研究生開(kāi)題答辯匯編資料

1、 壓電式MEMS傳感器 的穩(wěn)健設(shè)計(jì)(shj)研究學(xué)生(xu sheng)：導(dǎo)師：北方工業(yè)大學(xué)共十七頁(yè)目錄(ml)國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀2研究?jī)?nèi)容和研究方案 4研究背景31研究目的和意義33工作進(jìn)度安排35預(yù)期研究成果6課題重點(diǎn)難點(diǎn)和創(chuàng)新37NCUT共十七頁(yè)研究(ynji)背景1962年，第一個(gè)硅微型壓力(yl)傳感器的問(wèn)世。 MEMS傳感器體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成以及耐惡劣工作環(huán)境等優(yōu)勢(shì)。 MEMS 傳感器已得到消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車(chē)工業(yè)、航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等各領(lǐng)域的青睞。MEMS又被稱(chēng)為微機(jī)電系統(tǒng)，是在微機(jī)械加工技術(shù)提高和集成電路制造技術(shù)進(jìn)步的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的新技術(shù)。

2、MEMS主要由控制電路、供電電源、通信通道、微傳感器、微執(zhí)行器等組成。而MEMS傳感器是MEMS器件的主要組成部分。NCUT共十七頁(yè)研究(ynji)背景穩(wěn)健設(shè)計(jì)（Robust Design）是對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量、性能(xngnng)、成本進(jìn)行綜合考慮從而獲得高質(zhì)量、高性能(xngnng)、低成本的現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法。MEMS系統(tǒng)傳統(tǒng)機(jī)械設(shè)計(jì)理論現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法PK不僅是尺度上的微型化，本質(zhì)上也有著不同。NCUT共十七頁(yè)國(guó)內(nèi)外研究(ynji)現(xiàn)狀應(yīng)用如下：微型加速度計(jì)微型壓力傳感器數(shù)字微鏡器件(DMD)噴墨打印機(jī)的微噴嘴生物芯片等 最近，美國(guó)朗訊公司開(kāi)發(fā)(kif)的基于MEMS光開(kāi)關(guān)的路由器己經(jīng)試用。 近年來(lái)國(guó)際

3、上MEMS的專(zhuān)利數(shù)正呈指數(shù)規(guī)律增長(zhǎng)，說(shuō)明MEMS技術(shù)全面發(fā)展和產(chǎn)業(yè)快速起步的階段己經(jīng)到來(lái)。MEMS器件及其穩(wěn)健設(shè)計(jì)的研究現(xiàn)狀 目前對(duì)于MEMS傳感器的穩(wěn)健設(shè)計(jì)類(lèi)的論文，可查閱到的國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)較少。采用實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)（DOE ）和響應(yīng)曲面模型（RSM ）方法研制微執(zhí)行器和硅基微通道熱沉利用田口法進(jìn)行石英晶體微天平和加速度傳感器的穩(wěn)健設(shè)計(jì)利用容差法對(duì)微機(jī)械陀螺的穩(wěn)健設(shè)計(jì)可用于MEMS 器件設(shè)計(jì)的基于目標(biāo)函數(shù)梯度分析的穩(wěn)健設(shè)計(jì)方法和基于器件解析模型的穩(wěn)健設(shè)計(jì)。NCUT共十七頁(yè)國(guó)內(nèi)外研究(ynji)現(xiàn)狀數(shù)字化無(wú)源化新型材料高精度和高可靠性智能化網(wǎng)絡(luò)化等NCUTMEMS傳感器發(fā)展趨勢(shì)共十七頁(yè)國(guó)內(nèi)外研究(ynji

