STS8200硬件手冊(cè)新版

1、STS8200硬件手冊(cè)（Rev 1.01）1目錄目錄1STS8200 系統(tǒng)概述.31.1STS8200 系統(tǒng)規(guī)格.31.2STS8200 系統(tǒng)工作環(huán)境.51.3STS8200 系統(tǒng)電性能指標(biāo).51.4STS8200 系統(tǒng)構(gòu)成.61.4.1PC 機(jī).81.4.2總線接口卡 .81.4.3機(jī)械手接口卡 .91.4.4探針臺(tái)接口卡（選配） .181.4.5測(cè)試主機(jī) .181.4.6標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試盒 .222STS8200 插件箱模塊.292.1雙路電壓電流源 DVI400.292.1.1技術(shù)指標(biāo) .292.1.2原理框圖 .302.1.3應(yīng)用指南 .302.2雙路功率電壓電流源 PVI10.322.2.1

2、技術(shù)指標(biāo) .322.2.2原理框圖 .332.2.3應(yīng)用指南 .342.3八路電壓電流源 OVI40.372.3.1技術(shù)指標(biāo) .372.3.2理框圖 .382.3.3應(yīng)用指南 .382.4雙通道浮動(dòng)電壓電流源模塊 FPVI10.412.4.1技術(shù)指標(biāo) .412.4.2原理框圖 .422.4.3應(yīng)用指南 .432.5八通道浮動(dòng)電壓電流源模塊 FOVI100.522.5.1技術(shù)指標(biāo) .522.5.2原理框圖 .532.5.3應(yīng)用指南 .542.6四通道全浮動(dòng)差分電壓表模塊 QVM.622.6.1技術(shù)指標(biāo) .622.6.2原理框圖 .642.6.3應(yīng)用指南 .652.71000V 浮動(dòng)電壓電流源 H

3、VI1K .702.7.1技術(shù)指標(biāo) .702.7.2原理框圖 .712.7.3應(yīng)用指南 .712.8用戶板控制模塊 CBIT128.7422.8.1技術(shù)指標(biāo) .742.8.2原理框圖 .742.8.3應(yīng)用指南 .752.9精密交流源表模塊 ACSM_PLUS.792.9.1技術(shù)指標(biāo) .792.9.2原理框圖 .812.9.3應(yīng)用指南 .812.10四通道時(shí)間測(cè)量模塊 QTMU_PLUS.852.10.1技術(shù)指標(biāo) .852.10.2原理框圖 .862.10.3應(yīng)用指南 .862.11數(shù)字通道模塊 DIO.941.1.1技術(shù)指標(biāo) .942.11.1原理框圖 .951.1.2應(yīng)用指南 .962.12

4、32 路 TRMMING 板 TRM .1002.12.1技術(shù)指標(biāo) .1002.12.2原理框圖 .1012.12.3應(yīng)用指南 .101附錄 A 機(jī)械手/探針臺(tái)接口卡信號(hào)定義 .105附錄 B 用戶 DUT 卡插座定義 .10631 1 STS8200 系統(tǒng)概述系統(tǒng)概述STS8200 是為滿足大模小數(shù)類芯片測(cè)試需求而設(shè)計(jì)的測(cè)試系統(tǒng)，系統(tǒng)以先進(jìn)、合理的設(shè)計(jì)，優(yōu)良的精度和穩(wěn)定性，靈活的配置，強(qiáng)大的擴(kuò)充能力為客戶創(chuàng)造了其它同類系統(tǒng)難以達(dá)到的高性價(jià)比。系統(tǒng)的主要特點(diǎn)如下： PC 機(jī)通過 PCI 總線接口卡控制和管理測(cè)試主機(jī)。 Windows 7/XP / 2000 操作系統(tǒng)，C / C+語言編程，人性

5、化設(shè)計(jì)提供強(qiáng)大的軟件功能和便捷的操作。 測(cè)試主機(jī)采用 19 寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜，兩個(gè) 13 槽插件箱可插入多達(dá) 26 個(gè)硬件模塊。 系統(tǒng)提供最大電壓為1000V，電流為10A。 各硬件模塊可靈活配置為 1/2/4/8/16 工位工作模式，最大支持 16 工位同步并行測(cè)試。 單 PC 支持兩測(cè)試站乒乓（Station A/Station B）測(cè)試，兩測(cè)試站可PINGPING 測(cè)試不同品種器件。 雙 PC 支持 TWIN 工作模式，兩測(cè)試站可獨(dú)立測(cè)試不同器件品種。 長(zhǎng)達(dá) 3.5 米的輸出電纜連接用戶板（Dut Board），四線開爾文連接方式及屏蔽措施保證被測(cè)器件端的測(cè)試精度和穩(wěn)定性。 支持多種機(jī)械手、探

6、針臺(tái)工作。1.11.1 STS8200 系統(tǒng)規(guī)格系統(tǒng)規(guī)格STS8200 主要由兩部分組成，分別為測(cè)試主機(jī)和電腦（包括電腦支架），在不同的工作模式下系統(tǒng)規(guī)格有所不同。STS8200 單測(cè)試站及乒乓測(cè)試模式系統(tǒng)規(guī)格： 系統(tǒng)凈重：100kg 系統(tǒng)尺寸：見圖 1- 1。4圖 1- 1 STS8200 尺寸圖STS8200 TWIN 測(cè)試工作模式系統(tǒng)規(guī)格： 系統(tǒng)凈重：115kg 系統(tǒng)尺寸：見圖 1- 2。5圖 1- 2 STS8200 TWIN 尺寸圖1.21.2 STS8200 系統(tǒng)工作環(huán)境系統(tǒng)工作環(huán)境 系統(tǒng)工作溫度：10 30 系統(tǒng)工作濕度：20% 75%1.31.3 STS8200 系統(tǒng)電性能指標(biāo)

