富創(chuàng)精密：半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件龍頭公司步入發(fā)展快車道

富創(chuàng)精密：半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件龍頭公司，步入發(fā)展快車道1.富創(chuàng)精密：中國大陸半導(dǎo)體精密零部件的優(yōu)秀供應(yīng)商1.1股權(quán)結(jié)構(gòu)：沈陽先進為公司第一大股東，鄭廣文為實際控制人沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司（簡稱?富創(chuàng)精密?）成立于2008年6月24日，2022年10月10日于科創(chuàng)板上市，注冊資本20905.33萬元。沈陽先進為公司第一大股東，科創(chuàng)板發(fā)行上市后持有公司16.91%股權(quán)；實際控制人為鄭廣文，對公司生產(chǎn)經(jīng)營、重大決策具有實際的控制力。富創(chuàng)精密5%以上股份的股東包括寧波祥浦、上海國投，分別持有16.17%、13.67%股權(quán)；富創(chuàng)精密的三個持股平臺寧波芯富、寧波芯芯、寧波良芯，分別持有2.87%、0.48%、0.48%公司股權(quán)；此外富創(chuàng)精密員工資管計劃參與了科創(chuàng)板IPO上市發(fā)行，持有公司1.54%股權(quán)。公司擁有沈陽融創(chuàng)、北京富創(chuàng)、南通富創(chuàng)、富創(chuàng)研究院、沈陽強航5家境內(nèi)控股子公司，美國富創(chuàng)、日本富創(chuàng)2家境外全資子公司，上海廣川、芯鏈融創(chuàng)2家境內(nèi)參股公司。1.2產(chǎn)品類別：四大類產(chǎn)品布局，目前正處于高速發(fā)展期；部分產(chǎn)品已應(yīng)用于7nm前道半導(dǎo)體設(shè)備公司專注于金屬材料零部件精密制造技術(shù)，主要產(chǎn)品包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路四大類，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備及其它領(lǐng)域。根據(jù)中國證監(jiān)會發(fā)布的《上市公司行業(yè)分類指引（2012年修訂）》，公司所屬行業(yè)為?通用設(shè)備制造業(yè)?（代碼：C34）。半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件具有多品種、小批量、定制化的特點，工序繁瑣、技術(shù)難度大，公司主要提供的四大類產(chǎn)品具有如下特點：結(jié)構(gòu)零部件。工藝制程相對簡單，技術(shù)要求低于工藝零部件；公司與客戶的合作往往從結(jié)構(gòu)零部件開始，所以結(jié)構(gòu)零部件放量更快。工藝零部件。工藝制程更復(fù)雜、技術(shù)要求更高、客戶驗證周期更長，客戶選擇或替代其他供應(yīng)商更為謹慎。氣體管路/模組產(chǎn)品。屬于公司新開拓產(chǎn)品，模組產(chǎn)品的生產(chǎn)流程主要為裝配和測試，產(chǎn)品具有多品種、定制化的特點。公司的發(fā)展歷程主要包括三大階段：

（1）、2008-2014，工藝積累和技術(shù)攻關(guān)階段，實現(xiàn)國產(chǎn)化自主可控；成為A客戶合格供應(yīng)商。公司成立之初引進行業(yè)專家，帶來技術(shù)經(jīng)驗和專業(yè)能力，自研產(chǎn)品多為90納米以上制程半導(dǎo)體設(shè)備的工藝零部件和不直接參與晶圓反應(yīng)過程的外圍結(jié)構(gòu)零部件。公司于2011年承擔(dān)國家?02重大專項?中的?IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺?項目，依托?02重大專項?進行自主研發(fā)，掌握了部分精密零部件的制造技術(shù)，并取得了相應(yīng)專利保護。在這期間，公司成功向國際半導(dǎo)體設(shè)備龍頭客戶A交付了首款精密零部件產(chǎn)品，并通過其質(zhì)量體系認證，成為其合格供應(yīng)商。（2）、2014-2018，快速發(fā)展階段，部分技術(shù)達到主流國際客戶標準；成為A客戶戰(zhàn)略供應(yīng)商，并成為東京電子、VAT等國際知名企業(yè)的供應(yīng)商。2014年公司再次承擔(dān)國家?02重大專項?中?基于焊接和表面涂覆技術(shù)的大型鋁件制造技術(shù)開發(fā)?項目。