測(cè)量薄膜厚度及其折射率的方法PPT

1、2022-2-2312022-2-232一、引言一、引言 v 近年來(lái)近年來(lái),非線性光學(xué)聚合物薄膜及器件的研究已成為非線非線性光學(xué)聚合物薄膜及器件的研究已成為非線性光學(xué)材料領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。非線性光學(xué)聚合物薄膜具有多種性光學(xué)材料領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。非線性光學(xué)聚合物薄膜具有多種優(yōu)點(diǎn)，如快速響應(yīng)、大的電光系數(shù)、高的激光損傷閾值、小的優(yōu)點(diǎn)，如快速響應(yīng)、大的電光系數(shù)、高的激光損傷閾值、小的介電常數(shù)、簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)、低損耗和微電子處理的兼容性等，因介電常數(shù)、簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)、低損耗和微電子處理的兼容性等，因此正逐漸成為制造電光調(diào)解器和電光開(kāi)關(guān)的重要材料此正逐漸成為制造電光調(diào)解器和電光開(kāi)關(guān)的重要材料【1】 。v 薄膜技術(shù)是

2、當(dāng)前材料科技的研究熱點(diǎn)，特別是納米級(jí)薄膜薄膜技術(shù)是當(dāng)前材料科技的研究熱點(diǎn)，特別是納米級(jí)薄膜技術(shù)的迅速發(fā)展技術(shù)的迅速發(fā)展,精確測(cè)量薄膜厚度及其折射率等光學(xué)參數(shù)受到精確測(cè)量薄膜厚度及其折射率等光學(xué)參數(shù)受到人們的高度重視。由于薄膜和基底材料的性質(zhì)和形態(tài)不同，如人們的高度重視。由于薄膜和基底材料的性質(zhì)和形態(tài)不同，如何選擇符合測(cè)量要求的測(cè)量方法和儀器，是一個(gè)值得認(rèn)真考慮何選擇符合測(cè)量要求的測(cè)量方法和儀器，是一個(gè)值得認(rèn)真考慮的問(wèn)題。每一種測(cè)量方法和儀器都有各自的使用要求、測(cè)量范的問(wèn)題。每一種測(cè)量方法和儀器都有各自的使用要求、測(cè)量范圍、精確度、特點(diǎn)及局限性。在此主要介紹測(cè)量薄膜厚度和折圍、精確度、特點(diǎn)及局限

3、性。在此主要介紹測(cè)量薄膜厚度和折射率常用的幾種方法，并分析它們的特點(diǎn)及存在問(wèn)題，指出選射率常用的幾種方法，并分析它們的特點(diǎn)及存在問(wèn)題，指出選擇測(cè)量方法和儀器應(yīng)注意的問(wèn)題擇測(cè)量方法和儀器應(yīng)注意的問(wèn)題【2】。2022-2-233 二、幾種測(cè)量薄膜厚度及其折射率的方法二、幾種測(cè)量薄膜厚度及其折射率的方法l （一）橢圓偏振法（一）橢圓偏振法(橢偏法橢偏法) l 橢圓偏振法是利用一束入射光照射樣品表面，通過(guò)檢測(cè)和分橢圓偏振法是利用一束入射光照射樣品表面，通過(guò)檢測(cè)和分析入射光和反射光偏振狀態(tài)，從而獲得薄膜厚度及其折射率的非析入射光和反射光偏振狀態(tài)，從而獲得薄膜厚度及其折射率的非接觸測(cè)量方法。接觸測(cè)量方法。

4、 根據(jù)橢偏方程：根據(jù)橢偏方程：l 若若ns ，na，和和已知，只要測(cè)得樣品的已知，只要測(cè)得樣品的和和，就可求得薄，就可求得薄膜厚度膜厚度d和折射率和折射率nf 。測(cè)量樣品。測(cè)量樣品和和的方法主要有消光法和光度的方法主要有消光法和光度法。光路的形式有反射式和透射式，入射面在垂直面和水平面內(nèi)法。光路的形式有反射式和透射式，入射面在垂直面和水平面內(nèi)兩種結(jié)構(gòu)。圖兩種結(jié)構(gòu)。圖1(a)是反射式消光法的一種典型結(jié)構(gòu)；圖是反射式消光法的一種典型結(jié)構(gòu)；圖1(b)是反是反射式光度法的一種典型結(jié)構(gòu)。射式光度法的一種典型結(jié)構(gòu)。2022-2-234l 橢偏法具有很高的測(cè)量靈敏度和精度。橢偏法具有很高的測(cè)量靈敏度和精度。

