關(guān)于成立半導(dǎo)體設(shè)備公司可行性分析報告【范文參考】

1、泓域咨詢/關(guān)于成立半導(dǎo)體設(shè)備公司可行性分析報告關(guān)于成立半導(dǎo)體設(shè)備公司可行性分析報告xx有限責(zé)任公司報告說明從PVD市場格局來看，AMAT一家獨(dú)大，長期占據(jù)約80%的市占率。PVD市場主要供應(yīng)商包括AMAT、ULVAC、Evatec、KLA、TEL、北方華創(chuàng)等。根據(jù)Gartner，2020年北方華創(chuàng)的半導(dǎo)體PVD設(shè)備全球市占率為3%，屬于國內(nèi)領(lǐng)先地位。隨著國產(chǎn)替代加速，北方華創(chuàng)PVD業(yè)務(wù)有望加速成長。清洗機(jī)是將晶圓表面上產(chǎn)生的顆粒、有機(jī)物、自然氧化層、金屬雜質(zhì)等污染物去除，以獲得所需潔凈表面的工藝設(shè)備。從工藝應(yīng)用上來說，清洗機(jī)目前已廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中的成膜前/成膜后清洗、等離子刻蝕后清

2、洗、離子注入后清洗、化學(xué)機(jī)械拋光后的清洗和金屬沉積后清洗等各個環(huán)節(jié)。xx有限責(zé)任公司主要由xx集團(tuán)有限公司和xxx集團(tuán)有限公司共同出資成立。其中：xx集團(tuán)有限公司出資290.00萬元，占xx有限責(zé)任公司20%股份；xxx集團(tuán)有限公司出資1160萬元，占xx有限責(zé)任公司80%股份。根據(jù)謹(jǐn)慎財務(wù)估算，項(xiàng)目總投資46185.98萬元，其中：建設(shè)投資34802.89萬元，占項(xiàng)目總投資的75.35%；建設(shè)期利息401.57萬元，占項(xiàng)目總投資的0.87%；流動資金10981.52萬元，占項(xiàng)目總投資的23.78%。項(xiàng)目正常運(yùn)營每年?duì)I業(yè)收入101000.00萬元，綜合總成本費(fèi)用76526.76萬元，凈利潤17

3、940.29萬元，財務(wù)內(nèi)部收益率30.40%，財務(wù)凈現(xiàn)值29730.49萬元，全部投資回收期4.82年。本期項(xiàng)目具有較強(qiáng)的財務(wù)盈利能力，其財務(wù)凈現(xiàn)值良好，投資回收期合理。本期項(xiàng)目技術(shù)上可行、經(jīng)濟(jì)上合理，投資方向正確，資本結(jié)構(gòu)合理，技術(shù)方案設(shè)計優(yōu)良。本期項(xiàng)目的投資建設(shè)和實(shí)施無論是經(jīng)濟(jì)效益、社會效益等方面都是積極可行的。本報告基于可信的公開資料，參考行業(yè)研究模型，旨在對項(xiàng)目進(jìn)行合理的邏輯分析研究。本報告僅作為投資參考或作為參考范文模板用途。目錄第一章 籌建公司基本信息9一、 公司名稱9二、 注冊資本9三、 注冊地址9四、 主要經(jīng)營范圍9五、 主要股東9公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù)10公司合并利潤表主

4、要數(shù)據(jù)11公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù)12公司合并利潤表主要數(shù)據(jù)12六、 項(xiàng)目概況13第二章 行業(yè)發(fā)展分析16一、 光刻機(jī)：半導(dǎo)體制程工藝核心環(huán)節(jié)，將掩膜板圖形縮小16二、 測試設(shè)備：用于測試晶圓片及成品17三、 刻蝕設(shè)備：等離子刻蝕復(fù)雜程度高，且步驟逐漸增加18第三章 公司籌建方案21一、 公司經(jīng)營宗旨21二、 公司的目標(biāo)、主要職責(zé)21三、 公司組建方式22四、 公司管理體制22五、 部門職責(zé)及權(quán)限23六、 核心人員介紹27七、 財務(wù)會計制度28第四章 項(xiàng)目建設(shè)背景、必要性34一、 國內(nèi)需求爆發(fā)，國產(chǎn)替代空間快速打開34二、 全球市場受海外廠商主導(dǎo)，前五大廠商市占率較高35三、 培育壯大高新技

5、術(shù)產(chǎn)業(yè)36四、 堅(jiān)持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展，努力打造發(fā)展新動能37第五章 法人治理40一、 股東權(quán)利及義務(wù)40二、 董事45三、 高級管理人員48四、 監(jiān)事51第六章 發(fā)展規(guī)劃分析53一、 公司發(fā)展規(guī)劃53二、 保障措施54第七章 風(fēng)險評估分析57一、 項(xiàng)目風(fēng)險分析57二、 項(xiàng)目風(fēng)險對策59第八章 選址方案62一、 項(xiàng)目選址原則62二、 建設(shè)區(qū)基本情況62三、 初步建立自由貿(mào)易港政策制度體系63四、 積極推動高質(zhì)量發(fā)展，建設(shè)現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系67五、 項(xiàng)目選址綜合評價67第九章 項(xiàng)目環(huán)保分析68一、 編制依據(jù)68二、 環(huán)境影響合理性分析68三、 建設(shè)期大氣環(huán)境影響分析70四、 建設(shè)期水環(huán)境影響分析71五、

6、建設(shè)期固體廢棄物環(huán)境影響分析71六、 建設(shè)期聲環(huán)境影響分析72七、 建設(shè)期生態(tài)環(huán)境影響分析73八、 清潔生產(chǎn)73九、 環(huán)境管理分析75十、 環(huán)境影響結(jié)論76十一、 環(huán)境影響建議77第十章 進(jìn)度實(shí)施計劃78一、 項(xiàng)目進(jìn)度安排78項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計劃一覽表78二、 項(xiàng)目實(shí)施保障措施79第十一章 項(xiàng)目投資分析80一、 投資估算的編制說明80二、 建設(shè)投資估算80建設(shè)投資估算表82三、 建設(shè)期利息82建設(shè)期利息估算表83四、 流動資金84流動資金估算表84五、 項(xiàng)目總投資85總投資及構(gòu)成一覽表85六、 資金籌措與投資計劃86項(xiàng)目投資計劃與資金籌措一覽表87第十二章 經(jīng)濟(jì)效益分析89一、 經(jīng)濟(jì)評價財務(wù)測算8

7、9營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表89綜合總成本費(fèi)用估算表90固定資產(chǎn)折舊費(fèi)估算表91無形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷估算表92利潤及利潤分配表94二、 項(xiàng)目盈利能力分析94項(xiàng)目投資現(xiàn)金流量表96三、 償債能力分析97借款還本付息計劃表98第十三章 項(xiàng)目綜合評價說明100第十四章 附表102主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)一覽表102建設(shè)投資估算表103建設(shè)期利息估算表104固定資產(chǎn)投資估算表105流動資金估算表106總投資及構(gòu)成一覽表107項(xiàng)目投資計劃與資金籌措一覽表108營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表109綜合總成本費(fèi)用估算表109固定資產(chǎn)折舊費(fèi)估算表110無形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷估算表111利潤及利潤分配表112

8、項(xiàng)目投資現(xiàn)金流量表113借款還本付息計劃表114建筑工程投資一覽表115項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度計劃一覽表116主要設(shè)備購置一覽表117能耗分析一覽表117第一章 籌建公司基本信息一、 公司名稱xx有限責(zé)任公司（以工商登記信息為準(zhǔn)）二、 注冊資本1450萬元三、 注冊地址xxx四、 主要經(jīng)營范圍經(jīng)營范圍：從事半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)業(yè)務(wù)（企業(yè)依法自主選擇經(jīng)營項(xiàng)目，開展經(jīng)營活動；依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后依批準(zhǔn)的內(nèi)容開展經(jīng)營活動；不得從事本市產(chǎn)業(yè)政策禁止和限制類項(xiàng)目的經(jīng)營活動。）五、 主要股東xx有限責(zé)任公司主要由xx集團(tuán)有限公司和xxx集團(tuán)有限公司發(fā)起成立。（一）xx集團(tuán)有限公司基本情況1、公司簡介展望未

