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第三章固體激光器固體激光器是以摻雜離子的絕緣晶體或玻璃作為工作物質(zhì)的激光器。常采用的固體工作物質(zhì)仍然是紅寶石、釹玻璃、摻釹釔鋁石榴石(Nd3+:YAG)等三種。固體激光器的特點:輸出能量大(可達(dá)數(shù)萬焦耳),峰值功率高(連續(xù)功率可達(dá)數(shù)千瓦,脈沖峰值功率可達(dá)千兆瓦、幾十太瓦),結(jié)構(gòu)緊湊,牢固耐用。廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國防、醫(yī)療、科研等方面,例如打孔、焊接、劃片、微調(diào)、激光測距、雷達(dá)、制導(dǎo)、激光視網(wǎng)膜凝結(jié)、全息照相、激光存儲、大容量通信等。一、固體激光器的基本結(jié)構(gòu)與工作物質(zhì)1、固體激光器結(jié)構(gòu):由工作物質(zhì)、泵浦系統(tǒng)、諧振腔和冷卻、濾光系統(tǒng)構(gòu)成的。下圖是長脈沖固體激光器的基本結(jié)構(gòu)示意圖(冷卻、濾光系統(tǒng)未畫出)。
固體激光器的基本結(jié)構(gòu)示意圖第一節(jié)概述2、固體工作物質(zhì)固體工作物質(zhì)基質(zhì)材料摻雜離子物理、化學(xué)性能光譜特性基質(zhì)材料玻璃晶體硅酸鹽、硼酸鹽、磷酸鹽玻璃氧化物晶體氟化物晶體各自又分為單一和混合兩類
激活粒子可分為四類(1)三價稀土金屬離子(2)二價稀土金屬離子(3)過渡金屬離子(4)錒系金屬離子固體工作物質(zhì)達(dá)數(shù)百種,已獲得數(shù)千條激光光譜線摻雜離子濃度1025~1026m-3,比氣體工作物質(zhì)高3~4個數(shù)量級,且固體工作物質(zhì)激光上能級壽命也比較長,易于獲得大能量輸出,適合調(diào)Q二、紅寶石晶體紅寶石晶體紅寶石的化學(xué)表示式為Cr3+:Al203,其激活離子是三價鉻離子Cr3+,基質(zhì)是剛玉晶體(化學(xué)成分是A12O3)。紅寶石屬六方晶系,是無色透明的負(fù)單軸晶體。紅寶石是在Al2O3中摻入適量的Cr3+,使Cr3+部分地取代Al3+而成。摻入Cr2O3的最佳量一般在0.05%(重量比)左右,相應(yīng)的Cr3+密度ntot=1.58x1019cm-3。
紅寶石的光譜特性主要取決于Cr3+。原子Cr的外層電子組態(tài)為3d54s1,摻入Al2O3后失去外層三個電子成為三價鉻離子Cr3+,Cr3+的最外層電子組態(tài)為3d3。紅寶石的光譜特性就是Cr3+的3d殼層上三個電子發(fā)生躍遷的結(jié)果。這三個d電子完全暴露在最外層,受基質(zhì)晶格場的影響很大。Cr3+在很強(qiáng)的晶格場作用下,其能級發(fā)生很大的變化,呈現(xiàn)出極為復(fù)雜的能級分裂和重新組成的情況。通過實驗和理論分析,已確定紅寶石中Cr3+的工作能級屬三能級系統(tǒng)。如圖5-3所示。4A2是基態(tài)又是激光下能級,其簡并度g1=4,2E是亞穩(wěn)態(tài),它是由能量差為29cm的2A和E二能級組成,其簡并度都為2。4F1和4F2是兩個吸收能帶。紅寶石中鉻離子的能級結(jié)構(gòu)Cr3+:Al2O3六方晶系,負(fù)單軸晶體,粉紅色提拉法生長,可以獲得大尺寸晶體
