半導(dǎo)體制造廠緊急應(yīng)變程序

半導(dǎo)體制造廠緊急應(yīng)變程序第1頁/共26頁各緊急應(yīng)變小組職責(zé)緊急應(yīng)變救災(zāi)處理流程緊急應(yīng)變疏散流程緊急應(yīng)變程序第2頁/共26頁緊急應(yīng)變組織1.若數(shù)種意外事故同時發(fā)生,則依火災(zāi)氣體外泄化學(xué)品泄漏電力中斷次序，以較前者認(rèn)定事故指揮官。2.虛線框內(nèi)表一、二級意外事故的最大應(yīng)變組織；全圖表示三、四級意外事故的最大應(yīng)變組織。(健康中心)急救小組(保安人員)(FAC)(財(cái)務(wù)處)(工安單位)二級以下意外事件財(cái)務(wù)人員計(jì)劃人員事故指揮官ERC救災(zāi)小組廠務(wù)小組疏散小組管制小組公關(guān)人員總負(fù)責(zé)人(FAB區(qū)域:MFG部經(jīng)理)(權(quán)責(zé)單位及支持單位工程人員)(工安環(huán)保單位及相關(guān)單位)(指揮官直屬主管)(事故責(zé)任區(qū)單位主管)三、四級意外事件第3頁/共26頁各組別職責(zé)事故指揮官：負(fù)責(zé)指揮災(zāi)害現(xiàn)場之應(yīng)變處理，包括了解意外狀況、擬定及執(zhí)行適當(dāng)?shù)膽?yīng)變計(jì)劃、召集并指揮緊急應(yīng)變小組、分派任務(wù)以控制意外事故。ERC：ERC的作用是三個中心：監(jiān)控中心、應(yīng)變中心、聯(lián)絡(luò)中心。負(fù)責(zé)全廠區(qū)安全狀況的監(jiān)控、意外事件第一時間處理、緊急應(yīng)變資料及器材的保存與提供、相關(guān)訊息的收集與宣布等等。第4頁/共26頁各組別職責(zé)計(jì)劃人員：在救災(zāi)過程中擔(dān)任咨詢者，提供涉及到其領(lǐng)域的建議。由工安人員及相關(guān)部門擔(dān)任。救災(zāi)組的劃分：按救災(zāi)職責(zé)分為搶救組、搜尋組、支援組。各小組的體職責(zé)為：搶救組：負(fù)責(zé)現(xiàn)場的救災(zāi)活動，從災(zāi)情控制一直到現(xiàn)場恢復(fù)；