9、來，公司將圍繞企業(yè)發(fā)展目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)，在“夢想、責(zé)任、忠誠、一流”核心價值觀的指引下，圍繞業(yè)務(wù)體系、管控體系和人才隊(duì)伍體系重塑，推動體制機(jī)制改革和管理及業(yè)務(wù)模式的創(chuàng)新，加強(qiáng)團(tuán)隊(duì)能力建設(shè)，提升核心競爭力，努力把公司打造成為國內(nèi)一流的供應(yīng)鏈管理平臺。企業(yè)履行社會責(zé)任，既是實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)、環(huán)境、社會可持續(xù)發(fā)展的必由之路，也是實(shí)現(xiàn)企業(yè)自身可持續(xù)發(fā)展的必然選擇；既是順應(yīng)經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展趨勢的外在要求，也是提升企業(yè)可持續(xù)發(fā)展能力的內(nèi)在需求；既是企業(yè)轉(zhuǎn)變發(fā)展方式、實(shí)現(xiàn)科學(xué)發(fā)展的重要途徑，也是企業(yè)國際化發(fā)展的戰(zhàn)略需要。遵循“奉獻(xiàn)能源、創(chuàng)造和諧”的企業(yè)宗旨，公司積極履行社會責(zé)任，依法經(jīng)營、誠實(shí)守信，節(jié)約資源、保護(hù)環(huán)境，以人為

10、本、構(gòu)建和諧企業(yè)，回饋社會、實(shí)現(xiàn)價值共享，致力于實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)、環(huán)境和社會三大責(zé)任的有機(jī)統(tǒng)一。公司把建立健全社會責(zé)任管理機(jī)制作為社會責(zé)任管理推進(jìn)工作的基礎(chǔ)，從制度建設(shè)、組織架構(gòu)和能力建設(shè)等方面著手，建立了一套較為完善的社會責(zé)任管理機(jī)制。2、主要財務(wù)數(shù)據(jù)公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年12月2019年12月2018年12月資產(chǎn)總額19331.0315464.8214498.27負(fù)債總額9556.497645.197167.37股東權(quán)益合計9774.547819.637330.91公司合并利潤表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年度2019年度2018年度營業(yè)收入48137.0038509.6036102.7

11、5營業(yè)利潤9095.037276.026821.27利潤總額7305.185844.145478.89凈利潤5478.894273.533944.80歸屬于母公司所有者的凈利潤5478.894273.533944.80（二）xxx集團(tuán)有限公司基本情況1、公司簡介公司注重發(fā)揮員工民主管理、民主參與、民主監(jiān)督的作用，建立了工會組織，并通過明確職工代表大會各項(xiàng)職權(quán)、組織制度、工作制度，進(jìn)一步規(guī)范廠務(wù)公開的內(nèi)容、程序、形式，企業(yè)民主管理水平進(jìn)一步提升。圍繞公司戰(zhàn)略和高質(zhì)量發(fā)展，以提高全員思想政治素質(zhì)、業(yè)務(wù)素質(zhì)和履職能力為核心，堅(jiān)持戰(zhàn)略導(dǎo)向、問題導(dǎo)向和需求導(dǎo)向，持續(xù)深化教育培訓(xùn)改革，精準(zhǔn)實(shí)施培訓(xùn)，努力實(shí)

12、現(xiàn)員工成長與公司發(fā)展的良性互動。公司滿懷信心，發(fā)揚(yáng)“正直、誠信、務(wù)實(shí)、創(chuàng)新”的企業(yè)精神和“追求卓越，回報社會” 的企業(yè)宗旨，以優(yōu)良的產(chǎn)品服務(wù)、可靠的質(zhì)量、一流的服務(wù)為客戶提供更多更好的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品及服務(wù)。2、主要財務(wù)數(shù)據(jù)公司合并資產(chǎn)負(fù)債表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年12月2019年12月2018年12月資產(chǎn)總額19331.0315464.8214498.27負(fù)債總額9556.497645.197167.37股東權(quán)益合計9774.547819.637330.91公司合并利潤表主要數(shù)據(jù)項(xiàng)目2020年度2019年度2018年度營業(yè)收入48137.0038509.6036102.75營業(yè)利潤9095.03727

13、6.026821.27利潤總額7305.185844.145478.89凈利潤5478.894273.533944.80歸屬于母公司所有者的凈利潤5478.894273.533944.80六、 項(xiàng)目概況（一）投資路徑xx有限責(zé)任公司主要從事關(guān)于成立半導(dǎo)體設(shè)備公司的投資建設(shè)與運(yùn)營管理。（二）項(xiàng)目提出的理由光刻技術(shù)中許多先進(jìn)制程涉及多重圖形技術(shù)。即使是EUV，波長為13.5nm，要實(shí)現(xiàn)7nm的精度，仍需要依靠多重圖形技術(shù)，即多次刻蝕。因此制程升級，精度越高，需要的刻蝕復(fù)雜度、步驟數(shù)量也在提升。所以刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備成為更關(guān)鍵的設(shè)備。展望2035年，海南在社會主義現(xiàn)代化建設(shè)上走在全國前列，自由貿(mào)

14、易港的制度體系和運(yùn)作模式更加成熟，國際影響力和輻射作用更加凸顯，營商環(huán)境躋身全球前列，成為我國開放型經(jīng)濟(jì)新高地;經(jīng)濟(jì)總量和城鄉(xiāng)居民人均收入邁上新的大臺階，全體人民共同富裕邁出堅(jiān)實(shí)步伐，優(yōu)質(zhì)公共服務(wù)和創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)環(huán)境達(dá)到國際先進(jìn)水平;基本實(shí)現(xiàn)新型工業(yè)化、信息化、城鎮(zhèn)化、農(nóng)業(yè)現(xiàn)代化，建成現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系，形成互聯(lián)網(wǎng)、消費(fèi)(含免稅購物)、大健康和教育、旅游文化體育等一批萬億級產(chǎn)業(yè);生態(tài)環(huán)境質(zhì)量和資源利用效率居于世界領(lǐng)先水平，成為在國際上展示我國積極參與應(yīng)對全球氣候變化和生態(tài)文明建設(shè)成果的靚麗名片;基本實(shí)現(xiàn)農(nóng)業(yè)農(nóng)村現(xiàn)代化;全民素質(zhì)和社會文明程度達(dá)到新高度，建成展示我國文化軟實(shí)力的重要窗口;法律法規(guī)體系更加健

15、全，風(fēng)險防控體系更加嚴(yán)密，現(xiàn)代社會治理格局基本形成，社會充滿活力又和諧有序;初步建成經(jīng)濟(jì)繁榮、社會文明、生態(tài)宜居、人民幸福的美好新海南。（三）項(xiàng)目選址項(xiàng)目選址位于xxx（待定），占地面積約100.00畝。項(xiàng)目擬定建設(shè)區(qū)域地理位置優(yōu)越，交通便利，規(guī)劃電力、給排水、通訊等公用設(shè)施條件完備，非常適宜本期項(xiàng)目建設(shè)。（四）生產(chǎn)規(guī)模項(xiàng)目建成后，形成年產(chǎn)xx套半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)能力。（五）建設(shè)規(guī)模項(xiàng)目建筑面積134328.66，其中：生產(chǎn)工程85840.44，倉儲工程29640.14，行政辦公及生活服務(wù)設(shè)施11088.04，公共工程7760.04。（六）項(xiàng)目投資根據(jù)謹(jǐn)慎財務(wù)估算，項(xiàng)目總投資46185.98萬元

