ASM固晶機(jī)工程師教材

一、目的：規(guī)范固晶機(jī)工程師日常工作，確保產(chǎn)品質(zhì)量的提高及工作效率的提升。二、對(duì)象：固晶機(jī)工程師三、內(nèi)容：1.機(jī)械構(gòu)成及維修1.1芯片控制器：由芯片工作臺(tái)和推定器組成芯片工作臺(tái)主要由 X、Y、θ馬達(dá)和擴(kuò)晶環(huán)固定座組成、Y馬達(dá)控制Ahead晶片時(shí)，移到當(dāng)前晶片位置，θ馬達(dá)是控制晶片的旋轉(zhuǎn)角度，當(dāng)啟動(dòng)工作臺(tái)啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)功能后θ馬達(dá)開始工作，當(dāng)Ahead當(dāng)前晶片角度偏移量大于我們?cè)O(shè)定值時(shí)，θ馬達(dá)會(huì)自動(dòng)補(bǔ)償角度偏差值。 推頂器主要由頂針、頂針帽、推頂馬達(dá)和XY位置調(diào)整螺絲組成，頂針是工作中頂起晶片，晶片離開藍(lán)膜使吸嘴容易吸起晶片，頂針型號(hào)為0.022×10×17MM，頂針的目使用壽命為1KK，當(dāng)頂針拆損或者達(dá)到使用壽命后需要及時(shí)更換。推頂馬達(dá)是來頂起頂針，新更換頂針后，一般頂起主度不超過2300，如果頂起高度小于2000時(shí)，需調(diào)整推頂馬達(dá)推頂位置，松開推頂馬達(dá)固定推頂位置螺絲，可以用六角棒調(diào)整推頂初始位置。頂針帽是保護(hù)頂針受到外力損壞。XY位置調(diào)整螺絲是用來調(diào)整頂針位置，使頂針頂起芯片在中心點(diǎn)。1.2.工作夾具：由疊式載具、工作夾具、輸入 /輸出升降機(jī)組成 疊式載具由

