TTCCT 001-2022 激光精密加工設(shè)備檢驗(yàn)檢測(cè)規(guī)范

ICS25.040.10CCSJ54團(tuán) 體 標(biāo) 準(zhǔn)T/TCCT001—2022激光精密加工設(shè)備檢驗(yàn)檢測(cè)規(guī)范激光精密加工設(shè)備檢驗(yàn)檢測(cè)規(guī)范CheckingStandardsforLaserMicromachiningEquipment2021-10-29發(fā)布 2022-05-08實(shí)施天津市檢服會(huì) 發(fā)布T/TCCT001T/TCCT001—2022II目 次前 言 II1范圍 12規(guī)性用件 13術(shù)和義 14產(chǎn)類別 35要求 36檢方法 57標(biāo)記 118文件 12附錄 A（范）儀器備 13參 考 文 獻(xiàn) 14T/TCCT001T/TCCT001—2022IIII前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。（T/TCCT001T/TCCT001—2022PAGEPAGE16激光精密加工設(shè)備檢驗(yàn)檢測(cè)規(guī)范范圍（GB7247.1-2012激光產(chǎn)品的安全第1部分：設(shè)備分類、要求GB/T18490.1-2017機(jī)械安全激光加工機(jī)第1部分：通用安全要求GB/T5226.1-2019機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第1部分：通用技術(shù)條件下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1 激光密工備 lasermicromachiningequipment3.2 激光器 laser利用受激輻射原理使光在工作介質(zhì)中放大或振蕩發(fā)射的器件3.3 光束徑 beamdiameter在垂直光束軸平面內(nèi)，內(nèi)含功率（或能量）占光束總功率（或能量）規(guī)定比例的最小孔徑的直徑。3.4 束散角 divergenceangle光束寬度[內(nèi)含功率（能量）定義的]在遠(yuǎn)場(chǎng)增大形成的漸進(jìn)面錐所構(gòu)成的全角度。3.5 光束向定度 beampointingstability所測(cè)束角移的準(zhǔn)方的倍3.6 光束輸比 beampropagationratioM2）beampropagationfactor（deprecated）K光束參數(shù)積逼近理想高斯光束衍射極限程度的度量，即：式中：K——光束傳輸因子——波長，單位為微米（μm）

M21K

d04d0（mm）——束散角，單位為毫弧度（mrad）3.7脈沖率 pulsepower脈沖能量與脈沖持續(xù)時(shí)間之比。3.8 偏振 polarization電磁波的振動(dòng)限制在一定方向的現(xiàn)象。3.9 光束量 beamquality激光束可聚焦程度的度量，是表征激光束聚焦能力的指標(biāo)。3.10脈沖度 pulseduration激光脈沖上升和下降到它的50%峰值功率點(diǎn)的間隔時(shí)間。3.11 脈沖重復(fù)頻率pulserepetitionfrequency指激光器每秒鐘所投射出的脈沖數(shù)目。3.12行程 travel運(yùn)動(dòng)部件移動(dòng)的最大距離。3.13工作回角 swivelangleoftable工作臺(tái)可回轉(zhuǎn)的最大角度。3.14位置差 deviationofposition運(yùn)動(dòng)部件到達(dá)的實(shí)際位置減去目標(biāo)位置之差。3.15軸線向復(fù)位度 unidirectionalrepeatabilityofpositioning沿軸線或繞軸線的任一位置的單向重復(fù)定位的最大值。3.16軸線向位度 unidirectionalaccuracyofpositioningofanaxis由單向定位系統(tǒng)偏差和單向軸線重復(fù)定位精度估算的2倍的組合來確定的范圍。3.17 振鏡galvoscanningsystem按照GB/T4754C35C356要求1表1 激光特要求項(xiàng)目單位要求光斑直徑百分比偏差在標(biāo)稱值±10%之內(nèi)光斑圓度百分比>標(biāo)稱值發(fā)散角毫弧度mrad<2.0mrad(FullAngle)光束指向穩(wěn)定性每分鐘或每攝氏度（PerMinute/Per℃）<50.0urad光束質(zhì)量M2百分比偏差在標(biāo)稱值±10%之內(nèi)脈沖能量非穩(wěn)定度均方差rms<2%脈寬百分比在標(biāo)稱值50%-100%之間偏振比激光通過率的比值>100:1平均功率穩(wěn)定性均方差rms<2%2表2 