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主要內(nèi)容1.溫度檢測(cè)2.壓力檢測(cè)3.流量檢測(cè)8.2.2測(cè)溫方法分類(lèi)
1、接觸式測(cè)量物體的熱平衡原理,優(yōu)點(diǎn)是直觀、可靠、體統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。缺點(diǎn)是時(shí)間滯后,對(duì)于較小的物體,可能因測(cè)溫元件引入影響溫度場(chǎng)分布而造成測(cè)量誤差,難以測(cè)量運(yùn)動(dòng)物體溫度,另外受溫度計(jì)材質(zhì)限制一般只適合于中低溫測(cè)量。如基于熱膨脹原理的膨脹式溫度儀表等。2、非接觸式測(cè)量物體輻射特性與溫度之間的關(guān)系設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)溫范圍廣、理論上無(wú)溫度上限限制、測(cè)溫響應(yīng)快、測(cè)溫過(guò)程不影響溫度場(chǎng)分布、能夠檢測(cè)運(yùn)動(dòng)物體溫度等。缺點(diǎn)是所測(cè)溫度與被測(cè)物體發(fā)射率等本身性質(zhì)的影響,一般需要對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行修正。如輻射溫度計(jì)、集成溫度傳感器、光纖測(cè)溫技術(shù)等。8.2.3典型測(cè)溫方法和傳感器
1、金屬熱電阻測(cè)溫(1)測(cè)溫原理及特點(diǎn)熱電阻溫度計(jì)是利用導(dǎo)體電阻值隨溫度變化的性質(zhì)測(cè)量溫度的。熱電阻的測(cè)溫范圍可以達(dá)到-260C900C,對(duì)大量的工業(yè)用測(cè)溫來(lái)說(shuō),熱電阻性?xún)r(jià)比高,中低溫區(qū)穩(wěn)定性好、準(zhǔn)確度高、靈敏度大,信號(hào)易于測(cè)量、便于遠(yuǎn)傳。但熱電阻體積較大、熱慣性大,不適于測(cè)量高溫物體、體積狹小物體和溫度快速變化的物體,另外抗振動(dòng)沖擊能力差。(2)熱電阻分類(lèi)
熱電阻按材料分,有鉑、銅、鎳、鐵、銠鐵、鉑鈷合金等;按精度等級(jí)分為標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)和工業(yè)熱電阻;按結(jié)構(gòu)分為線繞型、薄膜型和厚膜型。應(yīng)用熱電阻測(cè)溫,要根據(jù)測(cè)量要求、熱電阻基本參數(shù)進(jìn)行恰當(dāng)選擇。表7-1為幾種常用金屬熱電阻的分度號(hào)、測(cè)量范圍。表7-1金屬熱電阻分度及主要參數(shù)
(3)熱電阻引線方式工業(yè)用熱電阻由感溫元件、引線和保護(hù)管組成。常用引線方式有兩線制、三線制和四線制三種。兩線制在感溫元件兩端各引出一根引線,這種引線簡(jiǎn)單、便宜,但引線電阻及引線電阻變化會(huì)引入附加誤差,因此適用于引線不長(zhǎng)、測(cè)溫精度要求不高的場(chǎng)合。三線制在感溫元件一端引出一條引線,另一端引出兩條引線。這種引線可以較好地消除引線電阻影響,測(cè)量精度有所提高制。四線制是在感溫元件兩端各引出兩根引線,通過(guò)其中兩根引線構(gòu)成校正線路,能夠完全消除引線電阻的影響。圖7-1熱電阻引線方式(a)兩線制(b)三線制(c)四線制(a)(b)(c)2、半導(dǎo)體熱敏電阻測(cè)溫(1)半導(dǎo)體的熱點(diǎn)特性及分類(lèi)半導(dǎo)體的電阻與溫度之間的關(guān)系呈指數(shù)關(guān)系,可表示為:
式中A、B為常數(shù),與半導(dǎo)體的材料、結(jié)構(gòu)有關(guān),量綱分別為電阻和溫度。對(duì)上式微分可得熱敏電阻溫度系數(shù)為
