第八章潔凈室檢測與認證

1、第八章第八章 潔凈室檢測與認證潔凈室檢測與認證 教育部十一五國家級規(guī)劃教材教育部十一五國家級規(guī)劃教材檢測程序及要求檢測程序及要求 檢測程序檢測程序 主要是指對潔凈室或潔凈區(qū)域的空氣潔凈度等級等進行測定 生物潔凈室還要進行浮游菌、沉降菌的測試 1、潔凈室的檢測首先應明確潔凈室或潔、潔凈室的檢測首先應明確潔凈室或潔凈區(qū)域的占用狀態(tài)，按照凈區(qū)域的占用狀態(tài)，按照潔凈廠房設潔凈廠房設計規(guī)范計規(guī)范規(guī)定，潔凈室檢測狀態(tài)分為空規(guī)定，潔凈室檢測狀態(tài)分為空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)三種態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)三種 。檢測程序檢測程序 1、三態(tài)檢測、三態(tài)檢測 1.1空態(tài)檢測空態(tài)檢測 設施已建成，所有動力接通并運行，但在無生產(chǎn)設備、材料和

2、生產(chǎn)人員在場的情況下所進行的測試稱為空態(tài)檢測。 1.2靜態(tài)檢測靜態(tài)檢測 設施已建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝好，并以用戶和供應商同意的方式運行，但沒有生產(chǎn)人員在場的情況下所進行的測試稱為靜態(tài)檢測檢測程序檢測程序 1 1、三態(tài)檢測、三態(tài)檢測1.31.3動態(tài)檢測動態(tài)檢測 設施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定數(shù)目的人員在場，并以雙方同意的方式進行工作的情況下進行的測試稱為動態(tài)檢測。 2 2、潔凈室的檢測可分為潔凈室工程竣工、潔凈室的檢測可分為潔凈室工程竣工驗收的檢測、綜合性能評定的檢測和運驗收的檢測、綜合性能評定的檢測和運行中的監(jiān)測及定期綜合性能檢測。行中的監(jiān)測及定期綜合性能檢測。 檢測內(nèi)容檢測內(nèi)容 1、竣工驗收竣

3、工驗收潔凈室施工及驗收規(guī)范中明確規(guī)定，竣工驗收在對各分部工程作外觀檢查、單機試運轉(zhuǎn)、系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)，空態(tài)或靜態(tài)條件下的潔凈室性能檢測和調(diào)整以及對有關(guān)的施工檢查記錄合格后進行。 2 2、綜合性能全面評定、綜合性能全面評定綜合性能全面評定的檢測工作必須由有經(jīng)驗的第三方承擔； 檢測內(nèi)容檢測內(nèi)容 2、綜合性能全面評定、綜合性能全面評定 檢測所用儀表必須合格有效。檢測工作須在系統(tǒng)調(diào)整符合設計要求并運行至少24h后進行，而且，在檢測工作之前，必須對潔凈室及凈化空調(diào)系統(tǒng)再次進行全面徹底的清掃。 檢測內(nèi)容檢測內(nèi)容 3、潔凈室（區(qū)）性能測試和認證、潔凈室（區(qū)）性能測試和認證 潔凈室（區(qū)）投入運行后，為了檢測其綜

4、合性能是否可以做到始終符合設計要求、標準規(guī)范的規(guī)定和滿足業(yè)主的產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量要求，需對潔凈室（區(qū)）進行監(jiān)測和定期性能測試認證，測試認證工作應由專門的潔凈室檢測認證單位承擔。 上述三種不同階段、不同時序的潔凈室（區(qū)）的檢測內(nèi)容及要求，有相同也有差異，下 表列出了它們的各自檢測項目的情況。 潔凈室（區(qū)）各階段測試要求潔凈室（區(qū)）各階段測試要求 序號 項目 工程竣工驗收 綜合性能驗收 性能測試認證 1室內(nèi)送風量，系統(tǒng)總新風量（必要時系統(tǒng)總送風量），有排風時的室內(nèi)排風量 2靜壓差 3截面平均風速 4截面風速不平均度 5空氣潔凈度等級 6浮游菌和沉降菌 7室內(nèi)溫度和相對濕度 8室內(nèi)溫度（或相對濕度）波動范