4、)現(xiàn)狀清華大學(xué)精儀系研制了一種微型集成自適應(yīng)加速度測(cè)試儀，已成功應(yīng)用于加速度實(shí)驗(yàn)演示系統(tǒng)中。但國(guó)內(nèi)現(xiàn)在生產(chǎn)的一些MEMS產(chǎn)品普遍存在精度不高、性能達(dá)不到預(yù)期(yq)效果和質(zhì)量不夠穩(wěn)定等缺陷。NCUT共十七頁(yè)課題(kt)來(lái)源國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目：(編號(hào):51375017)“基于多鐵納米纖維的微傳感器的穩(wěn)健設(shè)計(jì)理論與方法研究主要研究?jī)?nèi)容：多鐵納米纖維微傳感器的穩(wěn)健設(shè)計(jì)理論、工作(gngzu)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、加工工藝及制備N(xiāo)CUT共十七頁(yè)研究目的(md)和意義建模穩(wěn)健設(shè)計(jì)理論提高質(zhì)量及其穩(wěn)定性豐富和完善MEMS設(shè)計(jì)理論壓電式MEMS傳感器NCUT共十七頁(yè)研究?jī)?nèi)容(nirng)和研究方案 NCUT共十

5、七頁(yè)研究?jī)?nèi)容(nirng)和研究方案 原理(yunl)和性能分析穩(wěn)健設(shè)計(jì)研究仿真和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證1、設(shè)計(jì)原理2、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)3、MEMS建模4、仿真分析1、功能因素分析2、穩(wěn)健設(shè)計(jì)建模3、仿真計(jì)算1、原始設(shè)計(jì)方案與穩(wěn)健設(shè)計(jì)方案結(jié)果對(duì)比分析2、基于不同模型的穩(wěn)健設(shè)計(jì)方案結(jié)果對(duì)比分析NCUT共十七頁(yè)研究(ynji)內(nèi)容和研究(ynji)方案 NCUT共十七頁(yè)工作進(jìn)度安排(npi) 2015.102016.6MEMS壓力傳感器原理和性能分析，MEMS建模進(jìn)行仿真，分析影響傳感器特性的主要結(jié)構(gòu)尺寸和性能參數(shù)，對(duì)影響MEMS傳感器特性的各個(gè)參量進(jìn)行分析和歸類(lèi)。2016.62016.12研究基于隨機(jī)模型和容差模型的

6、MEMS壓力傳感器穩(wěn)健設(shè)計(jì)建模方法，對(duì)MEMS壓力傳感器穩(wěn)健設(shè)計(jì)模型進(jìn)行仿真計(jì)算，并進(jìn)行仿真驗(yàn)證和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，驗(yàn)證理論修正結(jié)果。2017.12017.5撰寫(xiě)論文，總結(jié)研究成果，修改完善論文，做好畢業(yè)論文答辯準(zhǔn)備。NCUT共十七頁(yè)預(yù)期(yq)研究成果 成果(chnggu)1成果2成果3 MEMS模型、仿真分析和功能因素MEMS穩(wěn)健設(shè)計(jì)模型、仿真計(jì)算和驗(yàn)證穩(wěn)健設(shè)計(jì)結(jié)果豐富MEMS設(shè)計(jì)理論和方法NCUT共十七頁(yè)課題(kt)重點(diǎn)難點(diǎn)和創(chuàng)新重點(diǎn)(zhngdin)功能因素分析隨機(jī)模型和容差模型壓電式MEMS傳感器穩(wěn)健設(shè)計(jì)方法創(chuàng)新PZT納米纖維和BFO壓電薄膜材料宏觀穩(wěn)健設(shè)計(jì)應(yīng)用于MEMS傳感器的設(shè)計(jì)中難點(diǎn)納米纖維和壓電薄膜MEMS建模及仿真分析壓電式MEMS傳感器穩(wěn)健設(shè)計(jì)建模NCUT共十七頁(yè)敬請(qǐng)各位老師(losh)批評(píng)指正Thank You !北方工業(yè)大學(xué)共十七頁(yè)內(nèi)容摘要壓電式MEMS傳感器 的穩(wěn)健設(shè)計(jì)研究。壓電式MEMS傳感器 的穩(wěn)健設(shè)計(jì)研究。北方工業(yè)大學(xué)。MEMS傳感器體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成以及耐惡劣工作環(huán)境等優(yōu)勢(shì)。MEMS 傳感器已得到消費(fèi)(xiofi)電子產(chǎn)品、汽車(chē)工業(yè)、航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等各領(lǐng)域的青睞。MEMS又被稱(chēng)為微機(jī)電系統(tǒng)，是在微機(jī)械加工技術(shù)