由式(7-4)可以看出,電阻溫度系數(shù)隨著溫度變化而變化,即靈敏度隨著溫度的升高而降低,因此限制了熱敏電阻只能在低溫下使用。(2)半導(dǎo)體熱敏電阻的特點(diǎn)熱敏電阻靈敏度高,一般是金屬熱電阻的10多倍,電阻值高,通常在千歐以上,引線電阻對(duì)測(cè)溫幾乎沒(méi)有影響,不必使用三線制,響應(yīng)時(shí)間快,可用于動(dòng)態(tài)測(cè)量,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,價(jià)格便宜,化學(xué)穩(wěn)定性好,可用于惡劣環(huán)境。但其缺點(diǎn)是電阻溫度系數(shù)的非線性嚴(yán)重,而且一般僅適用于350C以下的溫度檢測(cè)。圖7-2為常見(jiàn)熱敏電阻結(jié)構(gòu)形式。使用半導(dǎo)體熱敏電阻應(yīng)注意:防止過(guò)電流使用以防電阻燒壞;開(kāi)始測(cè)量讀數(shù)的時(shí)間常數(shù)應(yīng)大于時(shí)間常數(shù)57倍,以保證讀書(shū)穩(wěn)定準(zhǔn)確;避免在溫度急驟變化的場(chǎng)合使用;注意防水耐寒等。圖7-2熱敏電阻結(jié)構(gòu)形式圖7-2熱敏電阻結(jié)構(gòu)形式(a)圓片形(b)薄膜形(c)桿形(d)管形(e)平板形(f)珠形(g)扁圓形(h)墊圈形(i)金屬帽引出的桿形(a)(b)(c)(d)(e)(f)(g)(h)(i)3、熱電偶測(cè)溫
(1)熱電偶選型熱電偶是利用金屬的熱電效應(yīng)進(jìn)行溫度測(cè)量的。標(biāo)準(zhǔn)化熱電偶八種,分度號(hào)分別為S、R、B、K、N、T、E、J,前三種由鉑和鉑銠合金制成,屬于貴金屬熱電偶,其余五種由鎳、鉻、硅、銅、鋁、錳、鎂、鈷等金屬合金制成,屬于賤金屬熱電偶。標(biāo)準(zhǔn)化工業(yè)熱電偶在使用時(shí)按照允差分為三個(gè)等級(jí)。表7-2標(biāo)準(zhǔn)化熱電偶的主要性能
表7-3標(biāo)準(zhǔn)化熱電偶的主要性能在實(shí)際測(cè)溫時(shí),一般應(yīng)在了解熱電偶基本特性的前提下,根據(jù)被測(cè)對(duì)象、測(cè)量氣氛、測(cè)溫范圍等正確選擇熱電偶。參考端溫度影響除用冷端補(bǔ)償措施外,也可通過(guò)適當(dāng)選型解決。當(dāng)溫度低于1000C時(shí),可選用K型熱電偶,冷端溫度在030C對(duì)測(cè)量的影響可忽略不計(jì),溫度高于1000C選用B型熱電偶,可忽略冷端溫度影響。熱電偶偶絲直徑選擇與溫度有關(guān),也影響動(dòng)態(tài)特性和精度。直徑大響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng),直徑小則使電阻增大,影響與測(cè)量電路的阻抗匹配,使精度下降。(2)熱電偶的冷端處理熱電勢(shì)是測(cè)量端與參考端溫度t、t0的函數(shù)差,只有參考端溫度恒定,才能得到熱電勢(shì)與測(cè)量端溫度之間的關(guān)系。實(shí)際上我們通常使用的熱電偶分度表是以參考端為0C制作的。但在工業(yè)檢測(cè)現(xiàn)場(chǎng),參考端溫度則難以保持恒定不變,更難以維持在0C,因此冷端處理是熱電偶在實(shí)際使用時(shí)必須面對(duì)的問(wèn)題。冷端處理方法可以概括為冷端恒溫、冷端溫度校正、冷端溫度自動(dòng)補(bǔ)償、補(bǔ)償導(dǎo)線。1)冷端恒溫在條件許可的情況下,通過(guò)人為方法創(chuàng)造0C或t0(非0C)的恒溫環(huán)境,如保溫瓶、恒溫槽、恒溫箱等,將冷端置于其中。對(duì)于恒溫在的情況,可以再通過(guò)溫度校正的方法進(jìn)行校正。