5、圍和區(qū)域溫差 9室內(nèi)噪聲級 潔凈室（區(qū)）各階段測試要求潔凈室（區(qū)）各階段測試要求 10室內(nèi)倍頻程聲壓級 11室內(nèi)照度和照度均勻度 12室內(nèi)微振 13表面導電性能 14室內(nèi)氣流流型 15流線平行性 16自凈時間 17通風機風量、轉(zhuǎn)數(shù) 18高效過濾器檢測 19污染泄漏- 注：注：檢測；檢測；必要時測；必要時測；洽商選測；洽商選測；不檢測。不檢測。 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 高效過濾器檢漏高效過濾器檢漏 高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能實驗檢測（如DOP實驗等） 對于5級（100級）以上潔凈室所使用的高效過濾器，在現(xiàn)場應再次進行高效過濾器本體的性能檢測，同時進行檢漏試驗

6、以確認高效過濾器是否正確安裝。 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 高效過濾器檢漏高效過濾器檢漏 在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中（如0.1m，1級），由于新風量往往僅是循環(huán)風量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風側(cè)也變成6級（1000級）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 1、檢測要求、檢測要求 1.1一般采取粒子計數(shù)器法進行檢漏，被檢高效過濾器必須已檢測過風量，并在設計風速的80%120%之間進行。 1.2對于被檢高效過濾器上風側(cè)的微粒濃度符合下列要求： 對受控微粒0.5m的濃度，3.5104pc/L； 對受控微粒0.1m的濃度，3

7、.51063.5107pc/L。 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 2、檢測方法、檢測方法 采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測，檢測點應距被測表面2030毫米，測頭以520mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描，如圖8-1所示。粒子計數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。 掃描方法示意圖掃描方法示意圖 圖圖8-1 掃描方法示意圖掃描方法示意圖 A高效過濾器高效過濾器 B粒子計數(shù)器檢測口粒子計數(shù)器檢測口檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 3、檢測設備、檢測設備 3.1光散射粒子計數(shù)器光散射粒子計數(shù)器 其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象，將采樣

8、空氣中的微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系，測量微粒粒徑大小。光散射粒子計數(shù)器的工作原理見圖8-2，儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。國產(chǎn)的Y09等系列粒子計數(shù)器，進口的Royco-245粒子計數(shù)器均屬于此類粒子計數(shù)器。 光散射粒子計數(shù)器光散射粒子計數(shù)器 圖圖8-2 光散射粒子計數(shù)器的工作原理光散射粒子計數(shù)器的工作原理 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 3、檢測設備、檢測設備 3.2激光粒子計數(shù)器激光粒子計數(shù)器 其工作原理與光散射粒子計數(shù)器基本相同，但因采用了比光散射粒子計數(shù)器強100倍的氦-氖激

9、光光源，所以微粒粒徑的檢測范圍達0.1m。圖8-3是該類計數(shù)器光學系統(tǒng)簡圖。 3.3凝聚核粒子計數(shù)器凝聚核粒子計數(shù)器 它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑為粒子，進行微粒粒子濃度測定，原理見圖8-4。激光粒子計數(shù)器光學系統(tǒng)簡圖激光粒子計數(shù)器光學系統(tǒng)簡圖 圖圖8-3 激光粒子計數(shù)器光學系統(tǒng)簡圖激光粒子計數(shù)器光學系統(tǒng)簡圖 凝聚核計數(shù)器原理簡圖凝聚核計數(shù)器原理簡圖 圖圖8-4 凝聚核計數(shù)器原理簡圖凝聚核計數(shù)器原理簡圖 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 4、合格標準、合格標準 潔凈室施工及驗收規(guī)范中規(guī)定，由高效過濾器下風側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格，計算公式如右式。 K :高效過濾器出

10、廠時檢測合格的透過率;K :高效過濾器的泄漏濃度換算成的透過率;C1:高效過濾器上風側(cè)含塵濃度;C2:高效過濾器下風側(cè)塵濃度.KccK2%10012KccK3%10012檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 靜壓差靜壓差此項檢測的目的是為了測定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或負壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)（外）氣流間被污染。檢測要求 靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全部關(guān)閉的情況下進行。 在潔凈室平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 靜壓差靜壓差檢測要求檢測要求 測管口設在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。 所測定

