真空設(shè)備的維護和維修

真空設(shè)備的維護和維修§1愛護部分K機械真空泵的愛護和保養(yǎng)：泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持淸潔。泵在運轉(zhuǎn)過程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標中心。不同種類和牌號的真空泵油不可混合使用。70°C。新泵在使用100h左右應(yīng)換1 2次汕，待換下的油內(nèi)不再發(fā)覺含黑色金屬粉末后，可加長換油期限。依照說明書規(guī)泄和使用實際情形來確定換油期限。新泵和修理后的泵應(yīng)現(xiàn)作運轉(zhuǎn)試驗4 6h,檢査泵是否符合使用要求。泵使用較長時刻以后（2 3年不等），極限真空度下降，應(yīng)進行一次檢修。同時也應(yīng)對統(tǒng)、管道、閥門和電動機等加以淸洗、檢修。系統(tǒng)連接的真空管（關(guān)低真空閥或夾真空夾），防止噴油，污染工作場地。泵上所有機件，非絕對必要，切勿自行拆卸。泵不用時，應(yīng)用橡皮塞（帽）把進氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西落入泵內(nèi)。經(jīng)常注意真空技術(shù)進展動向，盡量及早地引入新技術(shù)、新材料（如新泵油等），有系統(tǒng)的性能。以上數(shù)點，可按具體情形，訂出相應(yīng)操作規(guī)程，嚴格施行。、整套設(shè)備的日常愛護：操作人員要熟悉各種外表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并明白得各種說明書。冷卻水水壓應(yīng)保持0.1 0.2Hpa之間，出水溫度W45°C。壓縮空氣壓力在0.4 0.5Mpa之間。每爐開機前，要檢查愛護氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。開機后如有專門情形，應(yīng)趕忙排除或停機査找緣故。經(jīng)常檢査各部分的回水量，工作時應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。內(nèi)的循環(huán)水放掉。放潔凈。擴散泵換油時，內(nèi)部如有氧化，要把擴散泵內(nèi)部的氧化層處理潔凈，然后再換上新汕。99.99臥本設(shè)備不承諾使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為愛護氣氛。抹布擦拭。氣動系統(tǒng)的氣動三連件上的汕水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴散泵油。設(shè)備的整機電壓要保證在350 420V范疇內(nèi)。三相要平穩(wěn)。氣。以上各部分及法蘭連接處不承諾長期使用真空封泥密封。各部分的螺栓定期檢査，如發(fā)覺松動，及時擰緊。題。設(shè)備的使用環(huán)境，在相對濕度85%以下，溫度在10 40°C。在拆修設(shè)備時，各部分不許重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。設(shè)備在工作時，操作人員不得長時刻離崗?！?修理部分真空設(shè)備修理的要點：修理真空設(shè)備的要點是判左故障。往往是真空抽不上去，緣故可能有幾個，一泄要搞淸晰是什么緣故，也許真空機組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏髙，又或者兩種可能都有。這時，應(yīng)該耐心觀看和記錄，從中找出故障。比如，抽空時刻相同，而真空度偏低，這時候關(guān)閉主閥，如真空計指針專門快下降，多數(shù)情形是真空室漏了，這時候應(yīng)先查出漏點。如真空il指針下降專門慢，多封漏油等故障。一、檢測漏率：用戶最頭疼的問題確實是檢測漏率。漏一一分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點能夠用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點鄰近逐步査尋，會發(fā)覺火苗向漏點偏移，則可找到漏點。漏和微漏的査找：機組的抽氣能力和漏率平穩(wěn)了，然后再噴射。最好是反復幾次，確認漏點°漏和外漏的査找：內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒有發(fā)覺疑點，然而卻有以下現(xiàn)象：機械泵的抽速明25kg中頻爐，配有2X-70ZJ-150羅茨泵加到一起抽也10Pa,ZJ-150二、故障點的處理：要求。三、修理時要注意的環(huán)節(jié)：修理應(yīng)注意幾個環(huán)節(jié)。即拆卸、淸潔、檢驗及裝配。一左不能用大錘去敲。倒去。檢驗是個細致活，每個細肖都不要落掉，任何細微的地點都可能是問題所在，因此不能存在僥幸心理。不論是用汽油依舊其他溶劑淸洗的真空泵件，一立要等到汽油或溶劑完全揮發(fā)了才能進行裝配貞空泵油若與英他的油或溶劑或水混合會破壞其性能，阻礙真空泵的性能指標。 膠圈要擦潔凈，認頁檢查有無缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對將阻礙密封。凡是有加 熱位豊的膠圈，每次拆卸淸洗時必須換，比如汕增壓泵各個接口，裝配時泵件同樣需要輕拿輕放：緊螺絲時用力要均，要從對角緊起。動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢査軸封本身有無缺陷，密封面是否平坦，軸封簧彈性如何，在軸封內(nèi)側(cè)可薄薄地涂上一層真空脂,上軸封時用力要均，秤架軸封不要壓偏了，偏了就會漏汕、漏氣，軸封簧別擠到里面去，沒了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸性要求專門嚴格，裝配時要從軸的四而去量，保證平行一致。羅茨泵的對齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個8型齒輪不相碰。擴散泵的內(nèi)壁和噴射塔淸洗潔凈后最好用電力紡擦干。由于國內(nèi)生產(chǎn)的擴散泵要緊靠電爐絲的2修理切記不可操之過急，故障沒搞淸晰就想因此的開始動手拆卸，舊病未除又添新病,把簡單的問題復雜化了。、幾種情形下處理方式:2.1應(yīng)急處理建有備用水箱或連有自來水管。護，充氣壓力為-0.02MPa中造成的管路內(nèi)存有的大氣抽岀，使充氣管路保持淸潔。工作完畢后，再做處理。如不能確左泄露處，則應(yīng)趕忙停止工作，然后檢修。5070Pa20°C髙爐溫時保溫一個小時以上，然后自然冷卻。如此使設(shè)備內(nèi)部空間保持淸潔。2.2機械泵的滋見故障及修理：故障現(xiàn)象