7、系統(tǒng)電性能指標(biāo) 系統(tǒng)電源要求：AC 220( 110% )，50Hz 系統(tǒng)額定功率：1.8KW 系統(tǒng)保險(xiǎn)絲規(guī)格：10A 系統(tǒng)開機(jī)瞬啟電流：60A61.41.4 STS8200 系統(tǒng)構(gòu)成系統(tǒng)構(gòu)成STS8200 系統(tǒng)由 PC 機(jī)、系統(tǒng)總線接口卡、機(jī)械手/探針臺(tái)接口卡、測(cè)試主機(jī)、測(cè)試盒等構(gòu)成。STS8200 多工位并行工作模式系統(tǒng)框圖：圖 1- 3 Parallel Multisite Test Mode表 1- 1 QuantityMainframe1 Computer1 Handler / Prober Card1Test Box1CBIT1281Test ModeParallel Multis

8、iteHardware Resources Independent resources for parallel testingSTS8200 乒乓測(cè)試工作模式系統(tǒng)框圖：7圖 1- 4 Ping-Pong Test Mode表 1- 2QuantityMainframe1 Computer1 Handler / Prober Card2 cards in the same computerTest Box2CBIT1282（StationA and StationB）Test ModePing-Pong (StationA / StationB)Hardware Resources Switc

9、h the same resources between StationA and StationBSTS8200 TWIN 測(cè)試工作模式系統(tǒng)框圖:圖 1- 5 Twin Test Mode8表 1- 3QuantityMainframe1 Computer2Handler / Prober Card2 (one card per computer)Test Box2CBIT1282（one board per cage ）Test ModeTWIN(Unit1 / Unit2)Hardware Resources Unit1 and Unit2 using absolutely differ

10、ent resources1.4.11.4.1PC 機(jī)機(jī)STS8200 系統(tǒng)所用 PC 機(jī)應(yīng)不低于以下配置： 2.4GHz CPU 1G 內(nèi)存 40G 硬盤 1024 x 768 彩色顯示器 2 個(gè)以上 PCI 插槽（用于插入系統(tǒng)總線接口卡和機(jī)械手 / 探針臺(tái)接口卡,乒乓測(cè)試模式占用 3 個(gè) PCI 插槽）。 裝有 Windows 7/XP / 2000 操作系統(tǒng)和 Visual C+軟件。1.4.21.4.2總線接口卡總線接口卡9 圖 1- 6 總線接口卡和 68 芯通訊電纜總線接口卡 IF8001 置于 PC 內(nèi)，通過 68 芯電纜和測(cè)試主機(jī)進(jìn)行連接，同時(shí)驅(qū)動(dòng)上下兩個(gè)插件箱背板上的總線模塊

11、（SM8001），以實(shí)現(xiàn) PC 和測(cè)試主機(jī)之間數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)換和驅(qū)動(dòng)。1.4.31.4.3機(jī)械手接口卡機(jī)械手接口卡1.4.3.1接口卡簡(jiǎn)要說明接口卡簡(jiǎn)要說明10圖 1- 7 機(jī)械手接口卡機(jī)械手接口卡（即 Handler 卡）置于 PC 內(nèi)，用于實(shí)現(xiàn) PC 和 Handler 之間的通訊。其特點(diǎn)是：每塊卡最多支持 4 工位測(cè)試；接口采用 TTL 電平；每一工位提供 8 個(gè) BIN 信號(hào)。圖 1- 8 機(jī)械手主要信號(hào)BIN、EOT、SOT 信號(hào)定義如表 1- 4 所示：表 1- 4Signal NameInput/OutputNoteCSx_BINnOBINn of Contact Site xCSx_

12、EOTOEOT (End of Test) of Contact Site xCSx_SOTISOT (Start of Test) of Contact Site x11CSx_EOWIEOW (End of Wafer) of Contact Site xCSx_RETESTIRETEST of Contact Site x+5V-+5V Power output Pin, regulated 5V/500mAGND-Signal/Power GND PinNC-No Connection接口卡采用 62 芯 CD 型 PCB 插座，通過電纜與機(jī)械手連接，其接口信號(hào)定義如圖 1- 9 所示

13、。圖 1- 9 Handler 卡輸出信號(hào)接口定義注意：Handler 卡內(nèi)為 0.5A 保險(xiǎn)絲。Handler 卡可提供+5V 電壓，如圖 1- 9 紅色方框所示。當(dāng) Handler 自己提供12+5V 電壓時(shí)，與測(cè)試機(jī)的+5V 不能短接，否則會(huì)燒壞 Handler 卡保險(xiǎn)絲。1.4.3.2接口信號(hào)時(shí)序接口信號(hào)時(shí)序典型機(jī)械手接口信號(hào)時(shí)序如圖 1- 10 所示。圖 1- 10 典型機(jī)械手接口信號(hào)時(shí)序1.4.3.3機(jī)械手接口設(shè)置機(jī)械手接口設(shè)置13圖 1- 11 Handler 通訊軟件設(shè)置界面1.4.3.3.1Timing Definition圖 1- 12 T1-T5 時(shí)序設(shè)置界面Timing

14、 definition 設(shè)置如下： T1 為測(cè)試機(jī)一次測(cè)試結(jié)束后到發(fā)出 BIN 信號(hào)的延時(shí)，這個(gè)過程一般不需要延時(shí)，建議設(shè)為 0。 T2 的延時(shí)比 T4 長(zhǎng) 1ms 以上，使 T2 包含 T4。(T2 和 T4 的具體時(shí)間根據(jù) Handler 確定) T3 建議設(shè)到 01ms 之間，保證 EOT 的前沿跳變慢于 BIN 的前跳變沿。14注意：1. Handler 的工作模式是先收到 EOT 信號(hào)，然后去檢測(cè) BIN 信號(hào)。2.若 T3 設(shè)置過短，有些 handler 會(huì)造成報(bào)警。比如沒有收到 EOT 信號(hào)或者收到多個(gè) BIN 信號(hào)。 T5 為發(fā)出 BIN 信號(hào)后沿跳變到讀取 SOT 狀態(tài)間的延