11、記錄的數(shù)據(jù)應精確到0.1Pa。 檢測方法檢測方法 記錄所有數(shù)據(jù)。先關(guān)閉所有的門。 用微壓差計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 靜壓差靜壓差測量儀器 采用YJB-150補償微壓差計，量程01500Pa或其他壓差計，儀表靈敏度小于0.1Pa。合格標準 按照潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。 檢測方法及評定標準檢測方法及評定標準 靜壓差靜壓差 合格標準 不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差，應不小于于4.9Pa。 潔凈室與室外的靜壓差，不應小于9.8Pa。 對于空氣潔凈度等級高于5級（100級）的單向流潔

12、凈室在開門時，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。 若達不到以上標準的要求，應重新調(diào)整新風量、排風量，至合格為止。風速、風量的測定風速、風量的測定 檢測要求檢測要求 風量、風速應首先檢測； 風量檢測前，必須檢查風機運行是否正常，系統(tǒng)各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，并應實測風管、風口的尺寸是否符合設計要求。 風速、風量的測定風速、風量的測定 檢測方法 對于單向流潔凈室按右式計算其中：Q潔凈室送風量（m.3/h）；F潔凈室的測定截面面積（m2）； 潔凈室截面平均風速（m/s）。 3600FQ風速、風量的測定風速、風量的測定 檢測方法檢測

13、方法對非單向流潔凈室，風量的測量有風管法和風口法兩種方法。 風管法測定風量。矩形風管矩形風管 圓形風管圓形風管 風口法測量風量對安裝有高效過濾器的風口，可根據(jù)輔助風管測量風對安裝有高效過濾器的風口，可根據(jù)輔助風管測量風量；將平面劃分為等面積的網(wǎng)絡；每次測試至少進行量；將平面劃分為等面積的網(wǎng)絡；每次測試至少進行5s5s，取此時間平均值為測量結(jié)果。，取此時間平均值為測量結(jié)果。風速、風量的測定風速、風量的測定圖圖8-5 矩形風管測點位置示意矩形風管測點位置示意 風速、風量的測定風速、風量的測定圖圖8-6 圓形風管測點位置示意圓形風管測點位置示意 風速、風量的測定風速、風量的測定圖圖8-7 圓形風管測

14、點距離圓形風管測點距離 風速、風量的測定風速、風量的測定 測量設備測量設備熱球風速儀、畢托管和微壓計等。熱球風速儀的量程宜采用0.055m/s，精度3%，常用畢托管有500mm、1000mm、1500mm。 測量合格標準測量合格標準實測室內(nèi)平均風速應大于設計風速，應為設計風速的11.2倍，且為正偏差；單向流潔凈室的截面風速不均勻度不應大于0.25。 風速、風量的測定風速、風量的測定 合格標準合格標準風速不均勻度按右式風速不均勻度；i任一點實測風速（m/s）； 平 均 風 速（m/s）;n測點數(shù)。 1)(2ni風速、風量的測定風速、風量的測定 合格標準合格標準除了風速不均勻度外還有以下兩個方面；

15、實測新風量與設計新風量之差不應超過設計風量的10%；潔凈室系統(tǒng)總風量與設計風量的允許偏差為020%，室內(nèi)各風口風量與各自設計的風量之差不應超過設計風量的15%。 潔凈度的測定潔凈度的測定 檢測要求檢測要求測定之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)經(jīng)過反復清洗，并連續(xù)穩(wěn)定運行在24h以上；必須在空氣流量、流速、壓差以及過濾器檢漏，維護結(jié)構(gòu)泄漏測試之后進行；所用測試儀器必須經(jīng)過有效標定，并在有效期范圍內(nèi)。 粒子計數(shù)器的采樣量必須在1L/min以上。 潔凈度的測定潔凈度的測定 檢測方法檢測方法最小采樣點數(shù)目按右式 計算NL最小采樣點數(shù)目（四舍五入為整數(shù)）；A潔凈室或潔凈區(qū)的面積（m2）。 5.0ANL潔凈度的測定潔

