電子顯微鏡第二章透射電子顯微鏡的主要結(jié)構(gòu)與成像課件

1第二章透射電子顯微鏡的主要結(jié)構(gòu)與成像235電子光學(xué)系統(tǒng)67電子光學(xué)系統(tǒng)成像放大系統(tǒng)圖像觀察和記錄系統(tǒng)照明系統(tǒng)電子槍聚光鏡陰極柵極陽極試樣室物鏡中間鏡投影鏡觀察屏照相機(jī)計(jì)算機(jī)9陰極柵極帽陽極1.電子槍10(a)自偏壓回路(b)電子槍內(nèi)的等電位面11如果第一交叉點(diǎn)電子流密度為ic，發(fā)散度為β，那么電子槍的亮度為：在電子槍第一交叉點(diǎn)獲得的最大聚焦電子流密度ic由朗格繆爾（Langmuir）公式給出：所以：13underfocused

Focusedoverfocused

(Secondcondenserlens)14成像放大系統(tǒng)

成像放大系統(tǒng)151.樣品室樣品室位于照明部分和物鏡之間，主要作用是通過樣品臺承載試樣，移動，旋轉(zhuǎn)試樣。必要時(shí)還可以安裝加熱、冷卻樣品臺。3mm樣品銅網(wǎng)17物鏡光闌(Objectiveaperture)18α物鏡光闌物鏡樣品物鏡像平面

減小像差19質(zhì)厚襯度

提高圖像襯度21

明場暗場

明暗場操作22試樣物鏡像平面選區(qū)光闌虛光闌在物鏡像平面上插入選區(qū)光闌實(shí)現(xiàn)選區(qū)衍射選區(qū)光闌233.中間鏡和投影鏡中間鏡(Intermediatelens)25252q2q2q入射束后焦面衍射斑透射斑物鏡后焦面上的衍射花樣26（a）高倍成像樣品物鏡衍射譜第一級實(shí)像中間鏡第二級實(shí)像投影鏡

終像（熒光屏）（b）中倍成像4.透鏡成像放大系統(tǒng)第一級實(shí)像29第二節(jié)透射電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)和放大倍數(shù)的測定分辨本領(lǐng)和放大倍數(shù)是透射電子顯微鏡兩項(xiàng)主要指標(biāo)，它體現(xiàn)了透射電鏡顯示樣品顯微組織和結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)的能力。301.分辨本領(lǐng)測定透鏡的分辨本領(lǐng)分為兩種：點(diǎn)分辨本領(lǐng)和晶格分辨本領(lǐng)。點(diǎn)分辨本領(lǐng)的測定：將鉑、鉑-銥或鉑-鈀等金屬或者合金用真空蒸發(fā)的方法沉積到火棉膠或者碳支持膜上，得到粒度5-10?、間距2-10?的分布均勻的粒子。在高放大倍數(shù)下拍攝這些粒子的象，至少在同樣的條件下拍攝兩張底片，從照片上找出粒子間最小間距，除以總的放大倍數(shù)，即為相應(yīng)電子顯微鏡的點(diǎn)分辨本領(lǐng)。31晶格分辨本領(lǐng)的測定：利用外延生長的定向單晶薄膜作為標(biāo)樣，拍攝其晶格像。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是不需要知道儀器的放大倍數(shù)，因?yàn)槭孪瓤删_地知道樣品晶面間距。根據(jù)儀器分辨本領(lǐng)高低，選擇晶面間距不同的樣品作標(biāo)樣。拍攝晶格條紋像，然后測量晶格像條紋間距，除以總的放大倍數(shù)，即為相應(yīng)電子顯微鏡的晶格分辨本領(lǐng)。322.放大倍數(shù)測定透射電子顯微鏡的放大倍數(shù)隨樣品平面高度、加速電壓、透鏡電流而變化。為了保持儀器放大倍數(shù)的精度，必須定期進(jìn)行標(biāo)定。最常用的方法是用衍射光柵復(fù)型作為標(biāo)樣，在一定的條件（加速電壓、透鏡電流等）下，拍攝標(biāo)樣的放大象。然后從底片上測量光柵條紋象的平均間距，與實(shí)際光柵條紋間距之比即為儀器相應(yīng)條件下的放大倍數(shù)。這種方法適用于5萬倍以下。33也可在樣品表面上放少量尺寸均勻，并精確已知球徑的塑料小球作為內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)測定放大倍數(shù)。在高放大倍數(shù)如10萬