5、和和的重復(fù)性精度的重復(fù)性精度已分別達(dá)到已分別達(dá)到0.01和和0.02，厚度和折射率的重復(fù)性精度可，厚度和折射率的重復(fù)性精度可分別達(dá)到分別達(dá)到0.1nm和和10-4,且入射角可在且入射角可在3090內(nèi)連續(xù)調(diào)節(jié)，以內(nèi)連續(xù)調(diào)節(jié)，以適應(yīng)不同樣品；測(cè)量時(shí)間達(dá)到適應(yīng)不同樣品；測(cè)量時(shí)間達(dá)到ms量級(jí)，已用于薄膜生長(zhǎng)過(guò)程的厚量級(jí)，已用于薄膜生長(zhǎng)過(guò)程的厚度和折射率監(jiān)控。但是，由于影響測(cè)量準(zhǔn)確度因素很多，如入射度和折射率監(jiān)控。但是，由于影響測(cè)量準(zhǔn)確度因素很多，如入射角、系統(tǒng)的調(diào)整狀態(tài)，光學(xué)元件質(zhì)量、環(huán)境噪聲、樣品表面狀態(tài)、角、系統(tǒng)的調(diào)整狀態(tài)，光學(xué)元件質(zhì)量、環(huán)境噪聲、樣品表面狀態(tài)、實(shí)際待測(cè)薄膜與數(shù)學(xué)模型的差異等都會(huì)影

6、響測(cè)量的準(zhǔn)確度。特別實(shí)際待測(cè)薄膜與數(shù)學(xué)模型的差異等都會(huì)影響測(cè)量的準(zhǔn)確度。特別是當(dāng)薄膜折射率與基底折射率相接近是當(dāng)薄膜折射率與基底折射率相接近(如玻璃基底表面如玻璃基底表面SiO2薄膜薄膜)，薄膜厚度較小和薄膜厚度及折射率范圍位于薄膜厚度較小和薄膜厚度及折射率范圍位于(nf，d)(，)函數(shù)函數(shù)斜率較大區(qū)域時(shí)，用橢偏儀同時(shí)測(cè)得薄膜的厚度和折射率與實(shí)際斜率較大區(qū)域時(shí)，用橢偏儀同時(shí)測(cè)得薄膜的厚度和折射率與實(shí)際情況有較大的偏差。因此，即使對(duì)于同一種樣品、不同厚度和折情況有較大的偏差。因此，即使對(duì)于同一種樣品、不同厚度和折射率范圍，不同的入射角和波長(zhǎng)都存在不同的測(cè)量精確度。射率范圍，不同的入射角和波長(zhǎng)都存

7、在不同的測(cè)量精確度。l 橢圓偏振法存在一個(gè)膜厚周期橢圓偏振法存在一個(gè)膜厚周期d0(如如70入射角，入射角， SiO2 膜，膜，則則d0=284nm)，在一個(gè)膜厚周期內(nèi)，橢偏法測(cè)量膜厚有確值。若，在一個(gè)膜厚周期內(nèi)，橢偏法測(cè)量膜厚有確值。若待測(cè)膜厚超過(guò)一個(gè)周期，膜厚有多個(gè)不確定值。雖然可采用多入待測(cè)膜厚超過(guò)一個(gè)周期，膜厚有多個(gè)不確定值。雖然可采用多入射角或多波長(zhǎng)法確定周期數(shù)，但實(shí)現(xiàn)起來(lái)比較困難。實(shí)際上可采射角或多波長(zhǎng)法確定周期數(shù)，但實(shí)現(xiàn)起來(lái)比較困難。實(shí)際上可采用其它方法，如干涉法、光度法或臺(tái)階儀等配合完成周期數(shù)的確用其它方法，如干涉法、光度法或臺(tái)階儀等配合完成周期數(shù)的確定。定。2022-2-235

