真空設(shè)備的維護(hù)和維修

真空設(shè)備的維護(hù)和維修§1愛(ài)護(hù)部分K機(jī)械真空泵的愛(ài)護(hù)和保養(yǎng)：泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持淸潔。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標(biāo)中心。不同種類和牌號(hào)的真空泵油不可混合使用。70°C。新泵在使用100h左右應(yīng)換1 2次汕，待換下的油內(nèi)不再發(fā)覺(jué)含黑色金屬粉末后，可加長(zhǎng)換油期限。依照說(shuō)明書規(guī)泄和使用實(shí)際情形來(lái)確定換油期限。新泵和修理后的泵應(yīng)現(xiàn)作運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn)4 6h,檢査泵是否符合使用要求。泵使用較長(zhǎng)時(shí)刻以后（2 3年不等），極限真空度下降，應(yīng)進(jìn)行一次檢修。同時(shí)也應(yīng)對(duì)統(tǒng)、管道、閥門和電動(dòng)機(jī)等加以淸洗、檢修。系統(tǒng)連接的真空管（關(guān)低真空閥或夾真空夾），防止噴油，污染工作場(chǎng)地。泵上所有機(jī)件，非絕對(duì)必要，切勿自行拆卸。泵不用時(shí)，應(yīng)用橡皮塞（帽）把進(jìn)氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西落入泵內(nèi)。經(jīng)常注意真空技術(shù)進(jìn)展動(dòng)向，盡量及早地引入新技術(shù)、新材料（如新泵油等），有系統(tǒng)的性能。以上數(shù)點(diǎn)，可按具體情形，訂出相應(yīng)操作規(guī)程，嚴(yán)格施行。、整套設(shè)備的日常愛(ài)護(hù)：操作人員要熟悉各種外表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并明白得各種說(shuō)明書。冷卻水水壓應(yīng)保持0.1 0.2Hpa之間，出水溫度W45°C。壓縮空氣壓力在0.4 0.5Mpa之間。每爐開機(jī)前，要檢查愛(ài)護(hù)氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。開機(jī)后如有專門情形，應(yīng)趕忙排除或停機(jī)査找緣故。經(jīng)常檢査各部分的回水量，工作時(shí)應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。內(nèi)的循環(huán)水放掉。放潔凈。擴(kuò)散泵換油時(shí)，內(nèi)部如有氧化，要把擴(kuò)散泵內(nèi)部的氧化層處理潔凈，然后再換上新汕。99.99臥本設(shè)備不承諾使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為愛(ài)護(hù)氣氛。抹布擦拭。氣動(dòng)系統(tǒng)的氣動(dòng)三連件上的汕水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴(kuò)散泵油。設(shè)備的整機(jī)電壓要保證在350 420V范疇內(nèi)。三相要平穩(wěn)。氣。以上各部分及法蘭連接處不承諾長(zhǎng)期使用真空封泥密封。各部分的螺栓定期檢査，如發(fā)覺(jué)松動(dòng)，及時(shí)擰緊。題。設(shè)備的使用環(huán)境，在相對(duì)濕度85%以下，溫度在10 40°C。在拆修設(shè)備時(shí)，各部分不許重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。設(shè)備在工作時(shí)，操作人員不得長(zhǎng)時(shí)刻離崗?！?修理部分真空設(shè)備修理的要點(diǎn)：修理真空設(shè)備的要點(diǎn)是判左故障。往往是真空抽不上去，緣故可能有幾個(gè)，一泄要搞淸晰是什么緣故，也許真空機(jī)組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏髙，又或者兩種可能都有。這時(shí)，應(yīng)該耐心觀看和記錄，從中找出故障。比如，抽空時(shí)刻相同，而真空度偏低，這時(shí)候關(guān)閉主閥，如真空計(jì)指針專門快下降，多數(shù)情形是真空室漏了，這時(shí)候應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空il指針下降專門慢，多封漏油等故障。一、檢測(cè)漏率：用戶最頭疼的問(wèn)題確實(shí)是檢測(cè)漏率。漏一一分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測(cè)，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點(diǎn)能夠用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)鄰近逐步査尋，會(huì)發(fā)覺(jué)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。漏和微漏的査找：機(jī)組的抽氣能力和漏率平穩(wěn)了，然后再噴射。最好是反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)°漏和外漏的査找：內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒(méi)有發(fā)覺(jué)疑點(diǎn)，然而卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速明25kg中頻爐，配有2X-70ZJ-150羅茨泵加到一起抽也10Pa,ZJ-150二、故障點(diǎn)的處理：要求。三、修理時(shí)要注意的環(huán)節(jié)：修理應(yīng)注意幾個(gè)環(huán)節(jié)。即拆卸、淸潔、檢驗(yàn)及裝配。一左不能用大錘去敲。倒去。檢驗(yàn)是個(gè)細(xì)致活，每個(gè)細(xì)肖都不要落掉，任何細(xì)微的地點(diǎn)都可能是問(wèn)題所在，因此不能存在僥幸心理。不論是用汽油依舊其他溶劑淸洗的真空泵件，一立要等到汽油或溶劑完全揮發(fā)了才能進(jìn)行裝配貞空泵油若與英他的油或溶劑或水混合會(huì)破壞其性能，阻礙真空泵的性能指標(biāo)。 膠圈要擦潔凈，認(rèn)頁(yè)檢查有無(wú)缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對(duì)將阻礙密封。凡是有加 熱位豊的膠圈，每次拆卸淸洗時(shí)必須換，比如汕增壓泵各個(gè)接口，裝配時(shí)泵件同樣需要輕拿輕放：緊螺絲時(shí)用力要均，要從對(duì)角緊起。動(dòng)密封多用軸封，上軸封時(shí)要細(xì)心，先檢査軸封本身有無(wú)缺陷，密封面是否平坦，軸封簧彈性如何，在軸封內(nèi)側(cè)可薄薄地涂上一層真空脂,上軸封時(shí)用力要均，秤架軸封不要壓偏了，偏了就會(huì)漏汕、漏氣，軸封簧別擠到里面去，沒(méi)了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對(duì)輪連接的，對(duì)輪的同軸性要求專門嚴(yán)格，裝配時(shí)要從軸的四而去量，保證平行一致。羅茨泵的對(duì)齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個(gè)8型齒輪不相碰。擴(kuò)散泵的內(nèi)壁和噴射塔淸洗潔凈后最好用電力紡擦干。由于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的擴(kuò)散泵要緊靠電爐絲的2修理切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞淸晰就想因此的開始動(dòng)手拆卸，舊病未除又添新病,把簡(jiǎn)單的問(wèn)題復(fù)雜化了。、幾種情形下處理方式:2.1應(yīng)急處理建有備用水箱或連有自來(lái)水管。護(hù)，充氣壓力為-0.02MPa中造成的管路內(nèi)存有的大氣抽岀，使充氣管路保持淸潔。工作完畢后，再做處理。如不能確左泄露處，則應(yīng)趕忙停止工作，然后檢修。5070Pa20°C髙爐溫時(shí)保溫一個(gè)小時(shí)以上，然后自然冷卻。如此使設(shè)備內(nèi)部空間保持淸潔。2.2機(jī)械泵的滋見(jiàn)故障及修理：故障現(xiàn)象