其它光密工備性要求項(xiàng)目單位要求定位精度水平軸定位精度比值≤1.1垂直軸定位精度比值≤1.1水平旋轉(zhuǎn)軸定位精度比值≤1.1垂直旋轉(zhuǎn)軸定位精度比值≤1.1振鏡軸定位精度比值≤1.1重復(fù)定位精度水平軸重復(fù)定位精度比值≤1.1垂直軸重復(fù)定位精度比值≤1.1水平旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)定位精度比值≤1.1垂直旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)定位精度比值≤1.1振鏡軸重復(fù)定位精度比值≤1.1軸間精度振鏡間拼接精度比值≤1.1水平軸間垂直度比值≤1.1垂直軸與加工平面垂直度比值≤1.1水平旋轉(zhuǎn)軸軸線與加工平面平行度比值≤1.1垂直旋轉(zhuǎn)軸軸線與加工平面垂直度比值≤1.1平臺(tái)精度被加工部件承載臺(tái)平面度比值≤1.1視覺系統(tǒng)相關(guān)精度同軸視覺定位與激光聚焦位置偏差值比值≤1.1旁軸視覺定位與激光聚焦位置偏差標(biāo)稱值與實(shí)際值誤差比值≤1.1同軸視覺定位與激光聚焦位置偏差值的重復(fù)精度比值≤1.1旁軸視覺定位與激光聚焦位置偏差值的重復(fù)精度比值≤1.1遠(yuǎn)心成像鏡頭畸變值百分比≤10%視覺系統(tǒng)定位精度比值≤1.1視覺系統(tǒng)重復(fù)定位精度比值≤1.1系統(tǒng)精度被加工部件承載臺(tái)范圍內(nèi)加工精度比值≤1.1速度單軸運(yùn)動(dòng)速度百分比≤1%振鏡運(yùn)動(dòng)速度百分比≤1%靶標(biāo)定位時(shí)間比值≤1.1被加工材料單位時(shí)間加工孔數(shù)（在有孔數(shù)要求的項(xiàng)目中適用本條款）百分比≤10%每小時(shí)加工件數(shù)（在有件數(shù)要求的項(xiàng)目中適用本條款）百分比≤10%加工尺寸范圍標(biāo)準(zhǔn)平面加工尺寸范圍標(biāo)準(zhǔn)百分比≤1%垂直加工尺寸范圍標(biāo)準(zhǔn)百分比≤1%單振鏡加工平面尺寸范圍標(biāo)準(zhǔn)百分比≤5%單振鏡加工垂直方向可加工尺寸范圍標(biāo)準(zhǔn)百分比≤20%激光終端參數(shù)聚焦光斑相關(guān)參數(shù)聚焦光斑直徑百分比≤10%焦深百分比≤10%聚焦光斑橢圓度百分比≥90%聚焦光斑相散百分比實(shí)際相散值與標(biāo)稱值的比值在0.9與1.1之間設(shè)備終端激光平均功率穩(wěn)定性短期平均功率穩(wěn)定性百分比≤3%長期平均功率穩(wěn)定性百分比≤6%分類激光產(chǎn)品的分類職責(zé)應(yīng)符合GB7247.1-2012第8.2章的要求。激光產(chǎn)品分類規(guī)則應(yīng)符合GB7247.1-2012第8.3章的要求。依據(jù)GB7247.1-2012第9章確定可達(dá)發(fā)射水平。激光輻射危害的防護(hù)應(yīng)符合GB/T18490.1-2017第5.3.2章、第6章的要求。由材料和物質(zhì)產(chǎn)生的危險(xiǎn)的防護(hù)應(yīng)符合GB/T18490.1-2017第5.3.4章、第6章的要求。基本要求應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第4章的要求。引入電源線斷接法和切斷開關(guān)應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第5章的要求。電擊防護(hù)應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第6章的要求。電氣設(shè)備的保護(hù)應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第7章的要求。等電位聯(lián)結(jié)應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第8章的要求。控制電路和控制功能應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第9章的要求。操作板和安裝在機(jī)械上的控制器應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第10章件采取安全防護(hù)措施。位置、安裝和電柜應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第11章的要求。導(dǎo)線和電纜應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第12章的要求。配線技術(shù)應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第13章的要求。電動(dòng)機(jī)及有關(guān)設(shè)備應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第14章的要求。插座和照明應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第15章的要求。驗(yàn)證應(yīng)依據(jù)GB/T5226.1-2019第18章進(jìn)行驗(yàn)證。應(yīng)依據(jù)GB/T15706-2012進(jìn)行機(jī)械風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估。激光器8%~15PBS1圖1連接光斑分析儀CCD，設(shè)置Home-MainControls-Definition為1/e2crosshairs(13.5%Setup-ExposuretimeAuto，ImageAveragingNoneCCD500mmCCDCCD0.06~200±10發(fā)散角200mm300mmCCDCCD0.06～200x，y/300mm2.0mrad(FullAngle)。PC-BeamageStartDateAcquisition1min算均方差即為光束指向穩(wěn)定性數(shù)值。要求光束指向穩(wěn)定性：<50.0urad（PerMinute）或<50.0urad（Per℃）。6.1.1M22圖2M2Waist±1RayeigLengtXY2±2*RyleghenghX，Y3M210%。