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文檔簡(jiǎn)介
1《傳感技術(shù)》總學(xué)時(shí):32任課教師:黃文2
主要參考資料蔣亞?wèn)|,謝光忠編著.敏感材料與傳感器.電子科技大學(xué)出版社,2008年。劉迎春,葉湘濱等著.現(xiàn)代新型傳感器原理與應(yīng)用.國(guó)防工業(yè)出版社,2000年5月。張福學(xué)著,現(xiàn)代壓電學(xué).科學(xué)出版社,2002年6月。作業(yè)4次,每2章(前8章范圍)一次作業(yè)。3考試方式考核方式:閉卷筆試成績(jī)?cè)u(píng)定:平時(shí)考核成績(jī)(30%)期末考試成績(jī)(70%)4先修課程固體物理學(xué)半導(dǎo)體物理學(xué)(?)
光學(xué)原理
(?)5聯(lián)系方式黃文Email:uestchw@
辦公室地址:211-12106第1章傳感器技術(shù)研究現(xiàn)狀及發(fā)展第2章傳感器的基本特性第3章應(yīng)變式傳感器第4章溫度傳感器第5章壓電式傳感器第6章壓阻式傳感器第7章新型紅外傳感器第8章新型氣體傳感器及陣列第9章電子聚合物基濕度傳感器主要內(nèi)容7第一章
傳感器技術(shù)研究現(xiàn)狀及發(fā)展
8信息技術(shù)的三大支柱傳感技術(shù)采集信息通信技術(shù)計(jì)算機(jī)技術(shù)傳輸信息處理信息作用作用作用9一、傳感器與傳感器技術(shù)二、傳感器的組成、分類及發(fā)展趨勢(shì)三、傳感器技術(shù)的特點(diǎn)及發(fā)展動(dòng)向四、傳感器的基本要求五、傳感器研究熱點(diǎn)與方法第1章傳感器技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展傳感技術(shù)的大背景10一、傳感器與傳感技術(shù)什么叫傳感器?什么叫傳感器技術(shù)?思考:汽車飛機(jī)傳感器類型與數(shù)量11Autopilot自動(dòng)輔助駕駛?cè)绾胃兄叨?12一般非電量電測(cè)法傳感系統(tǒng)的組成13非電量電測(cè)法測(cè)試系統(tǒng)的各部分的作用
1.
傳感器(Transducer/Sensor)能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換電路組成.2.
中間電路將傳感器輸出的微弱電信號(hào)進(jìn)行再次變換、放大、衰減、濾波、調(diào)制和解調(diào)等,使它們成為便于顯示、記錄或進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的信號(hào)。143.顯示與記錄器將中間變換與測(cè)量電路送來(lái)的電壓或電流信號(hào)不失真地顯示和記錄出來(lái)。4.
驅(qū)動(dòng)裝置產(chǎn)生人為驅(qū)動(dòng)信號(hào),是被測(cè)對(duì)象處于人為的工作狀態(tài)下,把內(nèi)部特性表現(xiàn)得更明顯。5.標(biāo)定裝置產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)輸入以便用實(shí)驗(yàn)的方法來(lái)得到被測(cè)量與顯示記錄之間準(zhǔn)確地量的關(guān)系。15什么叫傳感器?轉(zhuǎn)換電路物理信息化學(xué)信息生物信息電信號(hào)光信號(hào)敏感元件傳感器敏感元件是指?jìng)鞲衅髦心苤苯痈惺鼙粶y(cè)量的部分轉(zhuǎn)換電路指?jìng)鞲衅髦心軐⒚舾性敵鲛D(zhuǎn)換為適合于傳輸和測(cè)量的電信號(hào)部分國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB7665-87,對(duì)傳感器(Transducer/Sensor)的定義是:傳感器是能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換電路組成。