16、凈度的測定 檢測方法檢測方法 每個采樣點要采集能保證檢測出至少20個粒子的空氣量，每個采樣點的每次采樣量VS用右式確定VS每個采樣點的每次采樣量（L）；Cn-m被測潔凈室的空氣潔凈度等級被考慮粒徑的最大濃度限值（pc/m3）； 100020mnsCV潔凈度的測定潔凈度的測定 檢測儀器檢測儀器測量0.5m粒子時，建議采用光學粒子計數(shù)器；測量0.1m粒子時，建議采用大流量的激光光學粒子計數(shù)器；測量0.02m粒子時，建議采用凝聚核激光粒子計數(shù)器。 FSC1型浮游微生物采樣器（細菌采樣器）是依據(jù)顆粒撞擊原理設計而成。被采樣空氣在抽氣泵作用下，通過采樣器的縫隙式平板，將空氣噴射并撞擊到勻速旋轉(zhuǎn)的裝有培養(yǎng)

17、基的平皿內(nèi)，培養(yǎng)基內(nèi)附著的活微生物經(jīng)培養(yǎng)后形成菌 落 ， 予 以 計 數(shù) 。FSC1FSC1型浮游微生物采樣器型浮游微生物采樣器潔凈度的測定潔凈度的測定 合格標準合格標準 把每次采樣測量的結(jié)果與空氣潔凈度等級相關(guān)的各個被考慮的粒徑的濃度記錄下來，并計算采樣數(shù)據(jù)的平均值。當采樣點只有一個或多于9個時，不用計算95%置信上限。當采樣點多于1個而少于10個時，應計算粒子平均濃度的平均值、標準誤差、95%置信上限。潔凈度的測定潔凈度的測定 合格標準合格標準每次性能測試或再認證測試應做記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告；如果在每個采樣點測得的粒子平均濃度級別上限，即室內(nèi)平均濃度統(tǒng)計值95%置信上限X

18、i級別上限，則該潔凈室或潔凈區(qū)即被認為是達到了規(guī)定的空氣潔凈度等級。潔凈度的測定潔凈度的測定 合格標準合格標準 如果是由于測量差錯或異常低的粒子濃度，而產(chǎn)生單個的非隨機性的“界外值”，影響95%置信上限的計算結(jié)果不能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級，在符合條件下的情況下，可以把該“界外值”排除，但最多只有一個測量值排除在外。 微生物測定微生物測定 空氣中懸浮微生物的測定有多種 但其測定的基本過程都是經(jīng)過捕集培養(yǎng)計數(shù)的過程。目前普遍采用的測試方法： 浮游菌 沉降菌微生物測定微生物測定 檢測要求檢測要求檢測前，被測潔凈室的運行狀態(tài)必須在正常狀態(tài)，其溫度、濕度、風量、風壓及風速必須在控制的規(guī)定值內(nèi)；被測試的

19、潔凈室應已進行過消毒；同時，潔凈室的測試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求，并在測試報告中注明其測試狀態(tài)。測試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過兩個人。 微生物測定微生物測定 檢測要求檢測要求凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)時間對單相流如5級（100級）潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_不得少于10min；對非單相流如7級（10000級）、8級（100000級）的潔凈室不得少于30min。 采樣點的布置及要求 浮游菌測試時浮游菌測試時 沉降菌測試時沉降菌測試時 注：注：1.表中面積，對單相流潔凈室（包括層流工作臺），指的是送風口表面積；對非單相流表中面積，對單相流潔凈室（包括層流工作臺），指的是送風口表面積；對非單相流潔凈室，

20、指的是房間面積。潔凈室，指的是房間面積。2.日常監(jiān)測的采樣點數(shù)由生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵操作點來確定。日常監(jiān)測的采樣點數(shù)由生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵操作點來確定。 微生物測定浮游菌的最少采樣點數(shù)微生物測定浮游菌的最少采樣點數(shù) 面積/m2 空氣潔凈度等級 100 10000 100000 驗證 監(jiān)測 驗證 監(jiān)測 驗證 監(jiān)測 10 23 1212-1020 4 2212-2040 8 3212-40100 16 4412-100200 40 -10-3-200400 80 -20-6-400 160 -40-13-微生物測定沉降菌測試的最少采樣點數(shù)微生物測定沉降菌測試的最少采樣點數(shù)面積/m2 空氣潔凈度等級 100 1