2)冷端溫度校正根據(jù)熱電效應(yīng)的中間溫度定則可以對(duì)冷端恒定在tn的熱電勢(shì)值進(jìn)行修正:E(t,0)=E(t,tn)+E(tn,0)(7-6)其中E(tn,0)即為修正量,可以通過(guò)查分度表得出。但是由于熱電特性的非線性,將分度表上由E(t,0)查得的溫度t1直接加tn作為檢測(cè)結(jié)果是錯(cuò)誤的,工業(yè)檢測(cè)中經(jīng)常使用經(jīng)驗(yàn)公式校正:t=t1+K(tn-0)(7-7)式中t、t1、tn分別為測(cè)點(diǎn)實(shí)際溫度、由E(t,tn)值查分度表得到的溫度、冷端恒定溫度,K為經(jīng)驗(yàn)系數(shù)。不同熱電偶在不同溫度下具有不同的K值,可由相關(guān)資料給出。baRtR3R2R1+mVVV+ER圖7-4帶補(bǔ)償電橋的熱電偶測(cè)量電路例如在測(cè)量電路中串一個(gè)與測(cè)量用熱電偶A-B熱電特性相同的電偶C-D,如圖7-3所示。根據(jù)中間溫度定則,無(wú)論補(bǔ)償電偶正串還是反串,均可將參考端溫度變化補(bǔ)償?shù)?。補(bǔ)償電偶最好與測(cè)量電偶具有相同的熱電特性并且價(jià)格便宜。也可在熱電偶測(cè)量電路中加一個(gè)直流不平衡電橋,如圖7-4所示。該補(bǔ)償電橋由直流電源供電,輸出端串接在熱電偶回路中。橋臂電阻R1、R2、R3和限流電阻R選用錳銅電阻,阻值受溫度影響很小,橋臂電阻Rt為銅電阻,阻值隨溫度升高而增大,將其置于與熱電偶冷端同樣的溫度場(chǎng)中。tBAtnDCtnt0mVv圖7-3串接補(bǔ)償熱電偶回路baRtR3R2R1+mVVV+ER圖7-4帶補(bǔ)償電橋的熱電偶測(cè)量電路4)補(bǔ)償導(dǎo)線補(bǔ)償導(dǎo)線是在一定溫度范圍內(nèi)與某種熱電偶具有相同熱電特性的一對(duì)帶有絕緣層的導(dǎo)線或電纜。恰當(dāng)選用補(bǔ)償導(dǎo)線可將熱電偶的參考端延伸到遠(yuǎn)離熱源或環(huán)境溫度相對(duì)恒定的地方。為降低成本,補(bǔ)償導(dǎo)線一般選用賤金屬材料。如果熱電偶為貴金屬材料,稱(chēng)為補(bǔ)償型(C型),如果熱電偶本身就是賤金屬材料,則稱(chēng)為延伸型(X型)。補(bǔ)償導(dǎo)線使用方便,是熱電偶測(cè)量電路中經(jīng)常采用的方法,也是各種冷短端溫度補(bǔ)償方法中最基本的一種。表7-4常用補(bǔ)償導(dǎo)線與熱電偶配用關(guān)系(3)熱電偶的斷偶檢查在熱電偶自動(dòng)測(cè)溫電路中如果發(fā)生斷偶現(xiàn)象,輸出熱電勢(shì)為0,就會(huì)得出t=t0的錯(cuò)誤結(jié)果。為此,檢測(cè)電路中應(yīng)增加一個(gè)斷偶判斷的環(huán)節(jié)。如圖7-5所示,M—N為熱電偶輸出端,經(jīng)R1、R2、CF構(gòu)成的濾波網(wǎng)絡(luò)送入量程放大器A,再經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換后將測(cè)量結(jié)果送計(jì)算機(jī)處理。此電路中有一個(gè)UB和RB構(gòu)成的斷偶判斷環(huán)節(jié),RB為兆歐級(jí)大電阻。熱電偶正常工作時(shí)該環(huán)節(jié)相當(dāng)于開(kāi)路;當(dāng)發(fā)生斷偶時(shí),M-N處電壓為UB,UB選擇為經(jīng)放大后使A/D轉(zhuǎn)換器溢出,從而使計(jì)算機(jī)能夠判斷出斷偶發(fā)生。圖7-5熱電偶斷偶檢查(5)紅外輻射測(cè)溫紅外線是物體熱輻射光譜中位于可見(jiàn)光紅光以外的光譜,波長(zhǎng)范圍大致在0.75~1000m。與各種單色光相比,紅外光的熱效應(yīng)是最大的。