GB/T 14602-1993電子工業(yè)用氣體氯化氫

標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 14602-1993 是一項(xiàng)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，全稱(chēng)為《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氯化氫氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求，旨在確保氯化氫氣體的質(zhì)量滿(mǎn)足電子工業(yè)生產(chǎn)中的特定需求。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽：

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)生產(chǎn)中作為原料或工藝氣體使用的氯化氫氣體。

2. 規(guī)范性引用文件：列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)所直接引用或參考的其他標(biāo)準(zhǔn)文件，這些文件對(duì)于理解和執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的具體要求至關(guān)重要。

3. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中涉及的專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了解釋?zhuān)瑤椭x者準(zhǔn)確理解各項(xiàng)要求。

4. 技術(shù)要求：

   • 純度：規(guī)定了氯化氫氣體的最低純度要求，以確保其在電子元件制造過(guò)程中的高純度應(yīng)用。
   • 雜質(zhì)含量：詳細(xì)列出了可能存在的雜質(zhì)元素及其最大允許含量，如水、氧、氮、砷、磷等，以防止這些雜質(zhì)影響半導(dǎo)體材料的性能和成品率。
   • 物理狀態(tài)：包括氣體的壓力、溫度條件下的物理狀態(tài)要求，確保氣體的穩(wěn)定性和安全性。

5. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)描述了如何通過(guò)化學(xué)分析、氣相色譜等方法檢測(cè)氯化氫氣體的純度及雜質(zhì)含量，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

6. 檢驗(yàn)規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)項(xiàng)目、抽樣方法、判定規(guī)則等，確保每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

7. 包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存：

   • 包裝：要求使用耐腐蝕材料的容器進(jìn)行密封包裝，以防止氣體泄漏和外界污染。
   • 標(biāo)志：需明確標(biāo)注產(chǎn)品名稱(chēng)、規(guī)格、批號(hào)、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)廠家等信息，便于追溯和安全使用。
   • 運(yùn)輸：提供了運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)遵循的安全措施，以防泄漏和事故。
   • 儲(chǔ)存：指明了儲(chǔ)存條件，如溫度、壓力限制及避光、干燥等環(huán)境要求，以保持氣體品質(zhì)。

實(shí)施意義：

該標(biāo)準(zhǔn)的制定與執(zhí)行，對(duì)提升我國(guó)電子工業(yè)用氯化氫氣體的質(zhì)量控制水平、保障電子元器件的高性能生產(chǎn)、促進(jìn)電子行業(yè)技術(shù)進(jìn)步具有重要意義。它為生產(chǎn)商、用戶(hù)及檢測(cè)機(jī)構(gòu)提供了一套統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)，有利于維護(hù)市場(chǎng)秩序和產(chǎn)品質(zhì)量安全。

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