21、0000 100000 10 23 221020 4 222040 8 2240100 16 42100200 40 103200400 80 2064001000 160 401310002000 400 100322000 800 20063注：表中面積，對于單向流潔凈室是指送風口面積；對于非單向流潔凈室是指房間的面積。注：表中面積，對于單向流潔凈室是指送風口面積；對于非單向流潔凈室是指房間的面積。微生物測定微生物測定 采樣點的布置及要求采樣點的布置及要求 對沉降菌法不僅要滿足最少采樣總數(shù)，還應滿足最少培養(yǎng)皿數(shù)。浮游菌測試法的最小采樣量應按不同空氣潔凈度等級確定。以上2個方面的數(shù)值具體可以

22、參看教材中 表表8-68-6沉降菌測試最少培養(yǎng)皿數(shù)沉降菌測試最少培養(yǎng)皿數(shù) 表表8-7 8-7 浮游菌測試法的最小采樣量浮游菌測試法的最小采樣量微生物測定微生物測定 檢測方法檢測方法檢測程序 首先應對測試儀器、培養(yǎng)皿表面進行嚴格消毒。采樣器進入被測房間前先用消毒房間的消毒劑滅菌，用于100級潔凈室的采樣器宜一直放在被測房間內(nèi)；用消毒劑擦凈培養(yǎng)皿的外表面，把采樣器的頂蓋、轉(zhuǎn)盤以及罩子內(nèi)外消毒干凈；采樣口及采樣管在使用前必須高溫滅菌。 采樣者應穿戴與被測潔凈室相應的潔凈服，在轉(zhuǎn)盤上放入或調(diào)換培養(yǎng)皿前，雙手要用消毒劑消毒微生物測定微生物測定 檢測方法檢測方法浮游菌檢測程序 開動真空泵抽氣，使儀器中的殘

23、余消毒劑蒸發(fā)，開動真空泵抽氣，使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)，時間不少于時間不少于5min5min，并調(diào)好流量、轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速；，并調(diào)好流量、轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速； 關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子調(diào)節(jié)采樣器關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子調(diào)節(jié)采樣器 置采樣口于采樣點后，依次開啟采樣器、真空泵，置采樣口于采樣點后，依次開啟采樣器、真空泵，轉(zhuǎn)動定時器，根據(jù)采樣量選定采樣時間；轉(zhuǎn)動定時器，根據(jù)采樣量選定采樣時間； 全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于30303535恒溫恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時間不少于培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時間不少于45h45h；微生物測定微生物測定 檢測方法檢測方法浮游菌檢測程序 用肉眼直接

24、計數(shù)，然后用用肉眼直接計數(shù)，然后用5 51010倍放大鏡檢查，倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若平板上有兩個或兩個以上的菌落是否有遺漏。若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊，分辨時仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。重疊，分辨時仍以兩個或兩個以上菌落計數(shù)。沉降菌測試 檢測儀器檢測儀器 沉降菌測試儀器、浮游菌測試儀器。 微生物測定常見采樣器微生物測定常見采樣器圖圖8-8 THK-201型采樣器的工作示意圖型采樣器的工作示意圖微生物測定常見采樣器微生物測定常見采樣器圖圖8-9 JWC-1型離心式空氣微生物采樣器。型離心式空氣微生物采樣器。1-葉輪葉輪 2培養(yǎng)基條樣口培養(yǎng)基條樣口 3-蝸殼蝸殼 4-電源指示燈電源指

25、示燈 5-電電源開關(guān)源開關(guān) 6-定時選擇開關(guān)定時選擇開關(guān) 7-啟動鈕啟動鈕 8-交流穩(wěn)壓電源插孔交流穩(wěn)壓電源插孔 9-電池筒電池筒 10-螺帽螺帽 微生物測定微生物測定 合格標準合格標準浮游菌測試 一般被測房間（或潔凈工作臺）的浮游菌平均濃度按右式計算。 C被測房間（或潔凈工作臺）的浮游菌平均濃度（CFU/m2）；PS被測房間總菌落數(shù)（CFU）；VS總的采樣量（m3）ssVPC 溫濕度檢測溫濕度檢測 檢測要求檢測要求 測定前，潔凈空調(diào)系統(tǒng)應連續(xù)運行24h以上 根據(jù)溫度和相對濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表，并經(jīng)過校驗標定合格。 檢測方法檢測方法測點距地面0.8m，距外墻應大于0.5m，