8、 （二）（二） 棱鏡耦合法（準(zhǔn)波導(dǎo)法）棱鏡耦合法（準(zhǔn)波導(dǎo)法） 棱鏡耦合法是通過(guò)在薄膜樣品表面放置一塊耦合棱鏡，將入棱鏡耦合法是通過(guò)在薄膜樣品表面放置一塊耦合棱鏡，將入射光導(dǎo)入被測(cè)薄膜，檢測(cè)和分析不同入射角的反射光，確定波導(dǎo)射光導(dǎo)入被測(cè)薄膜，檢測(cè)和分析不同入射角的反射光，確定波導(dǎo)膜耦合角，從而求得薄膜厚度和折射率的一種接觸測(cè)量方法。波膜耦合角，從而求得薄膜厚度和折射率的一種接觸測(cè)量方法。波導(dǎo)模式特征方程為導(dǎo)模式特征方程為l 在在(2)和和(3)式中，式中，k為波數(shù)，為波數(shù)，m為膜數(shù)，為膜數(shù)，Nm為為m階導(dǎo)模的有效階導(dǎo)模的有效折射率，折射率，Np分別為耦合角、棱鏡角和棱鏡折射率。若測(cè)得分別為耦合角

9、、棱鏡角和棱鏡折射率。若測(cè)得兩個(gè)以上模式的耦合角，便可求出兩個(gè)以上模式的耦合角，便可求出d 和和nf。棱鏡。棱鏡-薄膜薄膜-襯底就組成襯底就組成一個(gè)單側(cè)漏波導(dǎo)，一個(gè)單側(cè)漏波導(dǎo)， 亦稱為準(zhǔn)波導(dǎo)，亦稱為準(zhǔn)波導(dǎo)， 準(zhǔn)波導(dǎo)法名稱準(zhǔn)波導(dǎo)法名稱 由此而來(lái)。由此而來(lái)。2022-2-236l 棱鏡耦合測(cè)量?jī)x的光路如圖棱鏡耦合測(cè)量?jī)x的光路如圖2所示。棱鏡耦合法的測(cè)量所示。棱鏡耦合法的測(cè)量精度與轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)角分辨率、所用棱鏡折射率、薄膜的厚度和精度與轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)角分辨率、所用棱鏡折射率、薄膜的厚度和折射率范圍及基底的性質(zhì)等因素有關(guān)，折射率和厚度測(cè)量精折射率范圍及基底的性質(zhì)等因素有關(guān)，折射率和厚度測(cè)量精度分別可達(dá)到度分別可

10、達(dá)到10-3和和(0.5 +5 nm )，實(shí)際精度還會(huì)高，實(shí)際精度還會(huì)高些。些。l 棱鏡耦合法存在測(cè)量薄膜厚度的下限。測(cè)量光需在膜層棱鏡耦合法存在測(cè)量薄膜厚度的下限。測(cè)量光需在膜層內(nèi)形成兩個(gè)或兩個(gè)以上波導(dǎo)模，膜厚一般應(yīng)大于內(nèi)形成兩個(gè)或兩個(gè)以上波導(dǎo)模，膜厚一般應(yīng)大于300-480nm(如硅基底如硅基底)；若膜折射率已知，需形成一個(gè)波導(dǎo)模，；若膜折射率已知，需形成一個(gè)波導(dǎo)模，膜厚應(yīng)大于膜厚應(yīng)大于100200nm；測(cè)量范圍依賴于待測(cè)薄膜和基底；測(cè)量范圍依賴于待測(cè)薄膜和基底的性質(zhì)，與所選用的棱鏡折射率有關(guān)。但測(cè)量的薄膜厚度沒(méi)的性質(zhì)，與所選用的棱鏡折射率有關(guān)。但測(cè)量的薄膜厚度沒(méi)有周期性，是真實(shí)厚度。膜厚