16傳感器滿足定律守恒定律:包括能量,動(dòng)量,電荷量等守恒定律場(chǎng)的定律:包括動(dòng)力場(chǎng)的運(yùn)動(dòng)定律,電磁場(chǎng)的感應(yīng)定律等,其作用與物體在空間的位置及分布狀態(tài)有關(guān)物質(zhì)定律:它是表示各種物質(zhì)本身內(nèi)在性質(zhì)的定律,如虎克定律,歐姆定律等通常以這種物質(zhì)所固有的物理常數(shù)加以描述.統(tǒng)計(jì)法則:它是把微觀系統(tǒng)與宏觀系統(tǒng)聯(lián)系起來(lái)的物理法則.這些法則常與傳感器的工作狀態(tài)有關(guān).17傳感器實(shí)例18被測(cè)量敏感元件傳感元件信號(hào)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)換電路輔助電源電量19例:應(yīng)變式力傳感器
20什么是傳感器技術(shù)?材料學(xué)物理化學(xué)生物學(xué)電子學(xué)電路與系統(tǒng)機(jī)械傳感器技術(shù)傳感檢測(cè)原理傳感器件設(shè)計(jì)傳感器開發(fā)和應(yīng)用21傳感器技術(shù)傳感器技術(shù)是一個(gè)匯聚物理,化學(xué),材料,器件,機(jī)械,電子,生物工程等多類型交叉學(xué)科,涉及傳感檢測(cè)原理,傳感器件設(shè)計(jì),傳感器開發(fā)和應(yīng)用的綜合技術(shù)。22傳感器應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)自動(dòng)化農(nóng)業(yè)現(xiàn)代化軍事工程航天技術(shù)機(jī)器人技術(shù)資源探測(cè)海洋開發(fā)環(huán)境監(jiān)測(cè)安全保衛(wèi)醫(yī)療診斷家用電器23智能機(jī)器人●
視覺(jué)感應(yīng)器●水平感應(yīng)器:由紅外線感應(yīng)器和CCD攝像機(jī)構(gòu)成●超音波感應(yīng)器:以音波測(cè)量3m范圍內(nèi)的物體●陀螺儀和加速度檢測(cè)儀
24各國(guó)對(duì)傳感器的重視程度美國(guó)西歐中國(guó)尤里卡計(jì)劃八五-〉十三五白宮計(jì)劃腦計(jì)劃25二、傳感器的組成、分類及發(fā)展趨勢(shì)傳感器的基本構(gòu)成型式傳感器的分類傳感器的發(fā)展趨勢(shì)26傳感器的基本構(gòu)成型式自源型帶激勵(lì)源型外源式相同傳感器的補(bǔ)償型差動(dòng)結(jié)構(gòu)補(bǔ)償型不同傳感器的補(bǔ)償型27傳感器的基本構(gòu)成(6種)自源型-為僅含轉(zhuǎn)換元件的最簡(jiǎn)單,最基本的傳感器構(gòu)成型式特點(diǎn):①不需要外能源;②其轉(zhuǎn)換元件具有從被測(cè)對(duì)象直接吸取能量,并轉(zhuǎn)換成電量電效應(yīng);③輸出能量較好例:熱電偶,壓電器件等敏感元件輸入輸出自源型(61)28傳感器的基本構(gòu)成(6種)帶激勵(lì)源型-為轉(zhuǎn)換元件外加輔助能源構(gòu)成的型式輔助能源:起激勵(lì)作用,可以是電源也可以是磁源特點(diǎn):需要變換(測(cè)量)電路即有較大的電量輸出例:某些磁電式和霍爾等電磁感應(yīng)式傳感器敏感元件輔助能源輸入輸出帶激勵(lì)源型(62)29傳感器的基本構(gòu)成(6種)由利用被測(cè)量實(shí)現(xiàn)阻抗變換的轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成它必須通過(guò)帶外電源的變換(測(cè)量)電路.才能獲得電量輸出.外源式(63)轉(zhuǎn)換電路輸出敏感元件電源輸入特點(diǎn)30傳感器的基本構(gòu)成(6種)采用兩個(gè)原理和特性完全相同的轉(zhuǎn)換元件,并置于同一環(huán)境中作用:其中一個(gè)接受輸入信號(hào)和環(huán)境影響,另一個(gè)只接受環(huán)境影響,通過(guò)線路,使后者消除前者的環(huán)境干擾影響。