波長(zhǎng)色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀與能量色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀的區(qū)別(共4頁(yè))_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上波長(zhǎng)色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀與能量色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀的區(qū)別一X射線(xiàn)熒光分析儀簡(jiǎn)介X射線(xiàn)熒光分析儀是一種比較新型的可以對(duì)多元素進(jìn)行快速同事測(cè)定的儀器。在X射線(xiàn)激發(fā)下,被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線(xiàn)(X-熒光)。波長(zhǎng)和能量是從不同的角度來(lái)觀察描述X射線(xiàn)所采用的兩個(gè)物理量。波長(zhǎng)色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀(WD-XRF)。是用晶體分光而后由探測(cè)器接受經(jīng)過(guò)衍射的特征X射線(xiàn)信號(hào)。如果分光晶體和控測(cè)器做同步運(yùn)動(dòng),不斷地改變衍射角,便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)的波長(zhǎng)及各個(gè)波長(zhǎng)X射線(xiàn)的強(qiáng)度,可以據(jù)此進(jìn)行特定分析和定量分析。該種儀器產(chǎn)生于50年代,由于可以對(duì)

2、復(fù)雜體進(jìn)行多組同事測(cè)定,受到關(guān)注,特別在地質(zhì)部門(mén),先后配置了這種儀器,分析速度顯著提高,起了重要作用。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步在60年代初發(fā)明了半導(dǎo)體探測(cè)儀器后,對(duì)X熒光進(jìn)行能譜分析成為可能。能譜色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀(ED-XRF),用X射線(xiàn)管產(chǎn)生原級(jí)X射線(xiàn)照射到樣品上,所產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)(熒光)這節(jié)進(jìn)入SI(LI)探測(cè)器,便可以據(jù)此進(jìn)行定性分析和定量分析,第一胎ED-XRF是1969年問(wèn)世的。近幾年來(lái),由于商品ED-XRF儀器及儀表計(jì)算機(jī)軟件的發(fā)展,功能完善,應(yīng)用領(lǐng)域拓寬,其特點(diǎn),優(yōu)越性日益搜到認(rèn)識(shí),發(fā)展迅猛。二波長(zhǎng)色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀與能量色散型X射線(xiàn)熒光光譜儀的區(qū)別雖然光波色散型(ED-X

3、RF)與能量色散型(ED-XRF)X射線(xiàn)熒光光譜儀同屬于X射線(xiàn)熒光分析儀,它產(chǎn)生信號(hào)的方法相同,最后得到的波譜也極為相似,單由于采集數(shù)據(jù)的方式不同,WD-XRF(波譜)與WD-XRF(能譜)在原理和儀器結(jié)構(gòu)上有所不同,功能也有區(qū)別。(一)原理區(qū)別X射線(xiàn)熒光光譜法,是用X射線(xiàn)管發(fā)出的初級(jí)線(xiàn)束輻照樣品,激發(fā)各化學(xué)元素發(fā)出二次譜線(xiàn)(X-熒光)。波長(zhǎng)色散型熒光光儀(WD-XRF)是用分光近體將熒光光束色散后,測(cè)定各種元素的特征X射線(xiàn)波長(zhǎng)和強(qiáng)度,從而測(cè)定各種元素的含量。而能量色散型熒光光儀(ED-XRF)是借組高分辨率敏感半導(dǎo)體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線(xiàn)熒光按光子能量分離X色線(xiàn)光譜線(xiàn),根據(jù)各元

4、素能量的高低來(lái)測(cè)定各元素的量,由于原理的不同,故儀器結(jié)構(gòu)也不同。(二)結(jié)構(gòu)區(qū)別波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF),一般由光源(X-射線(xiàn)管),樣品室,分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成。為了準(zhǔn)且測(cè)量衍射光束與入射光束的夾角,分光晶體系安裝在一個(gè)精密的測(cè)角儀上,還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置。由于晶體的衍射,造成強(qiáng)度的損失,要求作為光源的X射線(xiàn)管的功率要打,一般為2-3千瓦,單X射線(xiàn)管的效率極低,只有1%的功率轉(zhuǎn)化為X射線(xiàn)輻射功率,大部分電能均轉(zhuǎn)化為而能產(chǎn)生高溫,所以X射線(xiàn)管需要專(zhuān)門(mén)的冷卻裝置(水冷或油冷),因此波譜儀的價(jià)格往往比能譜儀高。能量色散型熒光光譜儀(DE-XRF),一般由光源(X-線(xiàn)管