11、測(cè)量范圍在有周期性，是真實(shí)厚度。膜厚測(cè)量范圍在0.315 um，折，折射率測(cè)量范圍小于射率測(cè)量范圍小于2.6，某些情況可達(dá)，某些情況可達(dá)2.8。l 待測(cè)薄膜表面應(yīng)平整和干凈，測(cè)量時(shí)間約待測(cè)薄膜表面應(yīng)平整和干凈，測(cè)量時(shí)間約20秒以上，不秒以上，不適合于實(shí)時(shí)測(cè)量。棱鏡耦合法不但可以測(cè)量塊狀樣品和單層適合于實(shí)時(shí)測(cè)量。棱鏡耦合法不但可以測(cè)量塊狀樣品和單層膜樣品，而且可以測(cè)量雙層膜和雙折射膜的厚度和折射率。膜樣品，而且可以測(cè)量雙層膜和雙折射膜的厚度和折射率。在有機(jī)材料、聚合物和光學(xué)波導(dǎo)器件等領(lǐng)域中有廣泛應(yīng)用。在有機(jī)材料、聚合物和光學(xué)波導(dǎo)器件等領(lǐng)域中有廣泛應(yīng)用。 2022-2-237 （三）干涉法（三）干

12、涉法l 干涉法是利用相干光干涉形成等厚干涉條紋的原理來(lái)確定薄干涉法是利用相干光干涉形成等厚干涉條紋的原理來(lái)確定薄膜厚度和折射率的。根據(jù)光干涉條紋方程，膜厚度和折射率的。根據(jù)光干涉條紋方程，l 對(duì)于不透明膜：對(duì)于不透明膜：l 對(duì)于透明膜：對(duì)于透明膜： l 在在(4)和和(5)式中，式中，q為條紋錯(cuò)位條紋數(shù)，為條紋錯(cuò)位條紋數(shù)，c為條紋錯(cuò)位量，為條紋錯(cuò)位量，e為為條紋間隔。因此，若測(cè)得條紋間隔。因此，若測(cè)得q，c，e就可求出薄膜厚度就可求出薄膜厚度d 或折射率或折射率nf。2022-2-238l 干涉法主要分雙光束干涉和多光束干涉，后者又有多光束干涉法主要分雙光束干涉和多光束干涉，后者又有多光束等厚

13、干涉和等色序干涉。雙光束干涉儀主等厚干涉和等色序干涉。雙光束干涉儀主要由邁克爾遜干涉要由邁克爾遜干涉和顯微系統(tǒng)組成，其干涉條紋按正弦規(guī)律變化，測(cè)量精度不高，和顯微系統(tǒng)組成，其干涉條紋按正弦規(guī)律變化，測(cè)量精度不高，僅為僅為/10/ 20，典型產(chǎn)品有上海光學(xué)儀器廠的，典型產(chǎn)品有上海光學(xué)儀器廠的6JA型干涉顯型干涉顯微鏡，其光路如圖微鏡，其光路如圖3所示。所示。l 為了提高條紋錯(cuò)位量的判讀精度，多光束干涉儀采用了一為了提高條紋錯(cuò)位量的判讀精度，多光束干涉儀采用了一個(gè)個(gè)F-P干涉器裝置與顯微系統(tǒng)結(jié)合，形成多光束等厚干涉條紋，干涉器裝置與顯微系統(tǒng)結(jié)合，形成多光束等厚干涉條紋，其測(cè)量精度達(dá)到其測(cè)量精度達(dá)到

14、1001000。分為反射式和透射式兩種。分為反射式和透射式兩種結(jié)構(gòu)，如圖結(jié)構(gòu)，如圖4(a)和和4(b)所示。等色序干涉儀也有類似兩種結(jié)構(gòu)所示。等色序干涉儀也有類似兩種結(jié)構(gòu)形式。形式。l 干涉法不但可以測(cè)量透明薄膜、弱吸收薄膜和非透明薄膜，干涉法不但可以測(cè)量透明薄膜、弱吸收薄膜和非透明薄膜，而且適用于雙折射薄膜。一般來(lái)說(shuō)，不能同時(shí)確定薄膜的厚度而且適用于雙折射薄膜。一般來(lái)說(shuō)，不能同時(shí)確定薄膜的厚度和折射率，只能用其它方法測(cè)得其中一個(gè)量，用干涉法求另一和折射率，只能用其它方法測(cè)得其中一個(gè)量，用干涉法求另一個(gè)量。有人對(duì)干涉法進(jìn)行改進(jìn)個(gè)量。有人對(duì)干涉法進(jìn)行改進(jìn)【3】 ，使其能同時(shí)測(cè)定厚度和折射，使其能