16、，其中：建設(shè)投資34802.89萬元，占項(xiàng)目總投資的75.35%；建設(shè)期利息401.57萬元，占項(xiàng)目總投資的0.87%；流動資金10981.52萬元，占項(xiàng)目總投資的23.78%。（七）經(jīng)濟(jì)效益（正常經(jīng)營年份）1、營業(yè)收入（SP）：101000.00萬元。2、綜合總成本費(fèi)用（TC）：76526.76萬元。3、凈利潤（NP）：17940.29萬元。4、全部投資回收期（Pt）：4.82年。5、財務(wù)內(nèi)部收益率：30.40%。6、財務(wù)凈現(xiàn)值：29730.49萬元。（八）項(xiàng)目進(jìn)度規(guī)劃項(xiàng)目建設(shè)期限規(guī)劃12個月。（九）項(xiàng)目綜合評價由上可見，無論是從產(chǎn)品還是市場來看，本項(xiàng)目設(shè)備較先進(jìn)，其產(chǎn)品技術(shù)含量較高、企業(yè)利

17、潤率高、市場銷售良好、盈利能力強(qiáng)，具有良好的社會效益及一定的抗風(fēng)險能力，因而項(xiàng)目是可行的。第二章 行業(yè)發(fā)展分析一、 光刻機(jī)：半導(dǎo)體制程工藝核心環(huán)節(jié)，將掩膜板圖形縮小2020年，全球光刻機(jī)市場約135億美元，占全球半導(dǎo)體制造設(shè)備市場21%。光刻機(jī)市場一直以來在全球設(shè)備市場中的比重都較高，具有較高技術(shù)難度，并且單臺設(shè)備價值量也較高，屬于半導(dǎo)體制造設(shè)備的“皇冠”。光刻機(jī)單機(jī)價值量高，每年出貨數(shù)量約300400臺。根據(jù)ASML、Nikon、Canon三家光刻機(jī)財報數(shù)據(jù)統(tǒng)計，近兩年全球光刻機(jī)每年出貨量大約在300400臺之間，整體均價約0.3億美元。其中主要產(chǎn)品是KrF約90100臺，ArFi約9010

18、0臺。近幾年EUV出貨量在逐步增長，全球僅有ASML具備供應(yīng)能力，每年出貨3050臺，均價超過1億美元。光刻機(jī)的供給有限，前三大晶圓制造領(lǐng)先廠商占據(jù)大部分需求。ASML在2020年一共銷售34臺EUV光刻機(jī)，2021年EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能將增長到4550臺。從歷史需求端來看，全球90%以上的EUV光刻機(jī)由TSMC、Samsung、Intel三家采購，其他諸如代工廠GobalFoundries、存儲廠海力士、美光每年最多采購1臺光刻機(jī)。ASML主導(dǎo)全球光刻機(jī)市場。從光刻機(jī)格局來看，2020年ASML占據(jù)全球光刻機(jī)市場84%的市場空間，Nikon約7%，Canon約5%。ASML具有高度的壟斷地位，

19、并且由于EUV跨越式的升級進(jìn)步，ASML在技術(shù)上的領(lǐng)先性更加明顯。國內(nèi)上海微布局前道光刻機(jī)設(shè)備。上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)。公司于2002年成立，2006年公司光刻機(jī)產(chǎn)品注冊商標(biāo)獲得國家工商局批準(zhǔn)。二、 測試設(shè)備：用于測試晶圓片及成品半導(dǎo)體測試包括晶圓允收測試（WAT）、晶圓檢測（CP）、成品測試（FT）。WAT環(huán)節(jié)涉及測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺；CP由測試機(jī)、探針臺搭配完成；FT涉及測試機(jī)、分選機(jī)搭配完成。晶圓檢測（CP）是指在晶圓完成后進(jìn)行封裝前，通過探針臺和測試機(jī)的配合使用，對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電

20、參數(shù)測試。成品測試（FT）是指芯片完成封裝后，通過分選機(jī)和測試機(jī)的配合使用，對封裝完成后的芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試。測試機(jī)行業(yè)面臨的測試任務(wù)日益復(fù)雜，測試機(jī)的測試能力和配置需求都在提高。隨著集成電路管腳數(shù)增多、測試時間增長，包括華峰測控在內(nèi)的測試機(jī)企業(yè)越來越多地采用多工位并測的方案來降低測試時間，推出測試覆蓋面更廣、資源更多的測試設(shè)備，不斷提高測試系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性，以降低客戶平均到每顆器件的測試成本。測試技術(shù)要求不斷提高。測試產(chǎn)品技術(shù)發(fā)展趨勢主要包括：（1）并行測試數(shù)量和測試速度的要求不斷提升；（2）功能模塊需求增加；（3）對測試精度的要求提升；（4）要求使用通用化軟件開發(fā)平臺；（5）對數(shù)

21、據(jù)分析能力提升，全球半導(dǎo)體測試設(shè)備市場保持穩(wěn)步增長，其中測試機(jī)占比最高。根據(jù)VLSI，全球半導(dǎo)體后道測試設(shè)備市場（含測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺）規(guī)模約50億美元。檢測設(shè)備市場空間大，包括CP測試和FT測試在內(nèi)的半導(dǎo)體測試設(shè)備占半導(dǎo)體設(shè)備市場空間15%20%。整個測試設(shè)備市場中，測試機(jī)比重最高，分選機(jī)與探針臺相對較少。測試機(jī)按測試對象包括模擬、混合、數(shù)字、SOC、存儲器測試機(jī)等市場。半導(dǎo)體測試設(shè)備市場呈現(xiàn)寡頭壟斷格局。集成電路檢測在測試精度、速度、效率和可靠性等方面要求高。全球先進(jìn)測試設(shè)備制造技術(shù)基本掌握在美國、日本等集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)達(dá)國家廠商手中，市場格局呈現(xiàn)泰瑞達(dá)、愛德萬、科休、科利登等四家廠商寡

22、頭壟斷。各家廠商在檢測設(shè)備側(cè)重點(diǎn)也有所區(qū)別，如泰瑞達(dá)（Teradyne）主要產(chǎn)品為測試機(jī)，愛德萬（Advantest）主要產(chǎn)品為測試機(jī)和分選機(jī)，科利登（Xcerra）主要產(chǎn)品為測試機(jī)，東京電子（TokyoElectron）主要產(chǎn)品為探針臺，北京華峰主要產(chǎn)品為測試機(jī)，上海中藝主要產(chǎn)品為分選機(jī)。愛德萬和泰瑞達(dá)在全球測試設(shè)備合計市場份額達(dá)到70%以上。三、 刻蝕設(shè)備：等離子刻蝕復(fù)雜程度高，且步驟逐漸增加刻蝕是用化學(xué)、物理、化學(xué)物理結(jié)合的方法有選擇的去除（光刻膠）開口下方的材料。被刻蝕的材料包括硅、介質(zhì)材料、金屬材料、光刻膠?？涛g是與光刻相聯(lián)系的圖形化處理工藝?？涛g就是利用光刻膠等材料作為掩蔽層，通過

23、物理、化學(xué)方法將下層材料中沒有被上層遮蔽層材料遮蔽的地方去掉，從而在下層材料上獲得與掩膜板圖形對應(yīng)的圖形。電容性等離子體刻蝕CCP：能量高、精度低，主要用于介質(zhì)材料刻蝕（形成上層線路）諸如邏輯芯片的柵側(cè)墻、硬掩膜刻蝕、中段的接觸孔刻蝕、后端的鑲嵌式和鋁墊刻蝕等，以及3D閃存芯片工藝（氮化硅/氧化硅）的深槽、深孔和連線接觸孔的刻蝕等。電感性等離子體刻蝕ICP：能量低、精度高，主要用于硅刻蝕和金屬刻蝕（形成底層器件）硅淺槽隔離（STI）、鍺（Ge）、多晶硅柵結(jié)構(gòu)、金屬柵結(jié)構(gòu)、應(yīng)變硅（Strained-Si）、金屬導(dǎo)線、金屬焊墊（Pad）、鑲嵌式刻蝕金屬硬掩模和多重成像技術(shù)中的多道刻蝕工藝。光刻技術(shù)