15、時(shí)，由 Handler 的動(dòng)作時(shí)間決定，T5 需略小于 Handler 動(dòng)作時(shí)間。1.4.3.3.2Synchronous wait time圖 1- 13 同步等待時(shí)間設(shè)置界面Synchronous wait time 即同步等待時(shí)間。在多 SITE 測(cè)試中，當(dāng)測(cè)試機(jī)接收到 SOT(1)信號(hào)之后預(yù)留的時(shí)間間隔。如果在這個(gè)時(shí)間間隔內(nèi)接收到新的 SOT(2)信號(hào)，測(cè)試機(jī)會(huì)響應(yīng)在這段時(shí)間內(nèi)接受到的所有 SOT 信號(hào)，同時(shí)測(cè)試。超出這個(gè)時(shí)間間隔，測(cè)試機(jī)只對(duì)收到 SOT 信號(hào)的工位進(jìn)行測(cè)試。例如：測(cè)試機(jī)收到第一個(gè) SOT 信號(hào)后（假設(shè)收到 SITE1 的 SOT 信號(hào)），同步等待時(shí)間范圍內(nèi)，又收到了

16、SITE3 的 SOT 信號(hào)，則只對(duì) SITE1 和 SITE3進(jìn)行測(cè)試。注意：當(dāng)多工位測(cè)試時(shí)(假設(shè)雙工位，同步等待時(shí)間為 20ms)，如果 10ms內(nèi)收到兩個(gè) SOT 信號(hào)，則馬上開始測(cè)試(無需再等待 10ms)，測(cè)試完成后同時(shí)向兩個(gè) SITE 的 Handler 發(fā)出 EOT 和 BIN 信號(hào)。1.4.3.3.3Signal Definition圖 1- 14 SOT / EOT / BIN 信號(hào)設(shè)置界面 SOT：低電平脈沖，如圖 1- 15。15圖 1- 15 SOT 低電平脈沖：高電平脈沖，如圖 1- 16。圖 1- 16 SOT 高電平脈沖 Latched 鎖存功能：確定接收 SOT

17、 信號(hào)的觸發(fā)功能。：邊沿觸發(fā)，即信號(hào)有跳變的時(shí)候(高電平低電平)/(低電平高電平)觸發(fā)。：電平觸發(fā)，即信號(hào)穩(wěn)定(高電平或低電平)維持一段時(shí)間后觸發(fā)。注意：脈沖寬度小于 100us，選擇 Latched。 EOT & BIN：低電平脈沖，如圖 1- 17。16圖 1- 17 EOT&BIN 低電平脈沖：高電平脈沖，如圖 1- 18。圖 1- 18 EOT&BIN 高電平脈沖1.4.3.3.41.4.3.3.4輸出輸出/導(dǎo)入導(dǎo)入 Handler 配置文件說明配置文件說明圖 1- 19 配置文件設(shè)置界面：載入*.cfg 文件，以獲取該文件的 Handler 配置信息，默認(rèn)調(diào)用

18、 ghandler.cfg 文件。：保存當(dāng)前配置的 Handler 設(shè)置信息，會(huì)生成*.cfg 配置文件。171.4.3.3.51.4.3.3.5Bin 編碼格式編碼格式圖 1- 20 BIN 編碼設(shè)置界面 BCD 編碼格式：范圍 199，用 4 位二進(jìn)制數(shù)來表示 1 位十進(jìn)制數(shù)。例如：HW BIN=1， 對(duì)應(yīng) 0000 0001；HW BIN=11，對(duì)應(yīng) 0001 0001；HW BIN=99，對(duì)應(yīng) 1001 1001； HEX 編碼格式：范圍 1255。例如：HW BIN=1， 對(duì)應(yīng) 00000001；HW BIN=11， 對(duì)應(yīng) 00001011；HW BIN=99， 對(duì)應(yīng) 0110001

19、1；HW BIN=255，對(duì)應(yīng) 11111111； PARALLEL 編碼格式：范圍 18。HW BIN=1， 對(duì)應(yīng) 00000001；HW BIN=2， 對(duì)應(yīng) 00000010；HW BIN=3， 對(duì)應(yīng) 00000100；HW BIN=4， 對(duì)應(yīng) 00001000；HW BIN=5， 對(duì)應(yīng) 00010000；HW BIN=6， 對(duì)應(yīng) 00100000；HW BIN=7， 對(duì)應(yīng) 01000000；HW BIN=8， 對(duì)應(yīng) 10000000；1.4.3.3.61.4.3.3.6TTL 信號(hào)調(diào)試界面信號(hào)調(diào)試界面圖 1- 21 TTL 信號(hào)調(diào)試界面1.選擇相應(yīng)的工位和 BIN 信號(hào)182.接收到 S

20、OT 信號(hào)后的延時(shí)3.單次調(diào)試4.循環(huán)調(diào)試5.停止調(diào)試6.勾選則默認(rèn)收到 SOT 信號(hào)，發(fā)送 EOT 和 BIN 信號(hào)，SOT 時(shí)間間隔由標(biāo)注 2 確定7.清除窗口記錄注：重新插拔 Handler IFC，有時(shí)會(huì)導(dǎo)致 Handler IFC 驅(qū)動(dòng)失效，這時(shí)建議重新安裝 Handler IFC 驅(qū)動(dòng)。1.4.41.4.4探針臺(tái)接口卡（選配）探針臺(tái)接口卡（選配）圖 1- 22 探針臺(tái)接口卡STS8200 系統(tǒng)可提供選配 NI 公司的 GPIB-USB-HS 卡，用于實(shí)現(xiàn) PC 機(jī)和探針臺(tái)之間的 GPIB 通訊。1.4.51.4.5測(cè)試主機(jī)測(cè)試主機(jī)測(cè)試主機(jī)由機(jī)柜、插件箱（背板總線卡）、電源單元、風(fēng)扇

21、單元、機(jī)外電纜及標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試盒等幾部分構(gòu)成。19圖 1- 23 STS8200 測(cè)試主機(jī)前視、后視圖1.4.5.1機(jī)機(jī)柜柜系統(tǒng)采用標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜，其外形尺寸為 600（寬）x 640（深）x 1540（高）mm。1.4.5.2插件箱插件箱插件箱由結(jié)構(gòu)件、背板及背板上的相應(yīng)模塊構(gòu)成。插件箱為標(biāo)準(zhǔn) 8U 高度，機(jī)架上下可安裝 2 個(gè)插件箱。每個(gè)插件箱有 13 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)槽位，用于插接 SM8000系列插件箱模塊。槽位的標(biāo)準(zhǔn)間距為 30.48mm（1200 mill），大功率模塊允許占用 2 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)槽位。20 圖 1- 24 插件箱正面及背面插件箱前部標(biāo)注有各槽位插入模塊的型號(hào)及編號(hào)，建議所插入的模塊與該標(biāo)識(shí)保持

