JJF 1427-2013微機(jī)電(MEMS)線加速度計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1427—2013

微機(jī)電MEMS線加速度計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

()

CalibrationSpecificationforMEMSLinearAccelerometers

2013-09-02發(fā)布2013-12-02實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

JJF1427—2013

微機(jī)電MEMS線加速度計(jì)

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校準(zhǔn)規(guī)范??

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CalibrationSpecificationforMEMS??

LinearAccelerometers

歸口單位全國(guó)慣性技術(shù)計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

起草單位中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

:

中航工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所

本規(guī)范委托全國(guó)慣性技術(shù)計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1427—2013

本規(guī)范主要起草人

:

楊擁軍中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

()

董雪明中航工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所

()

徐淑靜中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

()

參加起草人

:

何懿才中航工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所

()

吝海鋒中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

()

田陽(yáng)中航工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所

()

JJF1427—2013

目錄

引言………………………

(Ⅱ)

范圍……………………

1(1)

引用文件………………

2(1)

術(shù)語(yǔ)及定義……………

3(1)

概述……………………

4(1)

計(jì)量特性………………

5(2)

校準(zhǔn)條件………………

6(3)

校準(zhǔn)環(huán)境條件………………………

6.1(3)

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及設(shè)備……………………

6.2(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法…………………

7(4)

校準(zhǔn)項(xiàng)目……………

7.1(4)

校準(zhǔn)方法……………

7.2(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)…………

8(14)

復(fù)校時(shí)間間隔…………

9(14)

附錄線加速度計(jì)重力場(chǎng)校準(zhǔn)不確定度評(píng)估示例…………

AMEMS(15)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)格式……………

B(21)

Ⅰ

JJF1427—2013

引言

微機(jī)電線加速度計(jì)廣泛應(yīng)用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)各領(lǐng)域基于此考慮結(jié)合微機(jī)

(MEMS),,

電線加速度計(jì)校準(zhǔn)的實(shí)際情況參照國(guó)際電工委員會(huì)

(MEMS),IEC(INTERNATIONAL

編寫的半導(dǎo)體

ELECTROTECHNICALCOMMISSION)60747-14-4Ed.1/CDVIEC

加速度計(jì)

(SEMICONDUCTORDEVICES—Part14-4:Semiconductoraccelerometers)

編寫本規(guī)范

。

Ⅱ

JJF1427—2013

微機(jī)電(MEMS)線加速度計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范規(guī)定了微機(jī)電線加速度計(jì)以下簡(jiǎn)稱線加速度計(jì)或加速

(MEMS)(MEMS

度計(jì)的校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法適用于單敏感軸線加速度計(jì)

),MEMS。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

線加速度計(jì)的精密離心機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范

JJF1116—2004

單軸擺式伺服線加速度計(jì)試驗(yàn)方法

GJB1037A—2004

振動(dòng)與沖擊傳感器校準(zhǔn)方法第部分振動(dòng)比較法

GB/T20485.21—200721:

校準(zhǔn)

半導(dǎo)體加速度計(jì)

IEC60747Part14-4(14-4:Semiconductoraccelerometers)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語(yǔ)及定義

微機(jī)電

3.1MicroElectroMechanicalSystem,MEMS

運(yùn)用半導(dǎo)體工藝集成了傳感器執(zhí)行器和或電路的系統(tǒng)

、/。

線加速度計(jì)

3.2MEMSMEMSlinearaccelerometers

采用加工工藝制作的用于將輸入的線加速度成比例的轉(zhuǎn)化為輸出通常為

MEMS(

電學(xué)量的傳感器

)。

敏感質(zhì)量

3.3proofmass

線加速度計(jì)中把沿著或繞輸入軸的加速度轉(zhuǎn)換為力矩或力的有效質(zhì)量

()。

4概述

線加速度計(jì)一般由敏感質(zhì)量撓性支承和轉(zhuǎn)換線路等構(gòu)成工作原理為敏

MEMS