這種構(gòu)成法在應(yīng)變式、固態(tài)壓阻式等傳感器中常被采用。相同傳感器的補(bǔ)償型(64)敏感元件敏感元件輸入輸出環(huán)境量31傳感器的基本構(gòu)成(6種)它也采用了兩個(gè)原理和特性完全相同的轉(zhuǎn)換元件,同時(shí)接收被測(cè)輸入量,并置于同一環(huán)境中。巧妙的是,兩個(gè)轉(zhuǎn)換元件對(duì)被測(cè)輸入量作反向轉(zhuǎn)換,對(duì)環(huán)境干擾量作同向轉(zhuǎn)換,通過(guò)變換(測(cè)量)電路使有用輸出量增加,干擾量相消。如壓差傳感器差動(dòng)結(jié)構(gòu)補(bǔ)償型(6
5)敏感元件敏感元件電源輸出輸入環(huán)境量(轉(zhuǎn)換電路)+-32傳感器的基本構(gòu)成(6種)采用兩個(gè)原理和性質(zhì)不相同的轉(zhuǎn)換元件,且不一定置于同一環(huán)境處,其中一個(gè)接受信號(hào),并已知其受環(huán)境影響的特性,另一個(gè)接受環(huán)境影響量,并通過(guò)電路向前者提供等效的抵消環(huán)境影響的補(bǔ)償信號(hào)如采用熱敏元件的溫度補(bǔ)償,采用壓電補(bǔ)償片的溫度和加速度干擾補(bǔ)償?shù)?。不同傳感器的補(bǔ)償型(66)敏感元件敏感元件電源輸出輸入環(huán)境量轉(zhuǎn)換電路33傳感器的分類分類方法說(shuō)明舉例按輸入量分類傳感器以被測(cè)物理量分類,也即按用途分類,便于用戶選擇。位移傳感器、速度傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器等按工作原理分類(變換原理)傳感器以工作原理命名,便于生產(chǎn)廠家專業(yè)生產(chǎn)。應(yīng)變式、電容式、電感式、壓電式、熱電式等按物理現(xiàn)象分類(信號(hào)變換特征)結(jié)構(gòu)型傳感器依賴其結(jié)構(gòu)參數(shù)變化實(shí)現(xiàn)信息轉(zhuǎn)換電容式傳感器:利用電容極板間隙或面積的變化
C物性型傳感器依賴其敏感元件物理特性的變化實(shí)現(xiàn)信息轉(zhuǎn)換壓電式傳感器:壓電效應(yīng),力電荷熱電偶:熱電效應(yīng)按能量關(guān)系分類能量轉(zhuǎn)換型傳感器直接將被測(cè)量的能量轉(zhuǎn)換為輸出量的能量溫度計(jì):吸收被測(cè)物的能量磁電式:線圈切割磁力線感應(yīng)電勢(shì)能量控制型由外部供給傳感器能量,而由被測(cè)量來(lái)控制輸出的能量電容傳感器:需外部供電,使x(t)C電流或電壓按輸出信號(hào)分類模擬式輸出量為模擬量數(shù)字式輸出量為數(shù)字量34常用分類方法傳感器按其敏感的工作原理,可以分為物理型、化學(xué)型和生物型三大類。物理型傳感器分為物性型傳感器和結(jié)構(gòu)型傳感器,物性型傳感器基于某些功能材料本身具有的內(nèi)在特性及效應(yīng)感受被測(cè)量。結(jié)構(gòu)型傳感器以敏感結(jié)構(gòu)具有的特定的物理規(guī)律來(lái)感受被測(cè)量?;瘜W(xué)傳感器利用電化學(xué)反應(yīng)原理來(lái)感受物質(zhì)的成分、濃度。常用的是離子敏傳感器,利用離子選擇性電極,測(cè)量溶液的pH值或某些離子的活度,如K、Na、Ca等。生物傳感器利用生物活性物質(zhì)選擇性的識(shí)別和測(cè)定實(shí)現(xiàn)測(cè)量,主要由兩大部分組成:一為功能識(shí)別物質(zhì),由其對(duì)被測(cè)物質(zhì)進(jìn)行特定識(shí)別;其二是電、光信號(hào)轉(zhuǎn)換裝置,由其把被測(cè)物所產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)轉(zhuǎn)換成便于傳輸?shù)碾娦盘?hào)或光信號(hào)。35溫度傳感器36離子感煙器37明火探測(cè)器38氣體傳感器39薄膜SnO2氣敏