24、中許多先進(jìn)制程涉及多重圖形技術(shù)。即使是EUV，波長為13.5nm，要實(shí)現(xiàn)7nm的精度，仍需要依靠多重圖形技術(shù)，即多次刻蝕。因此制程升級，精度越高，需要的刻蝕復(fù)雜度、步驟數(shù)量也在提升。所以刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備成為更關(guān)鍵的設(shè)備?？涛g設(shè)備市場超過130億美元，是晶圓設(shè)備占比最高的市場。2011年以來，刻蝕在晶圓設(shè)備的占比從11%逐漸提升到20%以上，2017年起成為全球晶圓設(shè)備中占比最高的裝備類別，重要性不斷提升?？涛g設(shè)備市場基本是干法刻蝕設(shè)備，2020年全球干法刻蝕設(shè)備市場約137億美元，其中介質(zhì)刻蝕（DielectricEtch）60億美元，導(dǎo)體刻蝕（ConductorEtch）76億美元。從

25、導(dǎo)體刻蝕市場結(jié)構(gòu)看，Lam一家獨(dú)大，長期全球市占率超過50%；其次AMAT占據(jù)約30%市場份額。剩下的廠商如日立高新、TEL、KLA、北方華創(chuàng)、SEMES、中微公司等公司合計，在導(dǎo)體刻蝕合計市占率不超過20%。近兩年，國內(nèi)設(shè)備龍頭廠商北方華創(chuàng)、中微公司該產(chǎn)品線放量加速，逐步提高半導(dǎo)體設(shè)備刻蝕供應(yīng)鏈份額。從介質(zhì)刻蝕市場結(jié)構(gòu)看，TEL一家獨(dú)大，長期全球市占率超過50%；其次Lam占據(jù)接近40%的市場份額，兩家廠商主導(dǎo)整個市場，寡占程度較強(qiáng)。全球介質(zhì)刻蝕設(shè)備供應(yīng)商還有SEMES、中微公司、AMAT、Ulvac、屹唐半導(dǎo)體等。中微公司開發(fā)了系列介質(zhì)刻蝕裝備，并承擔(dān)多項(xiàng)重大科研項(xiàng)目，是國內(nèi)領(lǐng)先的介質(zhì)刻蝕

26、設(shè)備廠商。第三章 公司籌建方案一、 公司經(jīng)營宗旨以市場需求為導(dǎo)向；以科研創(chuàng)新求發(fā)展；以質(zhì)量服務(wù)樹品牌；致力于產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步和行業(yè)發(fā)展，創(chuàng)建國際知名企業(yè)。二、 公司的目標(biāo)、主要職責(zé)（一）目標(biāo)近期目標(biāo)：深化企業(yè)改革，加快結(jié)構(gòu)調(diào)整，優(yōu)化資源配置，加強(qiáng)企業(yè)管理，建立現(xiàn)代企業(yè)制度；精干主業(yè)，分離輔業(yè)，增強(qiáng)企業(yè)市場競爭力，加快發(fā)展；提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益，完善管理制度及運(yùn)營網(wǎng)絡(luò)。遠(yuǎn)期目標(biāo)：探索模式創(chuàng)新、制度創(chuàng)新、管理創(chuàng)新的產(chǎn)業(yè)發(fā)展新思路。堅(jiān)持發(fā)展自主品牌，提升企業(yè)核心競爭力。此外，面向國際、國內(nèi)兩個市場，優(yōu)化資源配置，實(shí)施多元化戰(zhàn)略，向產(chǎn)業(yè)集團(tuán)化發(fā)展，力爭利用3-5年的時間把公司建設(shè)成具有先進(jìn)管理水平和較強(qiáng)市場競

27、爭實(shí)力的大型企業(yè)集團(tuán)。（二）主要職責(zé)1、執(zhí)行國家法律、法規(guī)和產(chǎn)業(yè)政策，在國家宏觀調(diào)控和行業(yè)監(jiān)管下，以市場需求為導(dǎo)向，依法自主經(jīng)營。2、根據(jù)國家和地方產(chǎn)業(yè)政策、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)劃和市場需求，制定并組織實(shí)施公司的發(fā)展戰(zhàn)略、中長期發(fā)展規(guī)劃、年度計劃和重大經(jīng)營決策。3、深化企業(yè)改革，加快結(jié)構(gòu)調(diào)整，轉(zhuǎn)換企業(yè)經(jīng)營機(jī)制，建立現(xiàn)代企業(yè)制度，強(qiáng)化內(nèi)部管理，促進(jìn)企業(yè)可持續(xù)發(fā)展。4、指導(dǎo)和加強(qiáng)企業(yè)思想政治工作和精神文明建設(shè)，統(tǒng)一管理公司的名稱、商標(biāo)、商譽(yù)等無形資產(chǎn)，搞好公司企業(yè)文化建設(shè)。5、在保證股東企業(yè)合法權(quán)益和自身發(fā)展需要的前提下，公司可依照公司法等有關(guān)規(guī)定，集中資產(chǎn)收益，用于再投入和結(jié)構(gòu)調(diào)整。三、 公司組

28、建方式xx有限責(zé)任公司主要由xx集團(tuán)有限公司和xxx集團(tuán)有限公司共同出資成立。其中：xx集團(tuán)有限公司出資290.00萬元，占xx有限責(zé)任公司20%股份；xxx集團(tuán)有限公司出資1160萬元，占xx有限責(zé)任公司80%股份。四、 公司管理體制xx有限責(zé)任公司實(shí)行董事會領(lǐng)導(dǎo)下的總經(jīng)理負(fù)責(zé)制，各部門按其規(guī)定的職能范圍，履行各自的管理服務(wù)職能，而且直接對總經(jīng)理負(fù)責(zé)；公司建立完善的營銷、供應(yīng)、生產(chǎn)和品質(zhì)管理體系，確立各部門相應(yīng)的經(jīng)濟(jì)責(zé)任目標(biāo)，加強(qiáng)產(chǎn)品質(zhì)量和定額目標(biāo)管理，確保公司生產(chǎn)經(jīng)營正常、有效、穩(wěn)定、安全、持續(xù)運(yùn)行，有力促進(jìn)企業(yè)的高效、健康、快速發(fā)展?？偨?jīng)理的主要職責(zé)如下：1、全面領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)的日常工作；對企

29、業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量負(fù)責(zé)；向本公司職工傳達(dá)滿足顧客和法律法規(guī)要求的重要性；2、制定并正式批準(zhǔn)頒布本公司的質(zhì)量方針和質(zhì)量目標(biāo)，采取有效措施，保證各級人員理解質(zhì)量方針并堅(jiān)持貫徹執(zhí)行；3、負(fù)責(zé)策劃、建立本公司的質(zhì)量管理體系，批準(zhǔn)發(fā)布本公司的質(zhì)量手冊；4、明確所有與質(zhì)量有關(guān)的職能部門和人員的職責(zé)權(quán)限和相互關(guān)系；5、確保質(zhì)量管理體系運(yùn)行所必要的資源配備；6、任命管理者代表，并為其有效開展工作提供支持；7、定期組織并主持對質(zhì)量管理體系的管理評審，以確保其持續(xù)的適宜性、充分性和有效性。五、 部門職責(zé)及權(quán)限（一）綜合管理部1、協(xié)助管理者代表組織建立文件化質(zhì)量體系，并使其有效運(yùn)行和持續(xù)改進(jìn)。2、協(xié)助管理者代表，組織內(nèi)部