22、一致。圖 1- 25 插件箱模塊標(biāo)識(shí)1.4.5.3數(shù)字總線驅(qū)動(dòng)模塊數(shù)字總線驅(qū)動(dòng)模塊 SM8001數(shù)字總線驅(qū)動(dòng)模塊用于驅(qū)動(dòng)插件箱背板上的數(shù)據(jù)總線，每個(gè)插件箱需要一塊，并且上下兩個(gè)插件箱的數(shù)字總線驅(qū)動(dòng)模塊有所區(qū)別，模塊通過 68 芯雙絞壓接電纜輸出至測(cè)試主機(jī)側(cè)面。21圖 1- 26 數(shù)字總線驅(qū)動(dòng)模塊 SM80011.4.5.4電源單元電源單元STS8200 系統(tǒng)有標(biāo)準(zhǔn)電源單元，向兩個(gè)插件箱提供交直流供電。表 1- 5標(biāo)稱電壓負(fù)載電流用途+7.5V DC5A數(shù)字器件電源（VCC）+7.5V DC10A5V 繼電器電源（J+5V）18V DC5.6A15V 模擬器件電源（VDD、VSS）28V DC6

23、A24V 模擬器件電源48V DC5A48V 功率級(jí)電源110V AC7A110V 交流浮動(dòng)電源，頻率 19.5KHz，最大輸出功率 800W1.4.5.5風(fēng)扇單元風(fēng)扇單元22STS8200 整機(jī)安裝了兩組風(fēng)扇單元（標(biāo)準(zhǔn) 1U 高度），每組風(fēng)扇單元裝有四個(gè)直流 12V 的風(fēng)扇，用于插件箱模塊的散熱，以保證系統(tǒng)的散熱效果。1.4.5.6啟動(dòng)、關(guān)閉按鈕啟動(dòng)、關(guān)閉按鈕及緊急開關(guān)及緊急開關(guān)電源啟動(dòng)及關(guān)閉按鈕在測(cè)試主機(jī)的右上方，按綠色啟動(dòng)（ON）按鈕測(cè)試主機(jī)上電，此時(shí)綠色電源指示燈會(huì)被點(diǎn)亮。按紅色關(guān)閉（OFF）按鈕測(cè)試主機(jī)斷電。發(fā)生緊急情況時(shí)，請(qǐng)拍下緊急開關(guān)發(fā)生緊急情況時(shí)，請(qǐng)拍下緊急開關(guān)。注意：為了安全

24、 STS8200 設(shè)計(jì)了電源延遲設(shè)定，按下啟動(dòng)/關(guān)閉按鈕后會(huì)有 5 秒的延遲相應(yīng)。1.4.61.4.6標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試盒標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試盒STS8200 測(cè)試系統(tǒng)目前有三種測(cè)試盒，分別是測(cè)試盒 Rev1.3、測(cè)試盒Rev1.4、測(cè)試盒 Rev2.0。測(cè)試盒外觀如圖 1- 27 所示。圖 1- 27 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試盒表 1- 6STS8200Test Box VersionRev1.3Rev1.4Rev2.0Interface BoardSX8100 Rev1.3 SX8100 Rev1.4SX8100 Rev2.023Load BoardSU8100 Rev1.2 SU8100 Rev1.3SU8100 Rev2.

25、0ResourcesChannel quantityOVI40/DVI400/ FOVI10032 x OVI+16 x DVI32 x OVI+16 x DVIor32 x FOVI+16 x DVI or48 x FOVI32 x OVI+16 x DVIor32 x FOVI+16 x DVIor48 x FOVIPVI10884FPVI10448QVM444QTMU_PLUS444ACSM_PLUS444CBIT1281281281281.4.6.1測(cè)試盒測(cè)試盒 Rev1.3表 1- 7Interface BoardSX8100 Rev1.3Front-PanelFigure 1-28

26、Load BoardSU8100 Rev1.2, Figure 1-2924圖 1- 28 測(cè)試盒 Rev1.3 前面板印字表 1- 8測(cè)試盒 Rev1.3 電纜插座對(duì)應(yīng)模塊數(shù)量對(duì)應(yīng)模塊通道數(shù)量2 個(gè) CBIT 插座和 1 個(gè) POW 插座1 塊 CBIT128128 x C-Bits2 個(gè) DVI 插座8 塊 DVI40016 x DVI2 個(gè) PVI 插座4 塊 PVI108 x PVI2 個(gè) OVI 插座2 塊 OVI4016 x OVI2 個(gè) QVI 插座(option for DVI or OVI)2 塊 OVI40/8 塊 DVI40016 x OVI/16 x DVI1 個(gè) FV

27、I 插座2 塊 FPVI104 x FPVITMU 插座1 塊 QTMU_PLUS4 x QTMUACSM 插座1 塊 ACSM_PLUS4 x ACSMQVM 插座1 塊 QVM4 x QVM圖 1- 29 SU8100 Rev1.2 資源定義251.4.6.2測(cè)試盒測(cè)試盒 Rev1.4表 1- 9Interface BoardSX8100 Rev1.4Front-PanelFigure 1-30Load BoardSU8100 Rev1.3, Figure1-31圖 1- 30 測(cè)試盒 Rev1.4 前面板印字表 1- 10測(cè)試盒 Rev1.4 電纜插座對(duì)應(yīng)模塊數(shù)量對(duì)應(yīng)模塊通道數(shù)量2 個(gè)

28、CBIT 插座和 1 個(gè) POW 插座1 塊 CBIT128128 x C-Bits2 個(gè) DVI/FOVI 插座8 塊 DVI400or2 塊 FOVI100or4 塊 DVI400 + 1 塊 FOVI10016 x DVIor16 x FOVIor8 x DVI + 8 x FOVI2 個(gè) PVI 插座4 塊 PVI108 x PVI2 個(gè) OVI/FOVI 插座2 塊 OVI40or2 塊 FOVI100or1 塊 OVI40 + 1 塊 FOVI10016 x OVIor16 x FOVIor8 x OVI + 8 x FOVI262 個(gè) QVI/FOVI 插座2 塊 OVI40or