通過持續(xù)研發(fā)投入，以及針對22nm以下大型鋁合金零部件超強耐腐蝕、特種焊接等技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，公司具備了一套完整的復(fù)合焊接工藝，掌握了特種涂層噴涂工藝等表面處理特種工藝核心技術(shù)，半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的焊接及表面處理特種工藝技術(shù)達到主流國際客戶標準。在這期間，公司成為客戶A的戰(zhàn)略供應(yīng)商，東京電子、VAT等國際知名企業(yè)的供應(yīng)商，并為北方華創(chuàng)、中科信裝備、拓荊科技等國內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)提供精密零部件的研發(fā)及量產(chǎn)配套服務(wù)。（3）、2018至今，高速發(fā)展階段，持續(xù)擴大產(chǎn)能；并不斷向高端產(chǎn)品發(fā)展。公司進入HATICHIHigh-Tech、ASMI等多個全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商供應(yīng)鏈體系。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的崛起，公司積極開拓國內(nèi)市場，實現(xiàn)了對主流國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的量產(chǎn)配套，內(nèi)銷收入規(guī)模不斷提升。目前，公司部分高端產(chǎn)品已應(yīng)用于7nm制程的半導(dǎo)體設(shè)備。公司主要產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，覆蓋集成電路制造中刻蝕、薄膜沉積、光刻及涂膠顯影、化學(xué)機械拋光、離子注入等核心環(huán)節(jié)設(shè)別，部分產(chǎn)品已應(yīng)用于7nm制程的前道設(shè)備中。1.3技術(shù)團隊：行業(yè)經(jīng)驗積累深厚，持續(xù)研發(fā)公司結(jié)合多年的技術(shù)研發(fā)與項目實踐經(jīng)驗所積累的科研成果，在精密機械制造、表面處理特種工藝、焊接等半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件關(guān)鍵環(huán)節(jié)具備了領(lǐng)先的技術(shù)能力。截止2021年12月31日，公司員工人數(shù)為1088人，其中研發(fā)人員225人，占比20.68%。截止2021年12月31日，公司總預(yù)算金額排名前10的在研項目包括：基于原子層沉積技術(shù)制備零部件保護薄膜研發(fā)項目、氣體流量控制器基座工藝技術(shù)研發(fā)項目、高端管路制造工藝研發(fā)項目、材料自動化焊接工藝研發(fā)項目、勻氣盤類產(chǎn)品流量均勻性和超高潔凈度技術(shù)研發(fā)項目、全球戰(zhàn)略客戶產(chǎn)品研發(fā)項目、高潔凈度高真空半導(dǎo)體門閥研發(fā)項目、離散制造的切削液集中供給系統(tǒng)研發(fā)項目、集成電路化學(xué)機械拋光設(shè)備關(guān)鍵零部件保持環(huán)制造工藝研發(fā)項目、離散制造的切屑收集及儲運系統(tǒng)研發(fā)項目等。根據(jù)富創(chuàng)精密招股說明書（注冊稿），公司獲國家發(fā)改委?集成電路裝備零部件精密制造技術(shù)國家地方聯(lián)合工程研究中心（遼寧）?、工信部?第三批專精特新‘小巨人’

企業(yè)?、工信部/國家發(fā)改委等?國家智能制造優(yōu)秀場景?、國家工業(yè)信息安全發(fā)展研究中心?2021年中小企業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型典型案例?、國家火炬中心?國家高新區(qū)瞪羚企業(yè)?、遼寧省科學(xué)技術(shù)廳?遼寧省瞪羚企業(yè)?、沈陽市科學(xué)技術(shù)局?2018年度沈陽市科技小巨人企業(yè)?等。1.4產(chǎn)能情況：產(chǎn)能利用率逐年快速提升公司的四大類產(chǎn)品主要產(chǎn)品包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路四大類，產(chǎn)能方面的情況為：