15、同時(shí)測(cè)定厚度和折射率，但不容易實(shí)現(xiàn)。另外，確定干涉條紋的錯(cuò)位條紋數(shù)率，但不容易實(shí)現(xiàn)。另外，確定干涉條紋的錯(cuò)位條紋數(shù)q比較比較困難，對(duì)低反射率的薄膜所形成的干涉條對(duì)比度低，會(huì)帶來(lái)測(cè)困難，對(duì)低反射率的薄膜所形成的干涉條對(duì)比度低，會(huì)帶來(lái)測(cè)量誤差，而且薄膜要有臺(tái)階，測(cè)量過(guò)程調(diào)節(jié)復(fù)雜，容易磨損薄量誤差，而且薄膜要有臺(tái)階，測(cè)量過(guò)程調(diào)節(jié)復(fù)雜，容易磨損薄膜表面等，這些都對(duì)測(cè)量帶來(lái)不便。膜表面等，這些都對(duì)測(cè)量帶來(lái)不便。 2022-2-239 （四）（四）V-棱鏡法棱鏡法l V-棱鏡法是近年來(lái)測(cè)量薄膜折射率的又一種簡(jiǎn)便易行的方法棱鏡法是近年來(lái)測(cè)量薄膜折射率的又一種簡(jiǎn)便易行的方法,它需要輔以準(zhǔn)波導(dǎo)法才能測(cè)量并計(jì)算出

16、薄膜的折射率。其基本實(shí)它需要輔以準(zhǔn)波導(dǎo)法才能測(cè)量并計(jì)算出薄膜的折射率。其基本實(shí)驗(yàn)裝置如圖所示。驗(yàn)裝置如圖所示。l V-棱鏡中所裝為復(fù)合材料的溶液，由于其折射率棱鏡中所裝為復(fù)合材料的溶液，由于其折射率nso不同于不同于V-棱鏡的折射率棱鏡的折射率np，折射光將以角度，折射光將以角度偏離入射光方向。偏離入射光方向?？捎山嵌瓤捎山嵌扔?jì)測(cè)量得到，給定波長(zhǎng)下的計(jì)測(cè)量得到，給定波長(zhǎng)下的nso值可由值可由Snells law 確定，確定，l 采用同樣的方法可測(cè)得溶劑的折射率采用同樣的方法可測(cè)得溶劑的折射率nso，于是聚合物薄膜的，于是聚合物薄膜的折射率可由下式求得。折射率可由下式求得。2022-2-2310

17、 l 其中，其中，1、2 分別稱為溶劑和溶液的體積分?jǐn)?shù)，不依賴分別稱為溶劑和溶液的體積分?jǐn)?shù)，不依賴于波長(zhǎng)，并有于波長(zhǎng)，并有1 +2 =1，需要首先確定，需要首先確定，F(xiàn)s、Fs、F是是lorentz-lorenz局域場(chǎng)函數(shù)，分別由下式確定局域場(chǎng)函數(shù)，分別由下式確定 l 首先采用波導(dǎo)耦合法測(cè)定薄膜在某一給定波長(zhǎng)下的折射率首先采用波導(dǎo)耦合法測(cè)定薄膜在某一給定波長(zhǎng)下的折射率n，再將其代入公式，便可求得再將其代入公式，便可求得 1與與2的值。一旦的值。一旦1 、2已知，已知，變換波源，利用公式就可以測(cè)量并計(jì)算出其他波長(zhǎng)下薄膜的折變換波源，利用公式就可以測(cè)量并計(jì)算出其他波長(zhǎng)下薄膜的折射率了。射率了。20

18、22-2-2311 （五）透射譜線法（五）透射譜線法2022-2-2312l 式中，式中，d為薄膜厚度，為薄膜厚度，ns為襯底的折射率，為襯底的折射率，為薄膜的吸收系為薄膜的吸收系數(shù)。在弱吸收區(qū)域，將上式中兩方程取倒數(shù)分別相減可得：數(shù)。在弱吸收區(qū)域，將上式中兩方程取倒數(shù)分別相減可得：l 因此，可解得：因此，可解得： 其中其中l(wèi) 當(dāng)襯底玻璃的折射率當(dāng)襯底玻璃的折射率ns為已知時(shí)，由此便可求得薄膜的折射為已知時(shí)，由此便可求得薄膜的折射率率n了。假如波長(zhǎng)了。假如波長(zhǎng)1、2處的折射率是相鄰的兩個(gè)最高峰，并且在處的折射率是相鄰的兩個(gè)最高峰，并且在這兩個(gè)波長(zhǎng)處的折射率這兩個(gè)波長(zhǎng)處的折射率n(1)和和n(2