5、),樣品室何檢測(cè)系統(tǒng)等組成,與波長(zhǎng)色散型熒光光儀的區(qū)別在于他不分光晶體,由于這一特點(diǎn),是能量色散型熒光光儀具有如下的優(yōu)點(diǎn):1. 儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,省略了晶體的精密運(yùn)動(dòng)裝置,野無(wú)需精確調(diào)整。還避免了晶體衍射所照成的前度損失,光源使用的X射線(xiàn)管功率低,一般在100W一下,不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng),空氣冷卻即刻,節(jié)省電力。2. 能量色散型熒光光儀的光源,樣品,檢測(cè)器彼此靠得越近,X射線(xiàn)的利用率很高,不需要光學(xué)聚集,在累計(jì)整個(gè)光譜時(shí),對(duì)樣品位置變化不象波長(zhǎng)色散型熒光光儀那樣敏感,對(duì)樣品形狀也無(wú)特殊要求。3. 在能量色散譜儀中,樣品發(fā)出的全部特征X射線(xiàn)光子同時(shí)進(jìn)入檢測(cè)器,這樣奠定了使用多道分析器和熒

6、光同時(shí)累計(jì)和現(xiàn)實(shí)全部能譜(包括背景)睇基礎(chǔ),也能清楚地表明背景和干擾線(xiàn)。因此,半導(dǎo)體檢測(cè)器X射線(xiàn)光譜儀能比晶體X射線(xiàn)光譜儀快而方便地完成定性分析工作。4. 能量色散發(fā)的一個(gè)附帶有點(diǎn)事測(cè)量整個(gè)分析線(xiàn)沖高度分部的積分程度,而不是封頂強(qiáng)度。因此,減小了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線(xiàn)波長(zhǎng)的漂移影響。由于同時(shí)累積還減少了一起的漂移影響,提高凈計(jì)算的統(tǒng)計(jì)精度,可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時(shí)累積觀察和測(cè)量所有元素,而不是按特定譜線(xiàn)分析特定元素。因此,減少偶然錯(cuò)誤判斷某元素的可能性。(三)功能區(qū)別考慮到各種情況,能量色散型熒光儀和波長(zhǎng)色散型熒光儀的檢測(cè)限基本相同。但在(高能光子)范圍內(nèi)能量色散的分辨率好些,在長(zhǎng)

7、波(低能光子)范圍內(nèi),波長(zhǎng)色散的分辨率好些。就定性分析而言,在分析多種元素時(shí)能量色散優(yōu)于單道晶體譜儀。就測(cè)量個(gè)別分析元素而言,波長(zhǎng)色散好些。如果分析的元素事先不知道,用能量色散較好,而分析元素已知?jiǎng)t用多道晶體色散儀好。對(duì)易受放射性損傷的樣品,如果液體,有機(jī)物(可能發(fā)生輻射分解),玻璃品,工藝品(可能發(fā)生褪色)等,用能量色散型熒光散型熒光儀分析特別有利。能量色散型熒光儀很適合動(dòng)態(tài)系統(tǒng)的研究。如在催化,腐蝕,老化,磨損,改性和能量轉(zhuǎn)換等與表面化學(xué)過(guò)程有關(guān)的研究。總之,能量色散型熒光和波長(zhǎng)色散型熒光折兩種儀器,各有所有點(diǎn)和不足,它們只能互補(bǔ),而不能替代。三,WD-XRF與ED-XRF的簡(jiǎn)明比較項(xiàng)目波

8、長(zhǎng)色散型能量色散性原來(lái)X熒光經(jīng)晶體分光,在不同衍射角測(cè)量不同元素的特征線(xiàn)X熒光直接進(jìn)入檢測(cè)器,經(jīng)電子學(xué)系統(tǒng)處理得到不同元素(不同能量)的X熒光能譜結(jié)構(gòu)未滿(mǎn)足全波段需要,配置多塊晶體,根據(jù)單道掃描和多道同時(shí)測(cè)定的需要,設(shè)置掃描機(jī)構(gòu)和若干固定通道無(wú)掃描機(jī)構(gòu),只用一個(gè)檢查器和多道脈沖分析器,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單得多,無(wú)轉(zhuǎn)動(dòng)件,可靠性高X-光管高功率,要高容量冷卻系統(tǒng),管壽命短低功率,不許冷卻水,管壽命水檢測(cè)器正比計(jì)數(shù)器,和,晶體,檢測(cè)器有關(guān)SI(LI),用LN冷卻靈敏度級(jí)輕基體級(jí),其他10-10²級(jí)準(zhǔn)確度取決于表樣取決于表樣精密度很好低濃度時(shí)不如WD系統(tǒng)穩(wěn)定性需作周期性漂移校正,定期工作曲線(xiàn)好,工作曲

