大型設備說明-涂膠顯影機第1臺_第1頁
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文檔簡介

涂膠顯設備的組成及工作圖1-1涂膠顯影外觀圖1-2涂膠顯影布局圖(最大配置，其中為貴司配置了圖1-3涂膠顯影工作原理①涂膠模塊控制模塊集成在單元內，方便保Chuck812Cup單元內各關鍵參數(shù)均可形成log日志，方便后續(xù)查詢及數(shù)據收集整理分②熱板模塊50③冷板模塊1825°C最小溫度調整量0.1④機械手傳送系統(tǒng)Loadportwafer⑤軟件控制系統(tǒng)CassetteInformationCassette制程相關的所有條件參數(shù)做到了實時數(shù)字監(jiān)控，2LOG日誌和數(shù)字⑥化學品供應系統(tǒng)設備經經調研，設備經費為498.5萬元經調研，設備臺經費為498.5萬元，本項目共需購置1臺，共498.5萬元設備費用組成如下表2-1序設備名數(shù)單（萬元?。ㄈf元112498.50

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