26、也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地面不同高度的幾個平面上。 溫濕度檢測溫濕度檢測 檢測方法檢測方法 根據(jù)溫濕度波動范圍要求，檢測宜連續(xù)進行848h，每次讀數(shù)間隔不大于30min。對沒有恒溫要求的房間，溫度僅測房間中心一個點即可。 對有溫濕度波動要求的區(qū)域，測點應放在送、回風口處或具有代表性的地點，其測點數(shù)按教材中表8-10確定。 照度測定照度測定 檢測要求檢測要求 室內(nèi)照度測定必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源輸出趨于穩(wěn)定后進行（對熒光燈必須有100h） 檢測方法檢測方法 測點平面距地面0.85m，按間距12m布點，測點距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求相同。記錄，在簡圖上設測量位置，記錄

27、實測照度值并計算總平均照度。 照度測定照度測定 檢測方法檢測方法照度測定，一般測定除局部照明之外的照明 檢測儀器檢測儀器 采用移動式照度計檢測。 合格標準合格標準 符合設計要求或符合潔凈廠房設計規(guī)范中對潔凈室（區(qū)）的照度值規(guī)定。潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應小于0.7。噪聲檢測噪聲檢測 噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計，噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級計，一般情況下只檢測一般情況下只檢測A A聲級的數(shù)據(jù)，必要時聲級的數(shù)據(jù)，必要時測倍頻程聲壓級。測倍頻程聲壓級。 檢測方法檢測方法 檢測點布置，當面積50m2時，僅測房間中心一個點；當房間面積較大時，每增加50m2增加一個點，測點距地面1.2m。有

28、條件時，宜測量潔凈室靜態(tài)工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。 噪聲檢測噪聲檢測 合格標準合格標準 符合設計要求或按潔凈廠房設計規(guī)范中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流潔凈室的噪聲級不應大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室的噪聲級不應大于65dB（A）。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級值不應大于潔凈廠房設計規(guī)范的規(guī)定。 表面導靜電性能測定表面導靜電性能測定 檢測設備檢測設備采用符合精度要求的高阻計。 檢測方法檢測方法在測試表面上選擇比較有代表區(qū)域的兩個點，用導線把高阻計和兩個銅圓柱形電極連接起來進行測量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按圖8-10所示的測試裝置測量。表面導靜電性能測定表面導靜電性能測定

29、圖例說明：圖例說明：1高阻計 2試件 3銅柱形電極 4濕漬紙L900mm, d=60mm, M=2 合格標準合格標準 地面的面層應具有導電性能，并應能長時間穩(wěn)定。表 面 電 阻 率 應 為 ：1.01051.01012。 圖圖8-10 表面導靜電性能測定表面導靜電性能測定 裝置示意圖裝置示意圖氣流流型氣流流型 檢測方法檢測方法 測點位置 對于單向流潔凈室，所測截面上的測點間距均為0.21m，垂直單向流要求取四個測點截面：潔凈室的縱剖面，潔凈室橫剖面，距地面0.8m和1.5m的兩個水平面。水平單向流要求取五個測點截面：潔凈室的縱剖面，工作區(qū)水平面，距送、回風口0.5m處的兩個縱剖面和房間中心的總

30、剖面 對非單向流潔凈室要求取3個測點截面：具有代表性的送、回風口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面。 氣流流型氣流流型 檢測方法檢測方法測點位置 對非單向流潔凈室測點間距要求：縱剖面上為0.20.5m，水平面上為0.51m。 用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向；用量角器測定氣流流向偏離規(guī)定方向的角度。在測點布置的剖面圖上標出流向。 氣流流型檢測標準氣流流型檢測標準工作區(qū)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度不大于14，應繪出氣流流型圖，并給出分析結(jié)果。 自凈時間自凈時間 檢測方法檢測方法以大氣濃度為基準，本項測定必須在潔凈室停止運行相當時間，含塵濃度已接近大氣濃度時進行。首先測出潔凈室內(nèi)的

31、濃度，然后開機，定時讀數(shù)，直到濃度達到最低限度為止，這一段時間即為自凈時間。以人工發(fā)巴蘭香煙為基準 按標準發(fā)煙；然后開機記時直到濃度到最低。 自凈時間自凈時間 合格標準合格標準 由初始濃度（由初始濃度（N N0 0）和室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度）和室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度（N N），實際換氣次數(shù)（），實際換氣次數(shù)（n n）計算出的自凈時）計算出的自凈時間（間（t t0 0）與實測的自凈時間（）與實測的自凈時間（t t）進行對比，）進行對比，若若t tt t0 01.21.2為合格。為合格。潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常