紅外輻射測(cè)溫儀的工作波段一般在0.75~14m。通常由光學(xué)系統(tǒng)、紅外探測(cè)器、信號(hào)放大器及信號(hào)處理、指示器等部分組成,如圖7-7所示。光學(xué)系統(tǒng)匯聚被測(cè)物的紅外輻射能量,分投射式和反射式。投射式光學(xué)系統(tǒng)部件用紅外光學(xué)材料制成,且根據(jù)測(cè)溫范圍不同選擇不同的光學(xué)材料;反射式光學(xué)系統(tǒng)多采用凹面玻璃反射鏡,表面鍍金、鋁或鎳鉻登高反射率材料。圖7-7紅外輻射測(cè)溫儀工作原理紅外輻射測(cè)溫的優(yōu)點(diǎn)是:反應(yīng)速度快,反映時(shí)間一般都在毫秒級(jí)甚至微秒級(jí);靈敏度高,物體溫度的微小變化就會(huì)引起輻射能量較大變化;測(cè)溫范圍廣,測(cè)量準(zhǔn)確度高,可測(cè)溫度范圍可以從零下幾十度到零上幾千度;適用范圍廣,幾乎適用于所有溫度測(cè)量場(chǎng)合,尤其適合于較遠(yuǎn)距離的高速物體、帶電體、高溫高壓等物體的溫度測(cè)量。常用壓力檢測(cè)方法根據(jù)壓力檢測(cè)的工作原理,壓力檢測(cè)的幾種基本方法包括:1、重力平衡法利用一定高度的工作液體產(chǎn)生的重力或砝碼的重量與被測(cè)壓力相平衡的原理,將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為液柱高度或平衡砝碼的重量來(lái)測(cè)量。典型檢測(cè)儀表有液柱式壓力計(jì)和活塞式壓力計(jì)等。2、彈性力平衡法利用彈性元件受壓力作用發(fā)生彈性變形而產(chǎn)生的彈性力與被測(cè)壓力相平衡的原理,將壓力轉(zhuǎn)換成位移,通過(guò)測(cè)量彈性元件變形或位移的大小測(cè)出被測(cè)壓力。此類(lèi)壓力計(jì)種類(lèi)很多,可以測(cè)量壓力、負(fù)壓、絕對(duì)壓力和壓差等,而且通常可以變換為電信號(hào),便于遠(yuǎn)傳和實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè),故應(yīng)用最為廣泛。3、機(jī)械力平衡法將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成力,用外力與之平衡,通過(guò)測(cè)量平衡時(shí)的外力測(cè)知被測(cè)壓力。力平衡式壓力計(jì)可以達(dá)到較高精度,但結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜。4、物性測(cè)量法利用敏感元件在壓力的作用下,某些物理特性發(fā)生的變化與壓力相關(guān)的原理進(jìn)行測(cè)量,通??蓪⒈粶y(cè)壓力直接轉(zhuǎn)換為各種電量來(lái)測(cè)量。如壓電式、電容式壓力傳感器等等。
8.3.3常用壓力傳感器和壓力檢測(cè)儀表1、遠(yuǎn)傳式彈性壓力計(jì)及壓力傳感器壓力彈性元件機(jī)電轉(zhuǎn)換裝置測(cè)量放大裝置顯示輸出圖7-8遠(yuǎn)傳式彈性壓力計(jì)組成原理框圖
這類(lèi)壓力計(jì)或傳感器以彈性元件作為壓力的敏感元件,根據(jù)受壓產(chǎn)生的彈性變形(位移)可測(cè)知壓力。通過(guò)一定的轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)還可構(gòu)成就地式或遠(yuǎn)傳式壓力計(jì),圖7-8為遠(yuǎn)傳式彈性壓力計(jì)的結(jié)構(gòu)框圖。常用彈性元件有彈簧管(又稱(chēng)波登管)、彈性膜、波紋管等。圖7-9為各種常用彈性元件示意圖。