拉晶工藝流程

1、直拉單晶操作規(guī)程拉晶工藝流程包括拆爐清爐清理石墨件裝爐 抽空 沖氬氣 熔硅料 引晶 放肩 轉肩 投自動 等徑 收尾 停爐1。拆爐：準備好不銹鋼推車，(車面保持干凈)專用擦試布，無水乙醇及相應的工具.先擰開副室門螺絲，打開副室氬氣閥門充氣，待真空表壓力到零位置時，爐內外氣壓平衡，開啟副室門，把晶棒升至副室內，升起副室爐筒，轉副室爐筒時必須把托盤移至副室以下,防止晶棒脫落。然后旋轉副室移至取晶框上，穩(wěn)定晶棒后，快降晶體至取晶框內。待晶棒與接晶框落穩(wěn)后,然后帶手套抓住細頸稍帶點力向下攥，用鉗子把細頸剪斷，再慢慢松細頸，直至鋼絲繩搞正完全消失（防止鋼絲繩轉圈導致鋼絲繩開叉），查看一下鋼絲繩是否完好，如

2、開叉或斷股要剪掉一段,必要時需更換新鋼絲繩.檢查重錘表面是否有氧化層,如有，必須用細砂紙打磨干凈,然后帶好專用手套取出導流筒，保溫蓋,三瓣堝，石墨托盤，托桿，送至清石墨件房,待自然冷卻后進行清理,特別注意托桿上有無硅點情況,(防止沒有清理干凈,與托桿護套摩擦在拉晶過程中液面抖動。）2。清爐與清石墨件：清理爐子的副室爐筒，小副室，爐蓋,爐筒,用長纖維紙，酒精把以上部位全部擦拭干凈,做到長纖維紙擦拭過后無污跡。每爐必清排氣口，以免造成排氣口堵塞，揮發(fā)物過多;用吸塵器吸干凈保溫罩與加熱器上下的揮發(fā)物，吸凈碳氈上的氈毛。需保證在晶體的生長過程中盡量避免不起毛，無揮發(fā)物等雜質進入料中。清理石墨件的時候必

3、須注意觀察石墨堝的厚度，能不能達到要求,是否有裂紋等.把石墨件上的揮發(fā)物與一些雜質清理干凈。若石墨件上濺有硅料,應用什錦挫或細沙布打磨除去,必要時用砂輪機打磨。注意:清理石墨件的時候必須注意輕拿輕放，防止造成內裂！3。裝爐：安裝石墨件時各部位應相互吻合牢固，發(fā)現異常及時進行修正，打開堝轉,觀察石墨堝轉動是否平穩(wěn)，四周與加熱器的間距是否勻稱,檢查取光孔是否對準，檢查與鋼絲繩軟軸是否有異常。裝爐應按其程序規(guī)范操作：原料準備檢查石英坩堝打開原料袋去掉外層塑料袋,然后準備裝爐。爐前人員必須檢查核對所裝爐的原料與母合金，是否準確無誤.檢查石英堝,保證無大量氣泡群，無損傷，內表面無黑點，如有異常，標識清楚

4、，由大班長確認后方可更換.把石墨件按次序裝入爐內,穿好防塵服，戴好防塵帽,戴上棉手套與兩層一次性手套,用氬氣吹一下石英坩堝內壁后裝入石墨堝內，再用蘸有少量酒精的纖維紙擦拭干凈,給上堝轉，觀察坩堝是否水平，保證水平的情況下才能裝爐。裝料時必須輕拿輕放，先在底部平鋪一些小硅料,然后把一些大塊的料輕放在中間,再把一些小料放在大塊料的中間,填大料縫隙.避免小料與坩堝接觸面積過大，這樣容易造成料粘堝邊上導致石英堝變形。把硅料裝好后,再把導流筒用蘸有酒精的纖維紙擦拭一遍.給上堝轉后把堝降至化料堝位。然后裝入導流筒，避免與硅料直接接觸.檢查無誤后安裝籽晶，將位置擺正，插好銷子，稍用力往下拽，以免籽晶與鉬銷因