30、質(zhì)量管理體系審核。3、負(fù)責(zé)本公司文件（包括記錄）的管理和控制。4、負(fù)責(zé)本公司員工培訓(xùn)的管理，制訂并實(shí)施員工培訓(xùn)計劃。5、參與識別并確定為實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品符合性所需的工作環(huán)境，并對工作環(huán)境中與產(chǎn)品符合性有關(guān)的條件加以管理。（二）財務(wù)部1、參與制定本公司財務(wù)制度及相應(yīng)的實(shí)施細(xì)則。2、參與本公司的工程項(xiàng)目可信性研究和項(xiàng)目評估中的財務(wù)分析工作。3、負(fù)責(zé)董事會及總經(jīng)理所需的財務(wù)數(shù)據(jù)資料的整理編報。4、負(fù)責(zé)對財務(wù)工作有關(guān)的外部及政府部門，如稅務(wù)局、財政局、銀行、會計事務(wù)所等聯(lián)絡(luò)、溝通工作。5、負(fù)責(zé)資金管理、調(diào)度。編制月、季、年度財務(wù)情況說明分析，向公司領(lǐng)導(dǎo)報告公司經(jīng)營情況。6、負(fù)責(zé)銷售統(tǒng)計、復(fù)核工作，每月負(fù)責(zé)編制

31、銷售應(yīng)收款報表，并督促銷售部及時催交樓款。負(fù)責(zé)銷售樓款的收款工作，并及時送交銀行。7、負(fù)責(zé)每月轉(zhuǎn)賬憑證的編制，匯總所有的記賬憑證。8、負(fù)責(zé)公司總長及所有明細(xì)分類賬的記賬、結(jié)賬、核對，每月5日前完成會計報表的編制，并及時清理應(yīng)收、應(yīng)付款項(xiàng)。9、協(xié)助出納做好樓款的收款工作，并配合銷售部門做好銷售分析工作。10、負(fù)責(zé)公司全年的會計報表、帳薄裝訂及會計資料保管工作。11、負(fù)責(zé)銀行財務(wù)管理，負(fù)責(zé)支票等有關(guān)結(jié)算憑證的購買、領(lǐng)用及保管，辦理銀行收付業(yè)務(wù)。12、負(fù)責(zé)先進(jìn)管理，審核收付原始憑證。13、負(fù)責(zé)編制銀行收付憑證、現(xiàn)金收付憑證，登記銀行存款及現(xiàn)金日記賬，月末與銀行對賬單和對銀行存款余額，并編制余額調(diào)節(jié)表

32、。14、負(fù)責(zé)公司員工工資的發(fā)放工作，現(xiàn)金收付工作。（三）投資發(fā)展部1、調(diào)查、搜集、整理有關(guān)市場信息，并提出投資建議。2、擬定公司年度投資計劃及中長期投資計劃。3、負(fù)責(zé)投資項(xiàng)目的儲備、篩選、投資項(xiàng)目的可行性研究工作。4、負(fù)責(zé)經(jīng)董事會批準(zhǔn)的投資項(xiàng)目的籌建工作。5、按照國家產(chǎn)業(yè)政策，負(fù)責(zé)公司產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、投資結(jié)構(gòu)的調(diào)整。6、及時完成領(lǐng)導(dǎo)交辦的其他事項(xiàng)。（四）銷售部1、協(xié)助總經(jīng)理制定和分解年度銷售目標(biāo)和銷售成本控制指標(biāo)，并負(fù)責(zé)具體落實(shí)。2、依據(jù)公司年度銷售指標(biāo)，明確營銷策略，制定營銷計劃和拓展銷售網(wǎng)絡(luò)，并對任務(wù)進(jìn)行分解，策劃組織實(shí)施銷售工作，確保實(shí)現(xiàn)預(yù)期目標(biāo)。3、負(fù)責(zé)收集市場信息，分析市場動向、銷售動態(tài)、

33、市場競爭發(fā)展?fàn)顩r等，并定期將信息報送商務(wù)發(fā)展部。4、負(fù)責(zé)按產(chǎn)品銷售合同規(guī)定收款和催收，并將相關(guān)收款情況報送商務(wù)發(fā)展部。5、定期不定期走訪客戶，整理和歸納客戶資料，掌握客戶情況，進(jìn)行有效的客戶管理。6、制定并組織填寫各類銷售統(tǒng)計報表，并將相關(guān)數(shù)據(jù)及時報送商務(wù)發(fā)展部總經(jīng)理。7、負(fù)責(zé)市場物資信息的收集和調(diào)查預(yù)測，建立起牢固可靠的物資供應(yīng)網(wǎng)絡(luò)，不斷開辟和優(yōu)化物資供應(yīng)渠道。8、負(fù)責(zé)收集產(chǎn)品供應(yīng)商信息，并對供應(yīng)商進(jìn)行質(zhì)量、技術(shù)和供就能力進(jìn)行評估，根據(jù)公司需求計劃，編制與之相配套的采購計劃，并進(jìn)行采購談判和產(chǎn)品采購，保證產(chǎn)品供應(yīng)及時，確保產(chǎn)品價格合理、質(zhì)量符合要求。9、建立發(fā)運(yùn)流程，設(shè)計最佳運(yùn)輸路線、運(yùn)輸工

34、具，選擇合格的運(yùn)輸商，嚴(yán)格按公司下達(dá)的發(fā)運(yùn)成本預(yù)算進(jìn)行有效管理，定期分析費(fèi)用開支，查找超支、節(jié)支原因并實(shí)施控制。10、負(fù)責(zé)對部門員工進(jìn)行業(yè)務(wù)素質(zhì)、產(chǎn)品知識培訓(xùn)和考核等工作，不斷培養(yǎng)、挖掘、引進(jìn)銷售人才，建設(shè)高素質(zhì)的銷售隊(duì)伍。六、 核心人員介紹1、覃xx，中國國籍，無永久境外居留權(quán)，1959年出生，大專學(xué)歷，高級工程師職稱。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技術(shù)顧問；2004年8月至2011年3月任xxx有限責(zé)任公司總工程師。2018年3月至今任公司董事、副總經(jīng)理、總工程師。2、蔣xx，中國國籍，無永久境外居留權(quán)，1970年出生，碩士研究生學(xué)歷。2012年4月至今任xxx有限

35、公司監(jiān)事。2018年8月至今任公司獨(dú)立董事。3、任xx，中國國籍，1976年出生，本科學(xué)歷。2003年5月至2011年9月任xxx有限責(zé)任公司執(zhí)行董事、總經(jīng)理；2003年11月至2011年3月任xxx有限責(zé)任公司執(zhí)行董事、總經(jīng)理；2004年4月至2011年9月任xxx有限責(zé)任公司執(zhí)行董事、總經(jīng)理。2018年3月起至今任公司董事長、總經(jīng)理。4、莫xx，中國國籍，1978年出生，本科學(xué)歷，中國注冊會計師。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司獨(dú)立董事。5、曾xx，中國國籍，無永久境外居留權(quán)，1961年出生，本科學(xué)歷，高級工程師。20

36、02年11月至今任xxx總經(jīng)理。2017年8月至今任公司獨(dú)立董事。6、孟xx，中國國籍，無永久境外居留權(quán)，1958年出生，本科學(xué)歷，高級經(jīng)濟(jì)師職稱。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事長；2002年6月至2011年4月任xxx有限責(zé)任公司董事長；2016年11月至今任xxx有限公司董事、經(jīng)理；2019年3月至今任公司董事。7、蔡xx，中國國籍，1977年出生，本科學(xué)歷。2018年9月至今歷任公司辦公室主任，2017年8月至今任公司監(jiān)事。8、李xx，1974年出生，研究生學(xué)歷。2002年6月至2006年8月就職于xxx有限責(zé)任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限責(zé)任公

37、司銷售部副經(jīng)理。2011年3月至今歷任公司監(jiān)事、銷售部副部長、部長；2019年8月至今任公司監(jiān)事會主席。七、 財務(wù)會計制度（一）財務(wù)會計制度1、公司依照法律、行政法規(guī)和國家有關(guān)部門的規(guī)定，制定公司的財務(wù)會計制度。上述財務(wù)會計報告按照有關(guān)法律、行政法規(guī)及部門規(guī)章的規(guī)定進(jìn)行編制。2、公司除法定的會計賬簿外，將不另立會計賬簿。公司的資產(chǎn)，不以任何個人名義開立賬戶存儲。3、公司分配當(dāng)年稅后利潤時，應(yīng)當(dāng)提取利潤的10%列入公司法定公積金。公司法定公積金累計額為公司注冊資本的50%以上的，可以不再提取。公司的法定公積金不足以彌補(bǔ)以前年度虧損的，在依照前款規(guī)定提取法定公積金之前，應(yīng)當(dāng)先用當(dāng)年利潤彌補(bǔ)虧損。公