29、2 塊 FOVI100or1 塊 OVI40 + 1 塊 FOVI10016 x OVIor16 x FOVIor8 x OVI + 8 x FOVI1 個(gè) FPVI 插座2 塊 FPVI104 x FPVITMU 插座1 塊 QTMU_PLUS4 x QTMUACSM 插座1 塊 ACSM_PLUS4 x ACSMQVM 插座1 塊 QVM4 x QVM圖 1- 31 SU8100 Rev1.3 資源定義1.4.6.3測(cè)試盒測(cè)試盒 Rev2.0表 1- 11Interface BoardSX8100 Rev2.0Front-PanelFigure 1-3227Load BoardSU8100

30、 Rev2.0, Figure 1-33圖 1- 32 測(cè)試盒 Rev2.0 前面板印字表 1- 12測(cè)試盒 Rev2.0 電纜插座對(duì)應(yīng)模塊數(shù)量對(duì)應(yīng)模塊通道數(shù)量2 個(gè) CBIT 插座和1 個(gè) POW 插座1 塊 CBIT128128 x C-Bits2 個(gè) DVI/FOVI 插座8 塊 DVI400or2 塊 FOVI100or4 塊 DVI400 + 1 塊 FOVI10016 x DVIor16 x FOVIor8 x DVI + 8 x FOVI1 個(gè) PVI 插座2 塊 PVI104 x PVI2 個(gè) FPVI 插座4 塊 FPVI108 x FPVI2 個(gè) OVI/FOVI 插座2

31、塊 OVI40or2 塊 FOVI100or1 塊 OVI40 + 1 塊 FOVI10016 x OVIor16 x FOVIor8 x OVI + 8 x FOVI2 個(gè) QVI/FOVI 插座2 塊 OVI40or2 塊 FOVI10016 x OVIor16 x FOVI28or1 塊 OVI40 + 1 塊 FOVI100or8 x OVI + 8 x FOVITMU 插座1 塊 QTMU_PLUS4 x QTMUACSM 插座1 塊 ACSM_PLUS4 x ACSMQVM 插座1 塊 QVM4 x QVM圖 1- 33 SU8100 Rev2.0 資源定義292 2 STS820

32、0 插件箱模塊插件箱模塊2.12.1 雙路電壓電流源雙路電壓電流源 DVI400SM8103 雙通道電壓電流源模塊是 STS 8200 系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)模塊，模塊提供雙路精密四象限恒壓、恒流、測(cè)壓、測(cè)流通道，其主要性能如下： 單板雙通道，每通道自帶獨(dú)立的地線補(bǔ)償信號(hào)（DGS） 四象限輸出電壓電流 帶遠(yuǎn)端地線補(bǔ)償?shù)?Kelvin 連接 16 位測(cè)試分辨率 16 位驅(qū)動(dòng)分辨率 6 個(gè)電壓量程檔：- 50V(最大輸出40V )，20V，10V，5V，2V，1V 6 個(gè)電流量程檔：- 400mA，40mA，4mA，400uA，40uA，4uA 每通道具備可編程窗口式電壓及電流箝位 支持 16 工位并行測(cè)試

33、及乒乓（Station A/Station B）工作模式 本板保存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)2.1.12.1.1 技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)表 2- 1 DVI400 SpecificationsForce/Measure Voltage RangesAccuracy (%FS)50V(Max output 40V)，20V，10V，5V，2V，1V0.05%Force/Measure Current RangesAccuracy (%FS)400mA，40mA，4mA，400uA，40uA0.1%304uA0.5%Clamp Current RangesAccuracy (%FS)400mA，40mA，4mA，400u

34、A，40uA0.25%4uA0.5%Clamp Voltage RangesAccuracy (%FS)50V，20V，10V，5V，2V，1V0.25%2.1.22.1.2原理框圖原理框圖圖 2- 1 DVI400 Block Diagram -1 Channel of 22.1.32.1.3應(yīng)用指南應(yīng)用指南2.1.3.1外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)DVI400 模塊的外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)（未裝屏蔽板）如圖 2- 2 所示。系統(tǒng)最多支持 16 塊 DVI400 模塊工作。31圖 2- 2 DVI400 外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)2.1.3.2對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接32圖 2- 3 DVI

35、400 對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接2.22.2 雙路功率電壓電流源雙路功率電壓電流源 PVI10SM8102 雙通道功率電壓電流源模塊是 STS 8200 系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)模塊，模塊提供雙路精密四象限恒壓、恒流、測(cè)壓、測(cè)流通道，其主要性能如下： 單板雙通道，每通道自帶獨(dú)立的地線補(bǔ)償信號(hào)（DGS） 四象限輸出電壓電流 帶遠(yuǎn)端地線補(bǔ)償?shù)?Kelvin 連接 16 位測(cè)試分辨率 16 位驅(qū)動(dòng)分辨率 6 個(gè)電壓量程檔：- 50V(最大輸出40V )，20V，10V，5V，2V，1V 6 個(gè)電流量程檔：- 10A(脈沖)，1A，100mA，10mA，1mA，100uA 每通道具備可編程窗口式電壓及電流箝位 支持 16

36、工位并行測(cè)試及乒乓（Station A/Station B）工作模式 本板保存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)2.2.12.2.1 技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)33表 2- 2 PVI10 SpecificationsForce/Measure Voltage RangesAccuracy (%FS)50V(Max output 40V)，20V，10V，5V，2V，1V0.05%Force/Measure Current RangesAccuracy (%FS)1A，100mA，10mA，1mA，100uA0.1%10A(Pulse)1%Clamp Current RangesAccuracy (%FS)1A，100mA，10

37、mA，1mA，100uA0.25%10A1%Clamp Voltage RangesAccuracy (%FS)50V，20V，10V，5V，2V，1V0.25%2.2.22.2.2原理框圖原理框圖圖 2- 4 PVI10 Block Diagram -1 Channel of 2342.2.32.2.3應(yīng)用指南應(yīng)用指南2.2.3.1外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)PVI10 模塊的外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)（未裝屏蔽板）如圖 2- 5 所示。系統(tǒng)最多支持 8 塊 PVI10 模塊工作。圖 2- 5 PVI10 外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)2.2.3.2對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接35圖 2- 6 PVI1

