擴(kuò)散間注意事項

注意事項第1頁，共26頁。生產(chǎn)注意事項恒溫箱注意事項工藝衛(wèi)生注意事項違規(guī)作業(yè)第2頁，共26頁。生產(chǎn)注意事項第3頁，共26頁。1.按工藝要求調(diào)整原始硅片電阻率測量電流。2.測量方塊電阻時按工藝要求校準(zhǔn)電流。3.按工藝要求精確測量方塊電阻。

第4頁，共26頁。4.正常運行工藝時，舟不能自動進(jìn)出。應(yīng)：有可能是面板上的“急?！卑醇~處按下去了。限位開關(guān)未復(fù)位或損壞。保險絲燒斷，由設(shè)備換保險。第5頁，共26頁。5.換POCL３時，由于誤操作，將軟管接反源倒流，應(yīng)：立即關(guān)閉?。?，把軟管卸下，用帶有酒精的抹布擦拭。聯(lián)系工藝人員更換軟管。將Ｏ2打開至工藝標(biāo)準(zhǔn)。正確裝好再做鼓泡實驗。第6頁，共26頁。6．換源時搬運源瓶，閥門有液體滴下，應(yīng)：

立即將出氣口開至最大，（進(jìn)氣口也必須開），使源瓶內(nèi)部壓力保持平衡。如液面仍偏高，則可將源瓶微微傾斜，待源慢慢回流到瓶子里。第7頁，共26頁。恒溫箱注意事項第8頁，共26頁。恒溫箱界面第9頁，共26頁。恒溫箱采用水冷方式。擴(kuò)散源溫控制在20度±0.5度，使用時恒溫箱中需加入一定量的水，并要注意液位的變化，過高會溢出造成電器的短路，過低會造成源溫不受控，更換源瓶時需相應(yīng)加水或抽水。此外，還應(yīng)視水質(zhì)狀況進(jìn)行定期換水。第10頁，共26頁。工藝衛(wèi)生注意事項第11頁，共26頁。進(jìn)入擴(kuò)散間時必須穿潔凈服、并穿戴一次性鞋套。第12頁，共26頁。進(jìn)入風(fēng)淋門前要按要求穿戴好，雙臂上舉，旋轉(zhuǎn)風(fēng)淋30秒。第13頁，共26頁。違規(guī)作業(yè)嚴(yán)禁生產(chǎn)中出現(xiàn)此類行為第14頁，共26頁。工序安全嚴(yán)禁作業(yè)更換過源瓶后必須對源瓶軟管進(jìn)行檢查，以防止軟管老化，導(dǎo)致源外泄！第15頁，共26頁。以下是更換源瓶時沒有穿防護(hù)服!第16頁，共26頁。以下是更換源瓶時沒有戴好防毒面具穿防護(hù)服!第17頁，共26頁。禁止一只手拿兩個盒子！第18頁，共26頁。工序6S嚴(yán)禁作業(yè)禁止用舟叉點擊界面！第19頁，共26頁。禁止兩個傳遞窗同時打開！第20頁，共26頁。禁止用手直接與石英舟接觸！第21頁，共26頁。禁止不穿潔凈鞋進(jìn)入擴(kuò)散間！第22頁，共26頁。禁止把柜子門打開！第23頁，共26頁。禁止把擴(kuò)散間與刻蝕間的門同時打開！第24頁，共26頁。第25頁，共26頁。內(nèi)容梗概注意事項。5.換POCL３時，由于誤操作，將軟管接反源倒流，應(yīng)：。立即關(guān)閉?。?，把軟管卸下，用帶有酒精的抹布擦拭。6．換源時搬運源瓶，閥門有液體滴下，應(yīng)：。立即將出氣口開至最大，（進(jìn)氣口也必須開），使源瓶內(nèi)部壓力保持平衡。如液面仍偏高，則可將源瓶微微傾斜，待源慢慢回流到瓶子里。進(jìn)入風(fēng)淋門前要按要求穿戴好，雙臂上舉，旋轉(zhuǎn)風(fēng)淋30秒。更換過源瓶