CMOS Front End Process CMOS前端工藝英文版課件：gate-1_第1頁
CMOS Front End Process CMOS前端工藝英文版課件：gate-1_第2頁
CMOS Front End Process CMOS前端工藝英文版課件：gate-1_第3頁
CMOS Front End Process CMOS前端工藝英文版課件：gate-1_第4頁
全文預(yù)覽已結(jié)束

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

Electronsareinjectedbytunnelingintotheconductionbandoftheoxidethroughthe triangularbarrier.

ThetunnelingprobabilityrapidlyrisesasEOX(theelectricfieldacrossthe

oxide= VOX/tOX)increasesbecausethetunnelingdistancebecomessmallerasEoxincreases.2.1Fowler-Nordheim(F-N)TunnelingHotElectronInjectionFowler-NordheimTunnelingOver

theenergybarrierThroughtheenergybarrier TodeterminetheprobabilityofanelectronexhibitingF-Ntunnelingthroughabarrier, Schr?dinger’sequationissolvedforatriangularbarrier,usingWKBapproximation.

Thenthetunnelingcurrentis ………..(2.1) F-Nplot(logJ/EOX2

vs.1/EOX)givesastraightlineandwecancalculate thebarrierheight,too.

Eq(2.1)canberewrittenas ………..(2.2)wherethepre-exponentCandslopeinF-Nplotaregivenby …..(2.3a)

…..(2.3b)Ex)Whenm*=0.5mandB=3.2eVandtheMOScapacitorsizeis100100m2, thegatecurrentis

EOX I 5MV/cm : 5.8210-22A 6MV/cm : 8.4310-18A 7MV/cm : 8.2810-15A 8MV/cm : 1.5110-12A 9MV/cm : 8.8710-11A 10MV/cm : 2.3610-09A

Thus,theF-Ntunnelingcurrentbecomesmeasurableattheelectricfieldstrengthover7MV/cm.

assumingthatpolyandsiarepinnedtobandedges underhighgatevoltage. I-Vcurvesfora8nmMOSgateoxide.CurvesBandCindicateahigherseriesresistancethancurveA.F-Np

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論