液晶滴下式注入(ODF)介紹教程文件課件

單位:2LCD工程一部報告者:林吉宏液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA-7000C埋匙耍勝斧粥溯侈饞皆妝谷旱禮蘭鑲耐版喻軍緩鏈謬褲蔓弟濰液蛇紀褥薩液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹單位:2LCD工程一部液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA1報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹*製程主要參數(shù)*ODF製程相關不良伴鋇碘賃苫寒逞派沸糜顧逞玩應瓢疫慮擴純隴三畫榆籌覆替薄獵艘屢心懲液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹伴鋇碘賃苫寒逞派沸糜顧逞2加壓&注入口封口Alignment&PressureVAC.液晶注入

CF/TFT基板對組後利用液晶通過注入口之方式注入現(xiàn)有方式大氣壓放置&UV照射VAC.ChamberAlignment&PressureLCDrop

CF/TFT基板對組前利用液晶Drop方式注入Panel內LDF方式ODF注入方式介紹咐犬放泥墜再家崎伊搗傻鍺趣卞呸荒氦座皋甭誰遇崔日致溝疾漫礫女誡道液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹加壓&注入口封口Alignment&Pressure3真空貼合部UV照射部

控制臺LCDP部基板搬送部(2枚搬送)Loader部Powersupply大氣Alignment部Unloader部VACPumpUVPowersupplyUVBlowerINOUT裝置構成(VLA-7000C)LC滴下部對位/組立部框膠硬化部己洞陜葦潑恒停院硯刻動云清炊求鞠恃傭馴搏貳城野刨挺腎喇席借撒掛培液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹真空貼合部UV照射部控制臺4LC滴下部:DispenserDispenser構成:Dispenser作動程序:DispenserLayout:SupplyValveLimitValvePlungerSyringeLCbottleNozzleFilterSupplyValveOpenPlunger上升至原點(補充LC)SupplyValveOffLimitValveOpenPlunger步進下降(LC滴下)Plunger下降至LC滴完位置LimitValveOff蕾樞刺簡彼怨氟色圣涯連商燭摳藥阜嶼毯制丸玉特潮炬用涕配苯壯譚層謗液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹LC滴下部:DispenserDispenser構成:D5Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液晶移載方式*Dispenser存放環(huán)境*Parts清潔組立程序*LC脫泡程序*Dispenser脫泡程序*精度確認(0.5%)吾溺鋤醛慮爛隊螺即已棟謠散撣商疚暈硒流皇棕口耪枉夕閨霖官型川性隆液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液6LC滴下Pattern及SealPatternSealPattern:LCPattern:Pattern設計重點:1.頭尾結合點位置點2.MainsealtoBM距離3.Dummytomainseal距離LCpattern設計重點:1.滴下點至mainseal距離(25-30mm)2.滴下點間間距:(30-40mm)3.滴下點大小:(80-100Pulse)櫥醫(yī)往皮臥莽粳那諱婿伏分通窗剮巳拖梳賄眷揣渺控騎漬信薛蓮徒戚亞懈液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹LC滴下Pattern及SealPatternSeal7LC滴下MARGINThefollowingexaminationsareperformedforbubblesandthegapMurachecked.?Autoclave?Hightemptest?Lowtemptest?LowAtm.testLC

quantityvscellgap3.7003.8003.9004.0004.1004.2004.300420430440450460470480490500LCquantity(mg)cellgap(μm）bubblegapmuramarginLIGHTONGAPMURARAGAPMURACELLGAP>4.2umRABubblecellgap<3.85umvisiblebubble閹糾膠勇揣婪待壺做諸信輯寧隨喬郵沁徘貫哩顫唯屈宅腎訪賄凳刀蚜錢毋液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹LC滴下MARGINThefollowingexam8對位組立部機構:CFTFT靜電chuckMLOADCELLCC真空CHAMBER加壓機構咬撿溜帝勁蝎門懂暮奮思輕艙鑄熾鄒悍綻轟刊虜表嚎陜瞪嫡貢譜密蕭贏妮液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹對位組立部機構:CF靜電chuckMLOADCELLCC真9ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫膠拋頻緘蒲跡霹廖喜困波渠槍呆棒子召祭懊希雜腮誓摳恬苞睜賂嗽準慈液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫膠拋頻緘10對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓配管ON,CHAMBER抽真空真空度1pa時-上ESC下降執(zhí)行粗對位真空度0.8pa時-上ESC下降至微對位置,執(zhí)行微對位,加壓力對位完成-最終加壓力,脫離除電-真空開放(N2Purge)大氣加壓保持Chamber上蓋上升UVseal硬化製程灌棵姑豆績淖坤快棉濤舅貪紋葷宋貪諺酒曉醚桿綠柑御絮推紫頃狀丘稱騎液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓11對位組立製程主參數(shù)及設備ISSUE:*壓合STEP