38、司從稅后利潤中提取法定公積金后，經(jīng)股東大會決議，還可以從稅后利潤中提取任意公積金。公司彌補(bǔ)虧損和提取公積金后所余稅后利潤，按照股東持有的股份比例分配，但本章程規(guī)定不按持股比例分配的除外。股東大會違反前款規(guī)定，在公司彌補(bǔ)虧損和提取法定公積金之前向股東分配利潤的，股東必須將違反規(guī)定分配的利潤退還公司。公司持有的本公司股份不參與分配利潤。4、公司的公積金用于彌補(bǔ)公司的虧損、擴(kuò)大公司生產(chǎn)經(jīng)營或者轉(zhuǎn)為增加公司資本。但是，資本公積金將不用于彌補(bǔ)公司的虧損。法定公積金轉(zhuǎn)為資本時，所留存的該項(xiàng)公積金將不少于轉(zhuǎn)增前公司注冊資本的25%。5、公司股東大會對利潤分配方案作出決議后，公司董事會須在股東大會召開后2個月

39、內(nèi)完成股利（或股份）的派發(fā)事項(xiàng)。6、公司利潤分配政策為：（1）公司應(yīng)重視對投資者的合理投資回報，利潤分配政策應(yīng)保持連續(xù)性和穩(wěn)定性，公司經(jīng)營所得利潤將首先滿足公司經(jīng)營需要。公司每年根據(jù)經(jīng)營情況和市場環(huán)境，充分考慮股東的利益，實(shí)行合理的股利分配方案。（2）董事會應(yīng)當(dāng)綜合考慮所處行業(yè)特點(diǎn)、發(fā)展階段、自身經(jīng)營模式、盈利水平以及是否有重大資金支出安排等因素，區(qū)分下列情形，并按照公司章程規(guī)定的程序，提出差異化的現(xiàn)金分紅政策：公司發(fā)展階段屬成熟期且無重大資金支出安排的，進(jìn)行利潤分配時，現(xiàn)金分紅在本次利潤分配中所占比例最低應(yīng)達(dá)到80%；公司發(fā)展階段屬成熟期且有重大資金支出安排的，進(jìn)行利潤分配時，現(xiàn)金分紅在本次

40、利潤分配中所占比例最低應(yīng)達(dá)到40%；公司發(fā)展階段屬成長期且有重大資金支出安排的，進(jìn)行利潤分配時，現(xiàn)金分紅在本次利潤分配中所占比例最低應(yīng)達(dá)到20%；公司發(fā)展階段不易區(qū)分但有重大資金支出安排的，可以按照前項(xiàng)規(guī)定處理。（3）在符合現(xiàn)金分紅的條件下，公司優(yōu)先采取現(xiàn)金分紅的股利分配政策，即：公司當(dāng)年度實(shí)現(xiàn)盈利，在彌補(bǔ)上一年度的虧損，依法提取法定公積金、任意公積金后進(jìn)行現(xiàn)金分紅，單一以現(xiàn)金方式分配的利潤不少于當(dāng)年度實(shí)現(xiàn)的可分配利潤的10%。在公司當(dāng)年未實(shí)現(xiàn)盈利情況下，公司不進(jìn)行現(xiàn)金利潤分配，同時需經(jīng)公司董事會、股東大會審議通過。若公司業(yè)績增長快速，并且董事會認(rèn)為公司公司在制定現(xiàn)金分紅具體方案時，董事會應(yīng)當(dāng)

41、認(rèn)真研究和論證公司現(xiàn)金分紅的時機(jī)、條件和最低比例、調(diào)整的條件及其決策程序要求等事宜，獨(dú)立董事應(yīng)當(dāng)發(fā)表明確意見。獨(dú)立董事可以征集中小股東的意見，提出分紅提案，并直接提交董事會審議。股東大會對現(xiàn)金分紅具體方案進(jìn)行審議前，公司應(yīng)當(dāng)通過多種渠道主動與股東特別是中小股東進(jìn)行溝通和交流，充分聽取中小股東的意見和訴求，并及時答復(fù)中小股東關(guān)心的問題。董事會在決策和形成利潤分配預(yù)案時，要詳細(xì)記錄管理層建議、參會董事的發(fā)言要點(diǎn)、獨(dú)立董事意見、董事會投票表決情況等內(nèi)容，并形成書面記錄作為公司檔案妥善保存。公司應(yīng)當(dāng)嚴(yán)格執(zhí)行本章程確定的現(xiàn)金分紅政策以及股東大會審議批準(zhǔn)的現(xiàn)金分紅具體方案。確有必要對本章程確定的現(xiàn)金分紅政

42、策進(jìn)行調(diào)整或者變更的，應(yīng)當(dāng)滿足本章程規(guī)定的條件，經(jīng)過詳細(xì)論證后，履行相應(yīng)的決策程序，并經(jīng)出席股東大會的股東（包括股東代理人）所持表決權(quán)的2/3以上通過。（4）股東違規(guī)占用公司資金的，公司應(yīng)當(dāng)扣減該股東所分配的現(xiàn)金紅利，以償還其占用的資金。（二）內(nèi)部審計1、公司實(shí)行內(nèi)部審計制度，配備專職審計人員，對公司財務(wù)收支和經(jīng)濟(jì)活動進(jìn)行內(nèi)部審計監(jiān)督。2、公司內(nèi)部審計制度和審計人員的職責(zé)，應(yīng)當(dāng)經(jīng)董事會批準(zhǔn)后實(shí)施。審計負(fù)責(zé)人向董事會負(fù)責(zé)并報告工作。（三）會計師事務(wù)所的聘任1、公司聘用會計師事務(wù)所必須由股東大會決定，董事會不得在股東大會決定前委任會計師事務(wù)所。2、公司保證向聘用的會計師事務(wù)所提供真實(shí)、完整的會計憑

43、證、會計賬簿、財務(wù)會計報告及其他會計資料，不得拒絕、隱匿、謊報。3、會計師事務(wù)所的審計費(fèi)用由股東大會決定。4、公司解聘或者不再續(xù)聘會計師事務(wù)所時，提前20天事先通知會計師事務(wù)所，公司股東大會就解聘會計師事務(wù)所進(jìn)行表決時，允許會計師事務(wù)所陳述意見。會計師事務(wù)所提出辭聘的，應(yīng)當(dāng)向股東大會說明公司有無不當(dāng)情形。第四章 項(xiàng)目建設(shè)背景、必要性一、 國內(nèi)需求爆發(fā)，國產(chǎn)替代空間快速打開國內(nèi)晶圓廠投資進(jìn)入高峰期。根據(jù)集微網(wǎng)統(tǒng)計，20202022年國內(nèi)晶圓廠總投資金額分別約1500/1400/1200億元，其中內(nèi)資晶圓廠投資金額約1000/1200/1100億元。20202022年國內(nèi)晶圓廠投資額將是歷史上最高

44、的三年，且未來還有新增項(xiàng)目的可能。設(shè)備國產(chǎn)化率較低，海外龍頭壟斷性較高。我國半導(dǎo)體設(shè)備市場仍非常依賴進(jìn)口，從市場格局來看，細(xì)分市場均有較高集中度，主要參與廠商一般不超過5家，top3份額往往高于90%，部分設(shè)備甚至出現(xiàn)一家獨(dú)大的情況，目前國內(nèi)廠商目標(biāo)市場主要是國內(nèi)晶圓廠需求，尤其是內(nèi)資投建的需求。制程越先進(jìn)，設(shè)備投資額占比越高。設(shè)備投資一般占比7080%，當(dāng)制程到16/14nm時，設(shè)備投資占比達(dá)85%；7nm及以下占比將更高。光刻、刻蝕、沉積、過程控制、熱處理等均是重要投資環(huán)節(jié)。國內(nèi)國產(chǎn)化逐漸起航，從0到1的過程基本完成。北方華創(chuàng)產(chǎn)品布局廣泛，刻蝕機(jī)、PVD、CVD、氧化/擴(kuò)散爐、退火爐、清洗

