光刻技術(shù)及其應(yīng)用的狀況和未來(lái)發(fā)展

1、光刻技術(shù)及其應(yīng)用的狀況和未來(lái)發(fā)展光刻技術(shù)及其應(yīng)用的狀況和未來(lái)發(fā)展 1 引言光刻技術(shù)作為半導(dǎo)體及其相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和進(jìn)步的關(guān)鍵技術(shù)之一，一方面在過(guò)去的幾十年中發(fā)揮了重大作用；另一方面， 隨著光刻技術(shù)在應(yīng)用中技術(shù)問(wèn)題的增多、 用戶對(duì)應(yīng)用本身需求的提高和光刻技術(shù)進(jìn)步滯后于其他技術(shù)的進(jìn)步凸顯等等，尋找解決技術(shù)障礙的新方案、尋找 COO 更加低的技術(shù)和找到下一倆代可行的技術(shù)路徑，去支持產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步也顯得非常緊迫，備受人們的關(guān)注。就像 ITRS 對(duì)未來(lái)技術(shù)路徑的修訂一樣，上世紀(jì)基本上 35 年修正一次，而進(jìn)入本世紀(jì)后，基本上每年都有修正和新的版本出現(xiàn)，這充分說(shuō)明了光刻技術(shù)的重要性和對(duì)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步的影響。如圖 1 所

2、示，是基于 2005 年 ITRS 對(duì)未來(lái)幾種可能光刻技術(shù)方案的預(yù)測(cè)。也正是基于這一點(diǎn)，新一輪技術(shù)和市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)正在如火如荼的展開(kāi)，大量的研發(fā)和開(kāi)發(fā)資金投入到了這場(chǎng)競(jìng)賽中。因此，正確把握光刻技術(shù)發(fā)展的主流十分重要，不僅可以節(jié)省時(shí)間和金錢，同時(shí)可以縮短和用戶使用之間的周期、縮短開(kāi)發(fā)投入的回報(bào)時(shí)間，因?yàn)楣饪碳夹g(shù)開(kāi)發(fā)的投入比較龐大。2 光刻技術(shù)的紛爭(zhēng)及其應(yīng)用狀況眾說(shuō)周知，電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主流和不可阻擋的趨勢(shì)是輕、薄、短、小，這給光刻技術(shù)提出的技術(shù)方向是不斷提高其分辨率，即提高可以完成轉(zhuǎn)印圖形或者加工圖形的最小間距或者寬度，以滿足產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求；另一方面，光刻工藝在整個(gè)工藝過(guò)程中的多次性使得光刻技術(shù)的穩(wěn)定

3、性、可靠性和工藝成品率對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量、良率和成本有著重要的影響，這也要求光刻技術(shù)在滿足技術(shù)需求的前提下，具有較低的 COO 和 COC。因此，光刻技術(shù)的紛爭(zhēng)主要是廠家可以提供給用戶什么樣分辨率和產(chǎn)能的設(shè)備及其相關(guān)的技術(shù)。以 Photons 為光源的光刻技術(shù)2.1 以 Photons 為光源的光刻技術(shù)在光刻技術(shù)的研究和開(kāi)發(fā)中，以光子為基礎(chǔ)的光刻技術(shù)種類很多，但產(chǎn)業(yè)化前景較好的主要是紫外（UV）光刻技術(shù)、深紫外（DUV）光刻技術(shù)、極紫外（EUV）光刻技術(shù)和 X 射線（X-ray）光刻技術(shù)。不但取得了很大成就，而且是目前產(chǎn)業(yè)中使用最多的技術(shù)，特別是前兩種技術(shù)，在半導(dǎo)體工業(yè)的進(jìn)步中，起到了重要作用。紫外

4、光刻技術(shù)是以高壓和超高壓汞（Hg）或者汞-氤（Hg-Xe）弧燈在近紫外（350450nm）的 3 條光強(qiáng)很強(qiáng)的光譜（g、h、i 線）線，特別是波長(zhǎng)為 365nm 的 i 線為光源，配合使用像離軸照明技術(shù)（OAI）、移相掩模技術(shù)（PSM）、光學(xué)接近矯正技術(shù)（OPC）等等，可為 0.350.25 的大生產(chǎn)提供成熟的技術(shù)支持和設(shè)備保障，在目前任何一家 FAB 中，此類設(shè)備和技術(shù)會(huì)占整個(gè)光刻技術(shù)至少 50%的份額；同時(shí)，還覆蓋了低端和特殊領(lǐng)域?qū)饪碳夹g(shù)的要求。光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)方面，有全反射式（Catoptrics）投影光學(xué)系統(tǒng)、折反射式（Catadioptrics）系統(tǒng)和折射式（Dioptrics）系統(tǒng)