產(chǎn)生緣故

排除方法1）不能達(dá)到所要求的1.進(jìn)氣管路及連接處漏氣。極限真空度。所抽吸氣體溫度過(guò)高。油量不足或油質(zhì)不對(duì)。4真空油已污損。油溫太低。排氣閥片損壞漏氣。

封堵。低進(jìn)氣溫度。增加新的機(jī)械泵用的真空油。更換新的真空油。更換新的排氣閥片。更換新的橡膠密封墊圈。所抽吸氣體中含有可凝性蒸8.須用氣鎮(zhèn)裝置或加裝蒸汽捕集氣。 置。機(jī)件損壞。機(jī)件損壞。選用真空計(jì)不對(duì)。2）油溫過(guò)高。真空泵漏油。泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常。有雜物或鐵屑吸入泵體。吸入氣體溫度過(guò)高。足。泵油、軸封損壞。油箱螺釘松動(dòng)或墊片損壞。泵潤(rùn)滑不良。三角帶太松或太緊。泵體內(nèi)有污物或磨損零件測(cè)得全壓強(qiáng)作參考。將泵拆開檢查修理，取出雜物。進(jìn)口管路上，裝冷卻裝置。量。換新的軸封。換新的墊片擰緊螺釘。檢查淸理潤(rùn)滑系統(tǒng)。調(diào)整三角帶的緊度。3.將泵拆開檢查排除之。2.2.3羅茨泵的常見(jiàn)故障：5X10"Pa,又稱機(jī)械增加泵。其工作原理是通過(guò)二個(gè)修理保養(yǎng)：① 應(yīng)經(jīng)常保持泵房環(huán)境淸潔干燥。② 的壓差范疇內(nèi)，否則易燒壞電機(jī)。③ 在拆修時(shí)各部件不能用重錘敲打。④ 起再裝配后漏氣現(xiàn)象，泵不能復(fù)原原有性能。⑤⑥按規(guī)定要求調(diào)整。⑦密封。

拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙瞇淸洗，干燥后才能裝配。裝配時(shí)要注意轉(zhuǎn)子兩端與左右側(cè)蓋的間隙，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵體的間隙泵體左右側(cè)蓋之間之結(jié)合面均采納107樹脂（即室溫硫化硅橡膠）⑧ 箱一側(cè)為右旋，從動(dòng)軸上則相反。故障 故障緣故 采取措施真空度達(dá) 被抽容器或連接管路漏氣不到要求 本泵汕封損壞漏氣（油杯的油漏進(jìn)泵內(nèi)）本泵各部螺絲松聲音專門 軸承疲勞損壞轉(zhuǎn)子間隙發(fā)生變化聯(lián)軸器疲勞損壞齒輪疲勞損壞電機(jī)燒毀 泵腔內(nèi)落入較大異物溢流閥銹死

更換油封更換軸承拆下齒輪經(jīng)淸洗后重新裝上并調(diào)整轉(zhuǎn)子之間間隙更換齒輪排除異物拆開溢流閥淸洗后重新裝回2.4油擴(kuò)散泵故障處理可關(guān)閉冷卻水。泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。被抽氣體應(yīng)是干燥、無(wú)腐蝕、無(wú)灰塵的氣體。泵如臨時(shí)不用，保管期間應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水內(nèi)的剩水吹凈。儲(chǔ)存場(chǎng)地的室溫應(yīng)在10°C 40°C之間。泵在正常運(yùn)行時(shí)如突然顯現(xiàn)性能變壞，應(yīng)先檢査加熱器是否正常。泵在長(zhǎng)期工作后，性能會(huì)逐步變壞，應(yīng)左期檢修。泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理。零件及泵腔先用航空汽油淸洗，然后用絲綢蘸乙醸或丙酮進(jìn)行擦洗，并置于 80°C 100°C溫下烘干或用電吹風(fēng)吹干。好。2.2.5整套設(shè)備的故障處理:故障現(xiàn)象1.粗抽閥無(wú)法開啟緣故壓縮空氣壓力是否夠粗抽閥的電磁換向閥不工處理方法0.4—0.6Mpa3作3.高真空閥上的行程開關(guān)未3.調(diào)整行程開關(guān)與上而蓋板的位壓緊苣合適2.電磁換向閥不工作1.接通電無(wú)吸合動(dòng)作1.線圈損壞，更換線圈或更換全電磁閥2.工作環(huán)境溫度低2.室溫高于+5°C3.閥體有堵塞3.通過(guò)手動(dòng)一電動(dòng)檢查淸洗閥體，然后注入泵油4.氣源氣壓不足4.達(dá)到0.4 0.6Mpa3.前級(jí)閥無(wú)法開啟1.氣壓不足1.參照故障32.電磁換向閥工作2.參照故障34.高真空閥無(wú)法開啟1.粗抽閥上行程開關(guān)未壓緊1.調(diào)整行程開關(guān)與上蓋板位苣合適2.氣源壓力不足2.達(dá)到0.4-0.6Mpa3.電磁換向閥3.參照故障34.真空度不夠（沒(méi)達(dá)到真空4.復(fù)合真空計(jì)（工作時(shí)）設(shè)定不計(jì)設(shè)定一上限小于5Pa5.前級(jí)閥未開5.在一泄條件開啟前級(jí)閥5.羅茨泵不啟動(dòng)1.真空電接點(diǎn)壓力表未接觸1.抽真空，使大圓表黑針到左邊上盡頭2.延時(shí)時(shí)刻未到2.等待3.空氣開關(guān)未合上3.檢査無(wú)問(wèn)題，合上開關(guān)6.擴(kuò)散泵不工作1.加熱時(shí)刻不夠1 KT—4001小時(shí)；2.油污染KT—60080分鐘2.換擴(kuò)散泵油（3號(hào)）3.真空粗抽不夠高3.真空度在5Pa以上4.冷卻水不暢通4.淸洗泵冷卻水路5.油量不適5.油少加汕，油多放掉些7.充氣系統(tǒng)不工作1.粗抽閥、高真空閥上的行1.調(diào)整行程開關(guān)和上而蓋板的位程開關(guān)未壓緊宜合適2.電磁充氣閥不動(dòng)作2.線圈斷路，更換線圈或者換新電磁閥8.風(fēng)機(jī)不啟動(dòng)1.電接點(diǎn)壓力表未接觸上1.等充氣圧力達(dá)到-0.02Mpa2