45、機(jī)、ALD等設(shè)備新產(chǎn)品市場導(dǎo)入節(jié)奏加快，產(chǎn)品工藝覆蓋率及客戶滲透率進(jìn)一步提高，在集成電路領(lǐng)域主流生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量銷售，產(chǎn)品加速迭代；第三代半導(dǎo)體、新型顯示、光伏設(shè)備產(chǎn)品線進(jìn)一步拓寬，出貨量實(shí)現(xiàn)較快增長。拓荊科技作為國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用PECVD和SACVD設(shè)備的供應(yīng)商，PECVD累計發(fā)貨150臺，廣泛用于中芯國際、華虹集團(tuán)、長江存儲、合肥長鑫、廈門聯(lián)芯、燕東微電子等國內(nèi)主流晶圓廠，PEALD已實(shí)現(xiàn)銷售；中微公司介質(zhì)刻蝕機(jī)已經(jīng)打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備UniMax2022Q1訂單已超180腔；芯源微前道涂膠顯影設(shè)備在28nm及以上多項(xiàng)技術(shù)及高產(chǎn)能結(jié)構(gòu)方面取

46、得進(jìn)展，并實(shí)現(xiàn)多種核心零部件的國產(chǎn)替代，公司前道物理清洗設(shè)備已經(jīng)達(dá)到國際先進(jìn)水平并成功實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，新簽訂單結(jié)構(gòu)中前道產(chǎn)品占比大幅提升；華海清科CMP設(shè)備在邏輯芯片、3DNAND、DRAM制造等領(lǐng)域的工藝技術(shù)水平已分別突破至14nm、128層、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP設(shè)備累計出貨超過140臺，未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺。Mattson（屹唐半導(dǎo)體）在去膠設(shè)備市占率全球第二；盛美半導(dǎo)體單片清洗機(jī)在海力士、長存、SMIC等產(chǎn)線量產(chǎn)。精測電子、上海睿勵在測量領(lǐng)域突破國外壟斷。設(shè)備國產(chǎn)化率較低，國產(chǎn)廠商成長空間巨大。我國半導(dǎo)體設(shè)備市場仍非常依賴進(jìn)口，目前國內(nèi)廠商目標(biāo)市場主要是國內(nèi)晶

47、圓廠需求，尤其是內(nèi)資投建的需求，潛在收入目標(biāo)空間較大。二、 全球市場受海外廠商主導(dǎo)，前五大廠商市占率較高全球設(shè)備五強(qiáng)占市場主導(dǎo)角色。全球設(shè)備競爭格局，主要前道工藝（刻蝕、沉積、涂膠、熱處理、清洗等）整合成三強(qiáng)AMAT、LAM、TEL。另外，光刻機(jī)龍頭ASML市占率80%+；過程控制龍頭KLA市占率50%。根據(jù)SEMI，ASML、AMAT、LAMResearch、TEL、KLA五大廠商2021年收入合計788億美元，占全球市場約77%。綜合看下來，設(shè)備五強(qiáng)市場在各賽道合計市占率基本在50%以上。AMSL優(yōu)勢在光刻方面遙遙領(lǐng)先；AMAT優(yōu)勢在產(chǎn)品線廣，沉積（CVD、PVD）市占率高；LAM優(yōu)勢在刻

48、蝕領(lǐng)域；TEL優(yōu)勢在小賽道如涂膠、去膠、熱處理；KLA優(yōu)勢在過程控制。三、 培育壯大高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)堅(jiān)持“項(xiàng)目進(jìn)園區(qū)、園區(qū)說了算”，加強(qiáng)園區(qū)基礎(chǔ)設(shè)施、公共服務(wù)設(shè)施、公共技術(shù)服務(wù)平臺等整體規(guī)劃和同步建設(shè)，完善園區(qū)綜合考核評價和激勵機(jī)制。發(fā)展總部經(jīng)濟(jì)，吸引跨國公司設(shè)立總部或區(qū)域總部。打通產(chǎn)業(yè)鏈，推動“整裝+零配件”“制造+維護(hù)保養(yǎng)”“生產(chǎn)+應(yīng)用再集成”等融合發(fā)展。培育發(fā)展“海陸空”高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。加快崖州灣深?？萍汲呛湍戏笨萍汲墙ㄔO(shè)，發(fā)展深海探測、生物育種及生物產(chǎn)品等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，同步推進(jìn)陵水、樂東南繁基地建設(shè)。加快文昌國際航天城建設(shè)，發(fā)展火箭總裝、衛(wèi)星及應(yīng)用、航天超算等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，加快發(fā)展商業(yè)航天。

49、將洋浦建設(shè)成為具有國際影響力的千億級石化產(chǎn)業(yè)基地和油品自由貿(mào)易港區(qū)。加快實(shí)現(xiàn)博鰲樂城國際醫(yī)療旅游先行區(qū)醫(yī)療技術(shù)、設(shè)備和藥品與國際“三同步”，培育具有國際競爭力的醫(yī)療集團(tuán)。壯大?？谒幑犬a(chǎn)業(yè)規(guī)模，高水準(zhǔn)規(guī)劃建設(shè)海口美安生態(tài)科技新城“美安新藥谷”。積極發(fā)展電子信息制造產(chǎn)業(yè)，以物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、區(qū)塊鏈、數(shù)字貿(mào)易等為重點(diǎn)，依托海南生態(tài)軟件園、復(fù)興城互聯(lián)網(wǎng)信息產(chǎn)業(yè)園、陵水清水灣國際信息產(chǎn)業(yè)園等園區(qū)，加速培育若干千百億級信息產(chǎn)業(yè)集群。建設(shè)國家區(qū)塊鏈技術(shù)和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展基地，培育打造“鏈上海南”產(chǎn)業(yè)生態(tài)。培育發(fā)展游樂設(shè)施裝備及零部件生產(chǎn)制造、珠寶加工等產(chǎn)業(yè)。加快電氣機(jī)械和器材、汽車等傳統(tǒng)裝備制造業(yè)信息化智能化改

50、造，加快“兩化融合”進(jìn)程。四、 堅(jiān)持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展，努力打造發(fā)展新動能堅(jiān)持創(chuàng)新在現(xiàn)代化建設(shè)全局中的核心地位，深入實(shí)施科教興省戰(zhàn)略、人才強(qiáng)省戰(zhàn)略、創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，整合優(yōu)化科技資源配置，改善科技創(chuàng)新生態(tài)，完善創(chuàng)新體系，激發(fā)創(chuàng)新創(chuàng)造活力。（一）完善科技創(chuàng)新體制機(jī)制健全科技研發(fā)投入年度核算、評價考核和問責(zé)機(jī)制，確保如期實(shí)現(xiàn)研究與試驗(yàn)發(fā)展經(jīng)費(fèi)支出占地區(qū)生產(chǎn)總值比重目標(biāo)，推動?？?、三亞進(jìn)入創(chuàng)新型城市行列。完善統(tǒng)分結(jié)合、齊抓共管的科技創(chuàng)新體制和創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化機(jī)制。完善財政科技投入機(jī)制，加強(qiáng)與金融手段的協(xié)調(diào)配合，加快引導(dǎo)金融資本和民間資本進(jìn)入創(chuàng)新領(lǐng)域，創(chuàng)新信用擔(dān)保，設(shè)立創(chuàng)新基金。發(fā)揮企業(yè)創(chuàng)新主體作用，鼓勵中小企