5、等，如圖 2 所示。主要供應(yīng)商是眾所周知的 ASML、NIKON、CANON、ULTRATECH和 SUSSMICROTECH 等等。系統(tǒng)的類型方面，ASML 以提供前工程的 l:4 步進(jìn)掃描系統(tǒng)為主，分辨率覆蓋0.50.25gmNIKON 以提供前工程的 1:5 步進(jìn)重復(fù)系統(tǒng)和 LCD 的 1:1 步進(jìn)重復(fù)系統(tǒng)為主，分辨率覆蓋 0.80.35R 林口 20.8R 嗎 CANON 以提供前工程的 1:4 步進(jìn)重復(fù)系統(tǒng)和 LCD 的 1:1 步進(jìn)重復(fù)系統(tǒng)為主，分辨率也覆蓋 0.80.35和 10.8“m;ULTRATECH 以提供低端前工程的 1:5 步進(jìn)重復(fù)系統(tǒng)和特殊用途（先進(jìn)封裝/MEMS/

6、,薄膜磁頭等等）的1:1 步進(jìn)重復(fù)系統(tǒng)為主；而 SUSSMICTOTECH 以提供低端前工程的 l:1 接觸/接近式系統(tǒng)和特殊用途（先進(jìn)封裝/MEMS/HDI 等等） 的 1:1 接觸/接近式系為主。 另外， 在這個(gè)領(lǐng)域的系統(tǒng)供應(yīng)商還有 USHlO、 TAMARACK 和 EVGroup等。深紫外技術(shù)深紫外技術(shù)是以 KrF 氣體在高壓受激而產(chǎn)生的等離子體發(fā)出的深紫外波長(zhǎng)(248nm 和 193nm)的激光作為光源，配合使用 i 線系統(tǒng)使用的一些成熟技術(shù)和分辨率增強(qiáng)技術(shù)(RET)、高折射率圖形傳遞介質(zhì)(如浸沒(méi)式光刻使用折射率常數(shù)大于 1 的液體)等，可完全滿足 O.250.18 和 0.18“m

7、90nm 的生產(chǎn)線要求；同時(shí)，9065nm 的大生產(chǎn)技術(shù)已經(jīng)在開(kāi)發(fā)中，如光刻的成品率問(wèn)題、光刻膠的問(wèn)題、光刻工藝中缺陷和顆粒的控制等，仍然在突破中；至于深紫外技術(shù)能否滿足 6545nm 的大生產(chǎn)工藝要求，目前尚無(wú)明確的技術(shù)支持。相比之下，由于深紫外(248nm 和 193nm)激光的波長(zhǎng)更短，對(duì)光學(xué)系統(tǒng)材料的開(kāi)發(fā)和選擇、激光器功率的提高等要求更高。目前材料主要使用的是融石英(Fusedsilica)和氟化鈣(GaF2),激光器的功率已經(jīng)達(dá)到了 4kW,浸沒(méi)式光刻使用的液體介質(zhì)常數(shù)已經(jīng)達(dá)到 1.644 等，使得光刻技術(shù)在選擇哪種技術(shù)完成100nm 以下的生產(chǎn)任務(wù)時(shí)，經(jīng)過(guò)幾年的沉默后又開(kāi)始活躍起來(lái)

8、了。投影成像系統(tǒng)方面，主要有反射式系統(tǒng)(Catoptrics)、折射式系統(tǒng)(Dioptrics)和折反射式系統(tǒng)(Catadioptrics),如圖 2 所示。在過(guò)去的幾十年中，折射式系統(tǒng)由于能夠大大提高系統(tǒng)的分辨率而起到了非常重要的作用，但由于折射式系統(tǒng)隨著分辨率的提高，對(duì)光譜的帶寬要求越來(lái)越窄、透鏡中鏡片組的數(shù)量越來(lái)越多和成本越來(lái)越高等原因，使得折反射式系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)逐漸顯示了出來(lái)。專家預(yù)測(cè)折反射式系統(tǒng)可能成為未來(lái)光學(xué)系統(tǒng)的主流技術(shù)，如 NIKON 公司和 CANON公司用于 FPD 產(chǎn)業(yè)的光刻機(jī)，都采用折反射式系統(tǒng)，他們以前并沒(méi)有將這種光學(xué)系統(tǒng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻機(jī)，而是使用折射式系統(tǒng)，像 A