19、)已經(jīng)求得，代入方程，可同時(shí)已經(jīng)求得，代入方程，可同時(shí)求得薄膜的厚度：求得薄膜的厚度： l 我們?cè)谶M(jìn)行數(shù)據(jù)處理時(shí)，把我們?cè)谶M(jìn)行數(shù)據(jù)處理時(shí)，把TM和和Tm視為波長(zhǎng)視為波長(zhǎng)的連續(xù)函數(shù)，的連續(xù)函數(shù)，也就是透過(guò)率曲線上極大值和極小值的包絡(luò)線，根據(jù)這兩條曲線也就是透過(guò)率曲線上極大值和極小值的包絡(luò)線，根據(jù)這兩條曲線就可以得到和透過(guò)光譜波峰和波谷對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)處的最大透過(guò)率就可以得到和透過(guò)光譜波峰和波谷對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)處的最大透過(guò)率TM和最小透過(guò)率和最小透過(guò)率Tm，再根據(jù)式子便可求得，再根據(jù)式子便可求得n和和d了，對(duì)所有的了，對(duì)所有的d值求值求平均便可得到薄膜樣品的厚度。平均便可得到薄膜樣品的厚度。2022-2-23

20、13三、比較幾種方法的優(yōu)缺點(diǎn)三、比較幾種方法的優(yōu)缺點(diǎn) 方法方法 優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn)缺點(diǎn)橢圓偏振法橢圓偏振法 (橢偏法橢偏法)測(cè)量精度高，對(duì)樣品無(wú)破壞性，特別適合于較薄膜層光學(xué)參數(shù)的測(cè)量。該方法僅適合于各向同性介質(zhì)的測(cè)量。另外，利用該方法對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理時(shí)計(jì)算冗長(zhǎng)，對(duì)樣品的表面平整度也有較高要求。棱鏡耦合法（準(zhǔn)波導(dǎo)法棱鏡耦合法（準(zhǔn)波導(dǎo)法)只要求角度測(cè)量，而角度測(cè)量方便且精度高此法要求樣品的折射率必須大于襯底的折射率，這使得一些折射率低的樣品不能采用該方法測(cè)量。干涉法干涉法不但可以測(cè)量透明薄膜、弱吸收薄膜和非透明薄膜，而且適用于雙折射薄膜。不能同時(shí)獲得薄膜的厚度和折射率。另外，確定干涉條紋的錯(cuò)位條紋

21、數(shù)q比較困難，對(duì)低反射率的薄膜所形成的干涉條對(duì)比度低，會(huì)帶來(lái)測(cè)量誤差，而且薄膜要有臺(tái)階，測(cè)量過(guò)程調(diào)節(jié)復(fù)雜，容易磨損薄膜表面等，這些都對(duì)測(cè)量帶來(lái)不便。 V-棱鏡法棱鏡法并非直接對(duì)薄膜進(jìn)行測(cè)量，而是輔以準(zhǔn)波導(dǎo)法對(duì)復(fù)合材料溶液進(jìn)行測(cè)量。該方法原理簡(jiǎn)單，操作易行，數(shù)據(jù)處理也不復(fù)雜測(cè)量精度不是很高，無(wú)法同時(shí)獲得薄膜的厚度。透射譜線法透射譜線法僅僅利用了樣品的透過(guò)率曲線譜，實(shí)驗(yàn)過(guò)程比較簡(jiǎn)單，計(jì)算過(guò)程可以通過(guò)計(jì)算機(jī)編程來(lái)實(shí)現(xiàn)，也比較簡(jiǎn)單、快速和準(zhǔn)確對(duì)樣品的質(zhì)量要求比較高，薄膜必須均勻且表面平行142022-2-23 總結(jié)總結(jié)n 上述介紹的五種測(cè)量薄膜厚度和折射率的光學(xué)方法都上述介紹的五種測(cè)量薄膜厚度和折射率的光學(xué)方法都存在一定的測(cè)量精度、測(cè)量范圍和局限性，且有一定的互存在一定的測(cè)量精度、測(cè)量范