OPTORUN鍍膜機(jī)離子源的維護(hù)保養(yǎng)說(shuō)明書(shū)

OPTORUN離子源的維護(hù)保養(yǎng)說(shuō)明1．離子源的維護(hù)和Grid的分解和組裝方法長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)後，石英杯會(huì)被鍍上一層的導(dǎo)電性膜，因此會(huì)引起輸出功率下降，此時(shí)請(qǐng)進(jìn)行打砂處理或使用洗凈液（請(qǐng)使用不影響SiO2的洗凈液）等除去膜層。石英杯的清掃周期通常是50~100小時(shí)。（根據(jù)使用狀況更改維護(hù)的周期）。注意：請(qǐng)注意石英杯很容易損壞。在對(duì)石英杯進(jìn)行打砂時(shí)，請(qǐng)使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2MＰａ的低壓力，英杯30cm以上進(jìn)行打砂作業(yè)。1．1絕緣子的清潔長(zhǎng)時(shí)間使用后，GridAssy部分的絕緣子會(huì)被鍍上一層的導(dǎo)電性膜，此會(huì)引起Grid的短路，不能正常發(fā)揮作用。并會(huì)出現(xiàn)ACC電流值過(guò)大或Beam電流上不去的現(xiàn)象，此時(shí)需清潔或交換絕緣子。由于絕緣子的清潔難度很大，建議您交換新品。注意：確認(rèn)各Grid間，2000Vdc時(shí)須20MΩ以上。①②維護(hù)和交換時(shí)期各Grid間絕緣子的狀態(tài)呈惡化趨勢(shì)時(shí)，用打砂紙清潔其外表部。Grid維護(hù)周期為每50~100小時(shí)確認(rèn)其外觀?絕緣，如有異常請(qǐng)及時(shí)清掃或交換。如厚度有磨損，其磨損厚度為-0.02mm時(shí)，請(qǐng)交換新品。（例如：t=1.0mm的絕緣子當(dāng)變?yōu)閠=0.98mm時(shí)，請(qǐng)交換新品。）注意：請(qǐng)注意絕緣子很容易碎裂。1．2Grid的清潔長(zhǎng)時(shí)間使用后，各Grid的被鍍上一層的導(dǎo)電性膜，特別是DecelGrid膜層很容易被剝離，請(qǐng)?jiān)诓粚?duì)著Grid的情況下用吸塵器除去的剝落的膜。ACCGrid和SCRGrid請(qǐng)用測(cè)試儀點(diǎn)檢，表面被絕緣時(shí)請(qǐng)及時(shí)清洗。注意：Grid的分解和組裝方法請(qǐng)參考添附資料。濃度25%的洗凈液（BR-55）里浸泡5~10小時(shí)。（作為代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗凈效果略差。）或者使用超聲波洗凈機(jī)，能得到同樣的洗凈效果。注意：BR-55和NaOH為危險(xiǎn)物品，使用時(shí)請(qǐng)小心。用超聲波洗凈機(jī)時(shí)請(qǐng)注意Grid由于振動(dòng)所引起的破損。邊用熱水清洗邊用清潔布擦洗Grid表面，約洗10分鐘以上，NaOH和贓物等將被洗凈。用干燥機(jī)干燥。利用Grid固定夾具（參考照片1，2），并使用#300的砂紙摩擦Grid表面直到表面的贓物和變色消失為止。注意：不要使Grid變形。認(rèn)認(rèn)附資料1離子源Grid的分解和組裝方法※請(qǐng)參照添附圖紙進(jìn)行作業(yè)。分解１拆下GridMountAssy.GridMountAssy.作業(yè)容注意點(diǎn)從離子源主體上拆下GridMountAssy.

組裝組裝2Grid的組裝2DecelConnector作業(yè)容注意點(diǎn)DecelConnector如圖放置。對(duì)準(zhǔn)Grid組裝夾具和DecelConnector的孔。組裝3Grid的組裝3對(duì)準(zhǔn)孔的方向不同DecelGrid作業(yè)容注意點(diǎn)DecelGrid的凸面向下，對(duì)準(zhǔn)孔的位置。（発散GRID的場(chǎng)合）収束Grid的凸面向上放置。

組裝10Grid的組裝10作業(yè)容注意點(diǎn)如圖所示擰上六角螺母，完成之后拔去對(duì)準(zhǔn)釘拆下組裝夾具。確認(rèn)各Grid之間的ShieldInsulator和GridInsulator沒(méi)有重疊。81542736

添附資料添附資料2中和器分解?組裝方法※請(qǐng)參照添附圖紙進(jìn)行分解?組裝作業(yè)。分解1Keeper的分解KeeperNut(2pcs)Ke