紅寶石的吸收光譜如下圖所示。由4A2向4F1躍遷吸收紫藍(lán)光,峰值波長在0.41um附近,稱為紫帶或U帶。由4A2向4F2躍遷吸收黃綠光,峰值波長在0.55μm附近,稱為綠帶或Y帶。這是兩個很強(qiáng)很寬的吸收譜帶,吸收帶寬均約0.1um左右。由于紅寶石晶體的各向異性,它的吸收特性與光的偏振狀態(tài)有關(guān)。在入射光的振動方向與晶體光軸C相垂直或平行這兩種情況下,其吸收曲線略有差別,見下圖。紅寶石中鉻離子的吸收光譜紅寶石中鉻離子的能級結(jié)構(gòu)
紅寶石有兩條強(qiáng)熒光譜線(R1和R2線),分別為E和2A能態(tài)向4A2躍遷產(chǎn)生的,室溫下對應(yīng)的中心波長分別為0.6943um和0.6929um。通常紅寶石激光器中只有
R1=0.6943μm線才能形成激光輸出。
紅寶石激光器通常只產(chǎn)生0.6943um的受激輻射。這是因為亞穩(wěn)態(tài)能級2E分裂成2A和E兩能級,躍遷到2E上的粒子按波爾茲曼分布規(guī)律分布于2A和E上,2A能級上約占47%,E能級上約占53%。這就是說E能級比2A能級有更多的粒子數(shù)。而且R1線熒光強(qiáng)度比R2線高,使得R1線的受激輻射幾率比R2線高。因此,R1線容易達(dá)到閾值而形成激光振蕩。同時,2A和E相距很近,一旦E上的粒子躍遷后,2A上的粒子便迅速地(約10ns)轉(zhuǎn)移到E上去,這就加強(qiáng)了R1線,而抑制了兒線。在激光脈沖持續(xù)時間遠(yuǎn)大于10-9s時,亞穩(wěn)態(tài)上的位子均將通過R1線的受激輻射回到基態(tài),因此可把E,2A合并起來看成一個簡并度g2=4的能級。
紅寶石突出的缺點是閾值高(因是三能級)和性能易隨溫度變化。
但具有很多優(yōu)點,如:機(jī)械強(qiáng)度高,能承受很高的激光功率密度;容易生長成較大尺寸;亞穩(wěn)態(tài)壽命長,儲能大,可得到大能量輸出;熒光譜線較寬,容易獲得大能量的單模輸出;低溫性能良好,可得到連續(xù)輸出;紅寶石激光器輸出的紅光(0.6943um),不僅能為人眼可見,而且很容易被探測接收(目前大多數(shù)光電元件和照相乳膠對紅光的感應(yīng)靈敏度較高)。因此,紅寶石仍屬一種優(yōu)良的工作物質(zhì)而得到廣泛應(yīng)用。用紅寶石制成的大尺寸單脈沖器件輸出能量已達(dá)上千焦耳。單級調(diào)Q器件很容易得到幾十兆瓦的峰值功率輸出(用這類器件已成功地對載有角反射器的人造衛(wèi)星進(jìn)行了測距試驗)。多級放大器件的輸出峰值功率已達(dá)數(shù)千兆瓦到一萬兆瓦。紅寶石在激光發(fā)展上是貢獻(xiàn)比較大的一種晶體。紅寶石中鉻離子的能級結(jié)構(gòu)
Nd3+:YAG的激活離子為Nd3+,基質(zhì)是YAG晶體(釔鋁石榴石晶體Y3Al5O12的簡稱)。Nd3+部分取代YAG中的Y3+便成為Nd3+:YAG。一般含Nd3+量為1%原子比,此時Nd3+的密度為1.38×1020cm-3,顏色為淡紫色。實際制備時是將一定比例的A1203、Y2O3和Nd2O3在單晶爐中熔化結(jié)晶而成。Nd3+:YAG屬立方晶系,是各向同性晶體。三、摻釹釔鋁石榴石(Nd3+:YAG)摻釹釔鋁石榴石激光器的激活粒子是釹離子(Nd3+),其吸收光譜如圖所示Nd3+:YAG晶體的吸收光譜Nd3+:YAG
的能級結(jié)構(gòu)