5、未接觸而懸空,同時每爐檢查鋼絲繩是否老化.擦凈主爐室,副爐室，小副室的密封圈面，然后合上爐蓋與副室，穩(wěn)定籽晶后關上副室門。4。抽空:打開真空泵,緩慢的打開球閥,聽抽氣時的聲音，等爐內壓力下降到0。05Pa時再完全打開球閥.5。沖氬氣：在抽空過程中須導入幾次氬氣，這樣使抽空的時間減短.可以帶走爐內的濕度。6.熔硅料：在加熱之前必須先充氬氣，然后再加熱,一檔功率為25KW左右,待過半個小時后把功率升至二檔50KW左右，再過半個小時后把功率升至三檔化硅功率80KW進行化硅（京儀的為85KW).總共分三次加上。適當的時候給點堝轉，讓其均勻受熱?；系倪^程中要注意掛邊現象，同時注意塌料時不要撞歪導流筒.

6、化料時，如有雜質漂浮或近期原料不好時,必須將最后一塊料提出,然后揮發(fā)半小時。整個化料過程中必須注意功率的變化與電流的變化。7.引晶：在引晶前必須將籽晶在脖口處和導流筒下口處分別預熱510分鐘.然后接觸.除新籽晶外,已用過籽晶用細徑試溫，熔接（對每臺爐的功率變化，歐陸變化,操作工心里要有底）細徑籽晶的直徑在5mm以上,引的細頸直徑控制在35mm長度原理上是細徑的78倍，但太陽能行業(yè)中普遍細頸需達到130mm以上.引晶時的拉速達到36mm/min。這樣才能更好的排除位錯。8。放肩：引晶完成后拉速降至0.4左右，放肩開始要慢,根據放肩情況進行降溫,放肩時盡量放平肩，時間控制在12小時。放至149mm

7、左右時開始轉肩.9。轉肩投自動：先觀察依爾根能否正常壓到光圈。確定轉肩后，降溫100200uv，轉肩速度2-4mm/min（根據實際操作情況),轉肩中適當的給點堝升,投入自動，拉速根據情況而投。壓好光圈,計長清零,打開堝升堝跟比，先投溫校,穩(wěn)定些時間后，再投直徑控制器.轉肩完成后，需注意觀察十幾分鐘，讓其穩(wěn)定.10等徑：每半個小時做一次記錄,經常觀察爐內的狀態(tài)，不能使直徑偏差過大.應及時給予調整溫校。掉苞時根據實際操作情況，該回熔的把堝位降至引晶堝位下20mm處進行回熔操作,如果晶棒長度達到400mm以上或因提肩較多或拉制時間過長的單晶長度在300mm左右應提A段，以2mm/min左右的拉速提

8、A段，整個行程為33。5小時。然后蓋上翻板閥,在內冷卻半小時。然后取出A段棒重新拉制。如果在范圍以內,回熔時必須操作工盯在爐上，回熔時需注意防止晶體回熔過快戳在石英坩堝底部避免產生滲硅事故；或者溫度過高在回完的時候引起硅跳,把料濺到導流筒，保溫罩，加熱器上的事故發(fā)生.回熔完后重新找溫度與堝位重新引晶。11.收尾:在等徑達到投料所需的長度時,須要收尾，將直徑與溫校控制器退出自控，切入自動收尾。但操作工必須在剛開始收尾時盯住,根據現場情況給溫校速率，給定拉速.在收尾過程中是看著光圈收尾。當光圈收進時應降底拉速,當光圈長大時應提高拉速。同時也觀察是否有結晶與料少的情況。（堝跟比分兩種方式降：1，直接將堝跟比降到零；2,分兩次降到零，第一次降50%,收到50mm以后再降到零.）12。停爐：收尾完成后，降堝位，使晶體脫離液面20mm左右，關加熱電源，停堝轉，把控制器上的參數返回到引晶前的參數。然后以2。5-3mm/min拉速提升晶體,慢慢脫離高溫區(qū)。4個小時后進行熱檢，抽空到極限，關球閥檢漏。泄漏率小于3分鐘1帕。13.下次開爐準備：觀察記錄表，對每個部件的使用爐數做到心里有數，拆爐后須認真檢查；對過濾罐與換油的記錄做到此次拆爐是否需要過濾罐與換油,保證做到過濾罐每爐清，換油6爐換一次.14.大清:在拉晶過程中會產生揮發(fā)物過多，經