交接文件-技術(shù)協(xié)議顯影機(jī)

顯影機(jī)技術(shù)協(xié)甲方：西安微電子技術(shù)乙方：沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備還須滿足招標(biāo)文件及投標(biāo)文件的全部要求，并承諾所提供的設(shè)備必須滿足甲方正常生產(chǎn)需求。1、設(shè)備名稱：顯影2、設(shè)備數(shù)量：13、設(shè)備型號(hào)：KS-S300-4、設(shè)備性能指設(shè)備適用范設(shè)備適用于TSV晶圓級(jí)先進(jìn)封裝中8英寸和12英寸晶圓、玻璃片、晶圓與設(shè)備基本功設(shè)備可兼容8英寸（200mm）和12英寸（300mm）晶圓、玻璃片、晶圓與配備上下料單元、預(yù)對(duì)準(zhǔn)單元、顯影單元，3212FOUP8Cassette具備FOUP及Cassette中晶圓狀態(tài)掃描功能能夠識(shí)別插斜缺失等問(wèn)題，設(shè)備能夠在操作界面顯示每一片晶圓的具置；；顯影具有溫度控制功能，保證顯影的穩(wěn)定性，溫控精度可達(dá)到N2particle0.1μm以particle0.2μm以下，且入顯影腔體單元的DIW管路裝有超聲波流量計(jì)有功能并可設(shè)置，SEMISII標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行規(guī)劃設(shè)計(jì)，配有雙屏：1.Robot區(qū)域、各涂膠腔室顯影腔室各配置1臺(tái)機(jī)進(jìn)行實(shí)時(shí)畫面并實(shí)時(shí)顯示在屏；2.具備翹曲片作業(yè)能力不需要更換部件即可滿足最大翹曲度5mm的即并蜂鳴，機(jī)臺(tái)上部燈閃爍，提示用戶。用戶可忽略該，或根據(jù)報(bào)基于IPC控制系統(tǒng)Tcp/ip連接服務(wù)器，上傳數(shù)據(jù)SECS/GEM設(shè)備的log功能：設(shè)備有自動(dòng)記錄任何操作信息、信息功能，并可設(shè)USB接口導(dǎo)配置要上料、下料單配置12英寸FOUPLOADPORT2能夠兼容8英寸CASSETTE，128AdaptorAdaptor；晶圓傳片方式為機(jī)械自動(dòng)傳送，機(jī)械品牌為機(jī)械采用真空吸附方式進(jìn)行傳片機(jī)械采用進(jìn)流伺服馬達(dá)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制，馬達(dá)品牌為具備FOUP中晶圓數(shù)量的能力晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)單顯影單121~30μm正性光刻膠、1~120μm2套顯影液罐和顯影噴嘴：1套用于堿性顯影液、1套用于有機(jī)顯影DIW；配置1個(gè)BSR液罐和2個(gè)BSR噴嘴：液罐用于BSR有機(jī)液、噴嘴分別用于有機(jī)液和DIW；3套：111套顯影方式：噴淋式3000rpm，精度±1rpm及警，并立即停止作業(yè)；配置顯影液A/B罐自動(dòng)供給系統(tǒng)，當(dāng)機(jī)臺(tái)內(nèi)顯影液不足時(shí)，如檢測(cè)A罐A中；及排放，廢液桶具有液位檢測(cè)功能以及廢液桶功能。集成控制系軟件具備機(jī)臺(tái)參數(shù)實(shí)時(shí)功能工藝過(guò)程中的重要數(shù)據(jù)可通過(guò)軟件記錄軟件能夠?qū)χ匾考M(jìn)行統(tǒng)計(jì)管理，當(dāng)達(dá)到使用時(shí)可提示動(dòng)UP（15min證軟件系統(tǒng)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行保存在緊急停水停氣的情況下，設(shè)備。警報(bào)系機(jī)臺(tái)警報(bào)系統(tǒng)包含蜂鳴器及指示燈用戶可以根據(jù)需要選擇的處理方式，可以對(duì)歷史進(jìn)行查詢。指示燈意義：紅燈：技術(shù)參基本參0~999s正膠：CD開(kāi)口片內(nèi)均勻性：≤3%（最大-最?。?（2平均值CD開(kāi)口片間均勻性：≤5%（單片平均值的最大-單片平均值的最小）/（2單片平均值總和的平均值）100%；負(fù)膠：CD開(kāi)口片內(nèi)均勻性：≤5%（最大-最?。?