LoadLeft

Pin、Loadright

Pin、Separater和下料盒馬達(dá)組成，

LoadLeftPin

和

LoadrightPin是用來調(diào)整支架接觸時(shí)的中心點(diǎn)，一般中心點(diǎn)為 22000，當(dāng)馬達(dá)失步時(shí)，需要對(duì)此中心點(diǎn)進(jìn)行調(diào)整。 Separater是支架接觸到LoadLeftPin 和LoadrightPin 后，用來分離支架，可以調(diào)整進(jìn)出氣壓大小來調(diào)整 Separater 速度，X方向行程不可以調(diào)整，Y方向行程可以拆開疊式載具面板，用六角扳手調(diào)整行程。下料盒馬達(dá)是用來控制LoadLeftPin 和LoadrightPin 動(dòng)作，需定期對(duì)其進(jìn)行保養(yǎng)，不然會(huì)造成下料不順暢或者卡料。 工作夾具由FeedPin、InputPin、OutputPin和OutputKick組成。進(jìn)入Setup→Device→IndexingSetup調(diào)整送爪間的配合，F(xiàn)eedPin和InputPin主要影響支架送到點(diǎn)膠和固晶位置的初始點(diǎn)，OutputPin主要影響InputPin和OutputPin 配合時(shí)拉杯位置的一致性。 輸入/輸出升降機(jī)進(jìn)料口現(xiàn)在采用疊式載具，輸入升降機(jī)主要應(yīng)用在雙晶片上面，故沒有使用。輸出升降機(jī)由YZ兩個(gè)馬達(dá)構(gòu)成，YZ馬達(dá)錯(cuò)位或者中心點(diǎn)偏移會(huì)造成卡支架，需定期保養(yǎng)馬達(dá)，以免造成聲音異常和馬達(dá)失步。點(diǎn)膠注射器及焊頭2.1.點(diǎn)膠注射器由點(diǎn)膠盤、點(diǎn)膠盤馬達(dá)、點(diǎn)膠頭、點(diǎn)膠 XYZ動(dòng)作馬達(dá)組成。點(diǎn)膠盤儲(chǔ)存一定膠量，保證持續(xù)使用，要求點(diǎn)膠盤表面的平整性，使點(diǎn)膠有均勻性。點(diǎn)膠盤馬達(dá)使用24V電壓，要求點(diǎn)膠盤阻力和點(diǎn)膠盤軸承阻力小，避免點(diǎn)膠盤馬達(dá)線圈燒壞。點(diǎn)膠頭把膠水從點(diǎn)膠盤點(diǎn)到碗杯，點(diǎn)膠頂部長度為80um，一般使用掉1／3后需要更換點(diǎn)膠頭，使點(diǎn)膠具有均勻性和集中性。點(diǎn)膠XYZ動(dòng)作馬達(dá)是控制點(diǎn)膠頭的動(dòng)作過程，為了保證馬達(dá)正常，每個(gè)月需要對(duì)其定期保養(yǎng)。2.2.焊頭由吸嘴、焊臂、氣體、馬達(dá)組成。吸嘴是吸起晶片和固定晶片的作用，吸嘴使用的型號(hào)有 3×0.3、0.15×0.3、0.175×0.35四種型號(hào)，根據(jù)不同的產(chǎn)品選擇吸嘴，吸嘴壽命為500K。焊臂是核心部件，焊臂的連接部位的間隙為20um，當(dāng)人為撞壞焊臂時(shí)，須對(duì)此項(xiàng)進(jìn)行校正，焊臂的水平校正：裝好冶具，關(guān)掉電源，用復(fù)印紙加白紙墊在頂針帽上，然后打開電源，手動(dòng)擰動(dòng)焊臂，并在復(fù)印紙上壓一個(gè)痕跡，檢查痕跡的輕重，根據(jù)痕跡的輕重來調(diào)整焊臂的水平調(diào)整螺絲，直到痕跡輕重一樣。氣體是用來吸取晶片和吹吸嘴用，弱氣太大會(huì)影響造成膠飛，弱氣太小易造成晶片反吸。馬達(dá)是用來控制焊臂動(dòng)作的，為了保證馬達(dá)正常，每個(gè)月需要對(duì)其定期保養(yǎng)。光學(xué)系統(tǒng)：Bondopticalsystem和Dispenseoptical校正3.1. 把校準(zhǔn)鏡片放在光學(xué)鏡頭的下方， Error!Referencesourcenotfound3.2. 進(jìn)入 Setup→Vision＆Optics→BondAlignmentSetup 選擇FieldOfView 按[Enter] 在‘2×2mm’，‘3×3mm’，‘4×4mm’，之間轉(zhuǎn)換。3.3.我們選擇3×3，然后按Enter確定，記下來你可以看到PR監(jiān)視中的率色方框，手動(dòng)調(diào)節(jié)光學(xué)系統(tǒng)焦距和放大倍數(shù)直至可以看到較大的包含3×3方框，調(diào)節(jié)鏡片位置和光線直至方框內(nèi)獲得清晰的圖像，再次按Enter確認(rèn)，PRS將檢查和識(shí)別校準(zhǔn)鏡片的圖像以確定視為視界與你的設(shè)定相匹配，如果PR校準(zhǔn)未成功，應(yīng)再次進(jìn)行精密調(diào)節(jié)和校準(zhǔn)。4. 電路構(gòu)成及維修4.1.PC監(jiān)控器：由伺服驅(qū)動(dòng)箱，馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 伺服驅(qū)動(dòng)箱由點(diǎn)膠、固晶、輸入