傳感器結(jié)構(gòu)厚膜SnO2氣敏傳感器結(jié)構(gòu)40光電耦合陣列傳感器(1)41非致冷紅外傳感器(2)42柔性電生傳感器超柔電子器件與動(dòng)物大腦的高效集成的可能性仿表皮電子器件,展現(xiàn)與人體皮膚自然粘附及柔性射頻的可能性(NatureMaterials9:511-517,2010)(Science333,838-843,2011)43三、傳感器技術(shù)的特點(diǎn)及發(fā)展動(dòng)向傳感器技術(shù)的特點(diǎn)傳感器技術(shù)的發(fā)展動(dòng)向44傳感器技術(shù)的特點(diǎn)涉及多學(xué)科與技術(shù),包括材料科學(xué)、精密機(jī)械、微電子、微機(jī)械加工工藝、材料力學(xué)、彈性力學(xué)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、物理學(xué)、生物化學(xué)、測(cè)試技術(shù)等。品種繁多,被測(cè)參數(shù)包括熱工量、電工量、化學(xué)量、物理量、機(jī)械量、生物量、狀態(tài)量等。應(yīng)具有高穩(wěn)定性、高可靠性、高重復(fù)性、低遲滯、快響應(yīng)和良好的環(huán)境適應(yīng)性。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,無(wú)論是高新技術(shù),還是傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè),都需要應(yīng)用大量的傳感器。應(yīng)用要求千差萬(wàn)別,有的量大面廣,有的專業(yè)性很強(qiáng);有的要求高精度,有的要求高穩(wěn)定性,有的要求高可靠性;有的要求耐振動(dòng),有的要求防爆,等等。發(fā)展相對(duì)緩慢。但一旦成熟,其生命力強(qiáng),如應(yīng)變式傳感技術(shù)已有70年的歷史,目前仍然占有重要的地位。451.新材料、新功能的開發(fā)應(yīng)用
2.微機(jī)械加工工藝的發(fā)展
3.傳感器的多功能化發(fā)展
4.傳感器的智能化、網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展傳感器技術(shù)的發(fā)展動(dòng)向461.新材料、新功能的開發(fā)應(yīng)用此外,一些化合物半導(dǎo)體材料、復(fù)合材料、薄膜材料、形狀記憶合金材料等在傳感器技術(shù)中得到了成功地應(yīng)用。半導(dǎo)體硅材料石英晶體材料功能陶瓷材料其他材料472.微機(jī)械加工工藝的發(fā)展平面電子加工工藝技術(shù)固相鍵合工藝技術(shù)機(jī)械切割技術(shù)整體封裝工藝技術(shù)微機(jī)械加工工藝483.傳感器的多功能化發(fā)展一種同時(shí)檢測(cè)Na+、K+和H+離子的傳感器一種多功能氣體傳感器能夠同時(shí)測(cè)量H2S、C8H18、C10H20O、NH3四種氣體494.傳感器的智能化發(fā)展傳感器微處理器+智能化傳感器有線智能傳感器及網(wǎng)絡(luò)無(wú)線智能傳感器及網(wǎng)絡(luò)50《我國(guó)將制定24項(xiàng)傳感器國(guó)家新標(biāo)準(zhǔn)》中國(guó)信息產(chǎn)業(yè)網(wǎng)2015.05.20
隨著新一輪工業(yè)革命的興起,傳感器產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)前景不可估量。工信部電子元器件行業(yè)發(fā)展研究中心總工程師郭源生指出,未來(lái)5年內(nèi),全球傳感器年復(fù)合增長(zhǎng)率預(yù)計(jì)將超過(guò)10%。2015年全球市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到1770億美元,受可穿戴、智能制造技術(shù)發(fā)展加快和全球經(jīng)濟(jì)復(fù)蘇等因素影響,市場(chǎng)需求可能出現(xiàn)更大幅度增長(zhǎng)。