壓力彈性元件機(jī)電轉(zhuǎn)換裝置測(cè)量放大裝置顯示輸出圖7-8遠(yuǎn)傳式彈性壓力計(jì)組成原理框圖圖7-9常用彈性元件(a)單圈彈簧管常用彈性元件(b)多圈彈簧管常用彈性元件(c)膜片(d)膜盒(e)波紋管彈簧管一端受壓時(shí),另一個(gè)自由端將產(chǎn)生彈性位移。其結(jié)構(gòu)分單圈式和多圈式兩種,如圖中(a)和(b)。單圈位移量大、靈敏度高。單圈式測(cè)量范圍通常在010MPa,多圈式測(cè)量范圍通常為1060MPa。(1)應(yīng)變式壓力傳感器應(yīng)變式壓力傳感器是基于導(dǎo)體和半導(dǎo)體的應(yīng)變效應(yīng)。由導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料制成的彈性元件在受到壓力作用時(shí)發(fā)生機(jī)械變形,其電阻值也將發(fā)生變化,根據(jù)阻值變化間接測(cè)出壓力,阻值相對(duì)變化與應(yīng)變有以下關(guān)系:式中為材料的應(yīng)變,K為材料的電阻應(yīng)變系數(shù),即單位應(yīng)變引起的電阻相對(duì)變化量。金屬材料的K值約為2~6,半導(dǎo)體材料的K值可達(dá)60~180。(7-16)
常用的應(yīng)變片結(jié)構(gòu)形式為箔式應(yīng)變片。通常將1片或多片(2片或4片)應(yīng)變片粘貼在彈性元件適當(dāng)位置上來(lái)感受變形,同時(shí)將應(yīng)變片接入電橋橋臂,則電橋輸出電壓即可反映被測(cè)壓力大小。為提高檢測(cè)精度和靈敏度,通常采用兩對(duì)應(yīng)變片組成全橋電路,并使相對(duì)橋臂的應(yīng)變片分別受拉和受壓。圖7-10壓力傳感器彈性體結(jié)構(gòu)形式及貼片方式
圖7-10壓力傳感器彈性體結(jié)構(gòu)形式及貼片方式(2)電容式差壓傳感器彈簧管電容式差壓傳感器是一組差動(dòng)電容。電容差動(dòng)連接有利于提高靈敏度、減小介電常數(shù)受溫度影響帶來(lái)的不穩(wěn)定性。如圖7-11所示,差動(dòng)電容的兩個(gè)定極板為兩個(gè)尺寸形狀相同、內(nèi)側(cè)鍍金屬膜的凹面體,動(dòng)極板為金屬圓形膜片處于兩個(gè)定極板中間位置,凹面體中間充滿(mǎn)硅油。當(dāng)傳感器兩側(cè)壓力相等時(shí),膜片位于中間位置,C1=C2。兩側(cè)有壓差時(shí),膜片位置發(fā)生偏移,兩側(cè)電容因極板距離變化而產(chǎn)生電容差值。若通過(guò)檢測(cè)電路將電容變化量轉(zhuǎn)化為420mA標(biāo)準(zhǔn)信號(hào),則輸出電流與被測(cè)壓差有關(guān),可達(dá)到間接檢測(cè)壓力的目的。圖7-11電容式差壓傳感器圖7-12霍爾式壓力傳感器彈簧管霍爾片磁鋼(3)霍爾式壓力傳感器
霍爾式壓力傳感器是基于半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)。片狀霍爾元件與彈簧管自由端相連,置于線性非均勻磁場(chǎng)中,彈簧管另一端受壓力作用使得彈簧管產(chǎn)生位移,帶動(dòng)霍爾元件在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)。若給霍爾元件兩端通恒定直流電,則在垂直于磁場(chǎng)和電流的方向上將會(huì)產(chǎn)生霍爾電勢(shì),該電勢(shì)大小與霍爾元件變形位移量成線性關(guān)系。(1)壓阻式壓力傳感器半導(dǎo)體材料受壓后電阻率發(fā)生變化的效應(yīng)稱(chēng)為壓阻效應(yīng)。壓力敏感元件為半導(dǎo)體硅圓片(膜片),通常做成膜盒,一側(cè)接入?yún)⒖級(jí)毫?,另一?cè)接受被測(cè)壓力。膜盒的電阻擴(kuò)散等效為如圖所示,其中R1和R3、R2和R4分別組成一對(duì),感受相同的應(yīng)力狀態(tài)。當(dāng)兩側(cè)壓力平衡時(shí),膜盒無(wú)變形,R1=R3=R2=R4,當(dāng)被測(cè)壓力大于參考?jí)毫r(shí),R1和R3受拉應(yīng)力,R2和R4受壓應(yīng)力。若將四個(gè)電阻值接入測(cè)量電橋,一對(duì)電阻作為相對(duì)橋臂,則電橋會(huì)輸出一個(gè)不平衡電壓,圖7-13為測(cè)量原理。
