儀表的校準報告；操作手冊和SOP。分配系統(tǒng)的驗收：確認管道材料符合設計和工藝要求，尤其是使用末端過濾器后的材料是316L 不銹鋼，便于拆裝、清潔、消毒；管路系統(tǒng)的壓力試驗報告；檢查管路清潔的程序、步驟和結果；檢查末端的過濾器是否合適。4. 編制潔凈室管制計劃為作好潔凈廠房的成品保護工作，特制定以下 潔凈室管制計劃 :通則：除本管制規(guī)定外，尚需遵守中華人民共和國工業(yè)安全衛(wèi)生各項法令規(guī)定，及一般安全及衛(wèi)生各項規(guī)定。出入管制：分別于各樓層設一進出口以管制人員進出，并使人員進入潔凈室前更換工作證并清潔工具及材料。第

17、一階段管制規(guī)定： EPOXY施工期間。A施工前準備凡欲進入潔凈室人員，必須需填寫申請單，依規(guī)定提出申請后才準進入。一項工程均需填寫一份申請單，每次申請的施工最長期限為一周。施工單位憑申請單向管制人員領取潔凈室管制區(qū)施工許可證。進入潔凈管制區(qū)必須佩帶施工許可證。準備吸塵器 ( 掃把、畚箕、水桶、拖把) 及其它必須工具。攜入潔凈區(qū)的施工工具、材料及附件等均應以當日使用量為準，入場前必須在室外擦拭干凈，不能有油或灰塵等。非需用之物品如食物、飲料等禁止攜入。word 格式整理專業(yè)資料參考任何鉆孔、切割等加工工作，均不得在潔凈區(qū)內進行，不得已者 ( 如無法攜出潔凈室外加工者 ) 需經(jīng)業(yè)主各系統(tǒng)負責工程師

18、準許才可施工。任何人一律由指定出入口出入。應著干凈服裝。施工機具、設備應有明顯的單位標志。施工使用的電器產品及延長線，須通過業(yè)主檢驗并貼上合格標簽。潔凈區(qū)任何動火作業(yè)，如切割、電焊、鉆孔等，都要提出動火申請。B施工中注意事項在潔凈區(qū)內不準抽煙。不可使用含油酯之材料，工具的油不得外漏。必須使用干凈的鋁梯，鷹架。工具或材料搬運若無保護措施時物料應完全離開地面，不準在地上拖行，以免破壞地板。只準使用橡膠輪搬運車。萬不得已使用電焊時，地面及周遭墻面都應予以保護。使用電焊時須遵守工地的電焊規(guī)定并設排煙設備。凡進行具有污染性的工作，必須將工作區(qū)用塑料布隔離。施工處若存在安全隱患時，必須予以標示。隨時佩帶工

19、作證。施工人員應聽從業(yè)主及各系統(tǒng)負責工程師的指示。細小工具及零件如螺絲、螺帽、釘子等，須放于工具盒內。用電時必須遵守用電安全，及業(yè)主的用電安全規(guī)定。廢棄易燃物須立即處理。施工中若破壞既有的設備系統(tǒng)、管路等，應立即通知相關人員處理，以維護場區(qū)之安全。施工中一律配戴安全帽，高架作業(yè)須配安全帶。C. 施工后整理工作施工區(qū)需以吸塵器或其它清潔工具清潔，必要時用布擦拭。word 格式整理專業(yè)資料參考不留任何廢棄物于現(xiàn)場。不用的工具，材料需運離潔凈區(qū)。檢查施工四周，確認未損壞其它東西，萬一有損壞時，應立即向業(yè)主各負責工程師報告。 第二階段管制規(guī)定：高架地板開始至FFU開始安裝期間。A. 施工前準備凡欲進入

20、潔凈室人員，必須需填寫申請單，依規(guī)定提出申請后才準進入。一項工程均需填寫一份申請單，每次申請的施工最長期限為一周。施工單位憑申請單向管制人員領取潔凈室管制區(qū)施工許可證。進入潔凈室的人員應佩帶潔凈室管制區(qū)施工許可證及安全帽，高架作業(yè)需佩帶安全帶。準備塑料布、保護用膠質PVC板、真空吸塵器 ( 抹布、水筒 ) 及其它必須之用具。施工工具、材料及附件等，必須在室外清潔并擦拭干凈，不能有油及灰塵等。非需用之物品如食物、飲料等禁止攜入。任何鉆孔、切割等加工，不得在潔凈區(qū)內進行，不得已者 ( 如無法攜出潔凈室外加工者 ) 需經(jīng)業(yè)主各工程負責工程師準許才可施工。必須自備膠底的工作鞋，放置在各樓管制入口處備用

