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光柵衍射效率測量系統(tǒng)及其表面結構參數檢測設備対光柵加工前后的檢測內容包括光柵衍射效率*表面槽深、占寬比的檢測，光柵衍射效率的檢測實際測量的是光柵的衍射光光強，對光柵表面槽深、占寬比的檢測是利用原子力顯微鏡探測掃描光柵表面獲得其表面形貌圖，然后通過分析軟件分析計算茯得槽深、占寬比的數據。3.3.1光柵衍射效率測旱本文實驗中對光柵+1級衍射效率的檢測，實際測量的是+1級衍射光光強，對于衍射效率變化率與衍射光強變化率的關系*以下作簡單推導：設系統(tǒng)主光路的朮強為Q研磨前1級衍射光朮強為倚衍射效率伽=如t』總I■研磨肓1級衍射巴巴強為廠廿衍射效率帀驚二亠*則衍射效率變化率色V，溝：丿總與總光強切的大小無關，通過測量研磨前光柵的衍射光強值丿衍和研磨后的廠衍即可茯得衍射效率的變化率’無需對總光強進行測卷t,光柵衍射效率檢測系統(tǒng)由激光器、步逬器、微弱光採測器、計算機、控制軟件等紐成’如圖氏所＜|二圖3乃中的激允器為半導體固體激光器W40S-75FSM-GZ.測'i土時輸出波長為405tim+輸出功率選抒10mW+功率穩(wěn)定性優(yōu)F0.6%°打描測!Il空h"采樣|'iI］隔為().5mm、1mm、2mm*時Ri］采樣|'i"隔為50ms圖3?5衍射效率打描測量系統(tǒng)示意圖圖3?6是9#光柵研磨之前的衍射效率分布圖，實際測量的是+1級衍射光光強,空間采樣間隔:().5mm,時間采樣間隔:50mso3.3.2光柵表面結構參數的檢測光柵表面結構參數檢測系統(tǒng)由AFM及其控制軟件、分析軟件組成，如圖3?7所示。AFM探測掃描光柵表面，生成光柵的表面形貌圖(如圖3?9、圖3?1()所示)，通過分析軟件分析計算槽深、占寬比數據。

圖3-7AFM及控制組件實驗中所使用的AFM(AtomicForceMicroscope,原子力顯微鏡)為布魯克公司(BrukcrAXS)原子力顯微鏡的旗艦產品DimensionIcon系列增強型,如圖3?8所示,Icon可以實現(xiàn)所有主要的掃描探針成像技術，其測試樣品尺寸可達：直徑210mm,厚度15mm。溫度補償位置傳感器使Z?軸和X-Y軸的噪音分別保持在10山和10皿級別水平。圖3-8AFM實物圖與效果圖AFM測量中參數設置如卜?：ScanSize：10pm；ScanAngle：0 ；ScanRate：0.5Hz；IntegralGain：0.5-0.7；AmpliludcSetpoint：270-310n)V圖3-9.圖3-1()是1#光柵研磨之前x=2,y=7處的表面結構參數測量

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