38、0 對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接362.2.3.3脈沖輸出功率曲線脈沖輸出功率曲線圖 2- 7 PVI10 脈沖輸出功率曲線372.32.3 八路電壓電流源八路電壓電流源 OVI40SM8108 八通道電壓電流源模塊是 STS 8200 系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)模塊，模塊提供八路相同的精密四象限恒壓、恒流、測(cè)壓、測(cè)流通道，其主要性能如下： 單板八通道，每四通道為一組（每組共用一個(gè)地線補(bǔ)償信號(hào)（DGS） 四象限輸出電壓電流 帶遠(yuǎn)端地線補(bǔ)償?shù)?Kelvin 連接 16 位測(cè)試分辨率 16 位驅(qū)動(dòng)分辨率 4 個(gè)電壓量程檔：- 20V，10V，5V，2V 5 個(gè)電流量程檔：- 40mA，4mA，400uA，40uA，4uA 每

39、通道具備可編程窗口式電壓及電流箝位 支持 16 工位并行測(cè)試及乒乓（Station A/Station B）工作模式 本板保存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)2.3.12.3.1 技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)表 2- 3 OVI40 SpecificationsForce/Measure Voltage RangesAccuracy (%FS)20V，10V，5V，2V0.05%Force/Measure Current RangesAccuracy (%FS)40mA，4mA，400uA，40uA0.1%4uA0.5%Clamp Current RangesAccuracy (%FS)3840mA，4mA，400uA，40uA

40、0.25%4uA1%Clamp Voltage RangesAccuracy (%FS)20V，10V，5V，2V0.25%2.3.22.3.2理框圖理框圖 圖 2- 8 OVI40 Block Diagram -4 Channels of 82.3.32.3.3應(yīng)用指南應(yīng)用指南392.3.3.1外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)OVI40 模塊的外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)（未裝屏蔽板）如圖 2- 9 所示。系統(tǒng)最多支持 16 塊 OVI40 模塊工作。圖 2- 9 OVI40 外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)2.3.3.2對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接40圖 2- 10 OVI40 對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接412.42.4

41、 雙通道浮動(dòng)電壓電流源模塊雙通道浮動(dòng)電壓電流源模塊 FPVI10SM8122 雙通道浮動(dòng)功率電壓電流源模塊是 STS 8200 系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)模塊，模塊提供雙路全浮動(dòng)、最大電流 10A（脈沖）及 1A（直流）的精密四象限 VI源輸出，其主要性能如下： 單板雙通道，每通道獨(dú)立浮動(dòng) 四象限輸出電壓電流 帶遠(yuǎn)端地線補(bǔ)償?shù)?Kelvin 連接 7 個(gè)電壓量程檔：- 50V(最大輸出40V )，20V，10V，5V，2V，1V，100mV(僅測(cè)量) 7 個(gè)電流量程檔：- 10A(脈沖)，1A，100mA，10mA，1mA，100uA，10uA（僅測(cè)量） 每通道電壓電流可同時(shí)測(cè)量 每通道具備獨(dú)立電壓測(cè)量模式

42、（Volt Meter Mode） 每通道具備硬件數(shù)據(jù)處理功能，包括最大值、最小值、平均值及跳變值 每通道具備可編程窗口式電壓及電流箝位 每通道具備獨(dú)立的限流保護(hù)功能 SM8122 Rev1.20 以上版本的隔離電壓為 1000V，以下版本為 200V 支持與 STS 8200 系統(tǒng)內(nèi) FOVI100、QVM 和 DIO 模塊同步 支持 16 工位并行測(cè)試及乒乓（Station A/Station B）工作模式 本板保存校準(zhǔn)數(shù)據(jù) 本板自帶溫度監(jiān)測(cè)功能2.4.12.4.1技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)42表 2- 4 FPVI10 SpecificationsResolutionPattern Depth/

43、Per ChannelDA Update RateAWG StepAWG16bit4K100KHz100usResolutionCapture Memory/ Per ChannelMaximum Sample RateDigitizer16bit4K500kSPSForce/Measure Voltage RangesResolutionAccuracy (%FS)50V(Max output 40V)，20V，10V，5V，2V，1V16bit0.05%100mV(Only Measuring)16bit0.4%Force/Measure Current RangesResolutionA

44、ccuracy (%FS)1A，100mA，10mA，1mA，100uA16bit0.1%10A(Pulse)，10uA (Only Measuring)16bit0.5%Clamp Voltage RangesResolutionAccuracy (%FS)50V，20V，10V，5V，2V，1V16bit0.25%100mV16bit2%Clamp Current RangesResolutionAccuracy (%FS)1A，100mA，10mA，1mA，100uA16bit0.25%10A，10uA16bit1%2.4.22.4.2原理框圖原理框圖43圖 2- 11 FPVI10 B

45、lock Diagram-1 Channel of 22.4.32.4.3應(yīng)用指南應(yīng)用指南2.4.3.1 外觀結(jié)構(gòu)外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)及地址開關(guān)FPVI10 模塊的外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)（未裝屏蔽板）如圖 2- 12 所示。系統(tǒng)最多支持 16 塊 FPVI10 模塊工作。44圖 2- 12 FPVI10 外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)2.4.3.2 對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接45圖 2- 13 FPVI10 對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接2.4.3.3 四象限輸出能力四象限輸出能力FPVI10 每通道在 20V 以下量程可以輸出 1A 直流，20V 以上量程可輸出400mA 直流，全電壓范圍檔內(nèi)可脈沖輸出 10A 電流。其四