32、用儀器潔凈室檢測常用儀器四種常見的粒子記數(shù)器四種常見的粒子記數(shù)器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器潔凈室檢測常用儀器自動過濾器及連接示意自動過濾器及連接示意潔凈室的認證潔凈室的認證 認證的目的和程序認證的目的和程序 潔凈室工程在設計、建造和驗收投入使用后；為確保潔凈室使用過程中始終能保持規(guī)定的空氣潔凈度等級和綜合性能參數(shù)要求。 或者是由于潔凈室投入使用后的維護管理不當或潔凈室工作人員誤操作以及潔凈空調(diào)系統(tǒng)長期運轉(zhuǎn)使空氣過濾器性能變化。潔凈室的認證潔凈室的認證 認證的目的和程序認證的目的和程序 或者是潔凈室周圍環(huán)境的突發(fā)變化如因房屋拆遷、潔

33、凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝調(diào)整、突出性大氣塵污染甚至沙塵暴的侵襲等各類因素，影響潔凈室的性能參數(shù)。所以投入運行后的潔凈室的日常監(jiān)測和定期的綜合性能檢測是十分必要的工作，通過檢測以認證潔凈室的綜合性能是否符合設計要求或產(chǎn)品生產(chǎn)所必須的綜合性能參數(shù)要求。潔凈室的認證潔凈室的認證 認證的目的和程序認證的目的和程序綜合性能檢測的目的 確定正常運行；確定正常運行； 掌握能量使用情況；掌握能量使用情況； 發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象并維修；發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象并維修； 查明發(fā)生污染的原因，測定相關(guān)數(shù)據(jù)；查明發(fā)生污染的原因，測定相關(guān)數(shù)據(jù)； 產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的資料；產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的資料； 潔凈室的缺點（運行上的缺點等）。潔凈室的缺點（運行上的缺點等）

34、。 潔凈室的認證潔凈室的認證 潔凈室的認證程序潔凈室的認證程序 由業(yè)主委托專門檢測認證單位承擔潔凈室的認證工作。委托可以是一次性的也可以是階段性的，比如一年的委托合約，在雙方的合約中應明確委托認證的內(nèi)容、測試要求（含時間間隔等）、檢測認證報告內(nèi)容和要求、認證檢測的進度安排、各方的責任（包括保密要求）等。 潔凈室的認證潔凈室的認證 潔凈室的認證程序潔凈室的認證程序 認證檢測用儀器儀表必須在標定使用的有效期內(nèi)； 認證檢測之前，潔凈室的各功能系統(tǒng)應達到穩(wěn)定運行，并由業(yè)主提供穩(wěn)定運行的有關(guān)記錄； 按合約要求逐項進行檢測，并作詳細記錄。記錄應該清晰，并有必要的實測狀況和有關(guān)問題的說明；潔凈室的認證潔凈室

35、的認證 潔凈室的認證程序潔凈室的認證程序 寫出認證檢測報告，并明確說明潔凈室是否符合規(guī)定要求及各項綜合性能參數(shù)的明確數(shù)據(jù)或計算結(jié)果。若檢測結(jié)果超過規(guī)定的限期，說明該潔凈室不合格時，檢測認證單位應提供分析意見和改進的建議，由業(yè)主或業(yè)主委托有關(guān)單位進行改進、完善之后進行再認證。 潔凈室每次認證或再認證均應由檢測認證單位提供原始記錄和綜合性能檢測認證報告。 潔凈室的認證潔凈室的認證 認證內(nèi)容及測試方法認證內(nèi)容及測試方法 為了保證潔凈室或潔凈區(qū)運行中始終符合要求，潔凈室（區(qū)）認證檢測的基本內(nèi)容包含空氣潔凈度等級、靜壓差和風速、風量的測定，潔凈廠房設計規(guī)范規(guī)定：空氣潔凈度等級5級，空氣潔凈度等級認證測試最長時間間隔為6個月；空氣潔凈度等級5級，空氣潔凈度等級認證測試最長時間間隔為12個月；靜壓差和風量（風速）認證測試最長時間間隔為12個月。 潔凈室的認證潔凈室的認證 認證內(nèi)容及測試方法認證內(nèi)容及測試方法