YAG中Nd3+與激光產(chǎn)生有關(guān)的能級結(jié)構(gòu)如圖所示。它屬于四能級系統(tǒng)。1.06um比1.35um的熒光約強(qiáng)四倍,1.06um的譜線先起振,進(jìn)而抑制1.35um譜線起振,所以Nd3+:YAG激光器通常只產(chǎn)生1.06um激光。只有采取選頻措施,才能實現(xiàn)1.35um波長的激光振蕩。
繼1960年第一臺紅寶石激光器問世后,1961年便出現(xiàn)了釹玻璃激光器。釹玻璃是在某種成分的光學(xué)玻璃中摻入適量的Nd2O3制成的。最佳摻入Nd2O3量為1%~5%重量比。對應(yīng)3%的摻入量,Nd3+的濃度為3×1020/cm3。Nd3+在硅酸鹽、棚酸鹽和磷酸鹽玻璃系統(tǒng)用得最多。玻璃的制備工藝比較成熟,易獲得良爭好的光學(xué)均勻性,玻璃的形狀和尺寸也有較大的可塑性。大的釹玻璃棒長可達(dá)1~2m,直徑30~100mm,可用來制成特大能量的激光器。小的可以做成直徑僅幾微米的玻璃纖維,用于集成光路中的光放大或振蕩。
釹玻璃最大的缺點是導(dǎo)熱率太低,熱脹系數(shù)太大,因此不適于作連續(xù)器件和高頻運(yùn)轉(zhuǎn)的器件,且在應(yīng)用時要特別注意防止自身破壞。四、釹玻璃E4:含三個吸收帶(抽運(yùn)能帶)*(吸收特定波長的光而躍遷到這三個吸收帶)(中心波長5900A)(...............7500A)(...............8000A)E3:三條激光譜線公共的激光上能級E2:含二條激光譜線的二個激光下能級(四能級系統(tǒng)),即(,對應(yīng)1.4μm
譜線)(,對應(yīng)1.06μm譜線)
釹玻璃的能級結(jié)構(gòu)和躍遷光譜
E1:基態(tài),一條激光譜線的激光下能級(三能級系統(tǒng)):(
對應(yīng)0.9μm譜線)
躍遷譜線:
①1.06μm:四能級系統(tǒng),躍遷幾率大,通??捎^察到;
②1.4μm:四能級系統(tǒng),躍遷幾率較小,不一定可觀察到;③0.9μm:三能級系統(tǒng),難實現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),一般不出現(xiàn).第二節(jié)
固體激光器的泵浦系統(tǒng)
一、光泵浦固體激光器工作物質(zhì)是絕緣晶體,一般采用光泵浦激勵最常用的泵浦光源有惰性氣體放電燈(燈內(nèi)充入氙山、氪等惰性氣體)、金屬蒸氣燈(燈內(nèi)充入汞、鈉、餌等金屬蒸氣)、鹵化物燈(碘鎢燈、鑷鎢燈等)、半導(dǎo)體激光器、日光泵(用聚光鏡將日光會聚到激光棒中)等。脈沖氙燈的輻射強(qiáng)度和輻射效率較其他燈都高,是紅寶石釹玻璃和Nd:YAG脈沖激光器中應(yīng)用最廣泛的一種燈.氪燈在低電流密度下工作時,其輻射光譜與Nd:YAG泵浦吸收帶相匹配,故在連續(xù)和小能量脈沖Nd:YAG器件中得到比較多的采用。碘鎢燈用220V電壓即可,使用簡單、方便,在功率小于1OW的連續(xù)Nd:YAG器件中可以應(yīng)用。砷化鎵半導(dǎo)體激光器體積小,產(chǎn)生的激光又與摻釹工作物質(zhì)吸收譜相匹配,可用于小型摻鐵激光器。日光泵適用于空間技術(shù)中的激光器。
在各種泵浦光源中,以惰性氣體放電燈應(yīng)用最普遍。燈泵浦系統(tǒng)包括泵燈和聚光器。
二、泵浦光源應(yīng)當(dāng)滿足兩個基本條件1、有很高的發(fā)光效率2、輻射的光譜特性應(yīng)與激光各種物質(zhì)的吸收光譜相匹配.
