實(shí)驗(yàn)3 橢圓儀測量薄膜厚度

1、實(shí)驗(yàn)3 橢圓儀測量薄膜厚度 目錄 實(shí)驗(yàn)?zāi)康?實(shí)驗(yàn)原理 實(shí)驗(yàn)設(shè)備 實(shí)驗(yàn)步驟一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康慕Y(jié)合傳統(tǒng)的測試方法去理解自動(dòng)橢圓偏振測厚儀的工作原理，并且熟悉其操作的軟件平臺(tái)；用橢偏儀測量Si襯底上的SiO2薄膜的折射率和厚度。 二、實(shí)驗(yàn)原理使一束自然光經(jīng)起偏器變成線偏振光。再經(jīng)1/4波片，使它變成橢圓偏振光入射在待測得膜上。反射時(shí)，光的偏振狀態(tài)將發(fā)生變化。通過檢測這種變化，便可以推算出待測膜面的某些光學(xué)參數(shù)。三、實(shí)驗(yàn)設(shè)備：自動(dòng)橢圓偏振測厚儀光路圖測試完成三、實(shí)驗(yàn)設(shè)備：SGC-2型自動(dòng)橢圓偏振測厚儀三、實(shí)驗(yàn)設(shè)備：軟件界面四、實(shí)驗(yàn)步驟同同時(shí)時(shí)也要保也要保證證反射光反射光進(jìn)進(jìn)入接入接收端小孔收端小孔1 1、設(shè)

2、設(shè)置光源置光源2 2、設(shè)設(shè)置置入射角入射角3 3、設(shè)設(shè)置置襯襯底底同同時(shí)時(shí)也要也要設(shè)設(shè)置置設(shè)備設(shè)備的入的入射角射角四、實(shí)驗(yàn)步驟1 1、點(diǎn)、點(diǎn)擊擊設(shè)設(shè)置置2 2、設(shè)設(shè)置置測測量方量方式式為為快速快速測測量量四、實(shí)驗(yàn)步驟點(diǎn)點(diǎn)擊開擊開始始進(jìn)進(jìn)行行測測量量四、實(shí)驗(yàn)步驟1 1、測測量量結(jié)結(jié)束束彈彈出如下框出如下框2 2、點(diǎn)、點(diǎn)擊擊快速出快速出結(jié)結(jié)果果四、實(shí)驗(yàn)步驟記錄記錄下薄膜折射下薄膜折射率、薄膜基厚度、率、薄膜基厚度、厚度周期厚度周期記錄記錄下消光點(diǎn)下消光點(diǎn)四、實(shí)驗(yàn)步驟1 1、點(diǎn)、點(diǎn)擊設(shè)擊設(shè)置置2 2、設(shè)設(shè)置置測測量量方式方式為為做做圖圖測測量量四、實(shí)驗(yàn)步驟點(diǎn)點(diǎn)擊開擊開始始進(jìn)進(jìn)行行測測量量四、實(shí)驗(yàn)步驟

3、數(shù)數(shù)據(jù)點(diǎn)所在位置據(jù)點(diǎn)所在位置點(diǎn)點(diǎn)擊開擊開始始繪圖繪圖，繪繪制薄膜厚度曲制薄膜厚度曲線線四、實(shí)驗(yàn)步驟160nm160nm對(duì)應(yīng)對(duì)應(yīng)的曲的曲線線150nm150nm對(duì)應(yīng)對(duì)應(yīng)的曲的曲線線四、實(shí)驗(yàn)步驟通通過繪圖過繪圖可知，可知，數(shù)數(shù)據(jù)點(diǎn)在據(jù)點(diǎn)在155nm155nm和和156nm156nm之之間間修改上下修改上下線線和精度和精度修改修改圖圖像像放大倍放大倍數(shù)數(shù)四、實(shí)驗(yàn)步驟切切換換模式，模式，畫畫曲曲線尋線尋找折射率找折射率四、實(shí)驗(yàn)步驟修改上下限修改上下限修改精度修改精度修改放大倍修改放大倍數(shù)數(shù)逼近逼近數(shù)數(shù)據(jù)點(diǎn)據(jù)點(diǎn)四、實(shí)驗(yàn)步驟填填入前面作入前面作圖圖法法獲獲得厚得厚度和折射率，度和折射率，得到周期厚度得到周期厚度四、實(shí)驗(yàn)步驟1 1、點(diǎn)、點(diǎn)擊設(shè)擊設(shè)置置2 2、設(shè)設(shè)置置測測量量方式方式為查為查表表四、實(shí)驗(yàn)步驟點(diǎn)點(diǎn)擊開擊開始始進(jìn)進(jìn)行行測測量量四、實(shí)驗(yàn)步驟點(diǎn)點(diǎn)擊擊建表建表四、實(shí)驗(yàn)步驟點(diǎn)點(diǎn)擊擊建表建表四、實(shí)驗(yàn)步驟厚