搜尋組：負(fù)責(zé)現(xiàn)場受難人員的搜尋及搶救；

支援組：協(xié)助上述二組準(zhǔn)備器材、防護(hù)具、管制暖熱區(qū)人員進(jìn)出、協(xié)助卸裝、進(jìn)行除污等工作。廠務(wù)組：由廠務(wù)設(shè)施人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)處理廠務(wù)設(shè)施參與救災(zāi)。第5頁/共26頁各組別職責(zé)總負(fù)責(zé)人：三、四級意外事件時，由發(fā)生事故責(zé)任區(qū)域之高階主管擔(dān)任,于緊急應(yīng)變時負(fù)責(zé)綜理全廠之緊急事故處理重大決定，以及重要應(yīng)變行動之指示。公關(guān)人員：三/四級事件時由公關(guān)部人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)對外消息的發(fā)布及謠言的澄清。財(cái)務(wù)人員：三/四級事件時由財(cái)務(wù)處人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)財(cái)產(chǎn)的損失評估及與保險公司的理賠。急救組：三/四級事件時由醫(yī)護(hù)人員及制造部線上主管組成，負(fù)責(zé)對受傷人員的急救并聯(lián)絡(luò)救護(hù)單位。管制組：三/四級事件時由警衛(wèi)人員擔(dān)任，負(fù)責(zé)暖冷區(qū)人員進(jìn)出的管制。第6頁/共26頁火災(zāi)報(bào)警器偵知目擊者告知火警訊號是是否為誤動作？或已撲滅火災(zāi)？人為激活ERC通知廠務(wù)中控室及消防值班，要求消防工程師于事件發(fā)生部門ERT人員負(fù)責(zé)檢查發(fā)生源，同時廣播現(xiàn)場人員查找原因ERC廣播解除否ERC通知廠務(wù)中控室及消防值班，要求消防工程師以及發(fā)生區(qū)域人員負(fù)責(zé)第一時間控制火勢任何最先發(fā)現(xiàn)者，有義務(wù)在第一時間內(nèi)盡力控制火勢，同時立即通知ERCX各類意外事件處理程序-火災(zāi)第7頁/共26頁ERC廣播該區(qū)所有人員第一時間控制火勢，并召集ERT成員至指定地點(diǎn)等待事故指揮官進(jìn)一步指示。ERC通知相關(guān)課經(jīng)理級以上主管至指定地點(diǎn)擔(dān)任事故指揮官成立應(yīng)變指揮中心急救小組救災(zāi)小組ERT廠務(wù)小組緊急應(yīng)變中心疏散小組管制小組X各類意外事件處理程序-火災(zāi)第8頁/共26頁確認(rèn)災(zāi)區(qū)人員均已疏散手提式滅火器滅火火勢易于控制搶救組人員大火或爆炸與消防隊(duì)共同成立指揮中心協(xié)助消防隊(duì)滅火完成滅火搶救財(cái)物與復(fù)工事宜事故調(diào)查搜尋組人員準(zhǔn)備消防衣、SCBA、收集滅火器等否是結(jié)束救災(zāi)小組ERT災(zāi)區(qū)管制支援組人員協(xié)助進(jìn)入現(xiàn)場之救災(zāi)人員著防護(hù)裝備協(xié)助出災(zāi)害現(xiàn)場人員除污與卸裝各類意外事件處理程序-火災(zāi)第9頁/共26頁各類意外事件處理程序-氣體泄漏氣體外泄警報(bào)是否是否由氣體偵測器偵知由人員發(fā)現(xiàn)如異味任何最先發(fā)現(xiàn)者，有義務(wù)在第一時間內(nèi)通知ERC參照SMIC無塵室異味處理流程處理氣體偵測器偵知狀況解除可根據(jù)壓力、現(xiàn)場讀值、trendchart等訊息成立緊急應(yīng)變指揮中心“C”是第10頁/共26頁協(xié)助進(jìn)入現(xiàn)場之救災(zāi)人員著防護(hù)裝備急救小組救災(zāi)組緊急應(yīng)變中心廠務(wù)組疏散組控制空調(diào)、Exhaust及Scrubber等安全系統(tǒng)加大熱區(qū)相鄰暖區(qū)所有之建筑物空調(diào)系統(tǒng)之風(fēng)壓“C”持續(xù)監(jiān)控環(huán)境狀況救護(hù)傷患引導(dǎo)廠內(nèi)人員至安全地點(diǎn)支援組人搜尋人員搶救人員確認(rèn)已關(guān)閉上游供應(yīng)源并pumpdown相關(guān)gasline確認(rèn)災(zāi)區(qū)人員均已疏散準(zhǔn)備個人防護(hù)具、SCBA及手提式氣體偵測器災(zāi)區(qū)管制確認(rèn)防火門及防氣體擴(kuò)散設(shè)施已關(guān)閉是否有MDA供使用是否使用另外同種氣體偵測器（一個或2個）測試現(xiàn)場環(huán)境與Exhaust，確認(rèn)還有殘留濃度使用手提式偵測器測試現(xiàn)場環(huán)境及使用同種氣體偵測器（一個或兩個）測試Exhaust確認(rèn)還存有殘留濃度“D”“E”各類意外事件處理程序-氣體泄漏第11頁/共26頁“D”環(huán)境點(diǎn)讀值是否為零否進(jìn)行持續(xù)抽風(fēng)換氣是ERC解除警報(bào)事故調(diào)查，管路測漏，尋找出泄漏點(diǎn)進(jìn)行系統(tǒng)恢復(fù)和維修（須管路測漏達(dá)標(biāo)）采取根除同類事故再發(fā)生措施并實(shí)施“E”管制ERT人員之SCBA讀值和進(jìn)出的時間災(zāi)區(qū)人員管制協(xié)助出災(zāi)害現(xiàn)場人員除污與卸裝各類意外事件處理程序-氣體泄漏第12頁/共26頁Scrubberexhaust各類意外事件處理程序-氣體泄漏現(xiàn)場處理程序確認(rèn)關(guān)閉上游供應(yīng)源,如：關(guān)閉GC，關(guān)閉VMB之手動閥及氣動閥。