9、SML 公司一樣。但隨著技術(shù)的進(jìn)步和用戶需求的提高，他們也將折反射技術(shù)使用到了半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻機(jī)上，如圖 3 所示的是 NIKON 公司開(kāi)發(fā)的一種用于浸沒(méi)式光刻的光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)原理圖。極紫外光刻技術(shù)承擔(dān)了目前大生產(chǎn)技術(shù)中關(guān)鍵層的光刻工藝，占有整個(gè)光刻技術(shù)的 40%左右。不像紫外技術(shù)，涉入的公司較多，深紫外技術(shù)完全由 ASML、NIKON 和 CANON 三大公司壟斷，所有設(shè)備都以前工程使用的 1:4 步進(jìn)掃描系統(tǒng)為主，分辨率覆蓋了 0.2590nm 的整個(gè)范圍。值得一提的是，在 9065nm 的大生產(chǎn)技術(shù)開(kāi)發(fā)中，ASML 已經(jīng)走在了其他兩家的前面，同時(shí)，45nm 技術(shù)的實(shí)驗(yàn)室工藝已經(jīng)成功，設(shè)備

10、已經(jīng)開(kāi)始量產(chǎn)，這使得以氟(F2)(157nm)為光源的光刻技術(shù)前景變得十分暗淡，專家預(yù)測(cè)的氟(F2)將是最后一代光學(xué)光刻技術(shù)的可能性已經(jīng)十分小了，主要原因不是深紫外技術(shù)發(fā)展的迅速，而是以氟(F2)為光源的光刻技術(shù)諸如透鏡材料只能使極紫外(EUV)光刻技術(shù)極紫外(EUV)光刻技術(shù)早期有波長(zhǎng) 10100nm 和波長(zhǎng) 125nm 的軟 X 光兩種，兩者的主要區(qū)別是成像方式，而非波長(zhǎng)范圍。前者以縮小投影方式為主，后者以接觸/接近式為主，目前的研發(fā)和開(kāi)發(fā)主要集中在 13nm 波長(zhǎng)的系統(tǒng)上。極紫外系統(tǒng)的分辨率主要瞄準(zhǔn)在 1316nm 的生產(chǎn)上。光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)上，由于很多物質(zhì)對(duì) 13nm 波長(zhǎng)具有很強(qiáng)的吸收作

11、用，透射式系統(tǒng)達(dá)不到要求，開(kāi)發(fā)的系統(tǒng)以多層的鋁(Al)膜加一層 MgF2 保護(hù)膜的反射鏡所構(gòu)成的反射式系統(tǒng)居多。主要是利用了當(dāng)反射膜的厚度滿足布拉格(Bragg)方程時(shí)，可得到最大反射率，供反射鏡用。目前這種系統(tǒng)主要由一些大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)在進(jìn)行技術(shù)研發(fā)和樣機(jī)開(kāi)發(fā)，光源的功率提高和反射光學(xué)系統(tǒng)方面進(jìn)步很快， 但還沒(méi)有產(chǎn)業(yè)化的公司介入。 考慮到技術(shù)的延續(xù)性和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的成本等因素， 極紫外(EUV)光刻技術(shù)是眾多專家和公司看好的、能夠滿足未來(lái) 16nm 生產(chǎn)的主要技術(shù)。但由于極紫外(EUV)光刻掩模版的成本愈來(lái)愈高，產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中由于掩模版的費(fèi)用增加會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)成本的增加，進(jìn)而會(huì)大大降低產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力，這是

12、極紫外(EUV)光刻技術(shù)快速應(yīng)用的主要障礙。為了降低成本，國(guó)外有的研發(fā)機(jī)構(gòu)利用極紫外(EUV)光源，結(jié)合電子束無(wú)掩模版的思想，開(kāi)發(fā)成功了極紫外(EUV)無(wú)掩模版光刻系統(tǒng)，但還沒(méi)有商品化，進(jìn)入生產(chǎn)線。X 射線光刻技術(shù)也是 20 世紀(jì) 80 年代發(fā)展非常迅速的、為滿足分辨率 100nm 以下要求生產(chǎn)的技術(shù)之一。主要分支是傳統(tǒng)靶極 X 光、激光誘發(fā)等離子 X 光和同步輻射 X 光光刻技術(shù)。特別是同步輻射 X 光(主要是O.8nm)作為光源的 X 光刻技術(shù)，光源具有功率高、亮度高、光斑小、準(zhǔn)直性良好，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)的光束偏振性小、聚焦深度大、穿透能力強(qiáng)；同時(shí)可有效消除半陰影效應(yīng)(PenumbraEffe