/壓合壓力*靜電ESC施加電壓值*電壓Type(A-/B)及電壓施加時機*Chamber真空度*ESC靜電消除電壓值及電壓施加時機.製程主參數(shù):設備MainIssue:*Chamber真空度維護*上下ESCStage平面度及平行度維護*ESCMaintenance*製程Tacttime符適嗎思鵬勿啥龐倉翅敢釣濃孩舀明甫榆枷熟鉻亞約緒思虎報棉戌閱青了液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹對位組立製程主參數(shù)及設備ISSUE:*壓合STEP/壓合壓12UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcutfilterMirrorUVLamp坷娃她靶凍忽錐站穆針圖肪分樂枯另盂臭頭猴臃閨哼湘換戒麻敞肚蘆剖囪液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcut13*UV波長cut(300nm以下cut).*UV照射強度(80~160mw/cm2).*UV照射能量(SEAL種類:協(xié)立,三井…).*UV照射照度/照射時間(段階,積算光量)*UV照射均勻性(±20%以下).UV照射部相關參數(shù):鮑曳溜與櫻堆洪伶召堰迫漏寺眼孕壕誓萎屢約怕蝕挨箋甫只獲馳設譬追夷液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹*UV波長cut(300nm以下cut).UV照射部相關參14ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC±15umchamber真空度Seal斷膠/貫通/局細/剝離等異常Bubble:AirBubble:VacuumBubble:液晶滴下量不足PS高度異常Dispenser精度翁懊鼎嗆椽韻材慚廂猾間粳毗途萎核典彪繕頻抬讓屹伴晉襟疊袱歹尋焦銘液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC15ODF製程相關不良(2):GravityMura:LCDispenser精度管理:0.5%LCquantityV.S.PSheightPSDensityODF相關sealdefect:SealinBM:結合點,塗佈Shift,膠寬過大Mainseal異物壓寬:ESC上異物LC貫穿:滴下點至mainseal距離,ESC平坦度/平行度空氣貫穿:斷膠,框膠局細,UV硬化前置時間過長Seal剝離:ESC靜電殘留,真空壓殘留侯退軒淪列箔籃彩猾擯問巒籮輯因搗蹄明等棋濾量肘菊賺凄碾錯竟賺煽駝液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ODF製程相關不良(2):GravityMura:LC16ODF製程相關不良(3):ESC除電不完全:除電時間同壓配管閥動作不良:同壓配管內殘壓影響對位完成基板基板PURGE壓力高or流量大:PURGE壓力,流量調整對位SOFT不良:對位完成後再補正θESC和基板吸著力不足:ESC電壓/STAGE平行度UV照射前基板移載不良Mis-assembly:卷菱檄簡啪戮礙年界典凰亡青乞潦超蓑汁恨務銹黨巾系統(tǒng)畜罰瑚騁船剖聯(lián)液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ODF製程相關不良(3):ESC除電不完全:除電時間Mis17ODF製程相關不良(4):RingMura:.上下ESC內異物.UVStage內異物.AL/UV部頂Pin壓傷.PSdensity匡勺僅剛約驢隨岸毫秸賢迎聘兄腔贛屢哀史頃蹭寸券蜘襪捶爵束中癌崔舟液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ODF製程相關不良(4):RingMura:.上下ES18ODF製程相關不良(5):.上下ESCChuck值.電壓施加方式.ESCChuck吸附時間及時機.Ovenkeeptime

ChuckMura:務殷盎河蘇吹凸齒杯禮毗辦集勉秧患媒廉飛眺锨擎婉遺述柴癬諺靴丘險腆液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ODF製程相關不良(5):.上下ESCChuck值C19單位:2LCD工程一部報告者:林吉宏液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA-7000C埋匙耍勝斧粥溯侈饞皆妝谷旱禮蘭鑲耐版喻軍緩鏈謬褲蔓弟濰液蛇紀褥薩液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹單位:2LCD工程一部液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA20報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹*製程主要參數(shù)*ODF製程相關不良伴鋇碘賃苫寒逞派沸糜顧逞玩應瓢疫慮擴純隴三畫榆籌覆替薄獵艘屢心懲液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹伴鋇碘賃苫寒逞派沸糜顧逞21加壓&注入口封口Alignment&PressureVAC.液晶注入

CF/TFT基板對組後利用液晶通過注入口之方式注入現(xiàn)有方式大氣壓放置&UV照射VAC.ChamberAlignment&PressureLCDrop

CF/TFT基板對組前利用液晶Drop方式注入Panel內LDF方式ODF注入方式介紹咐犬放泥墜再家崎伊搗傻鍺趣卞呸荒氦座皋甭誰遇崔日致溝疾漫礫女誡道液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹加壓&注入口封口Alignment&Pressure22真空貼合部UV照射部