I/O箱和電腦主機(jī)組成/輸出料盒 XYZ馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路組成 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)I/O箱由各種數(shù)/模、模/數(shù)轉(zhuǎn)換、信號(hào)通道，信號(hào)分配接口組成 電腦主機(jī)由系統(tǒng)軟件、應(yīng)用軟件和硬件部分組成，系統(tǒng)軟件使用的是Windows操作系統(tǒng)，應(yīng)用軟件是ControllerSoftwareV5.47T03(升級(jí)前使用的舊版本是ControllerSoftwareV5.43T03)、硬件是鍵盤、主板、CPU、內(nèi)存。4.2. PRSPC:光學(xué)系統(tǒng)和電腦主機(jī)組成 光學(xué)系統(tǒng)CCD攝像機(jī)的工作原理是：被攝物體反射光線，傳播到鏡頭，經(jīng)鏡頭聚焦到 CCD芯片上，CCD根據(jù)光的強(qiáng)弱積聚相應(yīng)的電荷，經(jīng)周期性放電，產(chǎn)生表示一幅幅畫面的電信號(hào)，經(jīng)過濾波、放大處理，通過攝像頭的輸出端子輸出一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的復(fù)合視頻信號(hào)。攝像機(jī)對(duì)我們生產(chǎn)中目前影響最大的就是角度，攝像機(jī)角度偏轉(zhuǎn)時(shí)爪取晶片也會(huì)偏。 電腦主機(jī)由系統(tǒng)軟件、應(yīng)用軟件和硬件部分組成，系統(tǒng)軟件使用的是Windows操作系統(tǒng)，應(yīng)用軟件是VisionSoftwareV2.825，硬件是鍵盤、主板、CPU、內(nèi)存。4.3.機(jī)器的軟件系統(tǒng)安裝升級(jí) 軟件安裝：版本升級(jí)和系統(tǒng)更新 系統(tǒng)設(shè)置：主板設(shè)置和磁盤備份 copy4.4.熟悉菜單及熟練應(yīng)用包含Bondmenu、Setupmenu、SERVmenu和Helpmenu下面的各項(xiàng)子菜單使用及應(yīng)用（詳細(xì)請(qǐng)見技術(shù)員培訓(xùn)資料）重要影響固晶項(xiàng)目5.1. 吸嘴未及時(shí)更換：會(huì)影響到機(jī)臺(tái)吸晶及擺放晶片， 當(dāng)吸嘴使用到一定的次數(shù)以后， 晶片的擺放在角度上會(huì)有所偏差，這時(shí)即可考慮更換一支新的吸嘴5.2.頂針未及時(shí)更換：影響到晶片的上吸，以致最后影響到晶片的擺放。5.3.未做季保養(yǎng)的影響：會(huì)造成機(jī)構(gòu)生銹或臟污嚴(yán)重， 引起機(jī)構(gòu)運(yùn)轉(zhuǎn)不順，影響機(jī)臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)與生產(chǎn)。動(dòng)作與程序OperationFlow：6.1.更換吸嘴，步驟：將pickarm移到吹風(fēng)的位置才可進(jìn)行吸嘴的更換；用六角扳手將舊的吸嘴取下；換上新的吸嘴，注意要鎖緊（配合套具）；調(diào)節(jié)吸嘴和CCD的中心，保持在同一中心。6.2更換頂針,步驟：先輕輕地旋掉頂針帽；小心地拔出頂針，并換上新的頂針，須將頂針插到底；重新旋上頂針帽，旋時(shí)要小心并保持 CCD十字中心維持在頂針帽孔的、中心；調(diào)節(jié)頂針的高度，使頂針高度和頂針帽的高度持平（在 uplevel情況下， 用顯微鏡觀察）；重新調(diào)節(jié)吸嘴、頂針和 CCD的三點(diǎn)一線；手動(dòng)抓取晶片測(cè)試頂針的良好情況。