干菲林培訓(xùn)教材

干菲林培訓(xùn)教材1目錄：

一、干菲林工序簡介二、干菲林工序流程圖三、干菲林各流程作用及原理四、主要缺陷、原因及改善措施五、工序潛力展望六、環(huán)保和工業(yè)安全2一、干菲林工序簡介

干菲林工序的作用是在清潔過的銅面上，通過貼膜、曝光、顯影將所需要的線路圖形從菲林上轉(zhuǎn)

移到板面上。

3二、干菲林工序流程圖

自動上板HoldtimeHoldtime

小于4小時(shí)小于48小時(shí)

自動出板Holdtime

小于48小時(shí)完成待到下工序

酸洗、鋁粉磨板自動貼膜自動曝光自動撕Mylar顯影AOI抽檢、目檢4三、干菲林各流程原理及作用(一).IS磨板機(jī)1.火山灰磨板機(jī)各段分布情況酸洗水洗鋁粉磨板清水洗高壓水洗超聲波水洗循環(huán)水洗熱風(fēng)吹干2.IS磨板機(jī)機(jī)器規(guī)格板料寬：6.7“-24.5”板料厚:0.004“-0.160”53.各段功能及參數(shù)控制

1).酸洗通過稀硫酸與銅面上氧化銅化學(xué)作用，去除氧化物，提高干膜與銅面附著力，其反應(yīng)原理為：

H2SO4+CUOCUSO4+H2O硫酸控制范圍為3-5%(ml/l），溫度為室溫。

2).水洗清洗板面上殘留酸液和CUSO4水溶液，室溫控制。6

3).鋁粉磨板上下共3對磨刷混合鋁粉將板面打磨并粗化銅面。磨刷的壽命取決于磨痕效果，當(dāng)達(dá)不到磨痕要求(1.0-1.5cm）時(shí)須更換磨刷。火山灰含量控制為15-25Vol%。4).清水洗粗略清洗板面和孔內(nèi)鋁粉75).超聲波水洗30-40C的超聲波水洗，目的是震去孔內(nèi)（特別是小孔）火山灰等雜物。6).高壓水洗清洗板面火山灰等雜物，壓力一般控制在40-80bar。7).熱風(fēng)吹干烘干板面，防止氧化，溫度范圍為70C-90C84.磨板效果檢查1).磨痕試驗(yàn)做法：開動磨板機(jī)（除磨轆）直放入一長度為18”或以上的板,待板到3對火山灰磨轆位置,停止運(yùn)輸,開動磨轆,約5秒鐘后停止磨轆.開動運(yùn)輸及水洗將板送出,觀察板面磨痕造否均勻,測量全部磨痕的寬度,正確磨痕寬度為1.0-1.5cm。若不在此范圍需調(diào)較磨轆濃度平輪。

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2).水破試驗(yàn)將磨過的板放入水缸（或用水喉水沖），使板面全部浸水，然后雙手將板拿離水缸，使板面垂直，板面水膜應(yīng)維技30秒（或以上）不破為合格。5.生產(chǎn)中須注意事項(xiàng)1).每班開工前檢查噴咀正確才能生產(chǎn)，每天清洗高壓水洗箱

2).每周清潔一次風(fēng)刀和烘干段運(yùn)輸轆10（二）自動貼膜（附預(yù)熱裝置）1.定義：基板經(jīng)磨板后，在加熱加壓條件下將干膜粘貼在覆銅箔上。干膜的抗蝕劑層受熱后變軟，流動性增加，借助于熱壓輥的壓力和抗蝕劑中粘結(jié)劑的作用完成。2.HitachiHLM-A60自動貼膜機(jī)規(guī)格板寬：200-610mm

板長：200-610mm

板厚：0.1-3.2mm113.干膜簡介干膜光致抗蝕劑簡稱干膜（Dryfilm）為水溶性阻劑膜層，厚度一般有1.2mil、1.5mil和2mil等,分聚酯保護(hù)膜、聚乙烯隔膜和光阻膜三層。聚乙烯隔膜的作用是當(dāng)卷狀干膜在運(yùn)輸及儲存時(shí)間中，防止其柔軟的阻劑膜層與聚乙烯保護(hù)膜之表面發(fā)生沾黏。而保護(hù)膜可防止氧氣滲入阻劑層與其中自由基產(chǎn)生意外反應(yīng)而使及光聚合反應(yīng)，耐堿性會加強(qiáng)對弱堿如碳酸鈉等有一定的抵抗力，未經(jīng)聚合反應(yīng)的干膜則很容易被碳酸鈉溶液沖脫。干膜的儲存期一般為六個(gè)月，由制造日期開始計(jì)起。注：使用干膜時(shí)，首先應(yīng)進(jìn)行外觀檢查。質(zhì)量好的干膜必須無氣泡、顆粒、雜質(zhì)；抗蝕膜厚度均勻；無膠層流動。124.預(yù)熱裝置預(yù)熱作用是烘干銅板，使貼膜前板面有50-65C熱度，以保證與干膜有良好附著力5.貼膜作用通過機(jī)器的熱壓作用，使干膜均勻平貼在銅面上，作為圖形轉(zhuǎn)移的載體6.貼膜一般參數(shù)控制貼膜速度：1.0-3.0m/min