51、業(yè)參與高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新。推進(jìn)國際科技交流合作。建立高等教育創(chuàng)新聯(lián)合體。積極推進(jìn)中國科學(xué)院、中國工程院等國家級科研機(jī)構(gòu)、創(chuàng)新型大企業(yè)參與海南創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略。推動企業(yè)成為創(chuàng)新要素集成、科技成果轉(zhuǎn)化的生力軍，促進(jìn)全省高新技術(shù)企業(yè)數(shù)量大幅增長。推進(jìn)科研院所、高校、企業(yè)科研力量優(yōu)化配置和資源共享。（二）打造特色創(chuàng)新平臺搶抓全球新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)革命重要機(jī)遇，布局建設(shè)重大科技基礎(chǔ)設(shè)施平臺。圍繞產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈，圍繞創(chuàng)新鏈布局產(chǎn)業(yè)鏈，推動高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁出更大步伐。聚焦海洋科技、熱帶特色高效農(nóng)業(yè)、航天科技、生態(tài)環(huán)保、新能源、生命健康、人工智能和大數(shù)據(jù)等領(lǐng)域，統(tǒng)籌建設(shè)省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、省技術(shù)創(chuàng)新中心、省臨床醫(yī)

52、學(xué)中心等省級創(chuàng)新平臺，推進(jìn)建設(shè)全國深?？萍紕?chuàng)新中心和成果孵化轉(zhuǎn)化基地、全球熱帶農(nóng)業(yè)中心和全球動植物種質(zhì)資源引進(jìn)中轉(zhuǎn)基地、文昌國際航天城航天科技創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化基地、重大新藥創(chuàng)制成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化試點(diǎn)示范基地。高水平推進(jìn)國際離岸創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)示范區(qū)建設(shè)。（三）加快建設(shè)智慧海南加快推進(jìn)各地區(qū)各部門間數(shù)據(jù)共享，打破“數(shù)據(jù)孤島”。開展國際互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)交互試點(diǎn)，建設(shè)國際海底光纜及登陸點(diǎn)，設(shè)立國際通信出入口局，建成國際信息通信開放試驗(yàn)區(qū)。構(gòu)建數(shù)字孿生治理體系，加快建設(shè)社會管理信息化平臺，實(shí)現(xiàn)全域物流、資金流、人流等全要素數(shù)字化、虛擬化、實(shí)時可視可控，打造精細(xì)智能社會治理樣板區(qū)。探索發(fā)展國際化遠(yuǎn)程醫(yī)療、遠(yuǎn)程教育，創(chuàng)建國

53、際旅游消費(fèi)智能體驗(yàn)島。推進(jìn)數(shù)字產(chǎn)業(yè)化和產(chǎn)業(yè)數(shù)字化，推動數(shù)字經(jīng)濟(jì)和實(shí)體經(jīng)濟(jì)深度融合，構(gòu)筑開放型數(shù)字經(jīng)濟(jì)創(chuàng)新高地。初步將海南打造成為全球自由貿(mào)易港智慧標(biāo)桿。第五章 法人治理一、 股東權(quán)利及義務(wù)股東按其所持有股份的種類享有權(quán)利，承擔(dān)義務(wù)；持有同一種類股份的股東，享有同等權(quán)利，承擔(dān)同種義務(wù)。股東為單位的，股東單位內(nèi)部對公司收購、出售資產(chǎn)、對外擔(dān)保、對外投資等事項(xiàng)的決策有相關(guān)規(guī)定的，公司不得以股東單位決策程序取代公司的決策程序，公司應(yīng)依據(jù)公司章程及公司制定的相關(guān)制度確定決策程序。股東單位可自行履行內(nèi)部審批流程后由其代表依據(jù)公司法、公司章程及公司相關(guān)制度參與公司相關(guān)事項(xiàng)的審議、表決與決策。1、公司股東享有

54、下列權(quán)利：（1）依照其所持有的股份份額獲得股利和其他形式的利益分配；（2）依法請求、召集、主持、參加或者委派股東代理人參加股東大會并行使相應(yīng)的表決權(quán)；（3）對公司的經(jīng)營行為進(jìn)行監(jiān)督，提出建議或者質(zhì)詢；（4）依照法律、行政法規(guī)及公司章程的規(guī)定轉(zhuǎn)讓、贈與或質(zhì)押其所持有的股份；（5）查閱公司章程、股東名冊、股東大會會議記錄、董事會會議決議、監(jiān)事會會議決議和財務(wù)會計報告；2、股東提出查閱前條所述有關(guān)信息或索取資料的，應(yīng)當(dāng)向公司提供證明其持有公司股份的種類以及持股數(shù)量的書面文件，公司經(jīng)核實(shí)股東身份后按照股東的要求予以提供。但相關(guān)信息及資料涉及公司未公開的重大信息的情況除外。3、公司股東大會、董事會的決議

55、內(nèi)容違反法律、行政法規(guī)的，股東有權(quán)請求人民法院認(rèn)定無效。股東大會、董事會的會議召集程序、表決方式違反法律、行政法規(guī)或者本章程，或者決議內(nèi)容違反本章程的，股東有權(quán)自決議作出之日起60日內(nèi)，請求人民法院撤銷。公司根據(jù)股東大會、董事會決議已辦理變更登記的，人民法院宣告該決議無效或者撤銷該決議后，公司應(yīng)當(dāng)向公司登記機(jī)關(guān)申請撤銷變更登記。4、公司股東承擔(dān)下列義務(wù)：（1）遵守法律、行政法規(guī)和本章程；（2）依其所認(rèn)購的股份和入股方式繳納股金；（3）除法律、法規(guī)規(guī)定的情形外，不得退股；（4）不得濫用股東權(quán)利損害公司或者其他股東的利益；不得濫用公司法人獨(dú)立地位和股東有限責(zé)任損害公司債權(quán)人的利益；5、持有公司5%

56、以上有表決權(quán)股份的股東，將其持有的股份進(jìn)行質(zhì)押的，應(yīng)當(dāng)自該事實(shí)發(fā)生當(dāng)日，向公司作出書面報告。6、公司的股東或?qū)嶋H控制人不得占用或轉(zhuǎn)移公司資金、資產(chǎn)及其他資源。如果存在股東占用或轉(zhuǎn)移公司資金、資產(chǎn)及其他資源情況的，公司應(yīng)當(dāng)扣減該股東所應(yīng)分配的紅利，以償還被其占用或者轉(zhuǎn)移的資金、資產(chǎn)及其他資源。控股股東發(fā)生上述情況時，公司應(yīng)立即申請司法系統(tǒng)凍結(jié)控股股東持有公司的股份?？毓晒蓶|若不能以現(xiàn)金清償占用或轉(zhuǎn)移的公司資金、資產(chǎn)及其他資源的，公司應(yīng)通過變現(xiàn)司法凍結(jié)的股份清償。公司董事、監(jiān)事、高級管理人員負(fù)有維護(hù)公司資金、資產(chǎn)及其他資源安全的法定義務(wù)，不得侵占公司資金、資產(chǎn)及其他資源或協(xié)助、縱容控股股東及其附屬企業(yè)侵占公司資金、資產(chǎn)及其他資源。公司董事、監(jiān)事、高級管理人員違反上述規(guī)定，給公司造成損失的，應(yīng)當(dāng)承擔(dān)賠償責(zé)任。造成嚴(yán)重后果的，公司董事會對于負(fù)有直接責(zé)任的高級管理人員予以解除聘職，對于負(fù)有直接責(zé)任的董事、監(jiān)事，應(yīng)當(dāng)提請股東大會予以罷免。公司還有權(quán)視其情節(jié)輕重對直接責(zé)任人追究法律責(zé)任。7、公司的控股股東、實(shí)際控制人及其他關(guān)聯(lián)方不得利用其關(guān)聯(lián)關(guān)系損害公司利益，不得占用或轉(zhuǎn)移公司資金、資產(chǎn)及其他資源。違