產(chǎn)生緣故

排除方法1）不能達到所要求的1.進氣管路及連接處漏氣。極限真空度。所抽吸氣體溫度過高。油量不足或油質(zhì)不對。4真空油已污損。油溫太低。排氣閥片損壞漏氣。

封堵。低進氣溫度。增加新的機械泵用的真空油。更換新的真空油。更換新的排氣閥片。更換新的橡膠密封墊圈。所抽吸氣體中含有可凝性蒸8.須用氣鎮(zhèn)裝置或加裝蒸汽捕集氣。 置。機件損壞。機件損壞。選用真空計不對。2）油溫過高。真空泵漏油。泵運轉(zhuǎn)不正常。有雜物或鐵屑吸入泵體。吸入氣體溫度過高。足。泵油、軸封損壞。油箱螺釘松動或墊片損壞。泵潤滑不良。三角帶太松或太緊。泵體內(nèi)有污物或磨損零件測得全壓強作參考。將泵拆開檢查修理，取出雜物。進口管路上，裝冷卻裝置。量。換新的軸封。換新的墊片擰緊螺釘。檢查淸理潤滑系統(tǒng)。調(diào)整三角帶的緊度。3.將泵拆開檢查排除之。2.2.3羅茨泵的常見故障：5X10"Pa,又稱機械增加泵。其工作原理是通過二個修理保養(yǎng)：① 應(yīng)經(jīng)常保持泵房環(huán)境淸潔干燥。② 的壓差范疇內(nèi)，否則易燒壞電機。③ 在拆修時各部件不能用重錘敲打。④ 起再裝配后漏氣現(xiàn)象，泵不能復原原有性能。⑤⑥按規(guī)定要求調(diào)整。⑦密封。

拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙瞇淸洗，干燥后才能裝配。裝配時要注意轉(zhuǎn)子兩端與左右側(cè)蓋的間隙，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵體的間隙泵體左右側(cè)蓋之間之結(jié)合面均采納107樹脂（即室溫硫化硅橡膠）⑧ 箱一側(cè)為右旋，從動軸上則相反。故障 故障緣故 采取措施真空度達 被抽容器或連接管路漏氣不到要求 本泵汕封損壞漏氣（油杯的油漏進泵內(nèi)）本泵各部螺絲松聲音專門 軸承疲勞損壞轉(zhuǎn)子間隙發(fā)生變化聯(lián)軸器疲勞損壞齒輪疲勞損壞電機燒毀 泵腔內(nèi)落入較大異物溢流閥銹死

更換油封更換軸承拆下齒輪經(jīng)淸洗后重新裝上并調(diào)整轉(zhuǎn)子之間間隙更換齒輪排除異物拆開溢流閥淸洗后重新裝回2.4油擴散泵故障處理可關(guān)閉冷卻水。泵停止工作時，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。被抽氣體應(yīng)是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。泵如臨時不用，保管期間應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水內(nèi)的剩水吹凈。儲存場地的室溫應(yīng)在10°C 40°C之間。泵在正常運行時如突然顯現(xiàn)性能變壞，應(yīng)先檢査加熱器是否正常。泵在長期工作后，性能會逐步變壞，應(yīng)左期檢修。泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理。零件及泵腔先用航空汽油淸洗，然后用絲綢蘸乙醸或丙酮進行擦洗，并置于 80°C 100°C溫下烘干或用電吹風吹干。好。2.2.5整套設(shè)備的故障處理:故障現(xiàn)象1.粗抽閥無法開啟緣故壓縮空氣壓力是否夠粗抽閥的電磁換向閥不工處理方法0.4—0.6Mpa3作3.高真空閥上的行程開關(guān)未3.調(diào)整行程開關(guān)與上而蓋板的位壓緊苣合適2.電磁換向閥不工作1.接通電無吸合動作1.線圈損壞，更換線圈或更換全電磁閥2.工作環(huán)境溫度低2.室溫高于+5°C3.閥體有堵塞3.通過手動一電動檢查淸洗閥體，然后注入泵油4.氣源氣壓不足4.達到0.4 0.6Mpa3.前級閥無法開啟1.氣壓不足1.參照故障32.電磁換向閥工作2.參照故障34.高真空閥無法開啟1.粗抽閥上行程開關(guān)未壓緊1.調(diào)整行程開關(guān)與上蓋板位苣合適2.氣源壓力不足2.達到0.4-0.6Mpa3.電磁換向閥3.參照故障34.真空度不夠（沒達到真空4.復合真空計（工作時）設(shè)定不計設(shè)定一上限小于5Pa5.前級閥未開5.在一泄條件開啟前級閥5.羅茨泵不啟動1.真空電接點壓力表未接觸1.抽真空，使大圓表黑針到左邊上盡頭2.延時時刻未到2.等待3.空氣開關(guān)未合上3.檢査無問題，合上開關(guān)6.擴散泵不工作1.加熱時刻不夠1 KT—4001小時；2.油污染KT—60080分鐘2.換擴散泵油（3號）3.真空粗抽不夠高3.真空度在5Pa以上4.冷卻水不暢通4.淸洗泵冷卻水路5.油量不適5.油少加汕，油多放掉些7.充氣系統(tǒng)不工作1.粗抽閥、高真空閥上的行1.調(diào)整行程開關(guān)和上而蓋板的位程開關(guān)未壓緊宜合適2.電磁充氣閥不動作2.線圈斷路，更換線圈或者換新電磁閥8.風機不啟動1.電接點壓力表未接觸上1.等充氣圧力達到-0.02Mpa2