壓阻式壓力傳感器具有精度高、頻響高、測(cè)量范圍寬、溫度穩(wěn)定性好、抗干擾能力強(qiáng)、安裝維修方便等優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。(2)壓電式壓力傳感器圖7-13壓電式壓力傳感器結(jié)構(gòu)有些半導(dǎo)體材料沿著某一個(gè)方向受力而發(fā)生機(jī)械變形時(shí),其內(nèi)部將發(fā)生極化現(xiàn)象,而在其某些表面上產(chǎn)生電荷。當(dāng)外力撤除時(shí),又回到不帶電狀態(tài),這一現(xiàn)象稱(chēng)為壓電效應(yīng)。利用壓電材料的壓電效應(yīng),可以將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。(a)硅半導(dǎo)體壓力變送器敏感部件原理(b)硅半導(dǎo)體壓力變送器測(cè)量電路圖7-12硅半導(dǎo)體壓力變送器測(cè)量原理常用壓電材料有天然的壓電晶體(如石英晶體)和壓電陶瓷(如鈦酸鋇)兩大類(lèi),它們的壓電機(jī)理并不相同,但都具有較好特性,是較理想的壓電材料。圖7-13壓電式壓力傳感器結(jié)構(gòu)8.4流量檢測(cè)在石油、化工、水利等領(lǐng)域的過(guò)程檢測(cè)中,流量是一個(gè)重要的參數(shù),在管理、倉(cāng)儲(chǔ)、貿(mào)易等行業(yè)中,也需要檢測(cè)和計(jì)算物料總量。8.4.1流量的概念流量指流體(氣體、液體、粉末或固體顆粒等)單位時(shí)間流過(guò)管道截面的數(shù)量,也稱(chēng)瞬時(shí)流量。如果用體積表示流體數(shù)量,則稱(chēng)為體積流量,單位為米3/秒(m3/s),如果用質(zhì)量表示,則稱(chēng)為質(zhì)量流量,單位為千克/秒(kg/s)。在管理,倉(cāng)儲(chǔ)等行業(yè)中,更為關(guān)心一段時(shí)間內(nèi)的累積流量值,稱(chēng)為累計(jì)流量,單位為米3或千克。8.4.2流量計(jì)與流量檢測(cè)方法分類(lèi)由于流體流動(dòng)狀體復(fù)雜,介質(zhì)特性差異大,測(cè)量對(duì)象廣泛,因此流量檢測(cè)方法和流量計(jì)種類(lèi)較多,常用檢測(cè)方法和流量計(jì)包括:1、節(jié)流差壓法2、容積法3、阻力法4、速度法8.4.3典型流量計(jì)容積式流量計(jì)節(jié)流差壓式流量計(jì)轉(zhuǎn)子流量計(jì)靶式流量計(jì)渦街流量計(jì)電磁流量計(jì)超聲波流量計(jì)容積式流量計(jì)。一對(duì)相互嚙合的橢圓齒輪和和與之配合緊密的殼體組成測(cè)量室。流體流動(dòng)的壓力產(chǎn)生的力矩會(huì)推動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng),連續(xù)不斷地將充滿(mǎn)在齒輪與殼體之間的固定容積內(nèi)的流體排出,當(dāng)橢圓齒輪旋轉(zhuǎn)一周時(shí),將排出4個(gè)半月形(測(cè)量室)體積的流體。假設(shè)一個(gè)半月測(cè)量室的容積為V,齒輪轉(zhuǎn)數(shù)為n,單位時(shí)間內(nèi)體積流量為q
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