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防靜電工作臺檢測規(guī)范防靜電工作臺檢測規(guī)范3/3防靜電工作臺檢測規(guī)范防靜電工作臺檢測規(guī)范目的定義防靜電工作臺檢測方法和頻率。范圍廠內(nèi)所有防靜電工作臺參照文件阻抗測試儀操作指導書程序4.1檢測環(huán)境溫度：1530濕度：30%70%4.2檢測設備靜電測量儀(型號：41201-19250)4.3表面阻抗檢測方法取點（依照圖片取4組點）12344321將靜電檢測儀的兩極放在指定地址。開始測量(儀器使用方法參照：阻抗測試儀操作指導書)記錄檢測結(jié)果。（只記錄一個點，依照最大的阻值記錄）4.4對地阻抗檢測方法取點（依照圖片取4組點）12534將靜電檢測儀的一個極放在桌面指定地址，一個極放在地上。開始測量(儀器使用方法參照：阻抗測試儀操作指導書)記錄檢測結(jié)果。（只記錄一個點，依照最大的阻值記錄）4.5檢測頻率：新鋪設防靜電皮的工作臺。每半年檢測一次。工作臺墊測試記錄表測試人日期地域地址表面電阻系統(tǒng)電阻測試備注結(jié)果測試儀器：環(huán)境溫度：測試人：環(huán)境濕度：注：工作臺的表面電阻值、系統(tǒng)電阻值在106109之間為合格

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