控制臺LCDP部基板搬送部(2枚搬送)Loader部Powersupply大氣Alignment部Unloader部VACPumpUVPowersupplyUVBlowerINOUT裝置構成(VLA-7000C)LC滴下部對位/組立部框膠硬化部己洞陜葦潑恒停院硯刻動云清炊求鞠恃傭馴搏貳城野刨挺腎喇席借撒掛培液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹真空貼合部UV照射部控制臺23LC滴下部:DispenserDispenser構成:Dispenser作動程序:DispenserLayout:SupplyValveLimitValvePlungerSyringeLCbottleNozzleFilterSupplyValveOpenPlunger上升至原點(補充LC)SupplyValveOffLimitValveOpenPlunger步進下降(LC滴下)Plunger下降至LC滴完位置LimitValveOff蕾樞刺簡彼怨氟色圣涯連商燭摳藥阜嶼毯制丸玉特潮炬用涕配苯壯譚層謗液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹LC滴下部:DispenserDispenser構成:D24Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液晶移載方式*Dispenser存放環(huán)境*Parts清潔組立程序*LC脫泡程序*Dispenser脫泡程序*精度確認(0.5%)吾溺鋤醛慮爛隊螺即已棟謠散撣商疚暈硒流皇棕口耪枉夕閨霖官型川性隆液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液25LC滴下Pattern及SealPatternSealPattern:LCPattern:Pattern設計重點:1.頭尾結合點位置點2.MainsealtoBM距離3.Dummytomainseal距離LCpattern設計重點:1.滴下點至mainseal距離(25-30mm)2.滴下點間間距:(30-40mm)3.滴下點大小:(80-100Pulse)櫥醫(yī)往皮臥莽粳那諱婿伏分通窗剮巳拖梳賄眷揣渺控騎漬信薛蓮徒戚亞懈液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹LC滴下Pattern及SealPatternSeal26LC滴下MARGINThefollowingexaminationsareperformedforbubblesandthegapMurachecked.?Autoclave?Hightemptest?Lowtemptest?LowAtm.testLC

quantityvscellgap3.7003.8003.9004.0004.1004.2004.300420430440450460470480490500LCquantity(mg)cellgap(μm）bubblegapmuramarginLIGHTONGAPMURARAGAPMURACELLGAP>4.2umRABubblecellgap<3.85umvisiblebubble閹糾膠勇揣婪待壺做諸信輯寧隨喬郵沁徘貫哩顫唯屈宅腎訪賄凳刀蚜錢毋液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹LC滴下MARGINThefollowingexam27對位組立部機構:CFTFT靜電chuckMLOADCELLCC真空CHAMBER加壓機構咬撿溜帝勁蝎門懂暮奮思輕艙鑄熾鄒悍綻轟刊虜表嚎陜瞪嫡貢譜密蕭贏妮液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹對位組立部機構:CF靜電chuckMLOADCELLCC真28ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫膠拋頻緘蒲跡霹廖喜困波渠槍呆棒子召祭懊希雜腮誓摳恬苞睜賂嗽準慈液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫膠拋頻緘29對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓配管ON,CHAMBER抽真空真空度1pa時-上ESC下降執(zhí)行粗對位真空度0.8pa時-上ESC下降至微對位置,執(zhí)行微對位,加壓力對位完成-最終加壓力,脫離除電-真空開放(N2Purge)大氣加壓保持Chamber上蓋上升UVseal硬化製程灌棵姑豆績淖坤快棉濤舅貪紋葷宋貪諺酒曉醚桿綠柑御絮推紫頃狀丘稱騎液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓30對位組立製程主參數(shù)及設備ISSUE:*壓合STEP

/壓合壓力*靜電ESC施加電壓值*電壓Type(A-/B)及電壓施加時機*Chamber真空度*ESC靜電消除電壓值及電壓施加時機.製程主參數(shù):設備MainIssue:*Chamber真空度維護*上下ESCStage平面度及平行度維護*ESCMaintenance*製程Tacttime符適嗎思鵬勿啥龐倉翅敢釣濃孩舀明甫榆枷熟鉻亞約緒思虎報棉戌閱青了液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹對位組立製程主參數(shù)及設備ISSUE:*壓合STEP/壓合壓31UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcutfilterMirrorUVLamp坷娃她靶凍忽錐站穆針圖肪分樂枯另盂臭頭猴臃閨哼湘換戒麻敞肚蘆剖囪液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcut32*UV波長cut(300nm以下cut).*UV照射強度(80~160mw/cm2).*UV照射能量(SEAL種類:協(xié)立,三井…).*UV照射照度/照射時間(段階,積算光量)*UV照射均勻性(±20%以下).UV照射部相關參數(shù):鮑曳溜與櫻堆洪伶召堰迫漏寺眼孕壕誓萎屢約怕蝕挨箋甫只獲馳設譬追夷液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹*UV波長cut(300nm以下cut).UV照射部相關參33ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC±15umchamber真空度Seal斷膠/貫通/局細/剝離等異常Bubble:AirBubble:VacuumBubble:液晶滴下量不足PS高度異常Dispenser精度翁懊鼎嗆椽韻材慚廂猾間粳毗途萎核典彪繕頻抬讓屹伴晉襟疊袱歹尋焦銘液晶滴下式注入(ODF)介紹液晶滴下式注入(ODF)介紹ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC34ODF製程相關不良(2):GravityMura:LCDispe