與巨大的市場(chǎng)需求相比,現(xiàn)階段我國(guó)市場(chǎng)主要應(yīng)用的傳感器絕大部分仍然依賴進(jìn)口,主流市場(chǎng)產(chǎn)品依賴國(guó)外配套的情況尤為突出。與國(guó)外相比,我國(guó)企業(yè)在產(chǎn)品品質(zhì)、工藝水平、生產(chǎn)裝備、企業(yè)規(guī)模、市場(chǎng)占有率和綜合競(jìng)爭(zhēng)能力等方面仍不能與國(guó)外同類企業(yè)抗衡。同國(guó)際先進(jìn)水平相比,新品研制仍落后5~10年,而產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)工藝則落后10~15年。51
智能傳感器的定義及功能智能傳感器的定義
目前,關(guān)于智能傳感器的中、英文稱謂尚未完全統(tǒng)一。英國(guó)人將智能傳感器稱為“IntelligentSensor”;美國(guó)人則習(xí)慣于把智能傳感器稱作“SmartSensor”,直譯就是“靈巧的、聰明的傳感器”。
所謂智能傳感器,就是帶微處理器的,兼有信息檢測(cè)、信息處理、信息記憶與邏輯判斷功能的傳感器。
52
智能傳感器的最大特點(diǎn)就是將傳感器檢測(cè)信息的功能與微處理器的信息處理功能有機(jī)地融合在一起。從一定意義上講,它具有類似于人工智能的作用。
需要指出,這里講的“帶微處理器”包含兩種情況:
1)將傳感器與微處理器集成在一個(gè)芯片上構(gòu)成所謂的“集成智能傳感器”或者“單片智能傳感器”
2)傳感器能夠協(xié)同微處理器進(jìn)行工作,即“傳感器的智能化”。二者均屬于智能傳感器,雖然技術(shù)實(shí)現(xiàn)上有不同,但是對(duì)基本原理進(jìn)行理解時(shí)不用區(qū)別。
53
世界上第一個(gè)智能傳感器是美國(guó)霍尼韋爾(Honeywell)公司在1983年開發(fā)的ST3000系列智能壓力傳感器。它具有的多參數(shù)傳感(差壓、靜壓和溫度)與智能化的信號(hào)調(diào)理功能。最近,該公司還相繼開發(fā)出ST3000-900/2000等系列的新產(chǎn)品,使之功能進(jìn)一步完善。目前,ST3000系列智能壓力傳感器在全世界的銷量已突破50萬(wàn)只,深受廣大用戶的青睞。
54智能傳感器的功能
1)具有自校準(zhǔn)和自診斷功能。智能傳感器不僅能自動(dòng)檢測(cè)各種被測(cè)參數(shù),還能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)調(diào)平衡、自動(dòng)校準(zhǔn),某些智能傳感器還能自標(biāo)定功能。
55
2)具有數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、邏輯判斷和信息處理功能,能對(duì)被測(cè)量進(jìn)行信號(hào)調(diào)理或信號(hào)處理(包括對(duì)信號(hào)進(jìn)行預(yù)處理、線性化,或?qū)囟取㈧o壓力等參數(shù)進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償?shù)龋?/p>
56
3)具有組態(tài)功能,使用靈活。在智能傳感器系統(tǒng)中可設(shè)置多種模塊化的硬件和軟件,用戶可通過(guò)微處理器發(fā)出指令,改變智能傳感器的硬件模塊和軟件模塊的組合狀態(tài),完成不同的測(cè)量功能。
4)具有雙向通信功能,能直接與微處理器或單片機(jī)通信。
574智能傳感器的應(yīng)用
多路智能溫度控制器智能微塵傳感器
生物芯片58圖Pentium4處理器芯片
多路智能溫度控制器Pentium4處理器是Intel公司推出的高性能微處理器。最高主頻目前已達(dá)3.6GHz,它采用了0.13μm制程,集成度高達(dá)5500萬(wàn)~7700萬(wàn)只晶體管,在芯片中還有內(nèi)置數(shù)字溫度傳感器。59隨著Pentium4處理器運(yùn)行速度的大幅度提高,其功耗也顯著增加,必須采取更完善的散熱保護(hù)措施。