9、線(xiàn)可長(zhǎng)時(shí)間使用方便性一般好分析速度單道慢,多道快快人員要求較高一般樣品表面要求平坦要求不高價(jià)格18-45萬(wàn)/臺(tái)(其中單道掃描18-25萬(wàn)/臺(tái))6-11萬(wàn)/臺(tái)(其中嬌小型的6-7萬(wàn)/臺(tái))測(cè)定元素范圍Z5,B-UZ11,Na-U,特殊薄窗時(shí)可Z8,O-U多道同時(shí)式光譜儀的優(yōu)點(diǎn),有以下幾個(gè)方面我們知道X射線(xiàn)熒光光譜儀的分析精度依賴(lài)于特征譜線(xiàn)的總計(jì)數(shù),要想達(dá)到某個(gè)分析精度,總計(jì)數(shù)要達(dá)到某個(gè)值才能保證。多道同時(shí)式分析儀,因?yàn)楦鱾€(gè)通道同時(shí)工作,這樣測(cè)試時(shí)間就可以設(shè)定為最難滿(mǎn)足精度的元素通道所需的時(shí)間。由于只需考慮最難滿(mǎn)足精度的元素的測(cè)定時(shí)間,總測(cè)定時(shí)間就是這個(gè)時(shí)間,一般幾十秒到2、3百秒。根據(jù)這個(gè)時(shí)間,多

10、道同時(shí)式分析儀一般只需要選用小功率X光管(一般幾百瓦)即可滿(mǎn)足對(duì)總計(jì)熟慮的要求。優(yōu)點(diǎn)1,小功率X光管和高壓電源及冷卻系統(tǒng)的成本低和壽命長(zhǎng),故障率低,維護(hù)量小。我們知道高精度測(cè)角儀是掃描式X射線(xiàn)熒光光譜儀的核心部件,對(duì)角度精度要求很高,由于要保證在所有測(cè)量過(guò)程中高精度的運(yùn)動(dòng),對(duì)可靠性要求很高,技術(shù)難度和維護(hù)成本也高。使用測(cè)角儀,每次要測(cè)量某個(gè)元素的特征X射線(xiàn),都要準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)到對(duì)應(yīng)的角度,即使再好的角度重復(fù)性,也不能保證沒(méi)有誤差,總會(huì)或多或少帶來(lái)計(jì)數(shù)率誤差。而多道同時(shí)式分析儀不需要測(cè)角儀,而代之以晶體角度固定的多個(gè)道,沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件,維護(hù)量和可靠性容易保證。根據(jù)我的經(jīng)驗(yàn),在其他影響技術(shù)率穩(wěn)定性的條件(

11、恒溫、流氣密度穩(wěn)定、高壓電源穩(wěn)定性等)保證的比較好的情況下,計(jì)數(shù)率穩(wěn)定性非常接近理論統(tǒng)計(jì)漲落,這是多道同時(shí)式分析儀一個(gè)突出的優(yōu)點(diǎn)。 優(yōu)點(diǎn)2,分光系統(tǒng)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,計(jì)數(shù)率精度可以達(dá)到很高水平。由于多道同時(shí)工作,對(duì)時(shí)間的壓力不大,特征譜線(xiàn)計(jì)數(shù)率可以不用那么高,對(duì)熒光信號(hào)處理的速度要求也就不那么高,一般保證通過(guò)率幾萬(wàn)cps就夠用了。這也是國(guó)內(nèi)目前還只有多道同時(shí)式分析儀的原因。 優(yōu)點(diǎn)3,對(duì)信號(hào)處理電路要求較低。說(shuō)完優(yōu)點(diǎn),再說(shuō)缺點(diǎn) 1,由于采用多個(gè)通道,每個(gè)通道都需要獨(dú)立的分光器,衍射晶體,探測(cè)器,放大器和多道脈沖處理器,加起來(lái)成本也還是比較高。 2,通道數(shù)量總是要受到結(jié)構(gòu)的限制,不可能很多,這也是多道同時(shí)式分析儀一般用在行業(yè)應(yīng)用的原因分析元素的數(shù)量有限。RoHS應(yīng)用雖然分析的元素?cái)?shù)量有限,但基體元素很多很雜,因?yàn)樵诙窟^(guò)程中必須考慮基體元素的影響,原則上需要測(cè)試基體元素,所以也不太實(shí)用。但對(duì)水泥、玻璃、陶瓷、鋼鐵等行業(yè),還是比較好的選擇。皮實(shí),精度也相當(dāng)好。 多固定道的的優(yōu)缺點(diǎn)和單通道掃描式儀器的優(yōu)缺點(diǎn)是互相印證的, 1,分析元素的數(shù)量不受限制,除了最輕的幾個(gè)元素外幾乎可以作全元素分析。這是優(yōu)點(diǎn)。由于元素是分時(shí)測(cè)量的

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