使用Detector現(xiàn)場確認(rèn):至少偵測機(jī)臺周圍的三處讀值管路測漏，同時立即隔離泄漏源:1、EEpumpdowngasline2、check環(huán)境點(diǎn)是否還是持續(xù)有讀值3、加大熱區(qū)相鄰暖區(qū)所有之建筑物空調(diào)系統(tǒng)之風(fēng)壓使用portabledetector確定是否有真實(shí)泄露。Step-3Step-4Step-1Step-2EquipmentFacilityGasCabinetEquipmentpumpD3(Environmentdetector):SiH4,PH3,CO,AsH3CLF3,DCS,Cl2,F2/Ar/NeD2(Tooldetector)D1(VMBdetector)PneumaticvalveManualvalveGasPanel第13頁/共26頁疏散組第14頁/共26頁疏散的目的★避免意外事故所產(chǎn)生之危害因子影響到事故區(qū)內(nèi)或周遭利害相關(guān)者之安全與健康第15頁/共26頁疏散組成員疏散組組長：發(fā)生緊急意外事件時，整個疏散活動的協(xié)調(diào)指揮者，負(fù)責(zé)整個疏散活動的指揮協(xié)調(diào)，待各部門協(xié)調(diào)人將人員清點(diǎn)結(jié)果回報(bào)后，再整合向指揮官回報(bào)人員清點(diǎn)結(jié)果。疏散組協(xié)調(diào)人：各部門疏散活動的協(xié)調(diào)負(fù)責(zé)人，負(fù)責(zé)該部門的疏散活動的協(xié)調(diào)，并進(jìn)行人員清點(diǎn)，將清點(diǎn)結(jié)果及時回報(bào)疏散組組長。第16頁/共26頁疏散組組長人選1.單個單位疏散時，由該單位最高主管擔(dān)任疏散組長，該單位下轄各部門主管擔(dān)任疏散協(xié)調(diào)人。2.若只涉及FAB1、FAB2、FAB3B單個廠內(nèi)多部門的人員疏散，則分別由FAB1、FAB2、FAB3B制造部主管擔(dān)任疏散組組長；各部門的最高主管或其代理人該部門的疏散協(xié)調(diào)人。3.若涉及到多廠或單位的疏散，2005年由FAB2MFG(每年輪流擔(dān)任）主管擔(dān)任疏散組組長，其他廠或單位的最高主管擔(dān)任疏散協(xié)調(diào)人。第17頁/共26頁意外事故疏散時機(jī)--火災(zāi)火災(zāi)：1.小范圍冒煙起火或單一機(jī)臺起火（二級狀況）：事故現(xiàn)場人員立即進(jìn)行滅火，熱區(qū)內(nèi)事故區(qū)域以外非救災(zāi)人員依ERC廣播疏散到相應(yīng)建筑物內(nèi)指定安全區(qū)域位置。2.發(fā)生大面積火災(zāi)（三級以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第18頁/共26頁意外事故疏散時機(jī)--氣體警報(bào)氣體警報(bào)：1.氣體警報(bào)達(dá)到第二階段（二級狀況）：發(fā)生意外事件區(qū)域人員依ERC廣播立即疏散到相應(yīng)建筑物指定安全區(qū)域位置。2.有害氣體管路松脫或斷掉，造成大量泄漏（三級以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第19頁/共26頁意外事故疏散時機(jī)--化學(xué)品泄漏化學(xué)品泄漏：1.非易燃性化學(xué)品大量泄漏或強(qiáng)烈異味導(dǎo)致人員不能忍受（二級狀況）

：發(fā)生意外事件區(qū)域人員依ERC廣播立即疏散到相應(yīng)建筑物指定安全區(qū)域位置。

2.易燃性化學(xué)品管路松脫或斷掉（三級以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第20頁/共26頁意外事故疏散時機(jī)--其它意外事件其它意外事件（二級狀況）：1.達(dá)到震度為四級的地震2.停電超過3秒鐘以上3.氣體偵測系統(tǒng)或Exhaust系統(tǒng)運(yùn)作停止，1分鐘內(nèi)沒有恢復(fù)系統(tǒng)運(yùn)作

發(fā)生意外事件區(qū)域人員依ERC廣播立即疏散到相應(yīng)建筑物指定安全區(qū)域位置。

4.達(dá)到震度為五級以上地震（三級以上狀況）：該建筑物內(nèi)人員應(yīng)盡快從建筑物逃生門離開建筑物，至各部門指定集合點(diǎn)進(jìn)行人員清點(diǎn)。第21頁/共26頁FAB1FAB2AluminumlineCopperlineO/S13FERC