21、，進入者一律著工作鞋，且此工作鞋只能用于潔凈室。應著干凈之工服裝。施工機具、設備應有明顯的單位標志。潔凈區(qū)內所有動力設備應以電力為主，不得以汽、柴油為動力。攜入潔凈室的施工工具、材料及附件等以當日使用量為原則，入場前必須在潔凈室外擦拭干凈方可進入。施工使用的電器產品及延長線，須通過業(yè)主檢驗并貼上合格卷標。潔凈區(qū)任何動火作業(yè)如切割、焊接、鉆孔等，都要提出動火申請。B. 施工中注意事項在潔凈區(qū)內不準抽煙。不可使用含油酯之材料，工具的油不得外漏。word 格式整理專業(yè)資料參考必須使用干凈的鋁梯、鷹架，梯角必須用布包起來，以免刮傷地面。工具或材料搬運若無保護措施時物料應完全離開地面，不準在地上拖行，以

22、免破壞地板。只準使用橡膠輪子搬運車。潔凈室內只允許氬焊，萬不得已使用電焊時，地面及周遭墻面都應予以保護，并設置排煙設備。凡進行具有污染性的工作時，必須將工作區(qū)用塑料布隔離。施工處若存在安全隱患時，必須予以標示。隨時佩帶工作證。施工人員應聽從業(yè)主及各負責工程師的指示。細小工具及零件如螺絲、螺帽、釘子等，須放于工具盒內。用電時必須遵守用電安全，及業(yè)主的用電安全規(guī)定。廢棄易燃物須立即處理。施工中若破壞既有的設備系統(tǒng)、管路等，應立即通知相關人員處理，以維護場區(qū)的安全。施工中一律配戴安全帽，高架作業(yè)須配安全帶。C. 施工后整理工作施工區(qū)需以真空吸塵器清潔，必要時用布擦拭。不留任何廢棄物于現(xiàn)場。不用的工具

23、，材料需運離潔凈區(qū)。檢查施工四周，確認未損壞其它東西，萬一有損壞時，應立即向業(yè)主各負責工程師報告。 第三階段管制規(guī)定： FFU 開始安裝以后A. 施工前準備凡欲進入潔凈室人員，必須需填寫申請單，依規(guī)定提出申請后才準進入。一項工程均需填寫一份申請單，每次申請的施工最長期限為一周。施工單位憑申請單向管制人員領取潔凈室管制區(qū)施工許可證。施工單位憑申請單向管制人員領取潔凈室管制區(qū)施工許可證。word 格式整理專業(yè)資料參考依工作需要準備塑料布及膠質 PVC板( 保護地面用 ) ，潔凈室專用型真空吸塵器，無纖維抹布 ( 水桶、稀釋之 IPA) 等其它用具。應充分了解本公司之潔凈室一般操作規(guī)定，如不可攜入木

24、頭、非潔凈室用紙張、簽字筆等。進入潔凈室應穿著全套無塵衣。包括口罩、手套、無塵鞋等，且袖口應套住手套口，施工單位自備的無塵衣型式需先送審。潔凈室僅允許施工人員進出，且須持有識別證及工作證。進入潔凈室之人員應佩帶無塵室管制區(qū)施工證及安全帽，高架作業(yè)需佩帶安全帶。施工的工具、材料及附件等必須在室外清潔并擦拭干凈，不能有油及灰塵等。非需用的物品如食物、飲料等禁止攜入。任何鉆孔、切割等加工，不得在潔凈區(qū)內進行，不得已者 ( 如無法攜出潔凈室外加工者 ) 需經(jīng)業(yè)主各系統(tǒng)負責工程師準許才可施工。由規(guī)定的出入口出入。施工機具、設備應有明顯的單位標志。潔凈區(qū)內所有動力設備應以電力為主，不得以汽、柴油為動力。B. 施工中注意事項只準使用膠輪子搬運車，輪子應以干