國標(biāo)項目任務(wù)落實情況

1、附件2：國標(biāo)項目任務(wù)落實情況序號計劃編號 項目名稱 被代替標(biāo)準(zhǔn)號完成年限起草單位1.20065620-T-469半導(dǎo)體單晶晶向測定方法GB/T 1555-1997 2007峨眉半導(dǎo)體材料廠2.20065621-T-469半導(dǎo)體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測定 非接觸渦流法GB/T 6616-1995 2007萬向硅峰電子股份有限公司3.20065622-T-469電子材料晶片參考面長度測量方法GB/T 13387-1992 2007有研半導(dǎo)體材料股份有限公司4.20065623-T-469高純鎵GB/T 10118-1988 2007北京有色金屬研究總院、南京金美鎵業(yè)有限公司、信息產(chǎn)業(yè)部專用材料

2、質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心5.20065624-T-469硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定 直排四探針法GB/T 14141-1993 2007寧波立立電子股份有限公司、南京國盛電子有限公司、信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心6.20065625-T-469硅拋光片表面平整度測試方法GB/T 6621-1995 2007上海合晶硅材料有限公司7.20065626-T-469硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗方法GB/T 6624-1995 2007上海合晶硅材料有限公司8.20065627-T-469硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法GB/T 4058-1995 2007峨眉半導(dǎo)體材料廠、萬向硅峰電子股份有

3、限公司、有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、寧波立立電子股份有限公司9.20065628-T-469硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向射線測量方法GB/T 13388-1992 2007北京有色金屬研究總院10.20065629-T-469硅片電阻率測定 擴展電阻探針法GB/T 6617-1995 2007南京國盛電子有限公司、寧波立立電子股份有限公司11.20065630-T-469硅片厚度和總厚度變化測試方法GB/T 6618-1995 2007有研半導(dǎo)體材料股份有限公司12.20065631-T-469硅片翹曲度非接觸式測試方法GB/T 6620-1995 2007洛陽單晶硅有限責(zé)任公

4、司13.20065632-T-469硅片彎曲度測試方法GB/T 6619-1995 2007洛陽單晶硅有限責(zé)任公司14.20065633-T-469硅外延層載流子濃度測定 汞探針電容-電壓法GB/T 14146-1993 2007南京國盛電子有限公司、寧波立立電子股份有限公司、信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心15.20065634-T-469硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法GB/T 1558-1997 2007信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、峨眉半導(dǎo)體材料廠16.20065636-T-469銻化銦多晶、單晶及切割片GB/T11072-89 2007峨眉半導(dǎo)體材料廠2007年新上項目序號

5、國/行標(biāo) 項目名稱 被代替標(biāo)準(zhǔn)號完成年限起草單位1.國標(biāo)太陽能電池用單晶硅制定2008上海九晶硅材料廠2.國標(biāo)太陽能電池用多晶硅制定2008洛陽中硅高科技有限公司3.國標(biāo)使用全反射X光熒光光譜測量硅片表面金屬玷污的測試方法制定2008有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、峨眉半導(dǎo)體材料廠、洛陽單晶硅材料廠、上海合晶硅材料廠4.國標(biāo)半導(dǎo)體襯墊材料的亞表面損傷偏振反射差分譜（RDS）測試方法制定2008中科院半導(dǎo)體所5.國標(biāo)硅片平整度、厚度及厚度變化測試 自動非接觸掃描法制定2008上海合晶硅材料有限公司6.國標(biāo)關(guān)于硅片平坦表面的表面粗糙度的測量指南制定2008有研半導(dǎo)體材料股份有色公司7.國標(biāo)300mm硅

6、單晶制定2008有研半導(dǎo)體材料股份有限公司8.國標(biāo)300mm硅單晶拋光片（測試片）制定2008有研半導(dǎo)體材料股份有限公司9.國標(biāo)300mm硅單晶切割片和研磨片制定2008有研半導(dǎo)體材料股份有限公司10.國標(biāo)硅材料原生缺陷圖譜制定2008有研半導(dǎo)體材料股份有限公司11.國標(biāo)電子級三氯氫硅制定2008南京鍺廠有限責(zé)任公司、峨眉半導(dǎo)體材料廠12.行標(biāo)高純砷化學(xué)分析方法 孔雀綠分光光度法測定銻量YS/T 34.1-19922008峨眉半導(dǎo)體材料廠13.行標(biāo)高純砷化學(xué)分析方法 化學(xué)光譜法測鈷、鋅、銀、銅、鈣、鋁、鎳、鉻、鉛、鎂、鐵量YS/T 34.2-19922008峨眉半導(dǎo)體材料廠14.行標(biāo)高純砷化學(xué)分析方法 極譜法測定硒量YS/T 34.3-19922008峨眉半導(dǎo)體材料廠15.行標(biāo)高純砷化學(xué)分析方法 極譜法測定硫量YS/T 34.4-19922008峨眉半導(dǎo)體材料廠16.行標(biāo)高純砷YS/T 43-19922008峨眉半導(dǎo)體材料廠17.行標(biāo)高純鎵化學(xué)分析方法 鉬藍分光光度法測定硅量YS/T 38.1-19922008北京有色金屬研究總院18.行標(biāo)高純鎵化學(xué)分析方法 化學(xué)光譜法測定錳、鎂、鉻和鋅量YS/T