壓轆溫度:100-120C

壓膜壓力:0.2-0.4MPa

13(三).自動曝光1.自動曝光定義已粘有干膜的板，經(jīng)在曝光機(jī)里與曝光菲林進(jìn)行機(jī)器自動對孔完畢后，曝光燈發(fā)出紫外光（波長250-450m)投射在其上，將曝光菲林上線路圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜上。吸收紫外光的干膜發(fā)生交聯(lián)聚合反應(yīng)后硬化變色；未吸收紫外光的干膜未聚合，沖板后溶掉142.ACP610SCT自動曝光機(jī)規(guī)格板厚:0.4mm-3.2mm

最小板尺寸:寬邊不小于190mm,長邊不小于60mm

最大板尺寸:534mm623mm

底尺寸:20”26”解像度:2mil

精準(zhǔn)度:±10m153.ACP610SCT自動曝光機(jī)主要工作原理及工作參數(shù)主要工作原理：ACP610SCT自動曝光機(jī)是自動進(jìn)板，通過CCD監(jiān)控兩定位孔與菲林對位，合格后自動曝光、自動出板的全自動曝光，所用光源是仿平行光源（POK）。主要工作參數(shù)：曝光真空度：-0.50—-0.65bar

菲林真空度:-0.8—-1.0bar

抽真空時(shí)間:62Sec

曝光燈工作時(shí)間:1000hr164.曝光能量控制21格曝光尺中取7-9格范圍中曝光感度5.環(huán)境控制和生產(chǎn)注意事項(xiàng)

A.環(huán)境控制溫度：18-22C濕度：45-65%塵粒數(shù)：0.5m塵粒小于1kB.生產(chǎn)注意事項(xiàng)菲林不能有擦傷、沙眼、灰塵、變形等，并按規(guī)定次數(shù)更換

17(四）.自動撕Mylar(保護(hù)膜)1).作用:利用風(fēng)刀和靜電作用將保護(hù)膜撕拉出來,剩下阻劑膜層來顯影2).MortonCSR2600自動撕Mylar機(jī)規(guī)格板長(min,max):7.87”30”

板厚(min,max):7.78”25.60”板厚:0.004“-0.126”最大速度:3m/min18(五）.顯影1.定義:將菲林上沒有曝光(即沒有聚合反應(yīng))的地方用0.8-1.2gle

的碳酸鈉藥水溶解,余下硬化的圖案,其反應(yīng)原理為:CO32-+RESIST-COOHHCO3-RESISTCOO-2.顯影流程

進(jìn)板

出板水洗的作用是去除板面上Na2CO3溶液,烘干是防止板面氧化和干膜繼續(xù)溶解Na2CO3溶液水洗水洗烘干193.顯影效果檢驗(yàn)及方法露銅點(diǎn)測試，測試方法：使用點(diǎn)長度超過藥水缸總長一半的未曝光的生產(chǎn)板，按生產(chǎn)條件進(jìn)入顯影機(jī)，等最后一塊板完全進(jìn)入到藥水缸時(shí)停顯影泵（運(yùn)輸、水洗仍開動），等板從烘干段出來后，觀察板面的干凈程度，例若于顯影段50%處板面干凈，未達(dá)50%處仍有余留，則顯影點(diǎn)為50%，例若于顯影段40%處板面已干凈，其余仍有余留，則顯影點(diǎn)為40%204.自動加藥量按干膜特性及說明書加5.除泡菲林渣溶于碳酸鈉內(nèi)會產(chǎn)生泡沫，影響顯影效果，需加入適當(dāng)除泡劑6.一般顯影參數(shù)顯影溫度：28-32C，顯影壓力：1.0-2.0Kg/Cm27.保養(yǎng)為減少機(jī)體內(nèi)外污物存在，每天和每周（產(chǎn)量約65kft2

/ww）需定時(shí)進(jìn)行保養(yǎng)21

A.每天保養(yǎng)事項(xiàng)每班清潔全部過濾袋，吸水海綿，檢查噴咀和風(fēng)刀是否堵塞，否則清理或更換。

B.每周保養(yǎng)（I）.清潔烘干段的運(yùn)輸轆、風(fēng)刀（II）.清洗藥水缸22程序?yàn)椋?/p>

4%-6%4%-6%0.8/-1%40-45OC

常溫室溫

NaOH溶液洗水洗鹽酸液洗水洗NaOH溶液洗23四、目檢常見缺陷、原因及改善措施1).缺陷:干膜松主要原因:1)磨板后板面有污痕或水痕2)貼膜壓力或溫度不夠3)顯影速度過慢改善措施:1)消除污痕來源,檢查烘干風(fēng)刀是否堵2)將壓力或溫度調(diào)至合適范圍3)將速度調(diào)至合適范圍

242).缺陷：干膜碎主要原因：1）貼膜壓力過大2）干膜超出板邊，到撕Mylar時(shí)帶起菲林碎3）自動撕Mylar機(jī)滑刀不夠銳利4）顯影壓力過大改善措施：1）將貼膜壓力調(diào)至合適范圍2）干膜尺寸不得大于板尺寸3）更換滑刀4）將顯影壓力調(diào)至合適范圍253).缺陷：崩孔主要原因：自動曝光機(jī)參數(shù)不合適，對歪孔改善措施：將曝光參數(shù)調(diào)至合適范圍4).