（1）、工藝和結(jié)構(gòu)零部件。以精密機械制造生產(chǎn)工序中的關(guān)鍵設(shè)備理論工時作為產(chǎn)能依據(jù)，2019年、2020年、2021年的理論產(chǎn)能分別為47.87萬小時、58.65萬小時、97.20萬小時；產(chǎn)能利用率分別為62.70%、81.21%、90.17%。（2）、氣體管路。2019年、2020年、2021年理論產(chǎn)能分別為14.4萬件、18萬件、18萬件；產(chǎn)能利用率快速提升，2019年、2020年、2021年分別為4.55%、23.32%和63.18%。公司采購的主要原材料包括鋁合金材料/不銹鋼等其他金屬原材料、加工件（經(jīng)過機械制造的鋁合金、不銹鋼等部件）、電子標準件（傳感器、執(zhí)行器、電氣元件等，一般用于模組產(chǎn)品）、機械標準件（管接頭、閥門、密封圈、金屬管路等，一般用于模組產(chǎn)品和氣體管路）等。主要采用以銷定產(chǎn)模式，通過詢價、比價、議價方式在合格供應(yīng)商名錄中確定供應(yīng)商；對于主要供應(yīng)商，公司一般與合格供應(yīng)商簽訂框架協(xié)議鎖定年度價格。部分客戶對部分原材料的供應(yīng)商存在復(fù)雜、長期的認證過程，且要求保障原材料質(zhì)量的穩(wěn)定、一致性和可追溯性，因此存在部分客戶指定原材料品牌或指定原材料供應(yīng)商的情形。2021年公司前五大原材料供應(yīng)商包括華航鋁業(yè)及其關(guān)聯(lián)方、美德材料及其關(guān)聯(lián)方、日本精工、盈沛貿(mào)易、世偉洛克等，前五大供應(yīng)商占當(dāng)期采購金額的比例合計41.60%。公司存在少量外協(xié)采購情況，2021年外協(xié)采購占比為3.80%，主要包括特種工藝外協(xié)和機械制造外協(xié)兩種情形。①、特種工藝外協(xié)，主要是公司針對一部分不具備能力或尚未成熟的特種工藝制程委外加工；②、機械制造外協(xié)，基于成本和交付周期考量，公司會將少量機械制造工序委外加工。2021年公司主要的外協(xié)供應(yīng)商包括APS、鳳城市世林機械有限責(zé)任公司、達成模具、濂達科技、東博機械等。1.5客戶情況：成為國內(nèi)外主流半導(dǎo)體設(shè)備廠商供應(yīng)商公司產(chǎn)品的高精度、高潔凈、高耐腐蝕、耐擊穿電壓等性能達到主流國際客戶標準，已進入客戶A、東京電子、HITACHIHi-Tech和ASMI等全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商供應(yīng)鏈體系，并且是客戶A的全球戰(zhàn)略供應(yīng)商。同時，基于半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化趨勢，公司積極開拓境內(nèi)市場，產(chǎn)品已進入包括北方華創(chuàng)、屹唐股份、中微公司、拓荊科技、華海清科、芯源微、中科信裝備、凱世通等主流國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商。成為多家半導(dǎo)體設(shè)備公司的合格/戰(zhàn)略供應(yīng)商。公司自2008年設(shè)立起對標客戶A的供應(yīng)商管理標準，不斷提升和完善自身管理和質(zhì)量控制體系。公司在2011年成為客戶A、芯源微的合格供應(yīng)商，2013年成為東京電子、拓荊科技的合格供應(yīng)商，此后陸續(xù)成為多家下游客戶的合格供應(yīng)商；2016年、2020年分別成為客戶A、北方華創(chuàng)的戰(zhàn)略供應(yīng)商?？蛻艏卸雀?，這也與半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件呈高度壟斷競爭格局一致。2021年公司前五大客戶（受同一實際控制人控制的企業(yè)合并計算）的銷售情況為客戶A、北方華創(chuàng)、華海清科、客戶C、拓荊科技，銷售收入占當(dāng)期營業(yè)收入的比例分別為55.97%、19.11%、5.47%、3.29%和2.39%，合計86.23%。2.財務(wù)情況：氣體管路和模組產(chǎn)品收入快速增長，規(guī)模效應(yīng)開始顯現(xiàn)2.1盈利情況：氣體管路/模組產(chǎn)品收入增長快速，業(yè)務(wù)毛利率30%以上收入增長明顯。公司主要有四大類產(chǎn)品包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品、氣體管路，2019年、2020年、2021年實現(xiàn)收入25335.12萬元、48121.85萬元和84312.82萬元，2020年、2021年分別同比增89.94%、75.21%。按照收入情況來看，2019年、2020年、2021年主營業(yè)務(wù)收入占比高達98.39%、98.30%、98.38%；其他業(yè)務(wù)收入主要為材料及廢料銷售收入和租賃收入，占營業(yè)收入的比重較小。