（2平均值CD開(kāi)口片間均勻性：≤8%（單片平均值的最大-單片平均值的最?。?（2單片平均值總和的平均值）100%；1μm光刻膠：CD開(kāi)口片內(nèi)均勻性：≤1.5%（最大-最?。?（2CD開(kāi)口片間均勻性：≤3%（單片平均值的最大-單片平均值的最?。?（2單片平均值總和的平均值）100%；WPH指單個(gè)顯影腔室每小時(shí)可顯影的片數(shù)，其中走完進(jìn)料————顯影——出料整個(gè)流程算顯影112英寸晶圓顯影AZ系列正膠(400cp，12μm)為例。WPH：11破片upUptime≥95%（總時(shí)間-障時(shí)間）/100%設(shè)備表現(xiàn)能動(dòng)力條件要主機(jī)：1800×2200×2350mm（W×D×H400+400*7%V400-400*10%V，50HZ有特殊電源制式時(shí)，其它重點(diǎn)要廠家所提供的設(shè)備為全新設(shè)備（包含主機(jī)、輔機(jī)和附件乙方提供設(shè)備操作和維修工具5、安全保設(shè)備提供和安全互鎖功能，保證人員和設(shè)備的安全，對(duì)某些有潛在災(zāi)等、運(yùn)動(dòng)部件、電壓、氣壓差等。對(duì)于有互鎖限制的操作，只有當(dāng)互鎖緊急情況發(fā)生時(shí)，可以通過(guò)EMO回路緊急停止設(shè)備，減少人員設(shè)備。EMO按鈕為黃色背景紅色蘑菇頭形狀，在設(shè)備明顯位置。當(dāng)按下任意一個(gè)按鈕時(shí)，EMO回路就會(huì)切斷機(jī)臺(tái)供電。在斷電情況下，系統(tǒng)主電源會(huì)自動(dòng)關(guān)斷，恢設(shè)備的高溫、高壓、強(qiáng)腐蝕部分都貼有提醒標(biāo)記；設(shè)備高溫部件均需要6、備件及資料要隨機(jī)免費(fèi)附件（不包含機(jī)器自帶的標(biāo)準(zhǔn)配置備件11212813451246880M-471序號(hào)182339445真空電封363721房；（光盤）兩套合同簽訂后 乙方向甲方提供簽署蓋章的設(shè)備安裝資料，包括水、電7、其它要設(shè)備所有零部件和各種儀表的計(jì)量單位全部采用國(guó)際單位標(biāo)準(zhǔn)（SI標(biāo)準(zhǔn)觀，好。等國(guó)家強(qiáng)制性；8、包裝要，包裝箱采用木箱包裝防水膜進(jìn)行全包覆并符合ISO14001環(huán)保要，包裝可滿足長(zhǎng)途、防潮、防震、防塵、防裝卸包裝外部標(biāo)志清楚，包裝木箱堅(jiān)固可靠，符合的要求9、交貨期限及地41號(hào)西安微電子技術(shù)10、服務(wù)要乙方負(fù)責(zé)設(shè)備的包裝、（至甲方指定地點(diǎn)、機(jī)臺(tái)的安裝（設(shè)備主11、安裝培1030日內(nèi)具備生；師組織進(jìn)行，所有培訓(xùn)過(guò)程中所涉及的工具等必要物品由乙方提供；12、設(shè)備試機(jī)和驗(yàn)主要驗(yàn)收方法（驗(yàn)收包含但不限于以下內(nèi)容設(shè)備驗(yàn)收時(shí)所用工具和特殊耗材由乙方提前說(shuō)明并在驗(yàn)收時(shí)自帶CD開(kāi)口片內(nèi)均勻性：≤3%；CD開(kāi)口片間均勻性：≤5%；CD開(kāi)口片內(nèi)均勻性：≤5%；CD開(kāi)口片間均勻性：≤8%；1μmCDCD開(kāi)口片間均勻性：≤3%CD開(kāi)口片內(nèi)均勻性：≤3%；CD開(kāi)口片間均勻性：≤5%；CD開(kāi)口片內(nèi)均勻性：≤5%；CD開(kāi)口片間均勻性：≤8%；1μmCDCD開(kāi)口片間均勻性：≤3%（1.5002.設(shè)備驗(yàn)收完成后形成由甲乙雙方代表共同簽字驗(yàn)收生效13內(nèi)免費(fèi)保修，維修；機(jī)臺(tái)安裝版本的軟件，提供設(shè)備所需軟件的免費(fèi)升級(jí)服務(wù)（144遇到的各種問(wèn)題駐廠工程師后保證支持設(shè)備發(fā)生故障后設(shè)4小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，24小時(shí)內(nèi)到場(chǎng)進(jìn)行故障排除。14、設(shè)備易損易耗件等要提供易損易耗件，