13、ct)等優(yōu)越性。X 射線光刻技術(shù)發(fā)展的主要困難是系統(tǒng)體積龐大，系統(tǒng)價(jià)格昂貴和運(yùn)行成本居高不下等等。不過(guò)最新的研究成果顯示，不僅 X 射線光源的體積可以大大減小，近而使系統(tǒng)的體積減小外，而且一個(gè) X 光光源可開(kāi)出多達(dá) 20束 X 光，成本大幅降低，可與深紫外光光刻技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)。以 Particles 為光源的光刻技術(shù)以 Particles 為光源的光刻技術(shù)以 Particles 為光源的光刻技術(shù)主要包括粒子束光刻、電子束光刻，特別是電子束光刻技術(shù)，在掩模版制造業(yè)中發(fā)揮了重要作用，目前仍然占有霸主地位，沒(méi)有被取代的跡象；但電子束光刻由于它的產(chǎn)能問(wèn)題，一直沒(méi)有在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上發(fā)揮作用，因此，人們一直想把

14、縮小投影式電子束光刻技術(shù)推進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線。特別是在近幾年，取得了很大成就，產(chǎn)能已經(jīng)提高到 20 片/h（小 200mm 圓片）。電子束光刻進(jìn)展和研發(fā)較快的是傳統(tǒng)電子束光刻、低能電子束光刻、限角度散射投影電子束光刻（SCALPEL）和掃描探針電子束光刻技術(shù) （SPL） o 傳統(tǒng)的電子束光刻已經(jīng)為人們?cè)谘谀０嬷圃鞓I(yè)中廣泛接受， 由于熱/冷場(chǎng)發(fā)射（FE）比六鵬化鐲（LaB6）熱游離（TE）發(fā)射的亮度能提高 1001000 倍之多，因此，熱/冷場(chǎng)發(fā)射是目前的主流，分辨率覆蓋了 100200nm 的范圍。但由于傳統(tǒng)電子束光刻存在前散射效應(yīng)、背散射效應(yīng)和鄰近效應(yīng)等，有時(shí)會(huì)造成光致抗蝕劑圖形失真和電子損傷基

15、底材料等問(wèn)題， 由此產(chǎn)生了低能電子束光刻和掃描探針電子束光刻。 低能電子束光刻光源和電子透鏡與掃描電子顯微鏡（SEM）基本一樣，將低能電子打入基底材料或者抗蝕劑，以單層或者多層 L-B 膜（Langmuir-BlodgettFilm）為抗蝕劑，分辨率可達(dá)到 10nm 以下，目前在實(shí)驗(yàn)室和科研單位使用較多。掃描探針電子束光刻技術(shù)（SPL）是利用掃描隧道電子顯微鏡和原子力顯微鏡原理，將探針產(chǎn)生的電子束，在基底或者抗蝕劑材料上直接激發(fā)或者誘發(fā)選擇性化學(xué)作用，如刻蝕或者淀積進(jìn)行微細(xì)圖形加工和制造。SPL 目前比較成熟，主要應(yīng)用領(lǐng)域是 MEMS 和 MOEMS 等納米器件的制造，隨著納米制造產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)

16、展，掃描探針電子束光刻技術(shù)（SPL）的前景有望與光學(xué)光刻媲美。另外一種比較有潛力的電子束光刻技術(shù)是 SCALPEL,由于 SCALPEL 的原理非常類似于光學(xué)光刻技術(shù)，使用散射式掩模版（又稱鼓膜）和縮小分步掃描投影工作方式，具有分到?率高（納米級(jí)）、聚焦深度長(zhǎng)、掩模版制作容易和產(chǎn)能高等優(yōu)勢(shì)，很多專家認(rèn)為 SCALPEL 是光學(xué)光刻技術(shù)退出歷史舞臺(tái)后，半導(dǎo)體大生產(chǎn)進(jìn)入納米階段的主流光刻技術(shù)，因此，有人稱之為后光學(xué)光刻技術(shù)。粒子束光刻發(fā)展較快的有聚焦粒子束光刻（FIB）和投影粒子束光刻，由于光學(xué)光刻的不斷進(jìn)步和不斷滿足工業(yè)生產(chǎn)的需要，使離子束光刻的應(yīng)用已經(jīng)有所擴(kuò)展，如 FIB 技術(shù)目前主要的應(yīng)用是