根據(jù)公司2022年三季報數(shù)據(jù)，2022Q3單季度實現(xiàn)收入4.15億元，同比增82.07%；2022Q1-Q3累計實現(xiàn)收入10.13億元，同比增76.70%。主營業(yè)務(wù)收入按產(chǎn)品類別來看，工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件為收入貢獻占比較大的兩類產(chǎn)品。2021年結(jié)構(gòu)零部件、工藝零部件的占比分別為42.44%、21.50%；模組產(chǎn)品、氣體管路的收入不斷提升，2019年、2020年、2021年模組產(chǎn)品的收入分別為5875.55萬元、10036.11萬元、16123.81萬元，增長快速；2019年、2020年、2021年氣體管路的收入分別為557.85萬元、5890.17萬元和13783.57萬元，在主營業(yè)務(wù)收入中的占比從2019年的2.24%提升到2021年的16.62%，增長明顯。大陸地區(qū)收入貢獻占比逐年增加。2019年、2020年、2021年大陸地區(qū)的收入占比分別為15.34%、22.30%、39.32%，逐年提升；大陸以外地區(qū)的收入占比分別為84.66%、77.70%、60.68%，逐年下降。我們認為這主要是因為近年來國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司的成長，公司陸續(xù)成為它們的供應(yīng)商帶來收入增加導(dǎo)致。季度收入逐季增加。公司2019年Q1-Q4四個季度的平均收入為6231.53萬元，21Q4單季度收入達26791.16萬元，環(huán)比增20.72%。整體業(yè)務(wù)毛利率30%以上。2019年、2020年、2021年公司主營業(yè)務(wù)整體毛利率分別為16.16%、30.99%、30.99%。工藝零部件的毛利率分別為22.77%、36.04%、34.02%，結(jié)構(gòu)零部件的毛利率分別為18.19%、35.35%、32.38%；氣體管路的毛利率分別為-0.34%、34.95%、33.85%，提升明顯。凈利潤提升明顯。2019年、2020年、2021年歸母凈利潤分別為-3334.40萬元、9350.50萬元和12649.18萬元，提升明顯；2019年、2020年、2021年扣非后歸母凈利潤分別為-6016.99萬元、3161.11萬元和7484.73萬元。根據(jù)公司2022年三季報數(shù)據(jù)，2022年Q3單季度實現(xiàn)歸母凈利潤6278.22萬元，同比增62.90%；扣非后歸母凈利潤5005.44萬元，同比增61.34%；2022Q1-Q3實現(xiàn)累計歸母凈利潤1.63億元，同比增98.37%；累計扣非后歸母凈利潤1.24億元，同比增134.25%。2.2精密零部件具備多品種、小批量、定制化特點半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件具有多品種、小批量、定制化的特點，工序繁瑣、技術(shù)難度大，導(dǎo)致公司的各類產(chǎn)品針對不同客戶的平均單價都不太一樣。（1）、結(jié)構(gòu)零部件。公司銷售的平均單價2019年、2020年、2021年分別為522.20元/件、610.50元/件、754.49元/件；銷售給拓荊科技的平均單價高于整體銷售平均單價較多，主要為反應(yīng)腔、過渡腔和蓋板等產(chǎn)品。（2）、工藝零部件。公司銷售的平均單價2019年、2020年、2021年分別為13147.41元/件、11396.84元/件、10265.90元/件；銷售給北方華創(chuàng)、拓荊科技的平均單價高于整體銷售平均單價，銷售給客戶A的平均單價則低于整體銷售平均單價。伴隨銷售給國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司的銷量逐年增加，平均單價也呈現(xiàn)逐年下降的態(tài)勢。（3）、模組產(chǎn)品。公司銷售的整體平均單價2019年、2020年、2021年分別為16555.52元/件、33498.38元/件、29109.60元/件，銷售給客戶A的平均單價基本與整體銷售平均單價較為接近，而銷售給北方華創(chuàng)的平均單價則低于整體銷售平均單價。（4）、氣體管路。公司銷售的整體平均單價2019年、2020年、2021年分別為1233.92元/件、1630.86元/件和1347.30元/件，銷售給不同客戶的平均單價基本與整體銷售平均單價較為接近。工藝零部件、模組產(chǎn)品的平均單價較高，價值量較大；而氣體管路、結(jié)構(gòu)零部件產(chǎn)品的平均單價則略低，價值量較小。