三、惰性氣體放電燈的結(jié)構(gòu)一般都是由電極、燈管和充入的氣體組成。見圖
(a)。電極是用高熔點、高電子發(fā)射率,又不易濺射的金屬材料制成。常用的電極材料有鎢,釷鎢,鋇鎢和鈰鎢,高功率燈的電極要設(shè)計成水冷結(jié)構(gòu),見圖(b),燈管用機(jī)械強(qiáng)度高、耐高溫、透光性能好的石英玻璃制成。燈管內(nèi)充入氙(Xe)、氪(kr)氣體。
四、惰性氣體放電燈的輻射特性
氙燈在低電流密度放電(如連續(xù)燈放電和小能量脈沖燈放電)時,輻射的特征譜線的峰值波伏在0.84、0.9和1um附近。氪燈在低電流密度放電時,輻射的特征譜線的峰值波長在0.76、0.82和0.9um附近??梢?氪燈的特征譜線與Nd:YAG的主要泵浦吸收帶相匹配,因此連續(xù)和小能量(<10J)脈沖Nd:YAG激光器用氪燈泵浦效率較高。實驗發(fā)現(xiàn):充氣壓增高,特征譜線的線寬也增加。隨著放電流密度的增大,連續(xù)譜增加的份量比線譜多,當(dāng)電流密度增加到一定值后,連續(xù)譜逐漸掩蓋了線光譜,與黑體輻射相接近,且短波部分的增長比長波快,光譜重心移向短波。因此,在高電流密度放電情況下,有利于紅寶石的吸收。大中型釹玻璃和Nd:YAG脈沖激光器,由于泵燈的放電電流密度高,燈輻射的特征譜線相對減弱,此時應(yīng)采用輻射能量大、效率較高的脈沖氙燈。
五、聚光器(或稱泵浦腔)
其作用是將泵浦光源輻射的光能最大限度地聚集到工作物質(zhì)上去聚光器設(shè)計得好壞直接影響激光器的轉(zhuǎn)換效率和激光性能。
1、.聚光器的類型
①橢圓柱聚光器
這種聚光器的內(nèi)反射表面的橫截面是一橢圓。因為從橢圓一個焦點發(fā)出的所有光線,經(jīng)橢圓面反射后將會聚到另一焦點上。因此,如果把直管燈和棒分別置于橢圓柱聚光器的兩條焦線上(如圖a所示),則可以得到比較好的聚光效果。這種放置方法稱為“焦上放置”也可將泵燈和激光棒平行地安置在焦線和腔壁之間,這種放置稱為“焦外放置”。(如圖b所示),橢圓長輔上焦點外任意點發(fā)出的光,經(jīng)橢圓反射后必交于另一端焦點外的長袖上,因此,焦外放置的棒可以截獲焦外放置的泵燈所輻射的大部分能量。焦外放置不如焦上放置成象質(zhì)量好,但采用焦外放置,結(jié)構(gòu)設(shè)計上可以做得比較緊湊。圖b橢圓腔的焦外幾何光路圖a橢圓柱聚光腔聚光器的類型聚光器的類型
設(shè)橢圓的長半軸為a,短半軸為b,焦距為2c,偏心率為e=c/a.理論和實驗分析發(fā)現(xiàn),在燈內(nèi)徑和激光工作物質(zhì)確定后,e越小,聚光器的聚光效率越高,因為e小,泵燈截面經(jīng)橢圓面反射后成象彌散小,光能被工作物質(zhì)截獲得多。但e太小,意味著a大或c小.a大則聚光器尺寸大。c小則二焦點靠得近,采用"焦點"放置時則燈和工作物質(zhì)靠得近,直照強(qiáng),容易造成工作物質(zhì)光照不均勻,影響激光光斑質(zhì)量.因此,一般取e=0.4為宜。
為了盡可能利用沿軸向發(fā)射的泵燈光能,在橢圓柱的兩端應(yīng)有反射端面。但當(dāng)聚光器橫向尺寸較小,而軸向尺寸比棒、燈長得多時,兩端也可以不加反射面,因為此時可利用的軸向光能很少。
②圓柱聚光器
這種聚光器的內(nèi)反射表面是一個圓柱空腔,激光棒和泵燈置于軸線兩側(cè).由于圓相當(dāng)于焦點重合的橢圓,因此圓柱聚光器內(nèi)棒、燈的放置相當(dāng)于橢圓柱聚光器的"焦外放置"。
圓柱聚光器對泵浦光的聚焦能力不如橢圓柱聚光器強(qiáng),而且在同樣棒、燈直徑情況下,圓柱聚光器橫截面積大,體積也大。但它具有結(jié)構(gòu)簡單、加工方便等優(yōu)點。
六、固體激光器的熱效應(yīng)