17、將 FIB 與 FE-SEM 連用，擴(kuò)展 SEM的功能和使得 SEM 觀察方便；另外，通過(guò)方便的注射含金屬、介電質(zhì)的氣體進(jìn)入 FTB 室，聚焦離子分解吸附在晶圓表面的氣體，可完成金屬淀積、強(qiáng)化金屬刻蝕、介電質(zhì)淀積和強(qiáng)化介電質(zhì)刻蝕等作用。投影粒子束光刻的優(yōu)點(diǎn)很明顯，但缺點(diǎn)也很明顯，如無(wú)背向散射效應(yīng)和鄰近效應(yīng)，聚焦深度長(zhǎng)，大于 l0gm,單次照射面積大，故產(chǎn)能高，目前可達(dá)（1）200mm 硅片 60 片/h,可控制粒子對(duì)抗蝕劑的滲透深度，較容易制造寬高比較大的三維圖形等等；但也有很多缺點(diǎn)，如因?yàn)榭臻g電荷效應(yīng)，使得分辨率不好，目前只達(dá)到 8065nm,較厚的掩模版散熱差，易受熱變形，有些時(shí)候還需要添

18、加冷卻裝置等等。近幾年由于電子束光刻應(yīng)用的迅速擴(kuò)展，粒子束光刻除了在 FIB 領(lǐng)域的應(yīng)用被人們接受外，在 MEMS 的納米器件制作領(lǐng)域也落后于電子束和光學(xué)光刻，同時(shí)，人們對(duì)其在未來(lái)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用也沒(méi)有給予厚望。物理接觸式光刻技術(shù)物理接觸式光刻技術(shù)通過(guò)物理接觸方式進(jìn)行圖像轉(zhuǎn)印和圖形加工的方法有多年的開(kāi)發(fā)， 但和光刻技術(shù)相提并論， 并納入光刻領(lǐng)域是產(chǎn)業(yè)對(duì)光刻技術(shù)的要求步入納米階段和納米壓印技術(shù)取得了技術(shù)突破以后。物理接觸式光刻主要包括 Printing、Molding 和Embossing,其核心是納米級(jí)模版的制作，圖 4 所示的是 Printing（a）和 Embossing（b）工藝流程原

19、理。物理接觸式光刻技術(shù)中，以目前納米壓印技術(shù)最為成熟和受人們關(guān)注，它的分辨率已經(jīng)達(dá)到了 10nm,而且圖形的均一性完全符合大生產(chǎn)的要求，目前的主要應(yīng)用領(lǐng)域是 MEMS、MOEMS、微應(yīng)用流體學(xué)器件和生物器件，預(yù)測(cè)也將是未來(lái)半導(dǎo)體廠商實(shí)現(xiàn) 32nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)生產(chǎn)的主流技術(shù)。由于目前實(shí)際的半導(dǎo)體規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)還處在使用光學(xué)光刻技術(shù)苦苦探索和解決 65nm 工藝中的一些技術(shù)問(wèn)題，而納米壓印技術(shù)近期在一些公司的研究中心工藝上取得的突破以及驗(yàn)證的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，特別是 EVGroup 和MII（MolecularImprintingInc）為一些半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和工藝研究中心提供的成套光刻系統(tǒng)（包括涂膠機(jī)、納米壓印光

20、刻機(jī)和等離子蝕刻系統(tǒng)）取得的滿意數(shù)據(jù)，使得人們覺(jué)得似乎真正找到了納米制造技術(shù)的突破口。因此，一些專家預(yù)測(cè)，到 2015 年，市場(chǎng)對(duì)納米成像工具、模版、光刻膠以及其他耗材的需求將達(dá)到約 15 億美元，最大的客戶仍然是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和微電子產(chǎn)品制造業(yè)，約占 52%左右。另外，值得一提的是，納米壓印技術(shù)中最具被半導(dǎo)體工業(yè)化所首選的是軟光刻技術(shù)，軟光刻技術(shù)的原理和工藝流程如圖 5 所示。技術(shù)優(yōu)點(diǎn)是結(jié)合了納米壓印的思想和紫外光刻良好的對(duì)準(zhǔn)特性，即可靈活的選擇多層軟模型，進(jìn)行精確對(duì)位，也可在室溫下工作，使用低于 100kPa 的壓力壓印。其它光刻技術(shù)其它光刻技術(shù)光刻技術(shù)常見(jiàn)的技術(shù)方案如上所述的紫外光刻、電子束

