測(cè)厚儀操作指導(dǎo)書A0版

1、測(cè)厚儀操作指導(dǎo)書編制部門：實(shí)施日期：發(fā)布日期：修訂日期修訂內(nèi)容修訂人修訂標(biāo)記備注編制：審核：批準(zhǔn)：1.目的為確保對(duì)厚度測(cè)定器的正確操作使用，防止對(duì)儀器和人員造成損害，從而使得儀器得以安全、穩(wěn)定、長(zhǎng)周期準(zhǔn)確運(yùn)行。2 .范圍適用于傳感器型號(hào)為GS-3813,數(shù)顯儀型號(hào)為DG-5100的厚度測(cè)定器。3. 術(shù)語無4. 職責(zé)4.1檢驗(yàn)科科長(zhǎng)：負(fù)責(zé)本操作指導(dǎo)書的制定，解釋及儀器的監(jiān)督使用；4. 2實(shí)驗(yàn)員：負(fù)責(zé)本操作指導(dǎo)書的執(zhí)行和操作。5. 工作流程5. 1試驗(yàn)設(shè)備名稱：厚度測(cè)定器使用電壓：AC220V測(cè)量范圍：1 3 mm分辨率：0. 1微米顯示精度：1微米使用溫度范圍：0°C- +40

2、6;C抬起器測(cè)試臺(tái)基座圖15. 2操作規(guī)程5.2. 1除油準(zhǔn)備：(圖2)用食指輕輕將抬起器抬高1毫米，放置吸油紙，將抬起器輕輕放下，使得探測(cè)頭上的防銹油被吸附在吸油紙或廢膜上。再次將抬起器輕輕抬起，移動(dòng)吸 油紙，將抬起器輕輕放下。如此反復(fù)，直到探測(cè)頭上的防銹油全部被吸附在吸油紙上。注：確認(rèn)臺(tái)面及測(cè)試頭清潔無塵、無污、無油水平確認(rèn)：(圖3)用食指輕輕將抬起器抬高1毫米，將小部分試樣放入測(cè)試，將抬起器輕 輕放 下，反復(fù)自然下落3次而不對(duì)樣品造成可見的損壞或痕跡，以此確 定測(cè)試頭 與測(cè)試平臺(tái)符合平行要求，否則報(bào)告班長(zhǎng)。5. 2. 3開啟電源：測(cè)試頭數(shù)顯儀淸零鍵圖2除油準(zhǔn)備圖3水平確認(rèn)接上電源線(AC

3、220V),此時(shí)數(shù)顯儀屏幕顯示為0. 0000 (即0. 0000mm)QOOOO圖6測(cè)得膜厚圖彳數(shù)顯儀屏幕顯圖5進(jìn)行測(cè)試圖8抬起器v524零位調(diào)整：（圖4）在測(cè)試頭與測(cè)試平臺(tái)之間無任何阻隔物時(shí)，用食指將抬起器抬至1毫米 后自然下落，反復(fù)3次以上后，數(shù)顯儀仍然顯示0. 0000,則調(diào)零到位，否則按RESET鍵（復(fù)位鍵）調(diào)零。如還不能滿足要求，則報(bào)告班長(zhǎng)。注：每次測(cè)量前進(jìn)行零位確認(rèn)，防止測(cè)試平臺(tái)與測(cè)試頭之間的微塵產(chǎn)生誤差。5. 2. 5試片準(zhǔn)備：在測(cè)量前先通過除靜電機(jī)將試片除塵，避免微塵引起較大的測(cè)量誤差。注：保證試片的清潔、無污、無塵，這是數(shù)據(jù)準(zhǔn)確的前提保障。5. 2.6進(jìn)行測(cè)試：（圖5）（圖

4、6）用食指輕輕將抬起器抬高1毫米，將試片放入后，將抬起器輕輕放下，測(cè)試頭自然下落到試片上，在數(shù)顯儀上的讀數(shù)跳動(dòng)之前，讀取并記錄數(shù)據(jù)。取出試片的方法：將探測(cè)頭輕輕抬起，取出試片，將測(cè)試頭輕輕放 下。5. 2. 6. 1測(cè)試頭下落后在讀數(shù)前防止試樣的移動(dòng)，否則對(duì)能導(dǎo)致數(shù)據(jù)不 準(zhǔn)確。5. 2. 6. 2在任何情況下進(jìn)行測(cè)試前，如發(fā)現(xiàn)零位漂移（即測(cè)試頭與測(cè)試平臺(tái)Z間無測(cè)量對(duì)象時(shí)儀器屏幕顯示值不是 0. 0000mm ），先對(duì)臺(tái)面進(jìn)行清潔后再 按Reset鍵清零。5. 2. 6. 3連續(xù)多次測(cè)量過程中岀現(xiàn)數(shù)值突然偏離很大的時(shí)候需重新進(jìn)行5. 2. 6. 4零位確認(rèn)后再進(jìn)行測(cè)量。操作結(jié)束：（圖7）儀器使用完后關(guān)閉數(shù)顯儀的電源，將測(cè)試頭用防銹油保護(hù)起來。測(cè)試完畢，做好6S。5.3注意事項(xiàng)（圖8）5. 3. 1禁止用手觸摸傳感器;傳感器5. 3. 2抬起器輕抬輕放；5. 3. 3測(cè)量時(shí)抬起器起落時(shí)應(yīng)保持豎直方向。5. 3. 4用完后蓋一個(gè)罩子避免傳感器直接接觸水或灰塵。5. 4儀器點(diǎn)檢測(cè)厚儀使用者每天9: 00時(shí)之前，按照點(diǎn)檢表要求對(duì)儀器實(shí)施點(diǎn)檢，點(diǎn)檢結(jié) 果寫入測(cè)厚