固體激光器的泵浦系統(tǒng)還要冷卻和濾光。常用的冷卻方式有液體冷卻、氣體冷卻和傳導(dǎo)冷卻等,其中以液冷最為普遍。泵浦燈和工作物質(zhì)之間插入濾光器件濾去泵浦光中的紫外光譜。
2、聚光器的材料選擇制做聚光器時,常用的金屬材料石鋁、銅和不銹鋼,常用的非金屬材料有玻璃、陶瓷等。鋁通常用在輕型系統(tǒng)中;如果重量要求不嚴(yán)時,最好選用銅,這是因為銅的熱脹。熱導(dǎo)率高;不銹鋼具有不易生銹和拋光精度高等優(yōu)點,但熱導(dǎo)率很低,僅為銅的1/10。玻璃和陶瓷雖然易碎,導(dǎo)熱性差,但它們具有金屬所沒有的優(yōu)點,如不生銹,不易被腐蝕。陶瓷的漫反射性能也好,可制成反射率很高的漫反射激光器。第三節(jié)LD泵浦固體激光器(DPL)一、優(yōu)勢1、光譜窄,與工作物質(zhì)吸收帶匹配可提高效率,減輕熱效應(yīng)2、結(jié)構(gòu)緊湊3、壽命長,連續(xù)>104h,脈沖>109次4、模塊化泵浦波長630-680nmAlGaInP770-990nmGaAlAs900-1000nmInGaAs同燈泵比:效率提高10倍壽命增長100倍體積減小10倍可靠性大100倍二、泵浦方式——A端面泵浦三、泵浦方式——B側(cè)面泵浦四、泵浦方式——C基于內(nèi)反射的泵浦Diode-pumpedsolidstate(DPSS)第四節(jié)可調(diào)諧全固態(tài)激光一、可調(diào)諧激光發(fā)展方向1、“三超”
——超寬調(diào)諧,超高功率,超短脈沖
2、全固化
——小體積、長壽命、高效率、高可靠
3、固體可調(diào)諧激光源具代表性
二、原理和技術(shù)1、寬光譜帶激光效應(yīng)
——色心晶體,終端聲子激光晶體2、非線性變頻效應(yīng)
——非線性光學(xué)晶體,準(zhǔn)相位匹配芯片可調(diào)諧激光器倍頻和頻差頻短波調(diào)諧短波調(diào)諧長波調(diào)諧
激光源光參量振蕩/放大倍頻和頻差頻寬調(diào)諧
基礎(chǔ)和關(guān)鍵技術(shù)基礎(chǔ):綜合性能優(yōu)良晶體,高亮度,高光束質(zhì)量激光泵源關(guān)鍵:可調(diào)諧激光產(chǎn)生和擴(kuò)展結(jié)構(gòu)超寬調(diào)諧三、寬調(diào)諧固體激光的產(chǎn)生
四、摻鈦藍(lán)寶石激光器1980年林肯實驗室P.F.MouLton首次演示晶體具有優(yōu)良的綜合性能:寬熒光譜和吸收譜,大發(fā)射截面,低激發(fā)態(tài)吸收,優(yōu)良的物化性能,晶體生長,光學(xué)質(zhì)量高。
——“三超”激光和高光譜分辨激光基礎(chǔ)光源摻鈦藍(lán)寶石激光器吸收譜和發(fā)射譜調(diào)諧輸出:720—
1080nm(四對腔鏡)CW:最高43W,W級單頻(單模),諧波→252nm,全固化μs脈沖:6.5J/脈沖,200W平均功率,燈泵。ns脈沖:50W平均功率,諧波7W(430—460),全固化Fs脈沖:脈寬4.5fs,峰功率100TW,19fs,10Hz,平均功率(9W)焦點功率密度:~3×1020W/cm2鈦寶石-釹玻璃混合系統(tǒng):
1.5PW峰功率—強(qiáng)場光物理關(guān)鍵設(shè)備。摻鈦藍(lán)寶石激光器現(xiàn)狀20–200fs~100MHz0.1–1W0.68–1.1mf摻鈦藍(lán)寶石自鎖模摻鈦藍(lán)寶石飛秒激光器—CW及自鎖模全固態(tài)鈦寶石激光器摻鈦藍(lán)寶石激光器全固態(tài)飛秒鈦寶石激光器輸出功率:300mW調(diào)諧范圍:750-820nm模式:TEM00
連續(xù)器件平均功率:200mW脈沖寬度:30fs重復(fù)頻率:77MHz飛秒器件全固態(tài)激光器應(yīng)用脈沖Nd:YAG激光器(PulsedNd:YAG)Applications