公司不同類別的產(chǎn)品單價隨著產(chǎn)品類型、不同客戶的變化而略有波動，這也體現(xiàn)出精密零部件具有多品種、小批量、定制化的特性。因為公司產(chǎn)品具備多品種、小批量、定制化的特性，其與不同客戶的半導(dǎo)體設(shè)備銷售量之間的匹配關(guān)系互不相同。2.3規(guī)模效應(yīng)逐步體現(xiàn)，期間費用率下降明顯期間費用率下降明顯。2019年、2020年、2021年公司的期間費用率分別為34.05%、19.89%、19.62%，隨著營業(yè)收入快速增長，規(guī)模效應(yīng)逐步體現(xiàn)，2020年的期間費用率相比2019年大幅下降。銷售費用率。2019年、2020年、2021年公司的銷售費用率分別為5.34%、2.54%、1.85%，行業(yè)平均銷售費用率則分別為2.85%、2.34%、2.58%；2021年富創(chuàng)精密的銷售費用率已低于同行業(yè)可比公司水平。管理費用率。2019年、2020年、2021年公司扣除股份支付費用后的管理費用率分別為13.35%、6.72%、7.12%，行業(yè)平均管理費用率分別為7.68%、6.23%、5.37%；

2021年富創(chuàng)精密的管理費用率高于同行業(yè)可比公司水平。研發(fā)費用率。2019年、2020年、2021年公司的研發(fā)費用率分別為11.37%、7.67%、8.80%，行業(yè)平均研發(fā)費用率分別為2.78%、2.12%和2.37%；富創(chuàng)精密的研發(fā)費用率高于同行業(yè)可比公司水平。流動性。2019年、2020年、2021年公司的流動比率分別為1.32倍、2.51倍和1.56倍，速動比率分別為0.80倍、1.96倍和1.16倍，處于較為合理水平。周轉(zhuǎn)率。2019年、2020年、2021年公司的應(yīng)收賬款周轉(zhuǎn)率分別為4.05倍、4.53倍和3.37倍，存貨周轉(zhuǎn)率分別為2.04倍、2.42倍和2.64倍。3.中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備商的快速發(fā)展將帶動精密零部件的需求持續(xù)增長3.1全球半導(dǎo)體設(shè)備市場增長迅速，2021年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備需求占比最大全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模增長迅速。半導(dǎo)體設(shè)備包括光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、化學(xué)機械拋光設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備等。近年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模逐步擴張。根據(jù)富創(chuàng)精密招股說明書援引SEMI統(tǒng)計數(shù)據(jù)，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售規(guī)模從2010年395億美元增長到2020年的712億美元；根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售規(guī)模達1026億美元，同比增44%。晶圓處理設(shè)備占半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額比例最大。半導(dǎo)體設(shè)備又可分為前道晶圓處理設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備、其他設(shè)備，前道晶圓處理設(shè)備的市場規(guī)模從2006年的287.4億美元增長到2021年的911.8億美元，增長明顯。中國大陸是2021年全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備銷售區(qū)域。分區(qū)域來看，2021年中國大陸、韓國、中國臺灣地區(qū)為前三大半導(dǎo)體設(shè)備銷售額區(qū)域，銷售額分別達296.2億美元、249.8億美元、249.4億美元，同比增58%、55%、45%。我們認為，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模不斷增長，公司作為快速發(fā)展的半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件公司，目前產(chǎn)品已經(jīng)進入客戶A、北方華創(chuàng)等國內(nèi)外優(yōu)秀半導(dǎo)體設(shè)備公司供應(yīng)鏈體系，公司實現(xiàn)快速發(fā)展可期。