6.3保養(yǎng)步驟：停機(jī)，關(guān)掉電源拆開左、右和后側(cè)門檢查機(jī)臺(tái)內(nèi)部是否有粉塵，用真空吸槍吸清潔機(jī)臺(tái)內(nèi)部。、Y軸滑軌及導(dǎo)螺桿上油。，因上油空間不大，建議使用無塵布，沾潤滑油涂抹，切勿使用金屬棒或棉花棒，金屬棒易傷害螺桿，而棉花棒會(huì)殘留織棉及粉塵礙機(jī)械動(dòng)作之精度。使用空壓噴槍和試鏡紙擦拭 CCD鏡頭。檢查所有可動(dòng)螺絲是否松動(dòng)?；謴?fù)機(jī)臺(tái)各部件。上電，重新開機(jī)。初始化，檢查機(jī)臺(tái)的各功能是否良好。7 設(shè)備常見異常訊息與解決手法 AlarmCode&Solution7.1機(jī)臺(tái)出現(xiàn)missingdie的情況，處理辦法：檢查collect是否諸塞，并用真空吹氣；檢查吸嘴、頂針和 CCD十字中心是否三點(diǎn)一線，如不是應(yīng)重新調(diào)整三點(diǎn)一線；檢查uplevel的位置（頂針高度）是否恰當(dāng)；以上情況均良好依然 missingdie，需將collect換下到顯微鏡下觀察collect是否有受損壞，如果是，就要更換一個(gè)新的。此時(shí)依然missingdie，就要取下頂針到顯微鏡下觀察頂針是否有受損壞，如果是，就要更換新的頂針。7.2晶片擺放的不整齊，處理辦法：檢查吸嘴、頂針和 CCD十字中心是否三點(diǎn)一線，如不是應(yīng)重新調(diào)整三點(diǎn)一線；檢查picklevel和bondlevel是否恰當(dāng)；檢查delay的數(shù)值是否恰當(dāng)；檢查collect是否完好，如損壞則更換；檢查頂針是否完好，如損壞則更換；檢查焊臂水平，如水平有問題則要重新調(diào)整焊臂水平。7.3 missingdie，處理辦法：；；。7.4點(diǎn)膠的量太多或太少，處理辦法：調(diào)整點(diǎn)膠頭高度；調(diào)整膠量的大??；調(diào)整膠的均勻度；7.5PR經(jīng)常識(shí)別不到，處理辦法：檢查焊接的目標(biāo)偏差；重新測(cè)驗(yàn)焊接/拾取PR，保證圖像良好對(duì)比度和較高的單一性/邊緣明顯模板有較高的分?jǐn)?shù)。調(diào)整搜索范圍，選定的方框內(nèi)無類似的圖像。7.6固晶位置不穩(wěn)定，處理辦法：調(diào)節(jié)焊接Z高度；以垂直線校正攝像機(jī)中心點(diǎn)，夾頭中心及推頂針中心；增加拾取延遲；增加焊接延遲；增加向上推頂延遲；增加推頂器真空延遲；增加焊頭拾取/焊接延遲；調(diào)節(jié)焊臂水平高度。7.7固晶角度不穩(wěn)定，處理辦法：盡量減少向上推頂高度（假如晶片能夠被拾?。?；保證推頂針位于孔的中心，或推頂針的中心位于孔的中心；檢查推頂針尖是否損壞或變平；檢查推頂針是否傾斜；校準(zhǔn)攝像機(jī)中心點(diǎn)，夾頭中心和推頂針中心；增加拾取延遲時(shí)間；增加焊接延遲；增加向上推頂延遲；增加焊頭拾取/焊接延遲。7.8晶片反倒，處理辦法：如三點(diǎn)校準(zhǔn)不正確，則重新垂直校準(zhǔn)攝像機(jī)中心、夾頭中心和推頂針的中心；如是在焊接途中碰到某物，則移除焊臂 /夾頭在焊接過程中碰到的任何障礙物；保證工作臺(tái)能夠緊密地夾持基片 /LF，而無法浮動(dòng)。7.9雙晶：清潔夾頭或更新夾頭；增加焊臂高/低壓力。7.10無晶處報(bào)警：重新校準(zhǔn)夾頭真空傳感器；增加拾取高度；增加向上推頂高度；增加推頂延遲、拾取延遲、推頂器真空延遲。7.11旋轉(zhuǎn)方向錯(cuò)誤：檢查旋轉(zhuǎn)焊臂編碼器；檢查旋轉(zhuǎn)皮帶；檢查分度鏡高度；、重新測(cè)驗(yàn)焊接/拾取PR，保證圖像具有良好的對(duì)比度和較高的單一性/邊緣明顯，在選定范圍內(nèi)無類似的圖像。7.12跳過好的晶片skipgooddie：根據(jù)晶片的性質(zhì)選擇適當(dāng)?shù)男Ｕ椒ǎ?重新