46、象限電壓電流輸出范圍如圖 2- 14 所示。圖 2- 14 FPVI10 四象限電壓電流輸出范圍462.4.3.4 脈沖輸出功率曲線脈沖輸出功率曲線當(dāng) FPVI10 處于 10A 電流檔，編程時(shí)請(qǐng)參考輸出功率曲線范圍，并正確的調(diào)整輸出占空比，以確保加在被測(cè)器件上的輸出電壓及輸出電流的正確。47圖 2- 15 FPVI10 10A 檔脈沖輸出功率曲線4810A 電流檔對(duì)應(yīng)的輸出電壓電流功率曲線如圖 2- 16： 圖 2- 16 FPVI10 10A 檔脈沖功率曲線2.4.3.5 脈沖工作模式下時(shí)間設(shè)置脈沖工作模式下時(shí)間設(shè)置大電流脈沖工作模式下依靠電容儲(chǔ)能，在脈沖大電流后，會(huì)依靠 400mA 的恒

47、流源充電，直至電容充滿。因此連續(xù)大電流輸出時(shí)，需要合理控制輸出占空比以確保電容儲(chǔ)能可以恢復(fù)。用戶在脈沖工作模式下，可以按下式估算脈沖輸出后的等待時(shí)間：TpulseTdelayIoutput圖 2- 17 FPVI10 脈沖工作模式下時(shí)間設(shè)置Tdelay = Tpulse * Ioutput / 0.4 其中 Ioutput 為脈沖電流值，單位為 A；Tpulse 為電流脈沖持續(xù)時(shí)間，單位為 s；Tdelay 為脈沖輸出后電容儲(chǔ)能恢復(fù)所需的等待時(shí)間，單位為 s。492.4.3.6 浮動(dòng)源疊加原理浮動(dòng)源疊加原理2.4.3.6.1電壓串聯(lián)疊加電壓串聯(lián)疊加FV 模式下，典型的電壓源和電壓源疊加如圖 2

48、- 18 所示。此時(shí)疊加后的輸出電壓 V=V1+V2。圖 2- 18 電壓源和電壓源串聯(lián)疊加原理圖注意事項(xiàng)：1. 對(duì)于四線開爾文連接的 VI 源，在實(shí)際使用過程中，F(xiàn)orce 線與 Sense 線最終需要在被測(cè)器件引腳端短路，以確保電壓的精準(zhǔn)度。同樣，當(dāng)兩路浮動(dòng)源串聯(lián)疊加時(shí)，兩路浮動(dòng)源在疊加處 F/S 信號(hào)也應(yīng)當(dāng)提前短路，以確保兩路源輸出的精度，正確的連接方法如圖 2- 19 所示。而采用圖 2- 20 所示的連接方式，F(xiàn)/S 在疊加處未提前短接，相當(dāng)于 VI 源輸出一端開爾文開路，有可能導(dǎo)致疊加后 VI 的輸出的精度損失，甚至功能異常。圖 2- 19 正確連接方式50 圖 2- 20 錯(cuò)誤連

49、接方式2. 串聯(lián)在最下方的浮動(dòng)電壓源的電流檔位或箝位電流，應(yīng)大于串聯(lián)在上面的所有電壓源的箝位電流之和，以確保當(dāng)上端的某路 VI 源進(jìn)入電流箝位時(shí)，其他路 VI 源依然可以工作正常。例如：在 FPVI1 上疊加四路 FOVI（即 FOVI1、FOVI2、FOVI3、FOVI4），如圖 2- 21 所示，此時(shí)應(yīng)滿足 ClampI FPVI1 ClampI FOVI1 + ClampI FOVI2 + ClampI FOVI3 + ClampI FOVI4。圖 2- 21 多路浮動(dòng)源串聯(lián)疊加示意圖3. 如圖 2- 18 所示，電壓源串聯(lián)疊加使用時(shí)，在編程中正確的操作為先將V1、V2 的狀態(tài)設(shè)置為 F

50、V 為 0，然后再分別設(shè)置 V1 和 V2 的輸出電壓。2.4.3.6.2電流并聯(lián)疊加電流并聯(lián)疊加FI 模式下，典型的電流源和電流源疊加如圖 2- 22 所示。此時(shí)疊加之后的輸出電流 I=I1+I2。51圖 2- 22 電流源和電流源并聯(lián)疊加原理圖注意事項(xiàng)：1. 電流源和電流源疊加一般用于大電流測(cè)試的應(yīng)用中，因此建議嚴(yán)格按照四線開爾文的方式連線，即每路電流源的 Force 和 Sense 線在被測(cè)器件遠(yuǎn)端短接以確保測(cè)試精度，而不能提前短接，正確的連接方式如圖 2- 23 所示。圖 2- 23 電流源和電流源并聯(lián)疊加連線示意圖2. 對(duì)于并聯(lián)的多路電流源，需滿足：設(shè)置相同的電壓檔位或箝位電壓；每路

51、源所選擇的箝位電壓檔或箝位電壓檔位應(yīng)滿足 V =（I1+I2）*R。3. 測(cè)試程序編寫時(shí)，相對(duì)安全的方法是先使用小電流檔位設(shè)置 FI=0（此時(shí)浮動(dòng)源可以近似為高阻狀態(tài)）將浮動(dòng)源疊加上去，待器件其它管腳狀態(tài)建立之后，再將浮動(dòng)源切換到大電流檔位輸出測(cè)試所需的電流值。522.52.5 八通道浮動(dòng)電壓電流源模塊八通道浮動(dòng)電壓電流源模塊 FOVI100SM8123 八通道浮動(dòng)電壓電流源模塊是 STS 8200 系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)模塊，模塊提供八路精密四象限 VI 源通道，每四個(gè)通道一組，兩組獨(dú)立全浮動(dòng)，其主要性能如下： 單板八通道分組浮動(dòng)，每組四通道（每組共用一路 FL 和 SL） 全四象限輸出電壓電流 帶遠(yuǎn)

52、端地線補(bǔ)償?shù)?Kelvin 連接 6 個(gè)電壓量程檔：- 50V(最大輸出40V )，20V，10V，5V，2V，1V 7 個(gè)電流量程檔：- 1A(脈沖)，100mA，10mA，1mA，100uA，10uA（僅測(cè)量） ，1uA（僅測(cè)量） 每通道電壓電流可同時(shí)測(cè)量 每通道具備獨(dú)立電壓測(cè)量模式（Volt Meter Mode） 每通道具備硬件數(shù)據(jù)處理功能，包括最大值、最小值、平均值及跳變值 每通道具備可編程窗口式電壓及電流箝位 每通道具備獨(dú)立的限流保護(hù)功能 SM8123 Rev1.20 以上版本的隔離電壓為 1000V，以下版本為 200V 支持與 STS 8200 系統(tǒng)內(nèi) FPVI10、QVM 和

