超純水系統(tǒng)工藝流程圖

1、C自來(lái)水進(jìn)水P取樣保安過濾器PPcF不合格排放P原水箱R紫外線殺菌燈原水泵機(jī)械過濾器FP活性炭過濾器紫外線殺菌燈軟水器鹽箱RF高壓泵反滲透裝置化學(xué)計(jì)量泵用水點(diǎn)純水出口調(diào)壓閥FF風(fēng)機(jī)PPP過濾器um過濾器氮?dú)馄坎缓细衽欧臥Fk濃水回流Fk或排放極水 濃水FI循環(huán)泵C純水拋光混床超純水泵氮封超純水箱極水排放二級(jí)EDI膜堆um過濾器純水泵脫氣水箱符號(hào)說明:不合格排放PPcFRCFK電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計(jì)電阻率表電導(dǎo)率表圖 3常用的一級(jí)RO+二級(jí) EDI+MB 電子 I 級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖流變控制開關(guān)適合于源水硬度高，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率高（小于1000 s/cm ），要求產(chǎn)水電阻

2、率18 18.2M cm的超純水系統(tǒng)C自來(lái)水進(jìn)水P取樣保安過濾器PPcF不合格排放P原水箱R紫外線殺菌燈原水泵機(jī)械過濾器FP活性炭過濾器紫外線殺菌燈軟水器鹽箱RF高壓泵反滲透裝置化學(xué)計(jì)量泵用水點(diǎn)純水出口調(diào)壓閥FFPPP風(fēng)機(jī)過濾器um過濾器氮?dú)馄坎缓细衽欧臥Fk濃水回流Fk或排放極水 濃水純水FI循環(huán)泵C超純水泵氮封超純水箱極水排放二級(jí)EDI膜堆um過濾器純水泵脫氣水箱符號(hào)說明:不合格排放PPcFRCFK電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計(jì)電阻率表電導(dǎo)率表圖 4 常用的一級(jí)RO+二級(jí) EDI 電子級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖流變控制開關(guān)適合于源水硬度高，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率（小于1000 s/cm

3、），要求產(chǎn)水電阻率15 18M cm的超純水系統(tǒng)自來(lái)水進(jìn)水CFCPPFF排放快速過濾器PPPcP不合格排放原水箱原水泵FP超濾裝置反洗排放水高壓泵反滲透裝置R用水點(diǎn)um過濾器紫外線殺菌燈氮?dú)馄孔贤饩€殺菌燈R不合格排放FkF純水出口調(diào)壓閥P化學(xué)計(jì)量泵風(fēng)機(jī)PFF過濾器PP循環(huán)泵C濃水回流Fk或排放極水 濃水純水拋光混床超純水泵符號(hào)說明:氮封超純水箱極水排放二級(jí)EDI膜堆um過濾器不合格排放純水泵純水箱PPcFRC電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計(jì)電阻率表電導(dǎo)率表圖 5常用的一級(jí)RO+二級(jí) EDI 電子+MB 電子 I 級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖FK流變控制開關(guān)適合于源水硬度低，有機(jī)物含量低，電導(dǎo)率

4、高（小于1000 s/cm ），要求產(chǎn)水電阻率18 18.2M cm的超純水系統(tǒng)自來(lái)水進(jìn)水CFCPPFF排放快速過濾器PPPcP不合格排放原水箱紫外線R殺菌燈原水泵FP紫外線殺菌燈超濾裝置RF反洗排放水高壓泵化學(xué)計(jì)量泵反滲透裝置風(fēng)機(jī)用水點(diǎn)um過濾器氮?dú)馄坎缓细衽欧臚k純水出口調(diào)壓閥PFFPPP循環(huán)泵過濾器C濃水回流Fk或排放極水 濃水純水超純水泵氮封超純水箱極水排放二級(jí)EDI膜堆um過濾器純水泵純水箱符號(hào)說明:不合格排放PPcFRCFK電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計(jì)電阻率表電導(dǎo)率表圖 6常用的一級(jí)RO+二級(jí) EDI 電子級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖流變控制開關(guān)適合于源水硬度低，有機(jī)物含量低，

5、電導(dǎo)率高（小于1000 s/cm ），要求產(chǎn)水電阻率15 18M cm的超純水系統(tǒng)圖 7 是常用的一級(jí)EDI 全系統(tǒng)組成圖。C自來(lái)水進(jìn)水P風(fēng)機(jī)取樣F保安過濾器PcPP不合格排放PcPH調(diào)節(jié)PP原水箱原水泵機(jī)械過濾器活性炭過濾器阻垢劑加藥一級(jí)高壓泵一級(jí)反滲透裝置脫氣水箱純水泵二級(jí)高壓泵R用水點(diǎn)P紫外線殺菌燈RFFC化學(xué)計(jì)量泵過濾器b風(fēng)機(jī)um過濾器氮?dú)馄坎缓细衽欧臚FIPPP極水Pc濃水C純水PP循環(huán)泵CF不合格排放拋光混床符號(hào)說明:TOC分解器超純水泵氮封超純水箱一級(jí)EDI膜堆um過濾器不合格排放純水泵脫氣水箱二級(jí)反滲透裝置PPcFRC電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計(jì)電阻率表電導(dǎo)率表圖 7

6、常用的產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定的二級(jí)RO+一級(jí) EDI+MB電子級(jí)超純水系統(tǒng)組成圖適合于源水硬度低，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率1000 s/cm, 即 TDS 500ppm 時(shí)，要求產(chǎn)水電阻率18 18.2M cm的純水系統(tǒng)C自來(lái)水進(jìn)水P取樣F保安過濾器PcPP風(fēng)機(jī)不合格排放PcPP二級(jí)高壓泵PH調(diào)節(jié)原水箱原水泵機(jī)械過濾器活性炭過濾器阻垢劑加藥一級(jí)高壓泵一級(jí)反滲透裝置脫氣水箱純水泵R用水點(diǎn)um過濾器P氮?dú)馄孔贤饩€殺菌燈不合格排放RFFFPPP極水Pc濃水C純水化學(xué)計(jì)量泵過濾器FI循環(huán)泵CCb風(fēng)機(jī)F不合格排放TOC分解器超純水泵氮封超純水箱PP一級(jí)EDI膜堆um過濾器純水泵脫氣水箱二級(jí)反滲透裝置符號(hào)說明:PPcFRC不合格排放電磁閥球閥止回閥壓力表壓力控制器流量計(jì)電阻率表電導(dǎo)率表圖 8常用的產(chǎn)水