21、光刻、納米壓印光刻等，以廣為業(yè)界的人們所熟悉。但近年來(lái)，在人們?yōu)榧{米級(jí)光刻技術(shù)探索出路的同時(shí)，也出現(xiàn)了許多新的技術(shù)應(yīng)用于光刻工藝中，主要有干涉光刻技術(shù)（CIL）、激光聚焦中性原子束光刻、立體光刻技術(shù)、全息光刻技術(shù)和掃描電化學(xué)光刻技術(shù)等等。其中成像干涉光刻技術(shù)（IIL）發(fā)展最快，主要是利用通過(guò)掩模版光束的空間頻率降低，可使透鏡系統(tǒng)收集，然后再還原為原來(lái)的空間頻率，照射襯底材料上的抗蝕劑，傳遞掩模版圖形，可以解決傳統(tǒng)光學(xué)光刻受限于投影透鏡的傳遞質(zhì)量和品質(zhì)，無(wú)法收集光束的較高頻率部分，使圖形失真的問(wèn)題。其他的光刻技術(shù)因?yàn)樵诩夹g(shù)上取得的突破甚微，距離應(yīng)用相當(dāng)遙遠(yuǎn)，此處不再贅述。光刻技術(shù)的技術(shù)性和經(jīng)濟(jì)性

22、比較光刻技術(shù)的技術(shù)性和經(jīng)濟(jì)性比較光刻技術(shù)作為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)手段，那種技術(shù)為產(chǎn)業(yè)界所普遍接受和采納，是一個(gè)集技術(shù)性和經(jīng)濟(jì)性綜合比較的產(chǎn)物。一方面，就狹義光刻技術(shù)（包括光刻機(jī)技術(shù)、涂膠/現(xiàn)像機(jī)技術(shù)等）本身而言，有技術(shù)和經(jīng)濟(jì)的權(quán)衡；另一方面，光刻技術(shù)的進(jìn)步還會(huì)受到廣義上光刻技術(shù)（還包括掩模版及其制造技術(shù)、光刻膠及其制造技術(shù)、蝕刻和粒子注入技術(shù)等）的影響。因此，本文就以 2005 年 ITRS 對(duì)光刻技術(shù)的修訂內(nèi)容，對(duì)光刻技術(shù)在技術(shù)性和經(jīng)濟(jì)性方面發(fā)表點(diǎn)拙見(jiàn)。3.1 技術(shù)性比較一方面， 從目前幾種光刻技術(shù)本身的發(fā)展和開(kāi)發(fā)使用狀況來(lái)看， 深紫外光刻、 極紫外光刻、 限角度散射投影電子束光刻、掃描探針電子束

23、光刻技術(shù)、 納米壓印光刻等，在能力上都有可能解決 90nm 以下的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和微電子產(chǎn)品規(guī)?；a(chǎn)問(wèn)題，但真正產(chǎn)業(yè)化都有問(wèn)題，如本文第一部分論述；另一方面，從技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)和如何與已經(jīng)形成的現(xiàn)有光刻的龐大體系相互融合，順利過(guò)渡，這些技術(shù)所處的狀態(tài)各不相同。就像半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在 20 世紀(jì) 8090 年代的發(fā)展過(guò)程中，工藝技術(shù)形成了 23 個(gè)大的 IP 體系，也就是以舊 M 和 TI 等為核心的體系、以 Siement 和 Toshiba 為核心的體系一樣，光刻技術(shù)目前逐漸也在形成 23 大體系，特別是光學(xué)光刻技術(shù)和納米壓印技術(shù)，這就意味著那個(gè)體系發(fā)展快，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程迅速，良好解決了技術(shù)的銜接和過(guò)渡，誰(shuí)就是技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，誰(shuí)就是產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。因此，技術(shù)性的比較也有戰(zhàn)略的競(jìng)爭(zhēng)，就像 ASML 體系與 NIKON 和 CANON 體系的競(jìng)爭(zhēng)，EVGroup 體系和 MII 體系的競(jìng)爭(zhēng)。專家預(yù)測(cè)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在本世紀(jì)初將會(huì)有大的并購(gòu)和重組， 我們可以清楚的看到， 已經(jīng)發(fā)生