Pumpsourcefordyelasers染料激光器泵浦
Laser-inducedfluorescence激光致熒光
Remotesensing遙感
Ablation燒蝕
LIDAR激光雷達(dá)
CARS相干反斯托克斯拉曼散射CoherentAnti-StokesRamanScattering典型固態(tài)激光器及應(yīng)用高能脈沖HighEnergyPulsed
緊湊型Nd:YAG激光器
INDISeries,CompactNd:YAG
Applications應(yīng)用
Plasticandceramiccomponentsmarking塑料陶瓷組件打標(biāo)
Lasercleaning激光清洗
LIBS激光誘導(dǎo)離解光譜(Laser-InducedBreakdownSpectroscopy)
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LIDAR激光雷達(dá)
Dyelaserpumping染料激光器泵浦典型固態(tài)激光器及應(yīng)用超快Ultrafast
SpitfirePro超快鈦藍(lán)寶石放大器
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DirecttoPlatePrinting
平板印刷對準(zhǔn)
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Circuittrimming電路切邊
Diamondprocessing鉆石加工
Solarcellscribingandcutting太陽能電池劃割
Precisionmarkinganddrilling精密打標(biāo)和鉆孔
Intra-glassmarking玻璃內(nèi)打標(biāo)
Embeddedpassives埋電子板
Rapidprototyping快速制樣
Materialsprocessing材料加工
Sapphirewaferscribing(Blueled)藍(lán)寶石晶片切割典型固態(tài)激光器及應(yīng)用Applications應(yīng)用
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Ramanimaging拉曼圖像注:用激光使化學(xué)品的分子產(chǎn)生振動,從光顏色變化可以分析化學(xué)品的結(jié)構(gòu)MG連續(xù)波固態(tài)綠光激光器
MGContinuousWaveSolidStateGreenLasers典型固態(tài)激光器及應(yīng)用連續(xù)波激光器ContinousWaveLaserApplications應(yīng)用
FlowCytometer
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DNASequencingDNA測序
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LaserInducedFluorescence激光致熒光
Interferometer干涉儀
SemiconductorInspectionandMetrology半導(dǎo)體檢測和測量
PrintingandComputer-to-Plate印刷和計算機(jī)直接制版典型固態(tài)激光器及應(yīng)用Applications應(yīng)用Spectroscopy光譜學(xué)
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