3.2精密零部件在下游設(shè)備的原材料成本中占比大，市場空間較大目前公司的半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件已廣泛應(yīng)用于光刻機、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、離子注入設(shè)備、高溫擴散設(shè)備、化學(xué)機械拋光設(shè)備等領(lǐng)域，我們選取幾家有代表性公司對富創(chuàng)精密所處的半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件賽道的需求用量進行對比分析。（1）、拓荊科技。根據(jù)拓荊科技招股說明書披露，拓荊科技采購的原材料主要包括機械類、機電一體類、電氣類、氣體輸送系統(tǒng)類、真空系統(tǒng)類、附屬設(shè)備等，2019年、2020年、2021年1-9月機械類原材料占其原材料采購總額的比例分別為27.69%、25.29%和28.20%，氣體輸送系統(tǒng)類占其原材料采購總額比例分別為8.79%、7.50%、和8.16%。（2）、中微公司。根據(jù)中微公司招股說明書披露，中微公司采購的原材料主要包括機械類、電器類、機電一體類、氣體輸送系統(tǒng)類、傳感器類、儀器儀表類、氣動系統(tǒng)類等，2016年、2017年、2018年機械類原材料占其原材料采購總額的比例分別為44.15%、41.21%和39.45%，氣體輸送系統(tǒng)類占其原材料采購總額比例分別為11.80%、16.45%和17.36%。（3）、屹唐半導(dǎo)體。根據(jù)屹唐半導(dǎo)體招股說明書披露，屹唐半導(dǎo)體采購的原材料主要為機械類、電氣類、機電一體類、氣體輸送系統(tǒng)類等，2018年、2019年、2020年機械類占其原材料采購總額的比例分別為33.42%、34.91%和37.62%，氣體輸送系統(tǒng)類占其原材料采購總額的比例分別為9.12%、7.57%和7.83%。根據(jù)富創(chuàng)精密招股說明書披露，保守測算2020年公司涉及的工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品、氣體管路四大類產(chǎn)品全球市場規(guī)模合計約160億美元。其中工藝/結(jié)構(gòu)零部件全球市場規(guī)模約84億美元，模組產(chǎn)品全球市場規(guī)模約40億美元，氣柜及氣體管路全球市場規(guī)模約35億美元，對應(yīng)市場空間較大。3.3市場格局：產(chǎn)品多而復(fù)雜，單一公司的全球市場占有率較低半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件行業(yè)內(nèi)多數(shù)企業(yè)往往關(guān)注個別生產(chǎn)工藝或特定產(chǎn)品，行業(yè)相對分散；且精密零部件供應(yīng)鏈信息和相應(yīng)產(chǎn)品的技術(shù)性能指標為各家設(shè)備廠商的?敏感?信息。因此無法從公開渠道獲得同行業(yè)可比公司的產(chǎn)品技術(shù)指標、市場排名和占有率等。4.盈利預(yù)測我們預(yù)測公司2022E-2024E收入分別為14.59億元、22.01億元和31.05億元，同比增73.02%、50.89%和41.08%；歸母凈利潤分別為2.23億元、3.65億元和5.03億元，同比增76.50%、63.51%和37.80%。主要基于如下假設(shè)條件：（1）、工藝零部件。在半導(dǎo)體設(shè)備匯中與晶圓直接接觸或直接參與晶圓反應(yīng)，一般在密閉腔室的復(fù)雜工藝環(huán)境中參與晶圓制程，起到延長設(shè)備的使用壽命，提升晶圓制造良率的作用。根據(jù)公司招股說明書披露，目前的工藝零部件主要產(chǎn)品包括腔體、內(nèi)襯、勻氣盤等，已用于立式擴散爐、刻蝕設(shè)備、離子注入機、PVD/CVD/ALD設(shè)備等。2019年、2020年、2021年實現(xiàn)收入分別為6661.79萬元、11693.16萬元和17833.92萬元，增長迅速；在主營業(yè)務(wù)收入中占比分別為26.73%、24.72%和21.50%。考慮到工藝零部件的制造難度更大，也與晶圓制造良率關(guān)系更緊密，直接影響晶圓制造良率，我們認為公司目前的工藝零部件產(chǎn)品已滿足下游客戶需求，處于快速增長階段，預(yù)計2022E-2024E收入以53.00%、33.00%、23.50%的增速成長，毛利率分別為35%、34%、33%。（2）、結(jié)構(gòu)零部件。在半導(dǎo)體設(shè)備中一般起連接、支撐和冷卻