53、 DIO 模塊同步 支持 16 工位并行測(cè)試及乒乓（Station A/Station B）工作模式 本板保存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)2.5.12.5.1技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)表 2- 5 FOVI100 SpecificationsAWGResolutionPattern Depth/ Per ChannelDA Update RateAWG step5316bit2K100KHz200usResolutionCapture Memory/ Per ChannelMaximum Sample RateDigitizer16bit2K100kSPSForce/Measure Voltage RangesResolu

54、tionAccuracy (%FS)50V(Max output 40V)，20V，10V，5V，2V，1V16bit0.05%Force/Measure Current RangesResolutionAccuracy (%FS)100mA，10mA，1mA，100uA16bit0.1%1A(Pulse)，10uA (Only Measuring)16bit0.5%1uA (Only Measuring)16bit1%Clamp Voltage RangesResolutionAccuracy (%FS)50V，20V，10V，5V，2V，1V16bit0.25%Clamp Current

55、RangesResolutionAccuracy (%FS)100mA，10mA，1mA，100uA16bit0.25%1A，10uA，1uA16bit1%2.5.22.5.2原理框圖原理框圖54圖 2- 24 FOVI100 Block Diagram2.5.32.5.3應(yīng)用指南應(yīng)用指南2.5.3.1 外觀結(jié)構(gòu)外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)及地址開關(guān)FOVI100 模塊的外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)（未裝屏蔽板）如圖 2- 25 和圖 2- 26所示。系統(tǒng)最多支持 16 塊 FOVI100 模塊工作。55圖 2- 25 FOVI100 外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)（SM8123 Rev1.10 版本）56圖 2- 26 F

56、OVI100 外觀結(jié)構(gòu)及地址開關(guān)（SM8123 Rev1.20 及以上版本）2.5.3.2 對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接57圖 2- 27 FOVI100 對(duì)應(yīng)測(cè)試盒連接2.5.3.3 四象限輸出能力四象限輸出能力FOVI100 每通道在全電壓范圍內(nèi)可輸出 100mA 直流及 1A 脈沖電流，四象限電壓電流輸出范圍如圖 2- 28 所示。58圖 2- 28 FOVI100 四象限電壓電流輸出范圍2.5.3.4 脈沖輸出功率曲線脈沖輸出功率曲線當(dāng)輸出電流大于 100mA 時(shí)，在編程時(shí)請(qǐng)參考輸出功率曲線范圍，并正確的調(diào)整輸出占空比，以確保加在被測(cè)器件上的輸出電壓及輸出電流的正確。在大電流輸出結(jié)束后

57、，電容儲(chǔ)能的補(bǔ)充依靠 150mA 恒流充電。充電時(shí)間在幾 ms 到80ms 不等。但并非所有的應(yīng)用都需要等待到電容完全充滿，可以根據(jù)后續(xù)程序合理安排等待時(shí)間。59圖 2- 29 FOVI100 1A 檔脈沖輸出功率曲線60輸出電流 200mA1A 時(shí)對(duì)應(yīng)的輸出電壓電流功率曲線圖如圖 2- 30：圖 2- 30 FOVI100 200mA1A 脈沖功率曲線輸出電流 400mA1A 時(shí)對(duì)應(yīng)的輸出電壓電流功率曲線圖如圖 2- 31： 圖 2- 31 FOVI100 400mA1A 脈沖功率曲線612.5.3.5 脈沖工作模式下時(shí)間設(shè)置脈沖工作模式下時(shí)間設(shè)置大電流脈沖工作模式下依靠電容儲(chǔ)能，在脈沖大電

58、流后，會(huì)依靠 150mA 的恒流源充電，直至電容充滿。因此連續(xù)大電流輸出時(shí)，需要合理控制輸出占空比以確保電容儲(chǔ)能可以恢復(fù)。用戶在脈沖工作模式下，可以按下式估算脈沖輸出后的等待時(shí)間：TpulseTdelayIoutput圖 2- 32 FOVI100 脈沖工作模式下時(shí)間設(shè)置Tdelay = Tpulse * Ioutput / 0.15 其中 Ioutput 為脈沖電流值，單位為 A；Tpulse 為電流脈沖持續(xù)時(shí)間，單位為 s；Tdelay 為脈沖輸出后電容儲(chǔ)能恢復(fù)所需的等待時(shí)間，單位為 s。622.62.6 四通道全浮動(dòng)差分電壓表模塊四通道全浮動(dòng)差分電壓表模塊 QVMSM8104 四通道全浮

59、動(dòng)電壓表模塊是 STS 8200 系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)模塊，模塊提供四路全浮動(dòng)差分電壓表。其主要性能如下： 單板最大四通道，每通道浮動(dòng)，可由用戶選擇配置為 2/4 個(gè)通道 具備 1MHz SPS 18bit 低速高精度測(cè)量模式 具備 10MHz SPS 12bit 高速測(cè)量模式 采樣速率可調(diào) 每通道具備 18bit x 64K 深度的存儲(chǔ)器 具備板上硬件數(shù)據(jù)處理功能，包括最大值、最小值、平均值、跳變值、RMS、FFT、THD、SNR、SINAD 高精度基準(zhǔn)輸出 隔離電壓 1000V 支持與 STS 8200 系統(tǒng)內(nèi) FPVI10、FOVI100 和 DIO 模塊同步 支持 16 工位并行測(cè)試及乒乓（S

60、tation A/Station B）工作模式 本板保存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)2.6.12.6.1技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)表 2- 6 QVM Specifications 1Sample Depth64K*18bits per channelMeasurement TypeMax、Min、Avg、Trigger point、RMS、FFT、THD、SNR、SINADBias Voltage10.0 V MaxMeasurement Range100V，50V，20V，10V，5V，2V，1V, 500mV，200mV，100mV18bit ADC 1MHzImpedance1G ( 10V Range )63Maximum Sampl