2010年,美國(guó)ADI公司專門開發(fā)出適配Pentium4處理器的ADT7460型智能化遠(yuǎn)程散熱風(fēng)扇控制器集成電路,并已用于奔騰4計(jì)算機(jī)產(chǎn)品中。
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奔騰4計(jì)算機(jī)的散熱控制電路。該計(jì)算機(jī)中共使用了3臺(tái)散熱風(fēng)扇。其中,風(fēng)扇1專門給CPU散熱,風(fēng)扇2和風(fēng)扇3分別安裝在主機(jī)箱的前面和后面給機(jī)箱散熱。61配套軟件日臻完善溫度傳感器+專用計(jì)算機(jī)測(cè)試軟件。62634.2智能微塵傳感器
智能微塵(SmartMicroDust)是一種具有電腦功能的超微型傳感器。從肉眼看來(lái),它和一顆沙粒沒(méi)有多大區(qū)別。但內(nèi)部卻包含了從信息收集、信息處理到信息發(fā)送所必需的全部部件。
64
目前,直徑約為1mm的智能微塵已經(jīng)問(wèn)世,智能微塵的外形及內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖所示。未來(lái)的智能微塵甚至可以懸浮在空中幾個(gè)小時(shí),搜集、處理并無(wú)線發(fā)射信息。智能微塵的外形及內(nèi)部結(jié)構(gòu)a)肉眼所看到的智能微塵b)智能微塵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)
65
智能微塵還可以“永久”使用,因?yàn)樗粌H自帶微型薄膜電池,還有一個(gè)微型的太陽(yáng)能電池為它充電。最近,美國(guó)英特爾公司制定了基于微型傳感器網(wǎng)絡(luò)的新型計(jì)算機(jī)的發(fā)展規(guī)劃,也將致力于研究智能微塵傳感器網(wǎng)絡(luò)的工作。66
4.3生物芯片西門子公司最近研制出一種能辨別氣體及其味道的微型芯片傳感器,可檢測(cè)空氣中臭氧含量,監(jiān)測(cè)火災(zāi)以及氣體泄漏。67
生物傳感器系統(tǒng)亦稱生物芯片,它是繼大規(guī)模集成電路之后的又一次具有深遠(yuǎn)意義的科技革命。生物芯片不僅能模擬人的嗅覺(jué)(如電子鼻)、視覺(jué)(如電子眼)、聽(tīng)覺(jué)、味覺(jué)、觸覺(jué)等,還能實(shí)現(xiàn)某些動(dòng)物的特異功能(例如海豚的聲納導(dǎo)航測(cè)距,蝙蝠的超聲波定位,犬類極靈敏的嗅覺(jué),信鴿的方向識(shí)別,昆蟲的復(fù)眼)。生物芯片的效率是傳統(tǒng)檢測(cè)手段的成百、上千倍。
68
德國(guó)英飛凌(Infineon)公司最近開發(fā)出具有活神經(jīng)細(xì)胞、能讀取細(xì)胞所發(fā)出電子信息的“神經(jīng)元芯片”,芯片上有16384個(gè)傳感器,每個(gè)傳感器之間的距離僅為8μm。當(dāng)人體受到電擊時(shí),利用它可獲取神經(jīng)組織的活動(dòng)數(shù)據(jù),再將這些數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成彩色圖片。
69傳感器敏感機(jī)理敏感材料選擇結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)工藝優(yōu)化五、傳感器研究方法70傳感器研究思路研究傳感器,首先得從研究敏感材料入手,研究敏感材料對(duì)外界物理、化學(xué)變化的敏感特性,包括響應(yīng)時(shí)間,變化規(guī)律,以及外界其他物理、化學(xué)環(huán)境變化對(duì)敏感材料敏感特性的影響設(shè)計(jì)合適的傳感功能結(jié)構(gòu)??紤]將敏感材料鍍?cè)谑裁礃拥钠骷Y(jié)構(gòu)上才使得敏感材料能夠發(fā)揮好其敏感特性制備工藝的研究后端對(duì)信號(hào)的處理電路,包括放大電路、濾波電路等。71六、電子科
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