100Deviation/Mean(2Sigma2%rms脈寬12PBS12Distance圖3偏振比PBSPBSPBSP2，P2/P1。100:1光譜8h，2%rms使用激光干涉儀或相關(guān)儀器，對(duì)水平軸的線性位移進(jìn)行測(cè)量，實(shí)測(cè)定位精度與標(biāo)稱定位精度的比值≤1.1。使用激光干涉儀或相關(guān)儀器，對(duì)垂直軸的線性位移進(jìn)行測(cè)量，實(shí)測(cè)定位精度與標(biāo)稱定位精度的比值≤1.1。1.11.11.11.11.1≤1.1≤1.1≤1.1≤1.1水平軸間垂直度≤1.11.1。被加工部件承載臺(tái)平面度測(cè)量時(shí)，在平臺(tái)上選擇一定密度的點(diǎn)位，用千分表測(cè)量高度偏差值，該數(shù)值與標(biāo)稱數(shù)值的比值≤1.1。≤1.11.1≤1.1≤1.1≤1.1≤1.1被加工部件承載臺(tái)范圍內(nèi)加工精度的測(cè)試，應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試圖形進(jìn)行加工，測(cè)量實(shí)際加工位置與圖檔理論位置最大偏差，該偏差與標(biāo)稱偏差的比值≤1.1。速度1%沿振鏡范圍內(nèi)，加工一定直徑的圓若干遍，根據(jù)總路徑長度與實(shí)際運(yùn)行時(shí)間計(jì)算出實(shí)際運(yùn)行速度，實(shí)際速度和標(biāo)稱速度的偏差量與標(biāo)稱速度的比值≤1%。放置好帶靶標(biāo)點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試件，從設(shè)備零點(diǎn)位置啟動(dòng)后，依次識(shí)別數(shù)個(gè)間距為一定數(shù)值的靶標(biāo)點(diǎn)，識(shí)別成功后再次回歸到設(shè)備零點(diǎn)，整個(gè)循環(huán)所用時(shí)間與標(biāo)稱時(shí)間的比值≤1.1。）10（）≤10%1%。二維加工聚焦范圍內(nèi)承載臺(tái)平面上，最低和最高聚焦平面差≤1%。1mm≤520焦深≤10搭建外光路，采用光束分析儀，實(shí)際相散值與標(biāo)稱值的比值在0.9與1.1之間。測(cè)量開機(jī)預(yù)熱一定時(shí)間后的終端功率，4小時(shí)后的終端功率，8小時(shí)后的終端功率，3個(gè)功率的最大值與最小值的差值，該差值與平均功率的比值≤3%。（標(biāo)記標(biāo)記激光標(biāo)記的一般要求應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.1章的規(guī)定。11M1類和1M類的說明標(biāo)記應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.2章的規(guī)定。22M2類和2M類的警告標(biāo)記符合GB7247.1-2012第5.3章的規(guī)定。3R3R類的警告標(biāo)記和說明標(biāo)記應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.4章的規(guī)定。3B3B類的警告標(biāo)記和說明標(biāo)記應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.5章的規(guī)定。44類的警告標(biāo)記和說明標(biāo)記應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.6章的規(guī)定。激光輻射的窗口附近的標(biāo)記應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.7章的規(guī)定。輻射輸出和標(biāo)準(zhǔn)說明應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.8章的規(guī)定。7247.1-20125.9.1安全聯(lián)鎖標(biāo)記應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.9.2章的規(guī)定。不可見光輻射警告應(yīng)符合GB7247.1-2012第5.10章的規(guī)定?？梢姽廨椛渚鎽?yīng)符合GB7247.1-2012第5.11章的規(guī)定。激光加工機(jī)的標(biāo)記應(yīng)符合GB/T18490.1-2017第8章的要求。整機(jī)產(chǎn)品的機(jī)械電氣安全相關(guān)的警告標(biāo)志、銘牌、標(biāo)記、標(biāo)簽和識(shí)別牌應(yīng)經(jīng)久耐用，經(jīng)得住復(fù)雜的實(shí)際環(huán)境影響。應(yīng)符合GB/T5226.1-2019第16章相關(guān)要求。文件機(jī)械電氣安全相關(guān)的文件GB/T5226.1-2019第17章的要求。激光產(chǎn)品制造商應(yīng)依據(jù)GB/T18490.1-2017第7章的要求提供相關(guān)信息。附錄A（試驗(yàn)用儀器設(shè)備應(yīng)經(jīng)過計(jì)量檢定或校驗(yàn)合格且在有效期內(nèi)，儀器設(shè)備的準(zhǔn)確度應(yīng)不低于表A.1的規(guī)定。表A.1儀器設(shè)備的準(zhǔn)確度要求儀表名稱技術(shù)指標(biāo)光功率計(jì)2級(jí)M2分析儀300nm~1100nm能量計(jì)0.3μm~11μm自相關(guān)儀自相關(guān)度：10fs~